JPH0530762B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0530762B2
JPH0530762B2 JP58236923A JP23692383A JPH0530762B2 JP H0530762 B2 JPH0530762 B2 JP H0530762B2 JP 58236923 A JP58236923 A JP 58236923A JP 23692383 A JP23692383 A JP 23692383A JP H0530762 B2 JPH0530762 B2 JP H0530762B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
adsorption
pressure
adsorption tower
ata
product
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP58236923A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS60231402A (ja
Inventor
Jun Izumi
Seiichi Shirakawa
Juichi Fujioka
Hiroyuki Tsutaya
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP58236923A priority Critical patent/JPS60231402A/ja
Publication of JPS60231402A publication Critical patent/JPS60231402A/ja
Publication of JPH0530762B2 publication Critical patent/JPH0530762B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
本発明は空気等のO2,N2を主成分とする混合
気体より選択的にN2を吸着するN2吸着剤を使用
してのO2,N2を主成分とする混合気体よりO2
N2を分離する方法に関するものである。 N2吸着剤を利用した空気からのO2,N2吸着分
離法は、装置が小型簡易であり、又無人運転に近
い殆ど保守を必要としない利点をもつ為、O2
造量10〜3000Nm3−O2/h程度の中小型装置と
して近年使用例が増えてきており、深冷分離装置
で作られる液体酸素を輸送して使用するケースに
ついての代替が進行している。 この装置の代表的なものの概要を述べると、装
置は空気圧縮機、及び2塔又はそれ以上のN2
着塔、又場合によつては真空ポンプ等から構成さ
れる。この装置において、1塔に圧縮空気を送る
と、充填されたN2吸着剤により空気中のN2は吸
着除去されて、残る高圧O2は吸着塔の後方に流
出し回収される。一方、他塔では吸着したN2
減圧条件で放出させ(時として製品O2の一部を
向流で流すとか、真空ポンプで強力にN2を除去
する方法もとられる)再生する。これを交互にく
り返して連続的にO2,N2を分離する。上記の吸
着塔に充填していたN2吸着剤の代表的なものは、
ユニオンカーバイド社により実用化されたNa−
A型ゼオライトの60〜70%Ca交換体であり、O2
N22成分混合ガスからN2を選択的に吸着するも
のであつて、空気条件下でのO2の共吸着はN2
着の10%以下と推定される。 この吸着によるO2,N2分離装置は中小型領域
で有利と前述したが、1Nm3のO2を製造するのに
0.75〜1Kwhを必要とし、大容量深冷分離法で製
造されるO2の0.45Kwhに比し消費電力は大きい。
又装置容量の増大に対するスケールメリツトが少
く、3000Nm3−O2/h以上の領域では深冷分離
法に競合できないといわれている。 従つて、これら欠点についての改善方法が種々
考えられるが、本発明に関連して改善方法を述べ
ると以下のような障害が通常出現する。 先ず、消費電力の低減については、送風圧力を
低くして低圧で吸着操作を行なう事が考えられる
が、N2吸着量が圧力にほぼ比例して低下する為、
装置の容量が極めて増大する。次に、吸着量の増
大を図る為に、低温条件で吸着操作を行なう事が
