JPH05304393A - 基板分離装置 - Google Patents
基板分離装置Info
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- JPH05304393A JPH05304393A JP4107241A JP10724192A JPH05304393A JP H05304393 A JPH05304393 A JP H05304393A JP 4107241 A JP4107241 A JP 4107241A JP 10724192 A JP10724192 A JP 10724192A JP H05304393 A JPH05304393 A JP H05304393A
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- substrates
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 積層された最上段の基板を一定の高さで水平
に補正して、安定した基板の吸着,分離を可能にし、次
工程の実装ラインに供給できるようにする。 【構成】 装置本体11の両起立部11b,11b′に
各駆動軸13及びモータ15等を介して4つの受台12
を上下方向に移動自在に配設してある。これら各受台1
2上には積層された基板110を載置する基板載置台1
8を各自在継手17を介して支持してある。この基板載
置台18の上方には最上段の基板110を吸着して1枚
ずつ吸着分離させる3つの吸着パッド23を昇降動自在
に設けてある。4つの受台12は各駆動軸13等を介し
てそれぞれ昇降動する。これにより、各受台12の高さ
は別々に可変され、最上段の基板110は常に一定の高
さで水平になる。
に補正して、安定した基板の吸着,分離を可能にし、次
工程の実装ラインに供給できるようにする。 【構成】 装置本体11の両起立部11b,11b′に
各駆動軸13及びモータ15等を介して4つの受台12
を上下方向に移動自在に配設してある。これら各受台1
2上には積層された基板110を載置する基板載置台1
8を各自在継手17を介して支持してある。この基板載
置台18の上方には最上段の基板110を吸着して1枚
ずつ吸着分離させる3つの吸着パッド23を昇降動自在
に設けてある。4つの受台12は各駆動軸13等を介し
てそれぞれ昇降動する。これにより、各受台12の高さ
は別々に可変され、最上段の基板110は常に一定の高
さで水平になる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、積み重ねられたプリ
ント基板(以下基板と略称する)を最上段側から1枚ず
つ吸着分離して実装ラインに供給する際に用いる基板分
離装置に関する。
ント基板(以下基板と略称する)を最上段側から1枚ず
つ吸着分離して実装ラインに供給する際に用いる基板分
離装置に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、基板を吸着(真空)パッドで吸
着し,積層された基板から最上段の基板を1枚だけ分離
して実装ラインへ供給する際に用いる基板分離装置が知
られている。これを、図7によって具体的に説明する
と、図中100は基板分離装置であり、その側面凵字状
の装置本体101の上部には3〜4本の吸着パッド10
2を昇降動自在に設けてある。そして、上記装置本体1
01の下部中央に積層載置された最上段の基板110を
各吸着パッド102で吸着して1枚ずつ分離し、装置本
体101の上部側に配設された図示しないコンベヤ上ま
で搬送し、このコンベヤにより基板110を実装ライン
へ供給するようになっている。
着し,積層された基板から最上段の基板を1枚だけ分離
して実装ラインへ供給する際に用いる基板分離装置が知
られている。これを、図7によって具体的に説明する
と、図中100は基板分離装置であり、その側面凵字状
の装置本体101の上部には3〜4本の吸着パッド10
2を昇降動自在に設けてある。そして、上記装置本体1
01の下部中央に積層載置された最上段の基板110を
各吸着パッド102で吸着して1枚ずつ分離し、装置本
体101の上部側に配設された図示しないコンベヤ上ま
で搬送し、このコンベヤにより基板110を実装ライン
へ供給するようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の基板分離装
置100を用いて積層された基板110を1枚ずつ分離
する場合に、図6に示すように、基板110に既に実装
されているIC等の電子部品111,112の大きさが
違うために積層された基板110が斜めに傾いて来る
が、この場合、積み重ねられて積層された最上段の基板
110の傾斜角が特に大きくなるため、3〜4本の吸着
パッド102が均一に最上段の基板110に当たらず、
基板110の積層高さが高くなればなる程吸着パッド1
02による吸着ミスが起こり易い欠点があった。さら
