JP3228356B2 - 蒸着用材料 - Google Patents
蒸着用材料Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、蒸着ＶＴＲテープなど
を製造する工程で用いられる、Ｃｏ−Ｎｉ基合金の蒸着
用材料に関するものである。
を製造する工程で用いられる、Ｃｏ−Ｎｉ基合金の蒸着
用材料に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】Ｃｏ−Ｎｉ合金は、磁気特性、即ち保磁
力、残留磁束密度が優れているため、近年特にＶＴＲ等
の磁気記録材料として用いられている。
力、残留磁束密度が優れているため、近年特にＶＴＲ等
の磁気記録材料として用いられている。
【０００３】従来のその蒸着方法は、１０-5〜１０-6Ｔ
ｏｒｒ程度に真空引きした真空チャンバー内で行われ、
るつぼ中の蒸着材料を電子ビームで２０００℃程度に加
熱、溶融、蒸発させ、ベースフィルムに蒸着させてい
た。
ｏｒｒ程度に真空引きした真空チャンバー内で行われ、
るつぼ中の蒸着材料を電子ビームで２０００℃程度に加
熱、溶融、蒸発させ、ベースフィルムに蒸着させてい
た。
【０００４】ここで、蒸着材料は、蒸発した分補給しな
ければならない。その補給には、約１０ｍｍφ×１０〜
３０ｍｍのいわゆるペレット状のものを用い、るつぼの
溶湯中に落下させて行うのが一般的であった。
ければならない。その補給には、約１０ｍｍφ×１０〜
３０ｍｍのいわゆるペレット状のものを用い、るつぼの
溶湯中に落下させて行うのが一般的であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の供給方
法によった場合、ペレットの落下に伴い、蒸着材料湯面
の乱れ、溶湯の飛散、溶湯内温度分布の不均一など、蒸
着条件が不安定となる。これらは、材料の蒸発方向や蒸
着量を不安定にするため、安定した品質のテープを製造
することができないという問題があった。
法によった場合、ペレットの落下に伴い、蒸着材料湯面
の乱れ、溶湯の飛散、溶湯内温度分布の不均一など、蒸
着条件が不安定となる。これらは、材料の蒸発方向や蒸
着量を不安定にするため、安定した品質のテープを製造
することができないという問題があった。
【０００６】このような問題の対策として、蒸発材料を
長尺の線材とし、これをるつぼ内に連続供給して、蒸着
条件を安定化し、信頼性の高いテープを製造することが
考えられる。この場合、長時間の連続蒸着作業が可能に
なるというメリットもあるため、Ｃｏ−Ｎｉ合金の線材
化が要望されていた。
長尺の線材とし、これをるつぼ内に連続供給して、蒸着
条件を安定化し、信頼性の高いテープを製造することが
考えられる。この場合、長時間の連続蒸着作業が可能に
なるというメリットもあるため、Ｃｏ−Ｎｉ合金の線材
化が要望されていた。
【０００７】しかし、Ｃｏ−Ｎｉ合金は難加工性材料で
あるため、伸線加工などにより長尺化することは極めて
困難である。尚、特開昭５９−６４７３４号公報に示さ
れるように、Ｃｏ−Ｎｉ合金中にＦｅを添加し、線材の
加工性や靱性を改善する方法がある。しかしながら、こ
のような技術では、Ｃｏ−Ｎｉ合金の優れた磁気特性を
低下させるなど、別の問題が発生した。又、特開平３−
２３６４３５号公報に示されるように、合金中の不純物
限定を行い、靱性などを改善する技術もある。しかし、
合金組成の検討のみで、これだけでは十分な加工性の向
上は図れなかった。
あるため、伸線加工などにより長尺化することは極めて
困難である。尚、特開昭５９−６４７３４号公報に示さ
れるように、Ｃｏ−Ｎｉ合金中にＦｅを添加し、線材の
加工性や靱性を改善する方法がある。しかしながら、こ
のような技術では、Ｃｏ−Ｎｉ合金の優れた磁気特性を
低下させるなど、別の問題が発生した。又、特開平３−
２３６４３５号公報に示されるように、合金中の不純物
限定を行い、靱性などを改善する技術もある。しかし、
合金組成の検討のみで、これだけでは十分な加工性の向
上は図れなかった。
【０００８】本発明は、このような技術的背景のもとに
なされたもので、安定した蒸着条件が得られるよう、加
工性や靱性に優れたＣｏ−Ｎｉ合金の蒸着用材料を提供