考えられるが、この場合はN2吸着量は増大する
ものの吸着・脱着速度が著しく低下する為、同一
塔長での製品O2濃度が室温時よりもかえつて低
下してしまう。又温度の低下に伴ないN2吸着時
のO2共吸着量が上昇する為、動力原単位が漸次
上昇する。 そこで本発明者は、上記欠点を改善した低温低
圧吸着条件下での高性能なO2,N2の分離方法に
つき鋭意研究、実験を進める過程で、低温、低圧
領域でN2吸着時のO2共吸着量が著しく上昇する
(N2選択性が低下する)為、全く実用に供し得な
いと思われたCa−Na−A型ゼオライト(以下Ca
−Na−Aと記す。)も、詳細に調べると少くとも
50%を超えないO2濃度領域では、特願昭58−
54626号公報に、示されたNa−X型ゼオライト
(以下Na−Xと記す)とほぼ同程度のN2選択性
を維持したまま、N2吸着量に於いて18〜20%大
きい事を見出した。すなわち本発明は室温以下の
温度下で、酸素及び窒素を主成分とする混合気体
を大気圧以上3ata以下で、N2吸着塔に流入させ
て該混合気体に含まれる窒素を選択的に吸着せし
め、該吸着塔出口から高純度酸素又は酸素富化ガ
スを流出させ、一方窒素を吸着した吸着塔を
0.045ata以上0.55ata以下に減圧せしめて再生す
る低温、低圧条件下での混合気体からの酸素及び
窒素の分離に於いて、塔内O2濃度が50%を超え
ない吸着塔の上流側にCa−Na−Aを充填し、吸
着塔の下流側に少くとも5wt%以上のアルミン酸
ナトリウム塩とNa−Xとを混合して、450℃以上
で他のバインダー(例えばカオリナイト、ハロイ
サイトetc)と共に焼成してペレツト成形した吸
着剤(以下、Na−X−Al2O3と記す)を充填す
る事により、吸着塔全体としては、より大きな
N2吸着量と、従来のN2選択性を維持したN2吸着
塔を使用した混合気体からの酸素製造方法を提案
するものである。 以下本発明の方法について実施例により詳細に
説明する。 実施例 本発明の有効性を実証する為第1図に示す空気
分離装置で空気からのN2吸着剤によるO2,N2
離を試みた。 以下第1図に基づいて実施した内容を説明す
る。 入口側ライン1を通じて圧縮機2で1.05〜3ata
に加圧された空気は、流路3から脱湿脱CO2塔4
に入り、極めて清浄な加圧空気となる。流路3′
の後流に設置されたバルブ5は開となつており、
清浄な加圧空気は流路6及び開状態のバルブ7を
通じて吸着塔8に入る。吸着塔8に入つた加圧空
気はN2吸着剤9でN2が吸着除去されて後方に行
くに従がいO2濃度が上昇する。この後加圧空気
は開状態のバルブ10,11,12及びバルブ1
1,12の間に挿入された製品O2タンク13を
通じて製品O2として回収される。一方、製品O2
の一部は流路14の途中にある減圧弁15で減圧
されて、開状態のバルブ10′を通じて吸着塔
8′に入る。吸着塔8′は開状態のバルブ16及び
流路17を通じて連結された真空ポンプ18で減
圧されひかれており、この為吸着塔8′は空気流
れと反対方向の製品O2の一部が負圧状態で流れ、
吸着塔8′中の吸着剤9′に吸着されていたN2
容易に離脱され吸着剤9′は短時間で再生される。
一般的には、製品O2パージライン14、減圧弁
15は圧力スイング法では必須条件であるとなつ
ているが(例えば特公昭51−32600号公報に減圧
条件と生成物パージングの条件P/F比について
の記載がある。)Na−Xを充填した場合やO2
度が50%を超えない吸着塔の吸着工程における上
流側にCa−Na−Aを充填し、その下流側にNa
−X−Al2O3を充填した場合には、製品O2パージ
ライン14及び減圧弁15による製品O2再循環
は不用であり単に減圧だけでも再生は可能とな
る。吸着塔8のN2吸着剤9が飽和し、一方吸着
塔8′のN2吸着剤9′からN2が離脱して再生が済
むと、入口空気の流路6を6′に切り換え、今迄
述べた方法を交互に行なうと製品O2が連続的に
回収できる。なお、入口の清浄な加圧空気のライ
ン3′と離脱N2を主成分とするガスライン17の
間は熱交換器19で、熱交換可能となつており、
製品O2ライン21と流路3′との間も又熱交換器
22で熱交換可能となつている。又流路3′には
圧縮式冷凍機20が設置されている為、極めて能
率的に吸着塔8及び8′は冷却され低温条件に設
