JPH0528453B2 - - Google Patents
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- JPH0528453B2 JPH0528453B2 JP1162187A JP1162187A JPH0528453B2 JP H0528453 B2 JPH0528453 B2 JP H0528453B2 JP 1162187 A JP1162187 A JP 1162187A JP 1162187 A JP1162187 A JP 1162187A JP H0528453 B2 JPH0528453 B2 JP H0528453B2
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- Japan
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- plating
- layer
- plating layer
- platinum
- reed switch
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- Expired - Lifetime
Links
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 41
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 26
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 9
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 2
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 Rh and Ru Chemical class 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N iron nickel Chemical compound [Fe].[Ni] UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 1
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacture Of Switches (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電気接点の製造方法に関し、特にリー
ドスイツチ接点の製造方法に関する。
ドスイツチ接点の製造方法に関する。
電気接点特にリードスイツチ接点に使用する金
属はRh、Ruなどの白金系金属が一般的である
が、白金系金属は高価であるため使用量を減らす
必要がある。このため、たとえば白金系金属の下
層にCuめつきを施すことが考えられる。これを
最も簡単な構成で実現する場合、鉄−ニツケル
（Fe−Ni）合金から成るリードスイツチ基板上に
Auストライク−Cuめつき−Auめつき−白金系金
属めつきを順次施すことが考えられる。また、リ
ードスイツチ基板上にAuめつき−Cuめつき−Au
めつき−白金系金属めつきを順次施すことも考え
られる。これらの基本的な考えは特開昭58−
53115号公報に開示されている。
属はRh、Ruなどの白金系金属が一般的である
が、白金系金属は高価であるため使用量を減らす
必要がある。このため、たとえば白金系金属の下
層にCuめつきを施すことが考えられる。これを
最も簡単な構成で実現する場合、鉄−ニツケル
（Fe−Ni）合金から成るリードスイツチ基板上に
Auストライク−Cuめつき−Auめつき−白金系金
属めつきを順次施すことが考えられる。また、リ
ードスイツチ基板上にAuめつき−Cuめつき−Au
めつき−白金系金属めつきを順次施すことも考え
られる。これらの基本的な考えは特開昭58−
53115号公報に開示されている。
しかしながら、上述したAuストライク−Cuめ
つき−Auめつき−白金系金属めつきの構成にお
いては、第一層のAuストライク層にピンホール
が生じ易く、Cuめつき時に電界が印加されてい
ない部分のリードスイツチ基板がピンホールを通
して酸化され、酸化された部分にAuめつきおよ
び白金系金属めつきを施すと、密着性の悪いめつ
きが形成される。この結果、リードスイツチ製造
の後工程であるガラス管封止時の熱により、ふく
れたり剥離するという問題がある。また、Auめ
つき−Cuめつき−Auめつき−白金系金属めつき
の構成においては、高価なAuの使用量の増大を
免れ得ない。
つき−Auめつき−白金系金属めつきの構成にお
いては、第一層のAuストライク層にピンホール
が生じ易く、Cuめつき時に電界が印加されてい
ない部分のリードスイツチ基板がピンホールを通
して酸化され、酸化された部分にAuめつきおよ
び白金系金属めつきを施すと、密着性の悪いめつ
きが形成される。この結果、リードスイツチ製造
の後工程であるガラス管封止時の熱により、ふく
れたり剥離するという問題がある。また、Auめ
つき−Cuめつき−Auめつき−白金系金属めつき
の構成においては、高価なAuの使用量の増大を
免れ得ない。
本発明の電気接点の製造方法は金属基板上に金
ストライク層、銅めつき層および金めつき層を順
次設け、最表層に白金系金属めつき層を設け、前
記銅めつき層を形成した後に酸性液体により洗浄
する構成である。
ストライク層、銅めつき層および金めつき層を順
次設け、最表層に白金系金属めつき層を設け、前
記銅めつき層を形成した後に酸性液体により洗浄
する構成である。
次に、本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例の製造方法により製
造されたリードスイツチの断面図である。磁性体
から成るリード片（金属基板）１，２はその先端
に貴金属めつき接点を施した接点部４を有し、ガ
ラス管３に封着されている。また、リードスイツ
チ接点部４の構成を拡大して示した第２図を参照
すると、金属基板５の上にAuストライク層６、
Cuめつき層７、Auめつき層８およびRhめつき層
９が順次形成されている。この実施例において
は、各層の厚さをAuストライク層６：0.1μ、Cu