することを目的とする。
なされたもので、安定した蒸着条件が得られるよう、加
工性や靱性に優れたＣｏ−Ｎｉ合金の蒸着用材料を提供
することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明蒸着材料は、Ｎｉが１０〜３０ｗｔ％，残
部実質的にＣｏであるＣｏ−Ｎｉ合金の蒸着用材料にお
いて、結晶構造を示すＸ線回析で、その回析ピーク高さ
（強度）、fcc(200)/｛fcc(200)+hcp(101)+hcp(100)｝
が０．３以上で、酸素量が４０ｐｐｍ以下、結晶粒径が
８０μｍ以下であることを特徴とするものである。
めに、本発明蒸着材料は、Ｎｉが１０〜３０ｗｔ％，残
部実質的にＣｏであるＣｏ−Ｎｉ合金の蒸着用材料にお
いて、結晶構造を示すＸ線回析で、その回析ピーク高さ
（強度）、fcc(200)/｛fcc(200)+hcp(101)+hcp(100)｝
が０．３以上で、酸素量が４０ｐｐｍ以下、結晶粒径が
８０μｍ以下であることを特徴とするものである。
【００１０】（蒸着材料としての条件）以下に本発明に
至った背景から順に説明する。Ｃｏ−Ｎｉ合金の長尺化
が望まれていることは先に述べたが、さらに、蒸着材料
としての適正を考えた場合、次のような条件が必要と思
われる。 優れた磁気特性を得るため、合金組成は、Ｎｉが１０
〜３０ｗｔ％，残部が実質的にＣｏであること。 合金材料の不純物が極めて低レベルであること。特
に、材料表面の汚染を少なくすること。 不純物を除去するための処理（理想的には皮はぎダイ
スによるシェービングなど）が可能な強度，靱性を有す
ること。 製品形状としては線材で、操業し易いようコイル巻き
ができ、かつコイルからの伸直，供給が可能な靱性，強
度を有すること。
至った背景から順に説明する。Ｃｏ−Ｎｉ合金の長尺化
が望まれていることは先に述べたが、さらに、蒸着材料
としての適正を考えた場合、次のような条件が必要と思
われる。 優れた磁気特性を得るため、合金組成は、Ｎｉが１０
〜３０ｗｔ％，残部が実質的にＣｏであること。 合金材料の不純物が極めて低レベルであること。特
に、材料表面の汚染を少なくすること。 不純物を除去するための処理（理想的には皮はぎダイ
スによるシェービングなど）が可能な強度，靱性を有す
ること。 製品形状としては線材で、操業し易いようコイル巻き
ができ、かつコイルからの伸直，供給が可能な靱性，強
度を有すること。
【００１１】さらに、以上の条件を満たす靱性，強度と
は、具体的には次のようなものである。 一回の加工で、減面率１０％程度の線引きが可能なこ
と。 一回の加工で、０．２ｍｍ程度のシェービング加工が
可能なこと。 巻き径が３００ｍｍφ程度のリールにコイル巻きで
き、そこから線材の引き出し，供給を行った際、断線や
折損が起こらないこと。
は、具体的には次のようなものである。 一回の加工で、減面率１０％程度の線引きが可能なこ
と。 一回の加工で、０．２ｍｍ程度のシェービング加工が
可能なこと。 巻き径が３００ｍｍφ程度のリールにコイル巻きで
き、そこから線材の引き出し，供給を行った際、断線や
折損が起こらないこと。
【００１２】（試験例）このような条件を前提に、種々
の試験を行ってみた。先ず、Ｃｏ−Ｎｉ合金の機械的特
性と加工性の関係について検討した。
の試験を行ってみた。先ず、Ｃｏ−Ｎｉ合金の機械的特
性と加工性の関係について検討した。
【００１３】（試験例１） （機械的特性と加工性の関係）純度９９．９５％以上の
Ｃｏ及びＮｉの各原料を、重量比で８０：２０となるよ
う用意し、真空溶解炉にて１０-4Torr台の真空中で溶解
した。溶解量は約５０ｋｇで、これを内径１５０ｍｍφ
の鋳型に入れ、押し湯部分を除き１５０ｍｍφ×２５０
ｍｍの良好な鋳造材を１０チャージ製造した。この鋳造
材を１１５０℃で加熱し、５０ｍｍφまで鍛造した。さ
らにその後、１１８０℃に加熱し、１０ｍｍφまで熱間
圧延した。圧延の最終仕上げ加工温度は、８００〜１０
００℃の範囲であった。
Ｃｏ及びＮｉの各原料を、重量比で８０：２０となるよ
う用意し、真空溶解炉にて１０-4Torr台の真空中で溶解
した。溶解量は約５０ｋｇで、これを内径１５０ｍｍφ
の鋳型に入れ、押し湯部分を除き１５０ｍｍφ×２５０