定される。なお、吸着塔の切り換えにあたつて
は、単純に流路6から6′へ(又はその逆)切り
換えるだけでなく、切り換え直後の昇圧に伴なう
入口空気の吹きぬけを防ぎかつ、吸着塔の後方に
残存するO2及び前方の加圧空気の系外への放出
を最小にする為、先ず、バルブ10,15,1
0′を全開にして吸着直後の吸着塔8の後方の残
存O2を再生直後の吸着塔8′に一部移す。この時
吸着塔8の圧力をP0(ata)吸着塔8′の圧力をP1
(ata)とすると、均圧後の圧力は約P0+P1/2 (ata)となる。この後約P0+P1/2(ata)となつ た吸着塔8′はバルブ10′,11′を開として製
品O2タンク13と吸着塔を均圧化して吸着塔
8′を更に高圧のO2で満たす。製品O2タンク13
との均圧時の圧力P2(ata)は吸着塔8,8′の死
容積(吸着塔内の吸着剤で占められていない空間
の容積)をV1(l)、製品O2タンクの容量をV2
(l)とし、均圧前の製品O2タンク13の圧力を
P0(ata)にほぼ等しいとすると、均圧化圧力P2
(ata)は、概略 P2=P0+P1/2V1+P0V2/V1+V2 となり、単に塔を切り換える時のP1(ata)から
P0(ata)への急速な昇圧に比べ、以上の操作で
はP1(ata),P0+P1/2(ata),P2(ata),P0(ata
) とゆるやかに昇圧する為、昇圧時の空気の吹き抜
けを防止しつつ、脱着工程での残存O2、高圧空
気の系外への放出を最小にする様な対策が可能と
なつている。 以上の操作方法で第1図に示した空気分離装置
で空気分離を行なつた。装置の操作諸元を第1表
に示す。
【表】 第2表に充填した吸着剤の態様を示す。
【表】 なお、ここではNa−X70重量部にアルミン酸
ナトリウム15重量部、カオリナイト15重量部を混
合して450℃で1時間焼成してペレツト成形した
Na−X−Al2O3を使用した。 先づ全ての実施例に先立つて、Ca−Na−A及
びNa−Xの低温、低圧での吸着特性を把握する
為に、第3表に示すような試験条件で分離特性を
調べた。
【表】
【表】 操作条件は吸着塔圧力1.2ata、脱着圧力
0.2ata、吸着塔温度−15℃に設定し、他の条件は
第1表に等しい。この条件での実施した結果を第
4表に示す。
【表】 以上の結果から発明者等は、Ca−Na−A及び
Na−Xの低温、低圧条件での分離特性に極めて
高いO2濃度依存性のある事を見出した。即ち、 少くとも50%前後のO2濃度領域迄はCa−Na
−AとNa−Xの間にN2選択性に大差のない事
が、脱着ガス中のO2濃度の比較から判る。 少くとも50%前後のO2濃度領域迄は、の
結果を考慮すると、Ca−Na−Aの方がNa−
Xよりも約20%N2吸着量が大きい分、吸着塔
の設計上極めて有利となる。 50%を超えるO2濃度域では、Na−Xの方が
Ca−Na−Aに比べN2選択性がかなり高い為、
製品O2濃度及び物質収支のいずれでも優れて
いる。 等に要約される。 これを吸着塔の経済性から考察すると、上流側
にCa−Na−A、下流側にNa−Xを設置する方
法の妥当性が更に付加される。 ここでCa−Na−AとNa−Xを比較すると、 Ca−Na−Aの方が、汎用性が大きい事から
Na−Xに比べ大量に使われており量産効果が
大きい。 Ca−Na−Aの方がNa−Xに比べ水熱合成
が容易である。 等の事から、Ca−Na−AはNa−Xよりも約30
%程安価に供給されている。しかし添加剤として
アルミン酸ナトリウム等アルミニウム源を使用す
る事は約10%の価格の上昇となる。 この為、第2表の充填態様を、吸着剤の価格で
評価すると、 Na−X:1/2Ca−Na−A+1/2Na−X−
Al2O3=1:0.9となる。 即ち、Na−X以上のO2回収率又はO2製造量を
1/2Ca−Na−A+1/2Na−X−Al2O3が示し
たとすれば特願昭58−54626号のNa−X−Al2O3
の高いN2選択性を維持しつつ吸着剤のコスト低
減を実現し得た事となる。 これらの効果を考慮しつつ、第1表の操作条件
及び第2表の充填態様で空気からO2,N2を分離
した場合を第2図以下に要約する。以下第2図か
ら逐次O2濃度が50%を超えない吸着塔の吸着工
程における上流側にCa−Na−Aをそれよりも下
流側にNa−X−Al2O3を充填した分離方法の従
