JPH05280481A - スクロール真空ポンプ装置 - Google Patents
スクロール真空ポンプ装置Info
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- JPH05280481A JPH05280481A JP4073714A JP7371492A JPH05280481A JP H05280481 A JPH05280481 A JP H05280481A JP 4073714 A JP4073714 A JP 4073714A JP 7371492 A JP7371492 A JP 7371492A JP H05280481 A JPH05280481 A JP H05280481A
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- JP
- Japan
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- scroll
- scrolls
- revolution
- rotary shaft
- motor
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/28—Safety arrangements; Monitoring
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/02—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
- F04C18/0207—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form
- F04C18/023—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form where both members are moving
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
- F04C2270/70—Safety, emergency conditions or requirements
- F04C2270/72—Safety, emergency conditions or requirements preventing reverse rotation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
- F05B2270/00—Control
- F05B2270/10—Purpose of the control system
- F05B2270/109—Purpose of the control system to prolong engine life
- F05B2270/1097—Purpose of the control system to prolong engine life by preventing reverse rotation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Rotary Pumps (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 運転始動時に誤配線をしても逆回転すること
なくスクロールの損傷を防止することが可能なスクロー
ル真空ポンプ装置を得る。 【構成】 モータ１に連結される側の駆動スクロール１
２の回転軸１２ａに一方向クラッチ２８を介在させる。
なくスクロールの損傷を防止することが可能なスクロー
ル真空ポンプ装置を得る。 【構成】 モータ１に連結される側の駆動スクロール１
２の回転軸１２ａに一方向クラッチ２８を介在させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、圧縮室を形成する一
対のスクロールの内、駆動源に連結される側のスクロー
ルの軸部に逆回転防止機構が介在されたスクロール真空
ポンプ装置に関する。
対のスクロールの内、駆動源に連結される側のスクロー
ルの軸部に逆回転防止機構が介在されたスクロール真空
ポンプ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は例えば特開平２−８１９８３号公
報に示された従来のスクロール真空ポンプ装置の構成を
示す断面図である。図において、１は駆動源としてのモ
ータで、回転軸１ａが下方に突設されている。２はモー
タ１を支持し内部に第１の室としての排気室３が形成さ
れる上部ケーシングで、外側の一方に排気口４が、又、
他方に吸気口５がそれぞれ設けられている。６は吸気口
