JPH05268779A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
- Publication number
- JPH05268779A JPH05268779A JP4089353A JP8935392A JPH05268779A JP H05268779 A JPH05268779 A JP H05268779A JP 4089353 A JP4089353 A JP 4089353A JP 8935392 A JP8935392 A JP 8935392A JP H05268779 A JPH05268779 A JP H05268779A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- traveling wave
- phase
- stator
- ultrasonic motor
- rotor
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 ロボットアームの関節機構等の超音波モータ
に関するもので、円筒面上に進行波を発生させるので、
超音波振動がロータ側によく伝わり、超音波モータの取
付けが確実であり、機器が小型化された。 【構成】 進行波の１／４波長分ずらせた２相の圧電体
１に対し各相に互に９０°位相のずれた交番電圧をか
け、両相に発生する定在波を合成して発生させた進行波
によりロータ５ａを駆動するステータを円筒型にし、ス
テータ１に固着したロータ５ａに剛性の低い部分を設
け、ステータの内周面に圧着した取付部材にて取付相手
材に固定した超音波モータ。
に関するもので、円筒面上に進行波を発生させるので、
超音波振動がロータ側によく伝わり、超音波モータの取
付けが確実であり、機器が小型化された。 【構成】 進行波の１／４波長分ずらせた２相の圧電体
１に対し各相に互に９０°位相のずれた交番電圧をか
け、両相に発生する定在波を合成して発生させた進行波
によりロータ５ａを駆動するステータを円筒型にし、ス
テータ１に固着したロータ５ａに剛性の低い部分を設
け、ステータの内周面に圧着した取付部材にて取付相手
材に固定した超音波モータ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はロボットアームの関節機
構等の超音波モータに関するものである。
構等の超音波モータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の回転型超音波モータの一例を図７
および図８に示す。図７においてステータ２４は圧電体
０１と弾性体０４とから成っており、図７矢印の向きか
ら圧電体０１を見ると、図８に示すように、圧電体０１
に対し分極が施されている。
および図８に示す。図７においてステータ２４は圧電体
０１と弾性体０４とから成っており、図７矢印の向きか
ら圧電体０１を見ると、図８に示すように、圧電体０１
に対し分極が施されている。
【０００３】図８に示すように、圧電体０１はＡ，Ｂ２
相から成り、また各相は＋，−で表わされる逆方向に分
極された圧電体０１が相隣り合っており、これに正弦波
状に交番電圧を印加すると定在波が同図紙面上に発生す
る。
相から成り、また各相は＋，−で表わされる逆方向に分
極された圧電体０１が相隣り合っており、これに正弦波
状に交番電圧を印加すると定在波が同図紙面上に発生す
る。
【０００４】そしてＡ，Ｂ両相に印加する電圧の位相を
９０°だけずらすことで、両相で独立に発生する定在波
を重ね合わせたものが進行波となって図７のステータ２
４表面に発生し、ステータ２４に対し予圧をもって抑え
つけられたスライダ２５とリング２６から成るロータ０
５が回軸するようになっている。
９０°だけずらすことで、両相で独立に発生する定在波
を重ね合わせたものが進行波となって図７のステータ２
４表面に発生し、ステータ２４に対し予圧をもって抑え
つけられたスライダ２５とリング２６から成るロータ０
５が回軸するようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図７に示した例のよう