来のCa−Na−A単独、又はNa−X単独での充
填方法に対する主たる改善点を説明する。 第2図は製品O2濃度92%、吸着圧力1.2ata、脱
着圧力0.2ata、サイクルタイム4分10秒、温度25
〜−50℃に於ける結果であり、横軸は吸着温度、
縦軸はSV値を示す。SV値は92%の製品O2を回
収する時の、入口空気量〔Nm3−空気/h〕を装
置全体の吸着塔容量〔m3〕で除したものである。 図中◎は、本発明の1/2Ca−Na−A+1/
2Na−X−Al2O3の場合、○印はNa−Xの場合、
●印はCa−Na−Aの場合を示す。 室温付近では3者とも大差がないが、温度の降
下に伴ない1/2Ca−Na−A+1/2Na−X−
Al2O3が他の2者よりも約10%程度大きいSV値
を示している。(SV値は、単に空気処理量を示す
因子でO2回収率、O2製造量と併せた評価が必要
であることは言うまでもない。) 第3図に於いて、横軸は温度を、縦軸は製品
O2回収率を示す。 なお製品O2回収率R(%)は、 R=(製品O2量)×(製品O2濃度)/(入口空気量)×
(入口空気中O2濃度) ×100〔%〕 で定義している。 操作条件は第2図の場合と同じである。図中の
記号◎,○,●印も第2図の場合と同じである。 第3図に於いて、温度の低下に伴ないCa−Na
−Aでは製品O2回収率は低下し、Na−Xでは上
昇している事は、特願昭−58−54626の再確認で
あるが、ここで注目すべきは1/2Ca−Na−A
+1/2Na−X−Al2O3が、Na−Xよりも数%
大きなO2回収率を示している事である。第2図
の結果とあわせ考えると、1/2Ca−Na−A+
1/2Na−X−Al2O3はNa−Xと比べると数%
大きな製品O2回収率を保ちながら、約10%程度
多量のO2を同一容量の吸着塔で処理できる事と
なる。(温度としては、著効のでるのは、−30〜+
15℃の範囲である。) 以上単位容量のO2を製造するに必要な吸着剤
量として評価するとNa−Xを1とすると Na−X:1/2Ca−Na−A+1/2Na−X−
Al2O3=1:0.75 となり、Na−X単独使用の場合に比べ吸着剤価
格としては25%近いコスト低減となる。 次に、吸着圧力による1/2Ca−Na−A+
1/2Na−X−Al2O3の特性を調べる為、他の操
作条件は第2図、第3図のものと同じくし、吸着
温度は−20℃にして、吸着圧力のみ1〜6ata迄昇
圧した。 その結果を第4図に示す。第4図に於いて横軸
は吸着圧力、縦軸は製品O2回収率R(%)を示
す。 図中◎は1/2Ca−Na−A+1/2Na−X−
Al2O3の場合を示し、○はNa−Xの場合を示す。 第4図から明らかなように3ata迄はほぼ一定の
製品O2回収率を示すのに、それ以上では低下す
る。これは、圧力の上昇に伴なうN2吸着量の上
昇は鈍化するのに対し、O2吸着量の上昇が余り
鈍化しない為のN2選択性の低下及び、塔内残存
空気量の昇圧による上昇が効いているものと思わ
れる。特性はNa−Xと余り異ならない。 次に脱着圧力による1/2Ca−Na−A+1/
2Na−X−Al2O3の特性を調べる為、他の操作条
件は第4図の場合と同じくし、吸着圧力は1.2ata
にして脱着圧力のみ1Torrから0.5ata迄変化させ
た。第5図で、横軸は脱着圧力、縦軸は製品O2
回収率を示す。又図中の記号は第4図の場合と同
じである。 第5図から明らかなように脱着圧力の低下に伴
ない製品O2回収率の大巾な上昇がみられる。 これは、圧力スイング法に於いては、脱着圧力
の低下に対し、N2吸着量は大きく上昇するが、
O2吸着量はあまり変化しない為、結果的には低
圧にする程N2選択性が上昇する為と考えられる。
(これは、第5図データを採取する時に脱着ガス
量とそのO2濃度を計測していて判明した。1/
2Ca−Na−A+1/2Na−X−Al2O3の場合の結
果の一部を第5表に示す。
【表】 第6図は、第5図の物質収支に基づき、O2
造量1000Nm3/h以上の大容量装置での1Nm3
O2を製造するに必要な消費電力を計算したもの
である。図中の記号は第5図の場合と同じであ
る。この領域に於いては、モータ、回転機器間の
伝達損失が無視できる為、入口送風機、脱着用真
空ポンプとも効率は80%を超える。この様な動力
構成でO2を製造すると、この領域では、0.045〜