５と接続される真空容器、７は上部ケーシング２内で排
気室３と仕切られ、一端が吸気口５と連通するとともに
下方に開口した垂直状の吸気通路である。
報に示された従来のスクロール真空ポンプ装置の構成を
示す断面図である。図において、１は駆動源としてのモ
ータで、回転軸１ａが下方に突設されている。２はモー
タ１を支持し内部に第１の室としての排気室３が形成さ
れる上部ケーシングで、外側の一方に排気口４が、又、
他方に吸気口５がそれぞれ設けられている。６は吸気口
５と接続される真空容器、７は上部ケーシング２内で排
気室３と仕切られ、一端が吸気口５と連通するとともに
下方に開口した垂直状の吸気通路である。
【０００３】８は上部ケーシング２の下部に結合された
下部ケーシング、９はこの下部ケーシング８の上端に形
成された軸受支えで、そのボス部９ａには給油路９ｂが
形成されている。１０は下部ケーシング８内に形成され
吸気通路と連通する第２の室、１１は下部ケーシング８
の下部に固着され下部ケーシング８と協働して第２の室
１０を形成する下部カバー、１２は第２の室１０内に配
設される駆動スクロールで、中央部から上方に突出しそ
の先端がファン兼用のカップリング１３を介してモータ
１の回転軸１ａに連結される回転軸１２ａを有してい
る。１４は駆動スクロール１２と協働して圧縮室１５を
形成する従動スクロールで、オルダム継手１６を介して
駆動スクロール１２と連動し、下部には下方に突出する
軸部１４ａを有している。
下部ケーシング、９はこの下部ケーシング８の上端に形
成された軸受支えで、そのボス部９ａには給油路９ｂが
形成されている。１０は下部ケーシング８内に形成され
吸気通路と連通する第２の室、１１は下部ケーシング８
の下部に固着され下部ケーシング８と協働して第２の室
１０を形成する下部カバー、１２は第２の室１０内に配
設される駆動スクロールで、中央部から上方に突出しそ
の先端がファン兼用のカップリング１３を介してモータ
１の回転軸１ａに連結される回転軸１２ａを有してい
る。１４は駆動スクロール１２と協働して圧縮室１５を
形成する従動スクロールで、オルダム継手１６を介して
駆動スクロール１２と連動し、下部には下方に突出する
軸部１４ａを有している。
【０００４】１７、１８は下部カバー１１に装着され従
動スクロール１４の軸部１４ａを、駆動スクロール１２
の軸心に対して偏心した位置で回転自在に支承する軸
受、１９は排気室３の下部に貯溜される潤滑油、２０は
駆動スクロール１２の回転軸１２ａ内に形成され、排気
室３内と圧縮室１５内とを連通する排気通路、２１は上
部ケーシング２の上部に装着され回転軸１２ａの上端を
支承する軸受、２２は軸受支え９に装着され回転軸１２
ａの根元を支承する軸受、２３、２４は半径方向の段差
により給油路９ｂと連通する所定の間隙２５を形成し、
軸受２２の第２の室１０側に配設されるそれぞれ直径の
異なるオイルシールで、排気室３内の潤滑油１９が軸受
２２の部分を介して第２の室１０内に漏洩するのを阻止
する役目を果たしている。２６は駆動スクロール１２の
回転軸１２ａ内に形成される給油路で、間隙２５と両ス
クロール１２、１４との間を連通している。２７は軸受
支え９に結合されたベーンポンプで、給油路９ｂ、間隙
２５および給油路２６を介して排気室３内の潤滑油１９
を両スクロール１２、１４間に供給している。
動スクロール１４の軸部１４ａを、駆動スクロール１２
の軸心に対して偏心した位置で回転自在に支承する軸
受、１９は排気室３の下部に貯溜される潤滑油、２０は
駆動スクロール１２の回転軸１２ａ内に形成され、排気
室３内と圧縮室１５内とを連通する排気通路、２１は上
部ケーシング２の上部に装着され回転軸１２ａの上端を
支承する軸受、２２は軸受支え９に装着され回転軸１２
ａの根元を支承する軸受、２３、２４は半径方向の段差
により給油路９ｂと連通する所定の間隙２５を形成し、
軸受２２の第２の室１０側に配設されるそれぞれ直径の
異なるオイルシールで、排気室３内の潤滑油１９が軸受
２２の部分を介して第２の室１０内に漏洩するのを阻止
する役目を果たしている。２６は駆動スクロール１２の
回転軸１２ａ内に形成される給油路で、間隙２５と両ス
クロール１２、１４との間を連通している。２７は軸受
支え９に結合されたベーンポンプで、給油路９ｂ、間隙
２５および給油路２６を介して排気室３内の潤滑油１９
を両スクロール１２、１４間に供給している。
【０００５】次に、上記のように構成される従来のスク
ロール流体機械の動作について簡単に説明する。まず、
モータ１の駆動により駆動スクロール１２が回転する
と、オルダム継手１６を介して従動スクロール１４が偏
心回転を行い、圧縮室１５内で圧縮された気体は排気通
路２０を介して排気室３内に導かれた後、排気口４から
機外に吐出される。この作用により、真空容器６内の気