に、上記積層された基板110は、図7(b)に示すよ
うに、上記各吸着パッド102で吸い上げられる度に残
りの枚数が少なくなり、枚数が減る毎に最上段の基板1
10の傾きも微妙に変化して来るため、基板110の傾
きと吸着パッド102の当たる位置が変わって来る。こ
のため、吸着パッド102の位置を積層された総ての基
板110に合わせにくく、また、積層された基板110
が少なくなると、吸着パッド102の移動ストロークが
変化するため、吸着パッド102の吸着エラーとなり易
かった。
置100を用いて積層された基板110を1枚ずつ分離
する場合に、図6に示すように、基板110に既に実装
されているIC等の電子部品111,112の大きさが
違うために積層された基板110が斜めに傾いて来る
が、この場合、積み重ねられて積層された最上段の基板
110の傾斜角が特に大きくなるため、3〜4本の吸着
パッド102が均一に最上段の基板110に当たらず、
基板110の積層高さが高くなればなる程吸着パッド1
02による吸着ミスが起こり易い欠点があった。さら
に、上記積層された基板110は、図7(b)に示すよ
うに、上記各吸着パッド102で吸い上げられる度に残
りの枚数が少なくなり、枚数が減る毎に最上段の基板1
10の傾きも微妙に変化して来るため、基板110の傾
きと吸着パッド102の当たる位置が変わって来る。こ
のため、吸着パッド102の位置を積層された総ての基
板110に合わせにくく、また、積層された基板110
が少なくなると、吸着パッド102の移動ストロークが
変化するため、吸着パッド102の吸着エラーとなり易
かった。
【0004】そこで、この発明は、積層された基板を1
枚ずつ吸着分離する際に、最上段の基板が一定の高さで
水平になるようにして吸着手段での吸着を確実に行える
ようにした基板分離装置を提供するものである。
枚ずつ吸着分離する際に、最上段の基板が一定の高さで
水平になるようにして吸着手段での吸着を確実に行える
ようにした基板分離装置を提供するものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】装置本体に、積層された
基板を支持する受台を設け、この受台の上方に上記最上
段の基板を吸着して1枚ずつ吸着分離させる吸着手段を
設け、この吸着手段で分離された基板をローダに供給す
るようにした基板分離装置において、上記受台を上下方
向に移動自在に複数配設し、これら各受台上に基板載置
台を自在継手を介して支持し、この基板載置台上に積層
載置された最上段の基板が水平になるように上記各受台
の高さをそれぞれ可変自在に構成してある。
基板を支持する受台を設け、この受台の上方に上記最上
段の基板を吸着して1枚ずつ吸着分離させる吸着手段を
設け、この吸着手段で分離された基板をローダに供給す
るようにした基板分離装置において、上記受台を上下方
向に移動自在に複数配設し、これら各受台上に基板載置
台を自在継手を介して支持し、この基板載置台上に積層
載置された最上段の基板が水平になるように上記各受台
の高さをそれぞれ可変自在に構成してある。
【0006】
【作用】基板載置台に積層載置された最上段の基板が一
定の高さで水平になるように、該基板載置台を支持して
いる各受台を移動させて該各受台の高さをそれぞれ可変
させる。これにより、積層載置された最上段の基板の上
面(吸着面)は常に一定の高さで水平になり、吸着手段
により確実に吸着される。その結果、吸着手段による基
板の吸着ミスがなくなり、基板は1枚ずつ確実に分離さ
れて次工程へ供給される。
定の高さで水平になるように、該基板載置台を支持して
いる各受台を移動させて該各受台の高さをそれぞれ可変
させる。これにより、積層載置された最上段の基板の上
面(吸着面)は常に一定の高さで水平になり、吸着手段
により確実に吸着される。その結果、吸着手段による基
板の吸着ミスがなくなり、基板は1枚ずつ確実に分離さ
れて次工程へ供給される。
【0007】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面と共に詳述
する。
する。
【0008】図1,2において、10は基板分離装置で
ある。この基板分離装置10は、図5に示すように、積
層された基板110の最上段の基板110を吸い上げて
コンベヤ27上に載せ、他のコンベヤ2を介して実装機
1へ基板110を送り、この実装機1で他の電子部品を
挿入する際に用いられるものである。
ある。この基板分離装置10は、図5に示すように、積
層された基板110の最上段の基板110を吸い上げて
コンベヤ27上に載せ、他のコンベヤ2を介して実装機
1へ基板110を送り、この実装機1で他の電子部品を
挿入する際に用いられるものである。
【0009】この基板分離装置10の筐型の装置本体1
1は底部11aと長,短の両起立部11b,11b′と
で側面凵字状に形成してある。この装置本体11の両起
立部11b,11b′の対向する各内面側の左右には各