に、従来の超音波モータは回転軸に対し垂直な面上に進
行波を発生させるものであり、回転軸に対し平行な円筒
面上に進行波を発生するものは無かった。
に、従来の超音波モータは回転軸に対し垂直な面上に進
行波を発生させるものであり、回転軸に対し平行な円筒
面上に進行波を発生するものは無かった。
【０００６】また、円筒面上に進行波を発生することが
可能であっても、ロータとステータの進行波発生面とを
超音波振動がロータ側に伝わるよう密着してやる必要が
あり、このため両者をはめ合せたときに許容されるすき
まは進行波の振幅である数μｍ以下にせねばならず、組
立て不能となるという問題が考えられる。
可能であっても、ロータとステータの進行波発生面とを
超音波振動がロータ側に伝わるよう密着してやる必要が
あり、このため両者をはめ合せたときに許容されるすき
まは進行波の振幅である数μｍ以下にせねばならず、組
立て不能となるという問題が考えられる。
【０００７】更に円筒面上に進行波を発生するタイプの
超音波モータの取り付けに関して、弾性体部、圧電体部
とも超音波振動を発生しているため、単なるボルト締め
等による固定では同振動を妨げるおそれがあり、この点
においても何らかの工夫が必要になっていた。
超音波モータの取り付けに関して、弾性体部、圧電体部
とも超音波振動を発生しているため、単なるボルト締め
等による固定では同振動を妨げるおそれがあり、この点
においても何らかの工夫が必要になっていた。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は前記従来の課題
を解決したもので、 (1) 発生する進行波の１／４波長分だけずらせて配した
Ａ，Ｂ２相の圧電体に対し各相に互に９０°位相のずれ
た正弦波状交番電圧をかけ、両相に発生する定在波を合
成して進行波を発生させ、進行波によりロータを駆動す
るステータにおいて、ステータを圧電体の分極方向を径
方向とするため、径方向に内周から外周へ向けて極板、
圧電体、極板、弾性体の順に円環状に配し、かつ圧電体
において発生させる進行波の波長の１／４波長分の長さ
だけ円周方向の位置をずらせて配したＡ，Ｂ２相に分割
されるとともに、各相が１つの分極単位の円周方向の長
さが進行波の波長の１／２波長分に相当し、かつ径方向
に分極、かつ隣接する分極単位同士は互いに逆向きに分
極された１対の分極単位を複数箇並べて構成されるとと
もに、Ａ，Ｂ両相に対し位相が９０°ずれた交番電圧を
かけられるよう各極板間に配線を施し弾性体の共振周波
数で交番電圧をかけることで弾性体外周表面において進
行波の発生を可能とした。
を解決したもので、 (1) 発生する進行波の１／４波長分だけずらせて配した
Ａ，Ｂ２相の圧電体に対し各相に互に９０°位相のずれ
た正弦波状交番電圧をかけ、両相に発生する定在波を合
成して進行波を発生させ、進行波によりロータを駆動す
るステータにおいて、ステータを圧電体の分極方向を径
方向とするため、径方向に内周から外周へ向けて極板、
圧電体、極板、弾性体の順に円環状に配し、かつ圧電体
において発生させる進行波の波長の１／４波長分の長さ
だけ円周方向の位置をずらせて配したＡ，Ｂ２相に分割
されるとともに、各相が１つの分極単位の円周方向の長
さが進行波の波長の１／２波長分に相当し、かつ径方向
に分極、かつ隣接する分極単位同士は互いに逆向きに分
極された１対の分極単位を複数箇並べて構成されるとと
もに、Ａ，Ｂ両相に対し位相が９０°ずれた交番電圧を
かけられるよう各極板間に配線を施し弾性体の共振周波
数で交番電圧をかけることで弾性体外周表面において進
行波の発生を可能とした。
【０００９】(2) (1) のステータとは別に、径方向に内
周から外周へ向けて弾性体、極板、圧電体、極板の順に
円環状に配したステータを用い、弾性体内周表面におい
て進行波の発生を可能とした。
周から外周へ向けて弾性体、極板、圧電体、極板の順に
円環状に配したステータを用い、弾性体内周表面におい
て進行波の発生を可能とした。
【００１０】(3) (1) または(2) において、ロータを構
成する部材のうち、進行波発生面と接触する部位を持つ