ｍｍの良好な鋳造材を１０チャージ製造した。この鋳造
材を１１５０℃で加熱し、５０ｍｍφまで鍛造した。さ
らにその後、１１８０℃に加熱し、１０ｍｍφまで熱間
圧延した。圧延の最終仕上げ加工温度は、８００〜１０
００℃の範囲であった。
【００１４】この圧延材を長尺化及び表面清浄化のため
穴ダイスで線引きし、その後シェービング加工を行っ
て、断線や折損が発生しないかどうか調べてみた。その
結果、問題なく線引き、シェービングができたものと、
断線や折損が多発するものがあった。これらの原因とし
ては、断線に関しては強度不足、折損に関しては靱性不
足（強度が高すぎる場合も含む）と推定される。そこ
で、折損などの発生の有無と各圧延材の引張強度，絞
り，伸びの関係を調べてみた。その結果を表１に示す。
穴ダイスで線引きし、その後シェービング加工を行っ
て、断線や折損が発生しないかどうか調べてみた。その
結果、問題なく線引き、シェービングができたものと、
断線や折損が多発するものがあった。これらの原因とし
ては、断線に関しては強度不足、折損に関しては靱性不
足（強度が高すぎる場合も含む）と推定される。そこ
で、折損などの発生の有無と各圧延材の引張強度，絞
り，伸びの関係を調べてみた。その結果を表１に示す。
【００１５】
【表１】
【００１６】同表に示すように、引張強度５０〜１５０
ｋｇｆ／ｍｍ2 、伸び、絞り各５％以上であれば製造
中，実使用中、断線，折損が起こらないことが判明し
た。しかしながら、１２０ｋｇｆ／ｍｍ2 以上では、繰
り返し曲げ時に折損する場合が時折あり、好ましくは５
０〜１２０ｋｇｆ／ｍｍ2 が良いと判断した。
ｋｇｆ／ｍｍ2 、伸び、絞り各５％以上であれば製造
中，実使用中、断線，折損が起こらないことが判明し
た。しかしながら、１２０ｋｇｆ／ｍｍ2 以上では、繰
り返し曲げ時に折損する場合が時折あり、好ましくは５
０〜１２０ｋｇｆ／ｍｍ2 が良いと判断した。
【００１７】このような試験結果をふまえて、前記の機
械的特性を得るための合金特性として、酸素量，結晶粒
径，結晶構造（Ｘ線回析によるピーク高さの比率「fcc
(200)/｛fcc(200)+hcp(101)+hcp(100)｝ 」以下fcc 比
という）に注目し、さらに検討を行った。以下の試験例
で、引張試験における目標基準は、全て引張強度５０〜
１２０ｋｇｆ／ｍｍ2 、伸び、絞り各５％以上である。
械的特性を得るための合金特性として、酸素量，結晶粒
径，結晶構造（Ｘ線回析によるピーク高さの比率「fcc
(200)/｛fcc(200)+hcp(101)+hcp(100)｝ 」以下fcc 比
という）に注目し、さらに検討を行った。以下の試験例
で、引張試験における目標基準は、全て引張強度５０〜
１２０ｋｇｆ／ｍｍ2 、伸び、絞り各５％以上である。
【００１８】（試験例２） （酸素量，結晶粒径，結晶構造，圧延温度と機械的特性
の関係）試験例１と同様に、１５０ｍｍφ×２５０ｍｍ
の良好な鋳造材を得た。このとき、酸素量は脱酸剤のＣ
でその量を制御し、酸素量が異なる４種類（サンプルＡ
〜Ｄ）のインゴット各６ケを製造した。各インゴットを
１１００℃に加熱して５０ｍｍφまで鍛造し、その後６
００〜１１００℃の温度範囲で１０ｍｍφまで熱間圧延
加工を施した。以上の工程で製造した線材の組成を以下
に示す。
の関係）試験例１と同様に、１５０ｍｍφ×２５０ｍｍ
の良好な鋳造材を得た。このとき、酸素量は脱酸剤のＣ
でその量を制御し、酸素量が異なる４種類（サンプルＡ
〜Ｄ）のインゴット各６ケを製造した。各インゴットを
１１００℃に加熱して５０ｍｍφまで鍛造し、その後６
００〜１１００℃の温度範囲で１０ｍｍφまで熱間圧延
加工を施した。以上の工程で製造した線材の組成を以下
に示す。
【００１９】 サンプル Ｃｏ(wt%) Ｎｉ(wt%) Ｃ (wt%) Ｏ (ppm) Ａ 残 ２０．１ ０．００８ ８ Ｂ 残 ２０．０ ０．００５ １３ Ｃ 残 １９．８ ０．００４ ３７ Ｄ 残 ２０．０ ０．００３ ５８
【００２０】このような各材料ついて結晶粒径，結晶構
造を調べた。その結果を、圧延温度と共に表２に示す。
造を調べた。その結果を、圧延温度と共に表２に示す。
【００２１】