一対の開口部11c,11cを上下方向に長尺形成して
あり、この各開口部11cより矩形板状の受台12の先
端側を水平に突出させている。この4つの受台12の基
部にはスクリューネジ状の駆動軸13をそれぞれ螺合し
てある。この4本の各駆動軸13の下側には傘歯車(ベ
ベルギヤ)14を固定してある。この各傘歯車14は駆
動手段としての各モータ15の回動軸15aの先端に固
定された傘歯車16にそれぞれ噛合している。この各モ
ータ15の駆動により各受台12は駆動軸13を介して
各開口部11cに沿って昇降動自在になっている。これ
ら4つの受台12上には各自在継手(ユニバーサルジョ
イント)17を介して基板110と略同形で矩形板状の
基板載置台18を支持してある。上記各自在継手17は
各受台12の先端中央に突設した球状部17aと、基板
載置板18下面の四隅に固定されて上記球状部17aを
遊嵌する略皿状の各軸受部17bとを備えている。これ
により、図1に示すように、上記基板載置台18は4つ
の受台12を介して3次元的に持ち上げ可能になってい
る。尚、図3に示すように、この基板載置台18には基
板110の有無を検出する反射型の光学センサ19を取
付けてある。
1は底部11aと長,短の両起立部11b,11b′と
で側面凵字状に形成してある。この装置本体11の両起
立部11b,11b′の対向する各内面側の左右には各
一対の開口部11c,11cを上下方向に長尺形成して
あり、この各開口部11cより矩形板状の受台12の先
端側を水平に突出させている。この4つの受台12の基
部にはスクリューネジ状の駆動軸13をそれぞれ螺合し
てある。この4本の各駆動軸13の下側には傘歯車(ベ
ベルギヤ)14を固定してある。この各傘歯車14は駆
動手段としての各モータ15の回動軸15aの先端に固
定された傘歯車16にそれぞれ噛合している。この各モ
ータ15の駆動により各受台12は駆動軸13を介して
各開口部11cに沿って昇降動自在になっている。これ
ら4つの受台12上には各自在継手(ユニバーサルジョ
イント)17を介して基板110と略同形で矩形板状の
基板載置台18を支持してある。上記各自在継手17は
各受台12の先端中央に突設した球状部17aと、基板
載置板18下面の四隅に固定されて上記球状部17aを
遊嵌する略皿状の各軸受部17bとを備えている。これ
により、図1に示すように、上記基板載置台18は4つ
の受台12を介して3次元的に持ち上げ可能になってい
る。尚、図3に示すように、この基板載置台18には基
板110の有無を検出する反射型の光学センサ19を取
付けてある。
【0010】また、上記装置本体11の高い方の起立部
11bの上端にはパット支持板20を底部11aに平行
に対向するように突設してある。このパット支持板20
の片側には長,中,短の突出片部20a,20b,20
cを有しており、この各突出片部20a,20b,20
cの先端側には小型のエアシリンダ21をそれぞれ取付
けてある。この各エアシリンダ21のロッド22の下端
にはゴム製で逆円錐状の吸着パッド(吸着手段)23を
それぞれ設けてある。各吸着パッド23には、該各吸着
パッド23内を真空にする圧縮ポンプ(図示しない)に
接続されたエアホース24をそれぞれ接続してある。こ
の各吸着パッド23内を略真空状態にすることで4つの
各受台12上に支持された基板載置台18上の最上段の
基板110が真空吸着されて1枚ずつ分離されるように
なっている。
11bの上端にはパット支持板20を底部11aに平行
に対向するように突設してある。このパット支持板20
の片側には長,中,短の突出片部20a,20b,20
cを有しており、この各突出片部20a,20b,20
cの先端側には小型のエアシリンダ21をそれぞれ取付
けてある。この各エアシリンダ21のロッド22の下端
にはゴム製で逆円錐状の吸着パッド(吸着手段)23を
それぞれ設けてある。各吸着パッド23には、該各吸着
パッド23内を真空にする圧縮ポンプ(図示しない)に
接続されたエアホース24をそれぞれ接続してある。こ
の各吸着パッド23内を略真空状態にすることで4つの
各受台12上に支持された基板載置台18上の最上段の
基板110が真空吸着されて1枚ずつ分離されるように
なっている。
【0011】また、図1に示すように、上記装置本体1
1の両起立部11b,11b′の各一対の開口部11
c,11cの上部位置には検出手段としての反射型の光
学センサ25をそれぞれ取付けてあると共に、各一対の
開口部11c,11cの下部位置には検出手段としての
反射型の光学センサ26をそれぞれ取付けてある。上記
4つの光学センサ25により基板載置台18に積層載置
された最上段の基板110の一定の高さでの水平状態を
検出するようになっている。この各光学センサ25で最
上段の基板110を検出して各光学センサ25に対応す
る前記各モータ15を正,逆回転させて各駆動軸13の
回動を制御するようになっている。また、上記4つの光
学センサ26により基板載置台18の最降下位置の初期