0.55ataの領域に於いて、消費電力が0.6Kwh/N
m3−O2を下廻り、従来の圧力スイング法(例え
ば、吸着剤としてCa−Na−Aを使用し、吸着圧
力4ata、脱着圧力0.1ata、吸着温度25℃での消費
電力0.65〜1Kwh/Nm3−O2)を下廻る。 特に最小値近傍(0.1〜0.25ata付近)では、消
費電力は0.35Kwh/Nm3−O2達し深冷分離法を
大幅に下廻る。 第7図は、第2図、第3図と同じ操作条件で、
脱着圧力を0.2ataに設定し、パージガス量比を変
更した時の製品O2回収率の変化を示したもので
ある。 再生パージガス量比P/Fは、 P/F=〔再生ガスとして消費したO2量(Nl/half−
cycle〕/〔出口製品O2量(Nl/half−cycle)〕 で定義した。 図中の記号は、第6図の場合と同じである。 第7図から判る様に、1/2Ca−Na−A+
1/2Na−X−Al2O3,Na−Xとも再生パージ
の為に製品O2の一部を消費する必要のない事が
判る。 以上詳細に説明したように、本発明は所要の動
力原単位及び吸着剤量が従来の吸着剤法に比べ少
なく、かつ安価な吸着剤の使用法で産業上非常に
有用な混合気体からの酸素製造方法を提案するも
のである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の酸素製造方法を実施するのに
用いられる空気分離装置の例示図、第2図は温度
とSV値との関係を示すグラフ、第3図は温度と
製品O2回収率との関係を示すグラフ、第4図は
吸着圧力と製品O2回収率との関係を示すグラフ、
第5図は脱着圧力と製品O2回収率との関係を示
すグラフ、第6図は脱着圧力と1Nm3−O2/hの
O2を製造するに必要な消費電力との関係を示す
グラフ、第7図は、再生パージガス量比を示す
P/F比と製品O2回収率との関係を示すグラフ
である。 2……圧縮機、4……脱湿脱CO2塔、8……吸
着塔、13……製品O2タンク、18……真空ポ
ンプ、20……圧縮式冷凍機。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 N2吸着剤を充填した少くとも2塔の吸着塔
    において、室温以下の温度下で、酸素及び窒素を
    主成分とする混合気体を大気圧以上3ata以下で吸
    着塔に流入させて該混合気体に含まれる窒素を選
    択的に吸着せしめ、該吸着塔出口から高純度酸素
    又は酸素富化ガスを流出させ、一方窒素を吸着し
    た吸着塔を0.045ata以上0.55ata以下に減圧せし
    めて再生する低温、低圧条件下での混合気体から
    N2を吸着分離するに際し、吸着塔の吸着工程に
    おける上流側にCa−Na−A型ゼオライトを、下
    流側にアルミナ添加Na−X型ゼオライトを充填
    したことを特徴とするCa−Na−A,Na−X−
    Al2O3を使つたN2吸着塔による酸素製造方法。
JP58236923A 1983-12-15 1983-12-15 Ca−Νa−A,Νa−X−Al↓2O↓3を使つたΝ↓2吸着塔による酸素製造方法 Granted JPS60231402A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58236923A JPS60231402A (ja) 1983-12-15 1983-12-15 Ca−Νa−A,Νa−X−Al↓2O↓3を使つたΝ↓2吸着塔による酸素製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58236923A JPS60231402A (ja) 1983-12-15 1983-12-15 Ca−Νa−A,Νa−X−Al↓2O↓3を使つたΝ↓2吸着塔による酸素製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60231402A JPS60231402A (ja) 1985-11-18
JPH0530762B2 true JPH0530762B2 (ja) 1993-05-10

Family

ID=17007750

