JPH0526753Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は、半導体ウエハの熱処理プレートに
おける搬送装置に関するものである。

［従来の技術］ 従来、半導体ウエハの加熱、冷却処理を行なう
工程で、ウエハを搬送する機構としては例えば特
開昭57−136336号公報に示されるものがある。こ
の種機構はベルト搬送あるいはリンクレバー送り
機構が採用されている。

［考案が解決しようとする問題点］ しかしながら、上記搬送機構においてベルト搬
送の場合は高温に弱くベルト被覆にほつれが生じ
て塵の発生によりウエハを汚損することとなる。
また、リンクレバー機構の場合は、ヒータプレー
ト両端にリンク移動長さが必要であるのでスペー
スが大きくなる。しかも上記したいずれの場合に
おいてもヒータプレート上の溝が大きく熱処理む
らが発生しやすい等の問題点があつた。

この考案は上記のような問題点を解消するため
になされたもので、ウエハの搬送エラーを防止
し、搬送装置を破損せずに高い信頼性を得ると共
に、塵の発生がなく、かつ熱処理むらの生じない
ウエハ搬送装置を提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ この考案に係るウエハ搬送装置は、上下動可能
にかつ搬入部から搬出部にわたつて水平に延設さ
れた上下移動ビームと、上下移動ビームを上下動
させる上下動手段と、上下動手段により下降され
た際の上下移動ビームの上端面が埋没するように
熱処理プレートに形成された溝と、熱処理プレー
トの上面に突設され半導体ウエハの載置位置を位
置決めする複数のピンと、各部間をそれぞれ水平
に移動可能に配設された搬送アームと、上下動手
段により上昇された際の上下移動ビームより下方
に位置するように搬送アームに取り付けられ半導
体ウエハを保持する受けと、搬送アームを水平移
動させるアーム移動手段とを備えたものである。

［作用］ この考案におけるウエハ搬送装置によれば、熱
処理プレート上に置かれた半導体ウエハは、その
移動の際、上下移動ビームの上動により該ビーム
に載せられて熱処理プレートから浮き上がり、そ
の後ウエハは移送してきた搬送アーム上に乗せ変
えられて搬送することができる。また、熱処理プ
レート上にウエハを位置決めするピンを設けたこ
とで、プレート上へのウエハのずれを未然に防止
することができる。

［実施例］ 以下、この考案の一実施例を図に基づいて説明
する。第１図および第２図はウエハ搬送装置の平
面図と正面図であつて、図において、１と２は熱
処理プレート、３はウエハ搬送装置の入口側に設
けられ前工程より送出された半導体ウエハを搬送
する入口搬送ベルトで、この部分にウエハの位置
決めピン３ａが備えられている。４はウエハ搬送
装置の出口側に設けられ次工程へウエハを送出す
る出口搬送ベルト、５は上記熱処理プレート１，
２および入口搬送ベルト、出口搬送ベルト４の全
長に亘つて配設された２条の上下移動ビームで、
このビーム５はプレート１，２の溝１ａ，２ａ内
に収納されているが、上下動手段としてのシリン
ダ６の操作により熱処理プレート１，２上に上動
するようになつている。７はウエハの搬送アーム
で、入口側からアーム７ａ，７ｂ，７ｃを有し、
アーム移動手段としてガイド軸８，送りねじ９、
モータ１０、カツプリング１１を有し、これらは
ベース１２に取付けられている。上記アームは第
３図に示すように真空吸着孔をもつ受け１３とブ
ラケツト１４および受け１５からなる。なお、１
６ａ，１６ｂ，１６ｃは半導体ウエハを示す。上
記熱処理プレート１，２上にはウエハを取り囲む
ように複数（実施例では４本）の位置決めのため
のピン１７，１８が突設してある。