部材の一部の剛性を同部材の他の部分の剛性よりも低く
し、同部材の外部から加えられる力により前記剛性の低
い部分に弾性変形を発生させてロータとステータの進行
波発生面との接触面の密着性を維持させた。
成する部材のうち、進行波発生面と接触する部位を持つ
部材の一部の剛性を同部材の他の部分の剛性よりも低く
し、同部材の外部から加えられる力により前記剛性の低
い部分に弾性変形を発生させてロータとステータの進行
波発生面との接触面の密着性を維持させた。
【００１１】(4) (3) において、部材の一部の剛性を同
部材の他の部分の剛性より低くする部分をステータと超
音波モータ外部の他の部位との固定面に設けた。
部材の他の部分の剛性より低くする部分をステータと超
音波モータ外部の他の部位との固定面に設けた。
【００１２】(5) さらに、超音波モータをステータの内
周面に取り付けた取付部材を介して超音波モータの取り
付け相手材に固定した超音波モータである。
周面に取り付けた取付部材を介して超音波モータの取り
付け相手材に固定した超音波モータである。
【００１３】
【作用】まず、円筒面上に進行波を発生させるための作
用については、前記のように本発明では、圧電体の分極
方向を径方向としており、かつ相隣合う圧電体では互い
に逆向きに分極している。
用については、前記のように本発明では、圧電体の分極
方向を径方向としており、かつ相隣合う圧電体では互い
に逆向きに分極している。
【００１４】このため、この部分に電圧を加えると一方
の圧電体は径方向外向きに、また逆方向に分極された圧
電体では径方向内向きに歪み、この電圧を正弦波状の交
番電圧とすることで圧電体の円周面上には定在波が発生
する。
の圧電体は径方向外向きに、また逆方向に分極された圧
電体では径方向内向きに歪み、この電圧を正弦波状の交
番電圧とすることで圧電体の円周面上には定在波が発生
する。
【００１５】圧電体は発生させる進行波の波長の１／４
波長分の長さだけ円周方向の位置をずらせてＡ，Ｂ２相
を配しているため、交番電圧の位相を９０°ずらせば両
相で別個に発生する定在波を重ね合わすと、圧電体の円
周面表面には進行波が生成される。このとき弾性体の共
振周波数に駆動周波数を合わせれば圧電体円筒面上の進
行波が弾性体表面で増幅されて伝えられる。
波長分の長さだけ円周方向の位置をずらせてＡ，Ｂ２相
を配しているため、交番電圧の位相を９０°ずらせば両
相で別個に発生する定在波を重ね合わすと、圧電体の円
周面表面には進行波が生成される。このとき弾性体の共
振周波数に駆動周波数を合わせれば圧電体円筒面上の進
行波が弾性体表面で増幅されて伝えられる。
【００１６】次に、ロータとステータの進行波発生面と
を密着させる作用については、ロータを構成する部材の
うち、進行波発生面と接触する部位を持つ部材におい
て、同部材の一部の剛性を同部材の他の部分の剛性より
も低くしているため、同部材に対し適当な外力を加える
と前述の剛性の低い部分に弾性変形が発生し、この結果
ロータとステータの進行波発生面との接触面に存在する
すきまが減少し、同面における密着性を増大させロータ
の回転が可能となる。
を密着させる作用については、ロータを構成する部材の
うち、進行波発生面と接触する部位を持つ部材におい
て、同部材の一部の剛性を同部材の他の部分の剛性より
も低くしているため、同部材に対し適当な外力を加える
と前述の剛性の低い部分に弾性変形が発生し、この結果
ロータとステータの進行波発生面との接触面に存在する
すきまが減少し、同面における密着性を増大させロータ
の回転が可能となる。
【００１７】さらに円筒面上に進行波を発生するタイプ
の超音波モータの取付け手段の作用については、前項で
示した機構をステータ内周面と超音波モータ外部の他の
部位との固定面にも適用する。すなわち、上記超音波モ
ータを取り付ける相手材において、同部材の他の部分に
比べ剛性の低い部分を予め設けるため、同部材に適当な
外力が加わると、この剛性の低い部分が弾性変形を起し
て、ステータ内周面と超音波モータ取り付け相手材とが
密着し、超音波モータが固定されるようになっている。
の超音波モータの取付け手段の作用については、前項で