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58236923A Granted JPS60231402A (ja) 1983-12-15 1983-12-15 Ca−Νa−A,Νa−X−Al↓2O↓3を使つたΝ↓2吸着塔による酸素製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60231402A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07209221A (ja) * 1993-11-05 1995-08-11 Degussa Ag 成形体の断熱作用を試験する方法

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5698013A (en) * 1994-03-18 1997-12-16 Uop Nitrogen-selective zeolitic adsorbent for use in air separation process
US5454857A (en) * 1994-03-18 1995-10-03 Uop Air separation process
DE19518407A1 (de) * 1995-05-19 1996-11-21 Bayer Ag Verfahren zur adsorptiven Sauerstoffanreicherung von Luft mit Mischungen aus Molekularsieb-Zeolithen
DE19528188C1 (de) * 1995-08-01 1996-12-05 Bayer Ag Verfahren zur Adsorption von Stickstoff aus Gasgemischen mittels Druckwechseladsorption mit Zeolithen
JP2010042331A (ja) * 2008-08-11 2010-02-25 Kyuchaku Gijutsu Kogyo Kk 圧力スイング吸着法によるオゾン製造装置を搭載したバラスト水処理装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07209221A (ja) * 1993-11-05 1995-08-11 Degussa Ag 成形体の断熱作用を試験する方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPS60231402A (ja) 1985-11-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4315666B2 (ja) 合成ガス精製方法
JP2002301329A (ja) 酸素回収のためのサイクル式圧力スイング吸着方法及び装置
CA1313627C (en) Adsorptive purification process
JPH0459926B2 (ja)
JPS6241055B2 (ja)
JPH0592120A (ja) 酸素富化方法
JPH0530762B2 (ja)
JP4621252B2 (ja) 空気液化分離における原料空気の精製方法および精製装置
JPH0378126B2 (ja)
JPH0455964B2 (ja)
JP2596952B2 (ja) 窒素製造方法
JPS59179127A (ja) 低温、低圧条件下での混合気体からの酸素及び窒素の分離方法
JPH0455965B2 (ja)
JPH06178933A (ja) 酸素吸着剤及び酸素と窒素の分離方法
JPH0255202A (ja) 酸素富化ガスの製造法
JPH0141379B2 (ja)
JPH0768042B2 (ja) 高純度酸素製造方法
JPH06178934A (ja) 酸素吸着剤及び酸素と窒素の分離方法
JPH05192528A (ja) 混合気体からの酸素と窒素の分離方法
JPH0825727B2 (ja) 窒素製造方法
JPS621434A (ja) ガス分離装置の脱湿・冷熱回収方法
JPH0573449B2 (ja)
JPS6226808B2 (ja)
JPS6358614B2 (ja)
JPS6161611A (ja) 混合気体からの酸素及び窒素の分離法