体は吸気口５から吸気通路７を介して第２の室１０内に
吸入され、両スクロール１２、１４で形成される圧縮室
１５内に送り込まれる。その後、上記動作が繰り返され
ることによって真空容器６内は漸次真空状態に到達す
る。
ロール流体機械の動作について簡単に説明する。まず、
モータ１の駆動により駆動スクロール１２が回転する
と、オルダム継手１６を介して従動スクロール１４が偏
心回転を行い、圧縮室１５内で圧縮された気体は排気通
路２０を介して排気室３内に導かれた後、排気口４から
機外に吐出される。この作用により、真空容器６内の気
体は吸気口５から吸気通路７を介して第２の室１０内に
吸入され、両スクロール１２、１４で形成される圧縮室
１５内に送り込まれる。その後、上記動作が繰り返され
ることによって真空容器６内は漸次真空状態に到達す
る。
【０００６】一方、排気室３内の下部に貯溜された潤滑
油１９は、ベーンポンプ２７により給油路９ｂを介して
両オイルシール２３、２４間に形成される空隙２５に導
かれた後、両スクロール１２、１４の潤滑の程度に応じ
た量が給油路２６を介して供給され、両スクロール１
２、１４の相互の摺動面を潤滑するとともに、両摺動面
間を封止して気体の漏洩を防止している。なお、潤滑油
１９の一部は気体と共に排気通路２０から排気室３内に
吐出されるが、その不足分はベーンポンプ２７によって
補給され、良好な潤滑ならびに封止機能が持続される。
油１９は、ベーンポンプ２７により給油路９ｂを介して
両オイルシール２３、２４間に形成される空隙２５に導
かれた後、両スクロール１２、１４の潤滑の程度に応じ
た量が給油路２６を介して供給され、両スクロール１
２、１４の相互の摺動面を潤滑するとともに、両摺動面
間を封止して気体の漏洩を防止している。なお、潤滑油
１９の一部は気体と共に排気通路２０から排気室３内に
吐出されるが、その不足分はベーンポンプ２７によって
補給され、良好な潤滑ならびに封止機能が持続される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来のスクロール真空
ポンプ装置は以上のように構成されており、両スクロー
ル１２、１４はお互いの渦巻体（図示せず）同士が潤滑
油１９の油膜を介して接触回転しているので、運転始動
時に誤配線等をして逆回転をすると、渦巻体に異常な力
が掛かり損傷するという問題点があった。なお、真空ポ
ンプはその性格上、複数の真空装置に兼用されている場
合が多く、各真空装置毎に配線をする必要があり、上記
のような問題点は多々発生する。
ポンプ装置は以上のように構成されており、両スクロー
ル１２、１４はお互いの渦巻体（図示せず）同士が潤滑
油１９の油膜を介して接触回転しているので、運転始動
時に誤配線等をして逆回転をすると、渦巻体に異常な力
が掛かり損傷するという問題点があった。なお、真空ポ
ンプはその性格上、複数の真空装置に兼用されている場
合が多く、各真空装置毎に配線をする必要があり、上記
のような問題点は多々発生する。
【０００８】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、運転始動時に誤配線をしても逆
回転することなくスクロールの損傷を防止することが可
能なスクロール真空ポンプ装置を提供することを目的と
するものである。
ためになされたもので、運転始動時に誤配線をしても逆
回転することなくスクロールの損傷を防止することが可
能なスクロール真空ポンプ装置を提供することを目的と
するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明に係るスクロー
ル真空ポンプ装置は、駆動源に連結される側のスクロー
ルの軸部に逆回転防止機構を介在させたものである。
ル真空ポンプ装置は、駆動源に連結される側のスクロー
ルの軸部に逆回転防止機構を介在させたものである。
【００１０】
【作用】この発明におけるスクロール真空ポンプ装置の
逆回転防止機構は、駆動源が逆回転した場合は駆動スク
ロールの回転をロックする。
逆回転防止機構は、駆動源が逆回転した場合は駆動スク
ロールの回転をロックする。
【００１１】
実施例１．以下、この発明の実施例を図について説明す
る。図１はこの発明の実施例１におけるスクロール真空
ポンプ装置の構成を示す断面図、図２は図１におけるス
クロール真空ポンプ装置の逆回転防止機構の構成を示す
図である。図において、図３に示す従来装置と同様な部
分は同一符号を付して説明を省略する。２８は外側がベ
ーンポンプ２７の一部に固着され、内側は駆動スクロー
ル１２の回転軸１２ａに固着された逆回転防止機構とし
てのラッチで、図２に示すように一方向の回転は自由で
あるが、他方に回転するとローラが回転軸１２ａにくい
込んで回転軸１２ａをロックする。
る。図１はこの発明の実施例１におけるスクロール真空