示した機構をステータ内周面と超音波モータ外部の他の
部位との固定面にも適用する。すなわち、上記超音波モ
ータを取り付ける相手材において、同部材の他の部分に
比べ剛性の低い部分を予め設けるため、同部材に適当な
外力が加わると、この剛性の低い部分が弾性変形を起し
て、ステータ内周面と超音波モータ取り付け相手材とが
密着し、超音波モータが固定されるようになっている。
【００１８】さらに、超音波モータをステータの内周面
に取り付けた取付部材を介して超音波モータの取付相手
材に固定する。
に取り付けた取付部材を介して超音波モータの取付相手
材に固定する。
【００１９】
【実施例】図１に円筒面上に進行波を発生するタイプの
本発明の超音波モータのステータ部分の上面図を示す。
図２は図１のＸ−Ｘ断面図である。図１において、説明
を容易にするため圧電体の肉厚を誇張して描いてある。
１は圧電体、２および３は極板、４は弾性体である。
本発明の超音波モータのステータ部分の上面図を示す。
図２は図１のＸ−Ｘ断面図である。図１において、説明
を容易にするため圧電体の肉厚を誇張して描いてある。
１は圧電体、２および３は極板、４は弾性体である。
【００２０】図１において、圧電体１はＡ相、Ｂ相に径
方向に分極されており、分極の最小単位の円周方向の長
さは発生する進行波の波長λの１／２に等しくなってい
る。また、隣接する分極単位は互いに逆向きに分極され
ており、図中＋で表される分極部が径方向外側へ歪みを
発生するときは、同じ印加電圧に対し−で表される分極
部は径方向内側へ歪みを発生する。
方向に分極されており、分極の最小単位の円周方向の長
さは発生する進行波の波長λの１／２に等しくなってい
る。また、隣接する分極単位は互いに逆向きに分極され
ており、図中＋で表される分極部が径方向外側へ歪みを
発生するときは、同じ印加電圧に対し−で表される分極
部は径方向内側へ歪みを発生する。
【００２１】Ａ相，Ｂ相は周方向に互いに進行波の波長
の１／４波長分だけずれて配列されており、このため
Ａ，Ｂ両相に対し互いに９０°位相の異なる交番電圧を
加えると、圧電体１円筒面表面には内周面、外周面とも
進行波が発生する。
の１／４波長分だけずれて配列されており、このため
Ａ，Ｂ両相に対し互いに９０°位相の異なる交番電圧を
加えると、圧電体１円筒面表面には内周面、外周面とも
進行波が発生する。
【００２２】一方、交番電圧の周波数は圧電体１の外周
面に取り付けられた弾性体４の共振周波数に合わせてあ
るため、相対的に弾性体４円筒面上に発生する進行波の
振幅力が大きくなる。このため、本例とは逆に圧電体１
の内周面に弾性体４を取り付れば内周回転型となる。図
２において、進行波は弾性体４の円筒表面ＹＹ’面上に
発生し、円筒方向に移動する。
面に取り付けられた弾性体４の共振周波数に合わせてあ
るため、相対的に弾性体４円筒面上に発生する進行波の
振幅力が大きくなる。このため、本例とは逆に圧電体１
の内周面に弾性体４を取り付れば内周回転型となる。図
２において、進行波は弾性体４の円筒表面ＹＹ’面上に
発生し、円筒方向に移動する。
【００２３】図３ないし図６に図１および図２のステー
タの進行波発生面ＹＹ’にロータを抑え付け、ステータ
を取付部材を介して超音波モータの取り付け相手材に固
定する第１実施例ないし第４実施例を示す。
タの進行波発生面ＹＹ’にロータを抑え付け、ステータ
を取付部材を介して超音波モータの取り付け相手材に固
定する第１実施例ないし第４実施例を示す。
【００２４】図３は第１実施例で、５ａはロータ、６ａ
はロータ加圧環で、ロータ５ａとロータ加圧環６ａとは
ねじ部７ａにおいてねじ止めされていると同時にロータ
５ａのテーパ面８ａにおいて接している。
はロータ加圧環で、ロータ５ａとロータ加圧環６ａとは
ねじ部７ａにおいてねじ止めされていると同時にロータ
５ａのテーパ面８ａにおいて接している。
【００２５】ロータ５ａには切欠き部９ａが設けられて
おり、切欠き部９ａの剛性がロータ５ａの他の部分に比
べ小さくなっている。ロータ５ａに対しロータ加圧環６
ａを締め込んで行くと、テーパ面８ａのくさび作用によ