位置を検出するようになっている。さらに、上記両起立
部11b,11b′の各一対の光学センサ25,25の
上方には、コンベヤの一対のレール(ローダ)27,2
7を水平方向に進退動自在に配設してある。この一対の
レール27,27が吸着パッド23側に進出した時に、
各吸着パッド23により吸着された基板110を上記一
対のレール27,27上に落下載置させて前記実装機1
側のコンベヤ2に供給するようになっている。
1の両起立部11b,11b′の各一対の開口部11
c,11cの上部位置には検出手段としての反射型の光
学センサ25をそれぞれ取付けてあると共に、各一対の
開口部11c,11cの下部位置には検出手段としての
反射型の光学センサ26をそれぞれ取付けてある。上記
4つの光学センサ25により基板載置台18に積層載置
された最上段の基板110の一定の高さでの水平状態を
検出するようになっている。この各光学センサ25で最
上段の基板110を検出して各光学センサ25に対応す
る前記各モータ15を正,逆回転させて各駆動軸13の
回動を制御するようになっている。また、上記4つの光
学センサ26により基板載置台18の最降下位置の初期
位置を検出するようになっている。さらに、上記両起立
部11b,11b′の各一対の光学センサ25,25の
上方には、コンベヤの一対のレール(ローダ)27,2
7を水平方向に進退動自在に配設してある。この一対の
レール27,27が吸着パッド23側に進出した時に、
各吸着パッド23により吸着された基板110を上記一
対のレール27,27上に落下載置させて前記実装機1
側のコンベヤ2に供給するようになっている。
【0012】以上実施例の基板分離装置10による基板
分離動作を、図4に示すフロチャートに沿って説明す
る。初期位置(最降下位置)にある基板載置台18は各
光学センサ26の位置で水平になっている。この基板載
置台18上に多数の基板110を供給して積層載置する
(ステップ1)。次に、装置本体11に設けられたスタ
ートスイッチ(図示しない)をオンする(ステップ
2)。これにより、各モータ15がオンされて各駆動軸
13が回転し、各光学センサ25がオンするまで、該各
駆動軸13により上昇する4つの受台12を介して該各
受台12に各自在継手17を介して支持されている上記
基板載置台18が上昇する(ステップ3)。この時、図
1に示すように、図中左側にあるモータ15は図中右側
にあるモータ15より早くオフになることにより、上記
基板110に既に実装されている各電子部品111,1
12の大きさが違っても、基板載置台18に積層された
最上段の基板110は常に一定の高さ(各光学センサ2
5の高さ)で水平状態になる。そして、最上段の基板1
10が上記各光学センサ25の位置まで来ると、各エア
シリンダ21を介して3つの吸着パッド23が下降して
(ステップ4)、上記最上段の基板110を吸着する
(ステップ5)。次に、上記各エアシリンダ21を介し
て各吸着パッド23が一対のレール27,27の上方ま
で基板110を吸着した状態で上昇する。この時、一対
のレール27,27が吸着パッド23側に突出し、この
一対のレール27,27上に基板110を落として供給
する(ステップ6)。この場合に、基板110が基板載
置台18上に有る(ステップ7)と、最上段の次に積層
されていた基板110が各光学センサ25の位置に来る
ように、基板載置台18が順次上昇して、上記ステップ
3〜ステップ6を繰り返す。尚、基板載置台18上の基
板110の有無は光学センサ19で検出される。
分離動作を、図4に示すフロチャートに沿って説明す
る。初期位置(最降下位置)にある基板載置台18は各
光学センサ26の位置で水平になっている。この基板載
置台18上に多数の基板110を供給して積層載置する
(ステップ1)。次に、装置本体11に設けられたスタ
ートスイッチ(図示しない)をオンする(ステップ
2)。これにより、各モータ15がオンされて各駆動軸
13が回転し、各光学センサ25がオンするまで、該各
駆動軸13により上昇する4つの受台12を介して該各
受台12に各自在継手17を介して支持されている上記
基板載置台18が上昇する(ステップ3)。この時、図
1に示すように、図中左側にあるモータ15は図中右側
にあるモータ15より早くオフになることにより、上記
基板110に既に実装されている各電子部品111,1
12の大きさが違っても、基板載置台18に積層された
最上段の基板110は常に一定の高さ(各光学センサ2
5の高さ)で水平状態になる。そして、最上段の基板1
10が上記各光学センサ25の位置まで来ると、各エア
シリンダ21を介して3つの吸着パッド23が下降して
(ステップ4)、上記最上段の基板110を吸着する
(ステップ5)。次に、上記各エアシリンダ21を介し
て各吸着パッド23が一対のレール27,27の上方ま
で基板110を吸着した状態で上昇する。この時、一対
のレール27,27が吸着パッド23側に突出し、この
一対のレール27,27上に基板110を落として供給