ポンプ装置の構成を示す断面図、図２は図１におけるス
クロール真空ポンプ装置の逆回転防止機構の構成を示す
図である。図において、図３に示す従来装置と同様な部
分は同一符号を付して説明を省略する。２８は外側がベ
ーンポンプ２７の一部に固着され、内側は駆動スクロー
ル１２の回転軸１２ａに固着された逆回転防止機構とし
てのラッチで、図２に示すように一方向の回転は自由で
あるが、他方に回転するとローラが回転軸１２ａにくい
込んで回転軸１２ａをロックする。
【００１２】上記のように構成された実施例１における
スクロール流体機械においても、従来のものと同様に、
まず、モータ１の駆動により駆動スクロール１２が回転
すると、オルダム継手１６を介して従動スクロール１４
が偏心回転を行い、圧縮室１５内で圧縮された気体は排
気通路２０を介して排気室３内に導かれた後、排気口４
から機外に吐出される。この作用により、真空容器６内
の気体は吸気口５から吸気通路７を介して第２の室１０
内に吸入され、両スクロール１２、１４で形成される圧
縮室１５内に送り込まれる。その後、上記動作が繰り返
されることによって真空容器６内は漸次真空状態に到達
する。
スクロール流体機械においても、従来のものと同様に、
まず、モータ１の駆動により駆動スクロール１２が回転
すると、オルダム継手１６を介して従動スクロール１４
が偏心回転を行い、圧縮室１５内で圧縮された気体は排
気通路２０を介して排気室３内に導かれた後、排気口４
から機外に吐出される。この作用により、真空容器６内
の気体は吸気口５から吸気通路７を介して第２の室１０
内に吸入され、両スクロール１２、１４で形成される圧
縮室１５内に送り込まれる。その後、上記動作が繰り返
されることによって真空容器６内は漸次真空状態に到達
する。
【００１３】一方、排気室３内の下部に貯溜された潤滑
油１９は、ベーンポンプ２７により給油路９ｂを介して
両オイルシール２３、２４間に間隔環３０により形成さ
れる空隙３１内に導かれた後、両スクロール１２、１４
の潤滑の程度に応じた量が給油路２６を介して供給さ
れ、両スクロール１２、１４の相互の摺動面を潤滑する
とともに、両摺動面間を封止して気体の漏洩を防止して
いる。なお、潤滑油１９の一部は気体と共に排気通路２
０から排気室３内に吐出されるが、その不足分はベーン
ポンプ２７によって補給され、良好な潤滑ならびに封止
機能が持続される。
油１９は、ベーンポンプ２７により給油路９ｂを介して
両オイルシール２３、２４間に間隔環３０により形成さ
れる空隙３１内に導かれた後、両スクロール１２、１４
の潤滑の程度に応じた量が給油路２６を介して供給さ
れ、両スクロール１２、１４の相互の摺動面を潤滑する
とともに、両摺動面間を封止して気体の漏洩を防止して
いる。なお、潤滑油１９の一部は気体と共に排気通路２
０から排気室３内に吐出されるが、その不足分はベーン
ポンプ２７によって補給され、良好な潤滑ならびに封止
機能が持続される。
【００１４】ところで、モータ１が正常な方向に回転し
ている場合、一方向クラッチ２８は排気通路２０から吐
出される潤滑油１９により良好に潤滑されてすべり回転
をするため、駆動スクロール１２も回転軸１２ａを介し
てモータ１に追従して正常に回転するが、真空装置への
取り換え等により新しい配線が施され、誤配線等によっ
てモータ１が逆回転をしようとした場合は、ローラが回
転軸１２ａにくい込みロックされるため、モータ１も回
転をロックされた状態に保持され、両スクロール１２、
１４の渦巻体に異常な力が掛かることもなく損傷は免れ
る。又、排気通路２０から吐出される潤滑油１９で一方
向クラッチ２８は潤滑されているので摩耗は低減され寿
命も延びる。さらに、一方向クラッチ２８は既存のベー
ンポンプ２７の一部を加工して装着されているので、装
置として大型化することもない。
ている場合、一方向クラッチ２８は排気通路２０から吐
出される潤滑油１９により良好に潤滑されてすべり回転
をするため、駆動スクロール１２も回転軸１２ａを介し
てモータ１に追従して正常に回転するが、真空装置への
取り換え等により新しい配線が施され、誤配線等によっ
てモータ１が逆回転をしようとした場合は、ローラが回
転軸１２ａにくい込みロックされるため、モータ１も回
転をロックされた状態に保持され、両スクロール１２、
１４の渦巻体に異常な力が掛かることもなく損傷は免れ
る。又、排気通路２０から吐出される潤滑油１９で一方
向クラッチ２８は潤滑されているので摩耗は低減され寿
命も延びる。さらに、一方向クラッチ２８は既存のベー
ンポンプ２７の一部を加工して装着されているので、装
置として大型化することもない。
【００１５】実施例２．上記実施例１は両スクロール１
２、１４をオルダム継手１６で連動するものについて説
明したが、オルダム継手１６を使用しない直接駆動方式