りロータ５ａはテーパ面８ａから力を受ける。この結
果、切欠き部９ａに対し曲げモーメントが発生し、ロー
タ５ａはより大きな力で進行波発生面ＹＹ’を加圧する
ことになる。
おり、切欠き部９ａの剛性がロータ５ａの他の部分に比
べ小さくなっている。ロータ５ａに対しロータ加圧環６
ａを締め込んで行くと、テーパ面８ａのくさび作用によ
りロータ５ａはテーパ面８ａから力を受ける。この結
果、切欠き部９ａに対し曲げモーメントが発生し、ロー
タ５ａはより大きな力で進行波発生面ＹＹ’を加圧する
ことになる。
【００２６】１０はゴム、１１はゴム１０の上端面に接
触した加圧板、１２はゴム１０の下端面に接触し図示し
ていない超音波モータの取付相手材に固定された固定
板、１３はボルトで、ボルト１３を締め付けると加圧板
１１は図下方に下がり、ゴム１０は図下方に圧縮され
る。この結果ゴム１０は半径方向に膨脹し、これにより
圧電体１の内周面に密着し、圧電体１とゴム１０との接
触面における摩擦力により超音波モータは固定板１２に
固定される。
触した加圧板、１２はゴム１０の下端面に接触し図示し
ていない超音波モータの取付相手材に固定された固定
板、１３はボルトで、ボルト１３を締め付けると加圧板
１１は図下方に下がり、ゴム１０は図下方に圧縮され
る。この結果ゴム１０は半径方向に膨脹し、これにより
圧電体１の内周面に密着し、圧電体１とゴム１０との接
触面における摩擦力により超音波モータは固定板１２に
固定される。
【００２７】図４は第２実施例で、５ｂはロータ、６ｂ
は加圧環であるが、図３に示したロータ５ａとロータ加
圧環６ａのねじ部７ａによる直接ねじ止めではなく、ボ
ルト１４を介してロータ５ｂのねじ部７ｂを締め付け、
ロータ５ｂとロータ圧縮環６ｂのテーパ面８ｂのくさび
作用により第１実施例同様進行波発生面ＹＹ’を加圧す
る。９ｂはロータ５ｂに設けられた切欠き部である。
は加圧環であるが、図３に示したロータ５ａとロータ加
圧環６ａのねじ部７ａによる直接ねじ止めではなく、ボ
ルト１４を介してロータ５ｂのねじ部７ｂを締め付け、
ロータ５ｂとロータ圧縮環６ｂのテーパ面８ｂのくさび
作用により第１実施例同様進行波発生面ＹＹ’を加圧す
る。９ｂはロータ５ｂに設けられた切欠き部である。
【００２８】本実施例の取付部材は剛性が小さい切欠き
部１５を有するステータ加圧環１６、図示していない超
音波モータの取付相手材に固定された固定体１７、ボル
ト１８からなり、ボルト１８を締め込んで行くと、ステ
ータ加圧環１６は固定体１７のテーパ面１９に沿って図
下方に移動する。
部１５を有するステータ加圧環１６、図示していない超
音波モータの取付相手材に固定された固定体１７、ボル
ト１８からなり、ボルト１８を締め込んで行くと、ステ
ータ加圧環１６は固定体１７のテーパ面１９に沿って図
下方に移動する。
【００２９】この時ステータ加圧環１６は切欠き部１５
において剛性が小さくなっているため、八の字形に変形
する。この変形によりステータ加圧環１６は圧電体１を
半径方向外向きに押し付けることになり、両者の間に生
じていたすきまを埋め、これによりしまり嵌め状態とな
り、超音波モータは固定体１７に固定される。
において剛性が小さくなっているため、八の字形に変形
する。この変形によりステータ加圧環１６は圧電体１を
半径方向外向きに押し付けることになり、両者の間に生
じていたすきまを埋め、これによりしまり嵌め状態とな
り、超音波モータは固定体１７に固定される。
【００３０】図５は第３実施例で、５ｃはロータ、９ｃ
は切欠き部、２０はばねで、ロータ５ｃの囲りの溝２１
にばね２０を嵌め込んで、ばね２０によりロータ５ｃは
半径方向内向きに力を受けており、これにより剛性の低
い切欠き部９ｃに弾性変形が発生し、進行波端面ＹＹ’
に対しロータ５ｃが密着する。ステータに圧着する取付
部材（符号１０ないし１３）は第１実施例と同じであ
る。
は切欠き部、２０はばねで、ロータ５ｃの囲りの溝２１
にばね２０を嵌め込んで、ばね２０によりロータ５ｃは
半径方向内向きに力を受けており、これにより剛性の低
い切欠き部９ｃに弾性変形が発生し、進行波端面ＹＹ’
に対しロータ５ｃが密着する。ステータに圧着する取付