【表２】
【００２２】圧延温度、結晶粒径、結晶構造にそれぞれ
幅があるのは、各材料にこれだけの幅があったことを示
している。さらに、これら各材料の靱性を調査するた
め、引張試験を実施した。その結果を表３に示す。
幅があるのは、各材料にこれだけの幅があったことを示
している。さらに、これら各材料の靱性を調査するた
め、引張試験を実施した。その結果を表３に示す。
【００２３】
【表３】
【００２４】以上の結果を解析すると、次のことが判明
した。 結晶粒径、結晶構造fcc 比は、酸素量の影響をほとん
ど受けていない。つまり、両者の相関関係はあまりない
ものと推測される。従って、結晶粒径，結晶構造fcc 比
は、酸素量とは独立に調べてみるべきである。 靱性に関して、サンプルＡ〜Ｃには良好なものもある
が、同Ｄは不適当であった。従って、酸素量は靱性と関
係があるものと推測される。 又、サンプルＡ〜Ｃは、圧延温度により、靱性が良好
なものと劣るものがあり、全般的には低温加工の方が良
い結果が得られる傾向にある。 しかし、８００℃以下で圧延した材料の中にも引張強
度、伸び、絞りが比較的低い材料があり、逆に高温加工
の材料でも各機械的特性の比較的高い材料が存在した。
した。 結晶粒径、結晶構造fcc 比は、酸素量の影響をほとん
ど受けていない。つまり、両者の相関関係はあまりない
ものと推測される。従って、結晶粒径，結晶構造fcc 比
は、酸素量とは独立に調べてみるべきである。 靱性に関して、サンプルＡ〜Ｃには良好なものもある
が、同Ｄは不適当であった。従って、酸素量は靱性と関
係があるものと推測される。 又、サンプルＡ〜Ｃは、圧延温度により、靱性が良好
なものと劣るものがあり、全般的には低温加工の方が良
い結果が得られる傾向にある。 しかし、８００℃以下で圧延した材料の中にも引張強
度、伸び、絞りが比較的低い材料があり、逆に高温加工
の材料でも各機械的特性の比較的高い材料が存在した。
【００２５】これらのことから、靱性の判断は加工温度
だけでは正確にできないと考え、さらに詳しく、酸素量
の異なる材料ごとに結晶粒径、結晶構造と機械的特性の
関係を調べることにした。
だけでは正確にできないと考え、さらに詳しく、酸素量
の異なる材料ごとに結晶粒径、結晶構造と機械的特性の
関係を調べることにした。
【００２６】（試験例３） （高酸素量材料の靱性）高酸素量の材料としてサンプル
Ｄ（酸素量５０〜５５ｐｐｍ）を、試験例２と同様の工
程で再度製造，鍛造し、５０ｍｍφ材を１０本用意し
た。これを７００，８００，９００，１０００，１１０
０℃で圧延して各２本ずつ線材を得た。そして、これら
の線材について結晶粒径，結晶構造fcc 比を調べると共
に引張試験を行った。その結果を表４に示す。
Ｄ（酸素量５０〜５５ｐｐｍ）を、試験例２と同様の工
程で再度製造，鍛造し、５０ｍｍφ材を１０本用意し
た。これを７００，８００，９００，１０００，１１０
０℃で圧延して各２本ずつ線材を得た。そして、これら
の線材について結晶粒径，結晶構造fcc 比を調べると共
に引張試験を行った。その結果を表４に示す。
【００２７】
【表４】
【００２８】同表に示すように、酸素量５０〜５５ｐｐ
ｍのサンプルＤは、結晶粒径，結晶構造fcc 比にかかわ
らず、いずれも目標基準の靱性が得られないことが確認
された。
ｍのサンプルＤは、結晶粒径，結晶構造fcc 比にかかわ
らず、いずれも目標基準の靱性が得られないことが確認
された。
【００２９】（試験例４） （中酸素量材料の靱性）次に、中酸素量の材料としてサ
ンプルＣ（酸素量３２〜３６ｐｐｍ）を、実施例２と同
様に再度製造，鍛造して５０ｍｍφ材を１０本用意し
た。これを７００，８００，９００，１０００，１１０
０℃で圧延して各２本ずつ線材を得た。そして、これら
の線材について結晶粒径，結晶構造fcc 比を調べると共
に引張試験を行った。その結果を表５に示す。
ンプルＣ（酸素量３２〜３６ｐｐｍ）を、実施例２と同
様に再度製造，鍛造して５０ｍｍφ材を１０本用意し
た。これを７００，８００，９００，１０００，１１０
０℃で圧延して各２本ずつ線材を得た。そして、これら
の線材について結晶粒径，結晶構造fcc 比を調べると共
に引張試験を行った。その結果を表５に示す。