する(ステップ6)。この場合に、基板110が基板載
置台18上に有る(ステップ7)と、最上段の次に積層
されていた基板110が各光学センサ25の位置に来る
ように、基板載置台18が順次上昇して、上記ステップ
3〜ステップ6を繰り返す。尚、基板載置台18上の基
板110の有無は光学センサ19で検出される。
【0013】次に、基板110が基板載置台18上に無
くなる(ステップ8)と、4つの受台12が下降して基
板載置台18が光学センサ26,26のある初期位置ま
で下降する(ステップ9)。この初期位置にある基板載
置台18上に基板110を供給して(ステップ10)、
上記ステップ2〜ステップ6を繰り返す。
くなる(ステップ8)と、4つの受台12が下降して基
板載置台18が光学センサ26,26のある初期位置ま
で下降する(ステップ9)。この初期位置にある基板載
置台18上に基板110を供給して(ステップ10)、
上記ステップ2〜ステップ6を繰り返す。
【0014】このように、積み重ねられて最上段が斜め
になり易い基板110を下から4つの受台12に各自在
継手17を介して支持された基板載置台18を3次元的
に持ち上げて、常に一定の高さで最上段の基板110が
水平になるように補正している。これにより、3つの吸
着(真空)パッド23が常に一定の高さの最上段の基板
110に当たり、3つの吸着パッド23が同一の高さで
基板110を確実に吸着して1枚だけを分離する。その
結果、吸着パッド23による最上段の基板110の吸着
ミスがなくなり、最上段の基板110を一対のレール2
7,27上に落下させて確実に載せることができる。
になり易い基板110を下から4つの受台12に各自在
継手17を介して支持された基板載置台18を3次元的
に持ち上げて、常に一定の高さで最上段の基板110が
水平になるように補正している。これにより、3つの吸
着(真空)パッド23が常に一定の高さの最上段の基板
110に当たり、3つの吸着パッド23が同一の高さで
基板110を確実に吸着して1枚だけを分離する。その
結果、吸着パッド23による最上段の基板110の吸着
ミスがなくなり、最上段の基板110を一対のレール2
7,27上に落下させて確実に載せることができる。
【0015】そして、最上段の基板110は、図5に示
すように、一対のレール27,27から実装ラインのコ
ンベヤ2を通って実装機1に確実に供給され、実装機1
で上記基板110に他の電子部品を挿入する。従って、
従来のように実装ラインを停止させるようなことがなく
なり、実装効率を向上させることができる。また、吸着
パッド23による吸い上げミスを確実に防止することが
できるので、従来のように、吸い上げミスで基板110
が落下した際の基板110の破損を確実に防止すること
ができると共に、上記実装ラインの停止の際の作業者の
リカバリーが不要となり、実装ラインの自動化の妨げに
なるようなことはない。
すように、一対のレール27,27から実装ラインのコ
ンベヤ2を通って実装機1に確実に供給され、実装機1
で上記基板110に他の電子部品を挿入する。従って、
従来のように実装ラインを停止させるようなことがなく
なり、実装効率を向上させることができる。また、吸着
パッド23による吸い上げミスを確実に防止することが
できるので、従来のように、吸い上げミスで基板110
が落下した際の基板110の破損を確実に防止すること
ができると共に、上記実装ラインの停止の際の作業者の
リカバリーが不要となり、実装ラインの自動化の妨げに
なるようなことはない。
【0016】尚、前記実施例によれば、プリント基板の
基板分離について説明したが、基板はプリント基板に限
られず、合板等の基板の基板分離に前記実施例を適用し
ても良い。
基板分離について説明したが、基板はプリント基板に限
られず、合板等の基板の基板分離に前記実施例を適用し
ても良い。
【0017】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、装置
本体に、積層された基板を支持する受台を設け、この受
台の上方に上記最上段の基板を吸着して1枚ずつ吸着分
離させる吸着手段を設け、この吸着手段で分離された基
板をローダに供給するようにした基板分離装置におい
て、上記受台を上下方向に移動自在に複数配設し、これ
ら各受台上に基板載置台を自在継手を介して支持し、こ
の基板載置台上に積層載置された最上段の基板が水平に
なるように上記各受台の高さをそれぞれ可変自在に構成
したので、積層載置された最上段の基板を常に一定の高
さで水平状態にして各吸着手段により確実に吸着するこ
とができ、基板の吸着ミスをなくすことができる。これ
により、基板を1枚ずつ確実に分離して次工程へ供給す
ることができる。
本体に、積層された基板を支持する受台を設け、この受
台の上方に上記最上段の基板を吸着して1枚ずつ吸着分
離させる吸着手段を設け、この吸着手段で分離された基
板をローダに供給するようにした基板分離装置におい