のものに適用できることは言うまでもなく、この場合は
特に、スクロール１２、１４同士の異常な接触、従動ス
クロール１４の軸折れを防止する効果が顕著である。
２、１４をオルダム継手１６で連動するものについて説
明したが、オルダム継手１６を使用しない直接駆動方式
のものに適用できることは言うまでもなく、この場合は
特に、スクロール１２、１４同士の異常な接触、従動ス
クロール１４の軸折れを防止する効果が顕著である。
【００１６】実施例３．なお、上記各実施例は逆回転防
止機構として、ローラがくい込む方式の一方向クラッチ
２８について説明したが、例えばラチェットを用いたも
の、カムを用いたもの等、いずれのものを適用しても同
様の効果を奏することは言うまでもない。
止機構として、ローラがくい込む方式の一方向クラッチ
２８について説明したが、例えばラチェットを用いたも
の、カムを用いたもの等、いずれのものを適用しても同
様の効果を奏することは言うまでもない。
【００１７】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば駆動源
に連結される側のスクロールの軸部に、逆回転防止機構
を介在させたので、運転始動時に誤配線をしても逆回転
することなく、スクロールの損傷を防止することが可能
なスクロール真空ポンプ装置を提供することができる。
に連結される側のスクロールの軸部に、逆回転防止機構
を介在させたので、運転始動時に誤配線をしても逆回転
することなく、スクロールの損傷を防止することが可能
なスクロール真空ポンプ装置を提供することができる。
【図１】この発明の実施例１におけるスクロール真空ポ
ンプ装置の構成を示す断面図である。
ンプ装置の構成を示す断面図である。
【図２】図１におけるスクロール真空ポンプ装置の逆回
転防止機構の構成を示す図である。
転防止機構の構成を示す図である。
【図３】従来のスクロール真空ポンプ装置の構成を示す
断面図である。
断面図である。
１ モータ（駆動源） １２ 駆動スクロール １２ａ 回転軸 １４ 従動スクロール ２８ 一方向クラッチ（逆回転防止機構）
Claims (1)
- 【請求項１】 互いに異なる軸心上で自転し協働して圧
縮室を形成する一対のスクロールを備え、上記一対のス
クロールの内駆動源に連結される側のスクロールの軸部
に逆回転防止機構を介在させたことを特徴とするスクロ
ール真空ポンプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4073714A JPH05280481A (ja) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | スクロール真空ポンプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4073714A JPH05280481A (ja) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | スクロール真空ポンプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05280481A true JPH05280481A (ja) | 1993-10-26 |
Family
ID=13526169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4073714A Pending JPH05280481A (ja) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | スクロール真空ポンプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05280481A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006122515A1 (de) * | 2005-05-19 | 2006-11-23 | Ixetic Hückeswagen Gmbh | Pumpe mit freilauf-rutschkupplung |
-
1992
- 1992-03-30 JP JP4073714A patent/JPH05280481A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006122515A1 (de) * | 2005-05-19 | 2006-11-23 | Ixetic Hückeswagen Gmbh | Pumpe mit freilauf-rutschkupplung |
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