【００３０】
【表５】
【００３１】以上の結果を詳細に検討する。全般的に
は、圧延温度の低いものが良好な結果を示す傾向にあ
る。しかし、１０００，１１００℃で圧延した材料に
は、靱性の目標基準を満たすものとそうでないものがい
ずれも存在する。結晶粒径の大きい１１００Ｂ材は引張
強度が低く、結晶構造fcc 比が０．２５の１０００Ｂ材
は伸び，絞りの点で劣った。これらのことから、靱性の
目標基準を満たす要素となるのは、圧延温度よりもむし
ろ酸素量，結晶粒径，結晶構造であることが判明した。
即ち、酸素量４０ｐｐｍ以下、結晶粒径８０μｍ以下、
結晶構造fcc 比０．３以上であれば所定の靱性が得られ
ることがわかる。
は、圧延温度の低いものが良好な結果を示す傾向にあ
る。しかし、１０００，１１００℃で圧延した材料に
は、靱性の目標基準を満たすものとそうでないものがい
ずれも存在する。結晶粒径の大きい１１００Ｂ材は引張
強度が低く、結晶構造fcc 比が０．２５の１０００Ｂ材
は伸び，絞りの点で劣った。これらのことから、靱性の
目標基準を満たす要素となるのは、圧延温度よりもむし
ろ酸素量，結晶粒径，結晶構造であることが判明した。
即ち、酸素量４０ｐｐｍ以下、結晶粒径８０μｍ以下、
結晶構造fcc 比０．３以上であれば所定の靱性が得られ
ることがわかる。
【００３２】（試験例５） （低酸素量材料の靱性）さらに、低酸素量の材料として
サンプルＡ（酸素量６〜１０ｐｐｍ）及びＢ（酸素量１
２〜１８ｐｐｍ）を、実施例２と同様に再度製造，鍛造
して５０ｍｍφ材を１０本用意した。これを７００，８
００，９００，１０００，１１００℃で圧延して各２本
ずつ線材を得た。そして、これらの線材について結晶粒
径，結晶構造fcc 比を調べると共に引張試験を行った。
サンプルＡ（酸素量６〜１０ｐｐｍ）及びＢ（酸素量１
２〜１８ｐｐｍ）を、実施例２と同様に再度製造，鍛造
して５０ｍｍφ材を１０本用意した。これを７００，８
００，９００，１０００，１１００℃で圧延して各２本
ずつ線材を得た。そして、これらの線材について結晶粒
径，結晶構造fcc 比を調べると共に引張試験を行った。
【００３３】その結果、試験例４同様、結晶粒径８０μ
ｍ以下、結晶構造fcc 比０．３以上であれば、靱性の目
標基準を満たすことが判明した。続いて、このようにし
て得られた圧延材（１０ｍｍφ）に、最終加工目標であ
る伸線加工及びシェービング加工を行った。伸線加工の
減面率は、８，１０，１５％で、シェービング加工の削
り量は、０．２，０．３，０．４ｍｍである。その結
果、引張強度５０〜１２０ｋｇｆ／ｍｍ2 、伸び、絞り
各５％以上のものは、安定して加工できることが確認で
きた。
ｍ以下、結晶構造fcc 比０．３以上であれば、靱性の目
標基準を満たすことが判明した。続いて、このようにし
て得られた圧延材（１０ｍｍφ）に、最終加工目標であ
る伸線加工及びシェービング加工を行った。伸線加工の
減面率は、８，１０，１５％で、シェービング加工の削
り量は、０．２，０．３，０．４ｍｍである。その結
果、引張強度５０〜１２０ｋｇｆ／ｍｍ2 、伸び、絞り
各５％以上のものは、安定して加工できることが確認で
きた。
【００３４】さらに、圧延材を１０００℃以下で、好ま
しくは４００〜８００℃で焼鈍した場合、一層靱性が向
上することも確認された。即ち、圧延後において伸線加
工などが不可能な材料でも、この焼鈍により結晶構造な
どが改善され、伸線加工などが可能になる。
しくは４００〜８００℃で焼鈍した場合、一層靱性が向
上することも確認された。即ち、圧延後において伸線加
工などが不可能な材料でも、この焼鈍により結晶構造な
どが改善され、伸線加工などが可能になる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明蒸着材料
は、極めて靱性に優れたものであり、圧延線材を得た
後、所定の線径に線引きしたり、表面の不純物を除去す
るシェービング加工を安定して行うことができる。従っ
て、材料を線材として蒸着装置に供給することができ、
従来ペレットによる供給で問題となった蒸着条件の不安
定性を改善することができる。さらに、シェービング加
工により一層高純度な蒸着材料を得ることができ、蒸着