部材（符号１０ないし１３）は第１実施例と同じであ
る。
【００３１】図６は第４実施例で、５ｄは上下に相対し
て向い合ったロータ、２２は上下のロータ５ｄ間に弓な
りに取り付けたばねで、ばね２２のたわみが最大となる
頂点部にステータの進行波発生面ＹＹ’が抑え付けられ
ている。
て向い合ったロータ、２２は上下のロータ５ｄ間に弓な
りに取り付けたばねで、ばね２２のたわみが最大となる
頂点部にステータの進行波発生面ＹＹ’が抑え付けられ
ている。
【００３２】上下に相対して向い合うロータ５ｄの間隔
をボルト２３により締め込んで行くと、ばね２２のたわ
みが増加し、その結果、ばね２２はより大きな力でステ
ータの進行波発生面ＹＹ’を抑えることになる。ステー
タに圧着する取付部材（符号１０ないし１３）は第１実
施例と同じである。
をボルト２３により締め込んで行くと、ばね２２のたわ
みが増加し、その結果、ばね２２はより大きな力でステ
ータの進行波発生面ＹＹ’を抑えることになる。ステー
タに圧着する取付部材（符号１０ないし１３）は第１実
施例と同じである。
【００３４】
【発明の効果】本発明により従来実現できなかった円筒
面上に進行波を発生する新しいタイプの超音波モータが
実現できる。
面上に進行波を発生する新しいタイプの超音波モータが
実現できる。
【００３５】また本型式の超音波モータは円筒面でロー
タを駆動するという構造上、すべり軸受を兼ねることが
がきるという利点があり、機器の小型化に対して貢献す
る点が大である。
タを駆動するという構造上、すべり軸受を兼ねることが
がきるという利点があり、機器の小型化に対して貢献す
る点が大である。
【図１】本発明のステータ部の断面図である。
【図２】図１のＸ−Ｘ断面図である。
【図３】本発明のステータ部を使用した第１実施例に係
る断面図である。
る断面図である。
【図４】本発明のステータ部を使用した第２実施例に係
る断面図である。
る断面図である。
【図５】本発明のステータ部を使用した第３実施例に係
る断面図である。
る断面図である。
【図６】本発明のステータ部を使用した第４実施例に係
る断面図である。
る断面図である。
【図７】従来の超音波モータの構造を示す分解斜視図で
ある。
ある。
【図８】図７においてＺ矢印方向から見たときの圧電体
の分極を示す図である。
の分極を示す図である。
１ 圧電体 ２ 極板 ３ 極板 ４ 弾性体 ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ ロータ ６ａ，６ｂ ロータ加圧環 ７ａ，７ｂ ねじ部 ８ａ，８ｂ テーパ面 ９ａ，９ｂ，９ｃ 切欠き部 １０ ゴム １１ 加圧板 １２ 固定板 １３ ボルト １４ ボルト １５ 切欠き部 １６ ステータ加圧環 １７ 固定体 １８ ボルト １９ テーパ面 ２０ ばね ２１ 溝 ２２ ばね部 ２３ ボルト
Claims (4)
- 【請求項１】 発生する進行波の１／４波長分だけずら
せて配したＡ，Ｂ２相の圧電体に対し、各相に互いに９
０°位相のずれた正弦波状交番電圧をかけ、両相に発生
する定在波を合成して進行波を発生させ、該進行波によ
りロータを駆動するステータにおいて、該ステータを圧
電体の分極方向を径方向とするため、径方向に内周から
外周へ向けて極板、圧電体、極板、弾性体の順に円環状
に配し、かつ前記圧電体において発生させる進行波の波
長の１／４波長分の長さだけ円周方向の位置をずらせて
配したＡ，Ｂ２相に分割されるとともに、各相が１つの
分極単位の円周方向の長さが前記進行波の波長分の１／
２波長分に相当し、かつ径方向に分極，かつ隣接する分
極単位同士は互いに逆向きに分極された１対の分極単位
を複数箇並べて構成されるとともに、Ａ，Ｂ両相に対し
位相が９０°ずれた交番電圧をかけられるよう各極板間
に配線を施し、前記弾性体の共振周波数で交番電圧をか
けることで前記弾性体外周表面において進行波の発生を
可能としたことを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項２】 請求項１のステータとは別に、径方向に
内周から外周へ向けて弾性体、極板、圧電体、極板の順