て、上記受台を上下方向に移動自在に複数配設し、これ
ら各受台上に基板載置台を自在継手を介して支持し、こ
の基板載置台上に積層載置された最上段の基板が水平に
なるように上記各受台の高さをそれぞれ可変自在に構成
したので、積層載置された最上段の基板を常に一定の高
さで水平状態にして各吸着手段により確実に吸着するこ
とができ、基板の吸着ミスをなくすことができる。これ
により、基板を1枚ずつ確実に分離して次工程へ供給す
ることができる。
【図1】この発明の一実施例を示す基板分離装置の側面
図。
図。
【図2】上記基板分離装置の平面図。
【図3】上記基板分離装置が用いられる基板載置台の部
分拡大説明図。
分拡大説明図。
【図4】上記基板分離装置の動作順序を示す流れ図。
【図5】上記基板分離装置が用いられる実装ラインの全
体のシステム図。
体のシステム図。
【図6】積み重ねられた基板の説明図。
【図7】(a),(b)は従来の基板分離装置による基
板分離状態の説明図。
板分離状態の説明図。
10…基板分離装置 11…装置本体 12…受台 17…自在継手 18…基板載置台 23…吸着パッド(吸着手段) 26…光学センサ(検出手段) 27…レール(ローダ) 110…基板
Claims (3)
- 【請求項1】 装置本体に、積層された基板を支持する
受台を設け、この受台の上方に上記最上段の基板を吸着
して1枚ずつ吸着分離させる吸着手段を設け、この吸着
手段で分離された基板をローダに供給するようにした基
板分離装置において、 上記受台を上下方向に移動自在に複数配設し、これら各
受台上に基板載置台を自在継手を介して支持し、この基
板載置台上に積層載置された最上段の基板が水平になる
ように上記各受台の高さをそれぞれ可変自在に構成した
ことを特徴とする基板分離装置。 - 【請求項2】 上記吸着手段を上記基板載置台上に積層
載置された基板に対して昇降動自在に複数配設したこと
を特徴とする請求項1記載の基板分離装置。 - 【請求項3】 上記装置本体に、上記基板載置台の初期
位置である最降下位置を検出する検出手段を設けたこと
を特徴とする請求項1記載の基板分離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4107241A JPH05304393A (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | 基板分離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4107241A JPH05304393A (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | 基板分離装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05304393A true JPH05304393A (ja) | 1993-11-16 |
Family
ID=14454061
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4107241A Pending JPH05304393A (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | 基板分離装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05304393A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003095450A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Oki Electric Ind Co Ltd | 媒体繰り出し装置 |
CN104925548A (zh) * | 2014-03-17 | 2015-09-23 | 柯尼卡美能达办公系统研发(无锡)有限公司 | 图像成形装置及供纸机构 |
-
1992
- 1992-04-27 JP JP4107241A patent/JPH05304393A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003095450A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Oki Electric Ind Co Ltd | 媒体繰り出し装置 |
CN104925548A (zh) * | 2014-03-17 | 2015-09-23 | 柯尼卡美能达办公系统研发(无锡)有限公司 | 图像成形装置及供纸机构 |
CN104925548B (zh) * | 2014-03-17 | 2017-06-30 | 柯尼卡美能达办公系统研发(无锡)有限公司 | 图像成形装置及供纸机构 |
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