層の高品質化を図ることができる。
は、極めて靱性に優れたものであり、圧延線材を得た
後、所定の線径に線引きしたり、表面の不純物を除去す
るシェービング加工を安定して行うことができる。従っ
て、材料を線材として蒸着装置に供給することができ、
従来ペレットによる供給で問題となった蒸着条件の不安
定性を改善することができる。さらに、シェービング加
工により一層高純度な蒸着材料を得ることができ、蒸着
層の高品質化を図ることができる。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C22C 19/07 C23C 14/24 G11B 5/70 H01F 10/16 H01F 41/20
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｎｉが１０〜３０ｗｔ％，残部実質的に
ＣｏであるＣｏ−Ｎｉ合金の蒸着用材料において、 結晶構造を示すＸ線回析で、その回析ピーク高さ（強
度）、fcc(200)/｛fcc(200)+hcp(101)+hcp(100)｝ が
０．３以上、 酸素量が４０ｐｐｍ以下、 結晶粒径が８０μｍ以下であることを特徴とする蒸着用
材料。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28667792A JP3228356B2 (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 蒸着用材料 |
| PCT/JP1993/000594 WO1993023586A1 (en) | 1992-05-11 | 1993-05-06 | Vapor deposition material and production method thereof |
| EP93911971A EP0603407B1 (en) | 1992-05-11 | 1993-05-06 | Vapor deposition material and production method thereof |
| ES93911971T ES2110094T3 (es) | 1992-05-11 | 1993-05-06 | Material de deposicion en forma de vapor y metodo para la produccion del mismo. |
| DE69315309T DE69315309T2 (de) | 1992-05-11 | 1993-05-06 | Material zur gasphasenabscheidung und herstellungsverfahren |
| US08/178,277 US5441010A (en) | 1992-05-11 | 1994-05-06 | Evaporation material and method of preparing the same |
| US08/861,764 US6126760A (en) | 1992-05-11 | 1997-05-22 | Evaporation material |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28667792A JP3228356B2 (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 蒸着用材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06108188A JPH06108188A (ja) | 1994-04-19 |
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1992
- 1992-09-30 JP JP28667792A patent/JP3228356B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH06108188A (ja) | 1994-04-19 |
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