次に動作について説明する。最も入口側のウエ
ハ１６ａは前工程で例えばレジスト塗布処理等が
施されて入口搬送ベルト３で送られ、位置決めピ
ン３ａにウエハが当接して停止されており、他の
ウエハ１６ｂと１６ｃは熱処理プレート１，２上
にある。この状態から上下移動ビーム５を上動す
るとウエハ１６ａ〜１６ｃは持ち上げられ、この
ときアーム７ｂは第１図の仮想線の中間位置で待
機しており、ビーム５が上動の完了後、アーム７
ａはウエハ１６ａの下へ、同時にアーム７ｂはウ
エハ１６ｂの下へ、そしてアーム７ｃはウエハ１
６ｃの下へそれぞれ移動する。なお、上動したビ
ーム５は熱処理プレート１，２の溝１ａ，２ａ内
にその下部が残るようにしてある。かくしてアー
ム７ａ〜７ｃの移動が完了すると、ビーム５は下
動し、このときウエハ１６ａ〜１６ｃはアーム７
ａ〜７ｃへ送り移る。その後、アーム７ａ〜７ｃ
はＡ方向へ所定量移動して入口搬送ベルト３上の
ウエハ１６ａはプレート１上へ、プレート１上の
ウエハ１６ｂがプレート２上へ、そしてプレート
２上のウエハ１６ｃが出口搬送ベルト４上へ移動
する。その後、ビーム５が上動して各プレート上
のウエハは受取り、ウエハを受渡したアームはウ
エハの干渉しない位置へ移動し待機する。その
後、ビーム５は下動しウエハをプレート上に置く
と共に、出口搬送ベルト４上のウエハは次工程へ
送られる。

この考案では、特に熱処理プレート１，２上に
ウエハの位置決めのためのピン１７，１８を突設
したことにより、アームが吸着を解除し、プレー
ト側で吸着を開始するタイミングのずれによりウ
エハがプレート上を滑ることがあるので、上記ピ
ンでウエハを位置決めしてずれを未然に防止する
ことができる。また、ウエハの搬送エラーによつ
てウエハがピンの上へ乗つてしまうような場合
は、吸着エラースイツチを動作して警報を発し、
搬送エラーを防ぐこともできる。

［考案の効果］ 以上のようにこの考案によれば、上下動可能に
かつ搬入部から搬出部にわたつて水平に延設され
た上下移動ビームと、上下移動ビームを上下動さ
せる上下動手段と、上下動手段により下降された
際の上下移動ビームの上端面が埋没するように熱
処理プレートに形成された溝と、熱処理プレート
の上面に突設され半導体ウエハの載置位置を位置
決めする複数のピンと、各部間をそれぞれ水平に
移動可能に配設された搬送アームと、上下動手段
により上昇された際の上下移動ビームより下方に
位置するように搬送アームに取り付けられ半導体
ウエハを保持する受けと、搬送アームを水平移動
させるアーム移動手段とを備えたので、ウエハと
搬送アームに摩擦が生じないため、こすれによる
塵の発生もなく、また、ウエハをアームにより破
損させる危険も未然に防止できる。さらにビーム
がウエハの移動方向へ動かず単に上下動するのみ
であるため、プレートに温度差がある場合でも支
障なく、プレート上の温度分布は変化が小さく、
このためウエハの熱処理むらも生じることがな
い。しかも、熱処理プレートへのウエハの位置ず
れも未然に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例によるウエハ搬送
装置の平面図、第２図は同じく正面図、第３図は
搬送アームの拡大図である。 図において、１，２は熱処理プレート、３は入
口搬送ベルト、４は出口搬送ベルト、５は上下移
動ビーム、６はシリンダ、７ａ，７ｂ，７ｃはア
ーム、１６ａ，１６ｂ，１６ｃはウエハ、１７，
１８は位置決めピンである。なお、図中同一符号
は同一又は相当部分を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 並設された搬入部、熱処理プレートおよび搬出
   部の各部間を半導体ウエハを搬送するウエハ搬送
   装置において、上下動可能にかつ前記搬入部から
   前記搬出部にわたつて水平に延設された上下移動
   ビームと、前記上下移動ビームを上下動させる上
   下動手段と、前記上下動手段により下降された際
   の前記上下移動ビームの上端面が埋没するように
   前記熱処理プレートに形成された溝と、前記熱処
   理プレートの上面に突設され前記半導体ウエハの
   載置位置を位置決めする複数のピンと、前記各部
   間をそれぞれ水平に移動可能に配設された搬送ア
   ームと、前記上下動手段により上昇された際の前
   記上下移動ビームより下方に位置するように前記
   搬送アームに取り付けられ前記半導体ウエハを保
   持する受けと、前記搬送アームを水平移動させる
   アーム移動手段とを備えたことを特徴とするウエ
   ハ搬送装置。