めつき層７：4μ、Auめつき層８：1μおよびRhめ
つき層９：1μとした。
造されたリードスイツチの断面図である。磁性体
から成るリード片（金属基板）１，２はその先端
に貴金属めつき接点を施した接点部４を有し、ガ
ラス管３に封着されている。また、リードスイツ
チ接点部４の構成を拡大して示した第２図を参照
すると、金属基板５の上にAuストライク層６、
Cuめつき層７、Auめつき層８およびRhめつき層
９が順次形成されている。この実施例において
は、各層の厚さをAuストライク層６：0.1μ、Cu
めつき層７：4μ、Auめつき層８：1μおよびRhめ
つき層９：1μとした。
第３図に示す本発明の一実施例の製造方法によ
ると、ガラス管内に封入した後のめつき膜のふく
れおよび剥離は0.1％以下であつた。一方、酸性
液体洗浄を行なわない従来方法によると、めつき
膜のふくれおよび剥離が３〜10％生じた。このよ
うにめつき膜のふくれおよび剥離に差が現われる
のは、Cuめつき時に電界が印加されていない部
分においてAuストライク層６のピンホールを通
じて金属基板５の酸化が起り、これにそのまま
AuめつきおよびRhめつきを施した場合、酸化部
分の密着性が悪くガラス管封止時の熱に影響され
るためである。しかし、本発明のように、Cuめ
つき後に酸性液体中で洗浄することにより、酸化
膜を除去して清浄な表面が得られる。清浄な面に
AuめつきおよびRhめつきを施した場合、めつき
の密着性に優れているためガラス管封止時に熱が
加わつてもふくれおよび剥離は起こり難い。
ると、ガラス管内に封入した後のめつき膜のふく
れおよび剥離は0.1％以下であつた。一方、酸性
液体洗浄を行なわない従来方法によると、めつき
膜のふくれおよび剥離が３〜10％生じた。このよ
うにめつき膜のふくれおよび剥離に差が現われる
のは、Cuめつき時に電界が印加されていない部
分においてAuストライク層６のピンホールを通
じて金属基板５の酸化が起り、これにそのまま
AuめつきおよびRhめつきを施した場合、酸化部
分の密着性が悪くガラス管封止時の熱に影響され
るためである。しかし、本発明のように、Cuめ
つき後に酸性液体中で洗浄することにより、酸化
膜を除去して清浄な表面が得られる。清浄な面に
AuめつきおよびRhめつきを施した場合、めつき
の密着性に優れているためガラス管封止時に熱が
加わつてもふくれおよび剥離は起こり難い。
なお、上記実施例においては、最表層として
Rhめつき層９を設けた場合を説明したが、他の
白金系金属（Ru、Pd、Re、Osなど）を用いて
も同様に実施できる。また、リードスイツチ以外
のスイツチおよびリレーの電気接点として構成し
てもよい。
Rhめつき層９を設けた場合を説明したが、他の
白金系金属（Ru、Pd、Re、Osなど）を用いて
も同様に実施できる。また、リードスイツチ以外
のスイツチおよびリレーの電気接点として構成し
てもよい。
以上説明したように本発明によれば、金属基板
上にAuストライク層、Cuめつき層、Auめつき層
および白金系金属めつき層を順次形成する過程に
おいてCuめつき層を形成後に酸性液体洗浄する
ことにより、密着性に優れ、ふくれおよび剥離の
生じない安価な電気接点を得ることができる。
上にAuストライク層、Cuめつき層、Auめつき層
および白金系金属めつき層を順次形成する過程に
おいてCuめつき層を形成後に酸性液体洗浄する
ことにより、密着性に優れ、ふくれおよび剥離の
生じない安価な電気接点を得ることができる。
第１図は本発明の一実施例の製造方法により製
造されたリードスイツチの断面図、第２図は第１
図中の接点部を拡大して示した断面図、第３図は
本発明の一実施例の製造工程図である。 １，２，５……リード片（金属基板）、３……
ガラス管、４……接点部、６……Auストライク
層、７……Cuめつき層、８……Auめつき層、９
……Rhめつき層。
造されたリードスイツチの断面図、第２図は第１
図中の接点部を拡大して示した断面図、第３図は
本発明の一実施例の製造工程図である。 １，２，５……リード片（金属基板）、３……
ガラス管、４……接点部、６……Auストライク
層、７……Cuめつき層、８……Auめつき層、９
……Rhめつき層。
Claims (1)
- １ 金属基板上に金ストライク層、銅めつき層お
よび金めつき層を順次設け、最表層に白金系金属
めつき層を設け、前記銅めつき層を形成した後に
酸性液体により洗浄することを特徴とする電気接
点の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1162187A JPS63178423A (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 | 電気接点の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1162187A JPS63178423A (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 | 電気接点の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63178423A JPS63178423A (ja) | 1988-07-22 |
| JPH0528453B2 true JPH0528453B2 (ja) | 1993-04-26 |
Family
ID=11782992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1162187A Granted JPS63178423A (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 | 電気接点の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63178423A (ja) |
-
1987
- 1987-01-20 JP JP1162187A patent/JPS63178423A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63178423A (ja) | 1988-07-22 |
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