に円環状に配したステータを用い、前記弾性体内周表面
において進行波の発生を可能とした超音波モータ。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２において、ロー
タを構成する部材のうち進行波発生面と接触する部位を
持つ部材の一部の剛性を同部材の他の部分の剛性よりも
低くし、同部材の外部から加えられる力により前記剛性
の低い部分に弾性変形を発生させてロータとステータの
進行波発生面との接触面の密着性を維持させた超音波モ
ータ。 - 【請求項４】 請求項３において、部材の一部の剛性を
同部材の他の部分の剛性より低くする部分を他の部位と
の固定面にも設けた超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4089353A JPH05268779A (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4089353A JPH05268779A (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 超音波モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05268779A true JPH05268779A (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=13968351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4089353A Withdrawn JPH05268779A (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05268779A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1032056A2 (en) * | 1999-02-26 | 2000-08-30 | Honda Electronics Co., Ltd. | Ultrasonic driving motor |
| US7687973B2 (en) | 2007-06-04 | 2010-03-30 | Konica Minolta Opto, Inc. | Friction drive actuator and hard disk device using such actuator |
| FR2981205A1 (fr) * | 2011-10-11 | 2013-04-12 | Faurecia Sieges Automobile | Actionneur piezoelectrique |
-
1992
- 1992-03-16 JP JP4089353A patent/JPH05268779A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1032056A2 (en) * | 1999-02-26 | 2000-08-30 | Honda Electronics Co., Ltd. | Ultrasonic driving motor |
| EP1032056A3 (en) * | 1999-02-26 | 2003-04-16 | Honda Electronics Co., Ltd. | Ultrasonic driving motor |
| US7687973B2 (en) | 2007-06-04 | 2010-03-30 | Konica Minolta Opto, Inc. | Friction drive actuator and hard disk device using such actuator |
| FR2981205A1 (fr) * | 2011-10-11 | 2013-04-12 | Faurecia Sieges Automobile | Actionneur piezoelectrique |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |