JPH05267386A

JPH05267386A - ボンディング装置

Info

Publication number: JPH05267386A
Application number: JP4063082A
Authority: JP
Inventors: Makoto Nakajima; 誠中嶋
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1992-03-19
Filing date: 1992-03-19
Publication date: 1993-10-15

Abstract

(57)【要約】【目的】大きな超音波エネルギが加えられる場合であ
っても、面積や押さえ力の増加を抑制しつつ、リードフ
レームを確実かつ安定的に固定することができるボンデ
ィング技術を提供する。【構成】ワイヤボンディング装置において、左右の上
側インナリード押さえ部材２２Ａおよび２２Ｂに各傾斜
面部２６Ａ、２７Ａおよび２６Ｂ、２７Ｂをそれぞれ形
成する。各インナリード４、４は各傾斜面部２６Ａ、２
７Ａおよび２６Ｂ、２７Ｂによって下側インナリード押
さえ部材１９に垂直に押さえ付けられるとともに、水平
方向に押されることによって水平方向への移動をも阻止
された状態で、それぞれ確実かつ安定的に固定された状
態になる。【効果】超音波エネルギのインナリード４、４への伝
播を適正な状態に維持することができ、良好なボンディ
ング状態を確保することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ボンディング技術、特
に、被ボンディング物としてのリードフレームを固定的
に保持する技術に関し、例えば、パワートランジスタの
製造工程において、リードフレームのリードとペレット
とを電気的に接続するワイヤボンディング装置に利用し
て有効な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】リードフレームのリードとペレットの電
極との間にワイヤを架橋して電気的に接続するワイヤボ
ンディング装置として、特開昭６２−１８８３３０号公
報および特開昭６２−１８８３３１号公報に記載されて
いるように、リードフレームを上下の押さえ部材により
押さえながら、ワイヤをペレットの電極パッドとリード
フレームのインナリードとにボンディングするように構
成されているとともに、上下の押さえ部材によってリー
ドフレームのタブ外周縁部を押さえ付けることにより、
リードフレームを確実かつ安定的に固定するように構成
して成るものがある。

【０００３】ところが、このようなワイヤボンディング
装置においては、押さえ面の表面粗さが小さくなると、
押さえ面とリードフレームとの間で滑りが発生するた
め、ボンディング中にリードフレームが遊動し、超音波
エネルギの伝播が不適正になることにより、ボンディン
グ状態が不良になるという問題点がある。

【０００４】そこで、リードフレームを確実に、かつ、
長期間にわたって安定的に固定することができるボンデ
ィング装置として、特開平２−８７６３６号には次のよ
うなボンディング装置が開示されている。

【０００５】すなわち、リードフレームを押さえる上側
押さえ部材および下側押さえ部材の少なくとも一方にお
けるリードフレームとの接触面の少なくとも一部に、超
硬材質粉を固着されて成る保持面部が形成されているこ
とを特徴とするボンディング装置、である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ボンディング装置はいずれも、リードフレーム押さえが
リードフレームを摩擦力によって押さえるように構成さ
れているため、パワートランジスタ等のように数百μｍ
程度の直径を有する太いワイヤが超音波によってボンデ
ィングされる場合には、次のような理由により、リード
フレームを確実に固定することができない場合があると
いう問題点があることが、本発明者によって明らかにさ
れた。

【０００７】すなわち、数百μｍ程度の太いワイヤが使
用されてワイヤボンディングされる場合においては、ワ
イヤボンディングするための超音波エネルギの振動レベ
ルが格段に高くなるためである。

【０００８】そこで、接触面積を広くして保持力を増加
することが一般的に考えられる。しかし、リードフレー
ムの大きさには制約がある。また、リードフレーム押さ
え部材との接触面積を増加させることは、リードフレー
ムにおけるワイヤボンディング可能な表面積の縮小にな
る。さらに、ボンディングツールとリードフレーム押さ
え部材との干渉が発生する。

【０００９】また、リードフレーム押さえ部材の保持力
を高めるために、押さえ力（摩擦力を高めるための直圧
力）を大きくすることが考えられる。しかし、押さえ力
を大きくすると、リードフレームを送る時に押さえ力を
解除するに際して、その解除時に大きな外力が必要にな
る等の不具合が発生する。

【００１０】本発明の目的は、大きな超音波エネルギが
加えられる場合であっても、面積や押さえ力の増加を抑
制しつつ、リードフレームを確実かつ安定的に固定する
ことができるボンディング技術を提供することにある。

【００１１】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【００１３】リードフレームを押さえる上側押さえ部材
および下側押さえ部材の少なくとも一方におけるリード
フレームとの接触面の少なくとも一部に、リードフレー
ムの端辺のエッジに接触する傾斜面部が形成されている
ことを特徴とする。

【００１４】

【作用】前記した手段において、押さえ部材の傾斜面部
はリードフレームの端辺におけるエッジに接触すること
によって、リードフレームを固定する状態になる。この
とき、押さえ部材の傾斜面部はリードフレームを垂直方
向に押さえ付けるとともに、リードフレームを水平方向
にも押す状態になる。したがって、リードフレームは垂
直方向の押さえ力による摩擦力だけでなく、押さえ部材
によって水平方向の遊動をも同時に阻止される状態にな
るため、確実かつ安定的に固定されることになる。

【００１５】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるワイヤボンデ
ィング装置を示す拡大部分斜視図、図２はその側面図、
図３（ａ）、（ｂ）はその作用を説明するための各拡大
部分断面図である。

【００１６】本実施例において、本発明に係るワイヤボ
ンディング装置は、パワートランジスタ用のリードフレ
ーム１にワイヤボンディングを実施するように構成され
ており、このリードフレーム１がワイヤボンディング時
に押さえ部材によって確実かつ安定的に固定されるよう
になっている。

【００１７】このパワートランジスタ用のリードフレー
ム１は４２アロイや銅等のような導電性の材料が用いら
れて、打ち抜きプレス加工法やエッチング加工法等のよ
うな適当な手段により一体成形されている。そして、本
実施例の場合、リードフレーム１の厚さは０．３ｍｍ程
度の比較的厚い厚さに設定されている。

【００１８】このリードフレーム１は、前工程において
ペレット６がボンディングされたタブ２と、タブ２を吊
持しているタブ吊りリード３と、タブ吊りリード３の両
脇にそれぞれ配設されている一対のインナリード４、４
と、タブ吊りリード３および両インナリード４、４のそ
れぞれに一体的に連設されている各アウタリード５とを
備えている。

【００１９】そして、このリードフレーム１におけるタ
ブ２はそのタブ吊りリード３を屈曲されることにより、
下方に下げられており、このタブ下げによってタブ２上
に搭載されたペレット６の上面とインナリード４の上面
との段差が解消ないしは減少されるようになっている。

【００２０】一方、ワイヤボンディング装置はボンディ
ングツールにウエッジが使用される超音波式のワイヤボ
ンディング装置として構成されており、ボンディングス
テージを構成するためのブロック１１を備えている。ブ
ロック１１はその上面においてリードフレーム１が一方
向（以下、右方向とする。）にピッチ送りされるように
構成されている。

【００２１】このブロック１１の上面の一部によってタ
ブ下側押さえ部材１２が実質的に構成されている。すな
わち、タブ下側押さえ部材１２はタブ２に対向する領域
（以下、前側領域とする。）であって、左右方向におけ
る後記するワイヤボンディングヘッドに対向する位置に
配されて、タブ２を収容し得る大きさに形成されてい
る。そして、タブ下側押さえ部材１２はタブ２の下面に
当接することにより、タブ２を摩擦力によって保定し得
るようになっている。

【００２２】タブ下側押さえ部材１２の前端部には位置
決め凸部１３が突設されており、この凸部１３はタブ２
の前端部に開設された透孔７に嵌合し得るように形成さ
れている。この位置決め凸部１３と透孔７との嵌合によ
って、リードフレーム１はブロック１１に位置決めされ
た状態になる。

【００２３】ブロック１１は上下動自在に支承されてい
るとともに、適当な駆動装置（図示せず）によって上下
駆動されるように構成されている。このブロック１１の
下方にはブラケット１５がブロック１１から独立して所
定のストローク範囲内で上下動自在に支承されており、
このブラケット１５はクランプスプリング１４によって
下方に常時付勢されるようになっている。

【００２４】ブラケット１５における前端部には前側ガ
イドレール１６が左右方向に水平に架設されている。こ
のガイドレール１６には左側送りねじ軸１７Ａおよび右
側送りねじ軸１７Ｂが、それぞれ左右方向に水平に、か
つ、互いに同軸上で左右対称に軸架されて回転自在に
支承されており、両送りねじ軸１７Ａおよび１７Ｂはサ
ーボモータ（図示せず）によってそれぞれ正逆回転駆動
されるように構成されている。

【００２５】この前側ガイドレール１６の左側部分に
は、左側のタブ上側押さえ部材１８Ａ（以下、第１タブ
押さえ部材１８Ａという。）が左右方向に摺動自在に支
承されており、この第１タブ押さえ部材１８Ａは角棒形
状に形成され、その後端部が後方に水平に延長されてい
る。第１タブ押さえ部材１８Ａの前端部は左側送りねじ
軸１７Ａに回り止め状態で、左右方向に進退自在に螺合
されており、したがって、第１タブ押さえ部材１８Ａは
左側送りねじ軸１７Ａによって左右方向に進退移動され
るようになっている。

【００２６】また、前側ガイドレール１６の右側部分に
は右側のタブ上側押さえ部材１８Ｂ（以下、第２タブ押
さえ部材１８Ｂという。）が左右方向に摺動自在に支承
されており、この第２タブ押さえ部材１８Ｂもまた角棒
形状に形成され、その後端部が後方に水平に延長されて
いる。第２タブ押さえ部材１８Ｂの前端部は右側送りね
じ軸１７Ｂに回り止め状態で、左右方向に進退自在に螺
合されており、したがって、第２タブ押さえ部材１８Ｂ
は右側送りねじ軸１７Ｂによって左右方向に進退移動さ
れるようになっている。

【００２７】そして、第１タブ押さえ部材１８Ａと第２
タブ押さえ部材１８Ｂとは左右対称形状に形成されてい
るとともに、互いに左右対称に移動することにより、左
右対称に開閉作動し得るようになっている。この第１タ
ブ押さえ部材１８Ａと第２タブ押さえ部材１８Ｂとの左
右対称の開閉作動によって、両タブ押さえ部材１８Ａと
１８Ｂとはタブ２の大きさの変動に対応し得るようにな
っている。

【００２８】さらに、ブロック１１の上面の一部によっ
てインナリード下側押さえ部材１９が実質的に構成され
ている。すなわち、インナリード下側押さえ部材１９は
インナリード４、４に対向する領域（以下、後側領域と
する。）であって、左右方向における後記するワイヤボ
ンディングヘッドに対向する位置に配されて、インナリ
ード４、４を収容し得る大きさに形成されている。そし
て、インナリード下側押さえ部材１９はインナリード
４、４の下面に当接することにより、インナリード４、
４を摩擦力によって保定し得るようになっている。

【００２９】ブラケット１５における後端部には後側ガ
イドレール２０が左右方向に水平に架設されている。こ
のガイドレール２０には左側送りねじ軸２１Ａおよび右
側送りねじ軸２１Ｂが、それぞれ左右方向に水平に、か
つ、互いに同軸上で左右対称に軸架されて回転自在に支
承されており、両送りねじ軸２１Ａおよび２１Ｂはサー
ボモータ（図示せず）によってそれぞれ正逆回転駆動さ
れるように構成されている。

【００３０】この後側ガイドレール２０の左側部分に
は、左側のインナリード上側押さえ部材２２Ａ（以下、
第１インナリード押さえ部材２２Ａという。）が左右方
向に摺動自在に支承されており、この第１インナリード
押さえ部材２２Ａは略長方形の板形状に形成され、その
前端部が前方に水平に延長されている。第１インナリー
ド押さえ部材２２Ａの後端部は左側送りねじ軸２１Ａに
回り止め状態で、左右方向に進退自在に螺合されてお
り、したがって、第１インナリード押さえ部材２２Ａは
左側送りねじ軸２１Ａによって左右方向に進退移動され
るようになっている。

【００３１】また、後側ガイドレール２０の右側部分に
は右側のインナリード上側押さえ部材２２Ｂ（以下、第
２インナリード押さえ部材２２Ｂという。）が左右方向
に摺動自在に支承されており、この第２インナリード押
さえ部材２２Ｂもまた略長方形の板形状に形成され、そ
の前端部が前方に水平に延長されている。第２インナリ
ード押さえ部材２２Ｂの後端部は右側送りねじ軸２１Ｂ
に回り止め状態で、左右方向に進退自在に螺合されてお
り、したがって、第２インナリード押さえ部材２２Ｂは
右側送りねじ軸２１Ｂによって左右方向に進退移動され
るようになっている。

【００３２】そして、これら第１インナリード押さえ部
材２２Ａと第２インナリード押さえ部材２２Ｂとは左右
対称形状に形成されているとともに、互いに左右対称に
移動することにより、左右対称に開閉作動し得るように
なっている。この左右対称の開閉作動によって、第１イ
ンナリード押さえ部材２２Ａと第２インナリード押さえ
部材２２Ｂとは左右一対のインナリード４と４との間隔
（ピッチに相当する。）の変更に対応し得るようになっ
ている。

【００３３】第１インナリード押さえ部材２２Ａの前端
部には左右一対の押さえ部片２３Ａおよび２４Ａが、そ
れぞれ角棒形状に形成されている。左側の押さえ部片２
３Ａの上部には凹部２５Ａが形成されており、この凹部
２５Ａは後述するようにボンディングツールの逃げ凹部
を構成するようになっている。

【００３４】左側押さえ部片２３Ａの下面には左側傾斜
面部２６Ａが右側エッジに配されて、左側押さえ部片２
３Ａの右側端部における厚さが右方向に行くに従って次
第に薄くなるように形成されている。また、この傾斜面
部２６Ａは前後方向においてその幅および傾斜角度が一
定になるように形成されている。そして、本実施例にお
いて、この傾斜面部２６Ａの傾斜角度は約４５度に設定
されている。

【００３５】また、右側押さえ部片２４Ａの下面には右
側傾斜面部２７Ａが左側エッジに配されて、左側押さえ
部片２４Ａの左側端部における厚さが左方向に行くに従
って次第に薄くなるように形成されている。また、この
傾斜面部２７Ａは前後方向においてその幅および傾斜角
度が一定になるように形成されている。そして、本実施
例において、この傾斜面部２７Ａの傾斜角度もまた約４
５度に設定されている。したがって、左側傾斜面部２６
Ａと右側傾斜面部２７Ａとは互いに左右対称形状に形成
されており、互いの傾斜面が協働することによって下向
きのハ字形状を構成する状態になっている。

【００３６】他方、第２インナリード押さえ部材２２Ｂ
も第１インナリード押さえ部材２２Ａと左右対称形状に
なるように形成されている。すなわち、第２インナリー
ド押さえ部材２２Ｂの前端部には左右一対の押さえ部片
２３Ｂおよび２４Ｂが、それぞれ角棒形状に形成されて
いる。右側の押さえ部片２４Ｂの上部には凹部２５Ｂが
形成されており、この凹部２５Ａは後述するようにボン
ディングツールの逃げ凹部を構成するようになってい
る。

【００３７】左側押さえ部片２３Ｂの下面には左側傾斜
面部２６Ｂが右側エッジに配されて、左側押さえ部片２
３Ｂの右側端部における厚さが右方向に行くに従って次
第に薄くなるように形成されている。また、この傾斜面
部２６Ｂは前後方向においてその幅および傾斜角度が一
定になるように形成されている。そして、本実施例にお
いて、この傾斜面部２６Ｂの傾斜角度は約４５度に設定
されている。

【００３８】また、右側押さえ部片２４Ｂの下面には右
側傾斜面部２７Ｂが左側エッジに配されて、左側押さえ
部片２４Ｂの左側端部における厚さが左方向に行くに従
って次第に薄くなるように形成されている。また、この
傾斜面部２７Ｂは前後方向においてその幅および傾斜角
度が一定になるように形成されている。そして、本実施
例において、この傾斜面部２７Ｂの傾斜角度もまた約４
５度に設定されている。したがって、左側傾斜面部２６
Ｂと右側傾斜面部２７Ｂとは互いに左右対称形状に形成
されており、互いの傾斜面が協働することによって下向
きのハ字形状を構成する状態になっている。

【００３９】ヒートブロック１１の後方にはＸＹテーブ
ル３１が前記ブラケット１５の位置に略対向するように
配設されており、このＸＹテーブル３１上にはボンディ
ングヘッド３２がＸＹ方向に移動されるように搭載され
ている。ボンディングヘッド３２にはボンディングアー
ム３３が上下動し得るように支持されており、このアー
ム３３の先端部にはボンディングツールとしてのウエッ
ジ３４が略垂直方向に配されて、かつ、超音波振動を付
勢されるように支持されている。

【００４０】ウエッジ３４にはアルミニウム等からなる
ワイヤ３５が繰り出し可能に挿通されており、このワイ
ヤ３５はウエッジ３４によりペレット６およびインナリ
ード４上に押し付けられるようになっている。そして、
本実施例において、このワイヤ３５はその直径が数百μ
ｍ以上の比較的太さが太いアルミニウム線材が使用され
ている。

【００４１】また、ボンディングヘッド３２の頂部には
支持アーム３６がウエッジ３３の真上方向に突出するよ
うに張り出されており、この支持アーム３６の先端部に
はテレビカメラ３７が下向きに設備されている。テレビ
カメラ３７はコントローラ（図示せず）に接続されてお
り、コントローラはボンディング状況をテレビカメラ３
７によって認識することにより、ボンディング作業を正
確かつ精度良く実行するように構成されている。

【００４２】次に作用を説明する。前工程において、タ
ブ２上にペレット６がボンディングされたリードフレー
ム１は、ブロック１１上をピッチ送りされ、ブロック１
１の上面によって構成された下側タブ押さえ部材１２お
よびインナリード押さえ部材１９上に供給される。この
とき、若干下げられたタブ２は下側タブ押さえ部材１２
に当接され、インナリード４、４およびアウタリード
５、５は下側インナリード押さえ部材１９に当接されて
いる。

【００４３】続いて、ブロック１１が上昇されると、相
対的に、上側タブ押さえ部材１８Ａおよび１８Ｂと、上
側インナリード押さえ部材２２Ａおよび２２Ｂとが下降
される。この各上側押さえ部材１８Ａおよび１８Ｂと、
２２Ａおよび２２Ｂとの下降に伴って、リードフレーム
１は各上側押さえ部材１８Ａ、１８Ｂ、２２Ａ、２２Ｂ
によって下側押さえ部材１２および１９に押さえ付けら
れるため、両者１８Ａ、１８Ｂ、２２Ａ、２２Ｂと、１
２、１９との間で保持されることになる。

【００４４】このとき、各上側押さえ部材１８Ａ、１８
Ｂおよび２２Ａ、２２Ｂが各ガイドレール１６および２
０等を介して設備されているブラケット１５は、クラン
プスプリング１４によって下方へ常時付勢されているた
め、リードフレーム１はこのスプリング１４の付勢力に
よって押さえ付けられることになる。

【００４５】そして、タブ２は上側タブ押さえ部材１８
Ａおよび１８Ｂによって下側タブ押さえ部材１２に垂直
に押さえ付けられることにより、摩擦力により固定され
た状態になる。

【００４６】しかし、左右のインナリード４、４は上側
インナリード押さえ部材２２Ａおよび２２Ｂの各傾斜面
部２６Ａ、２７Ａおよび２６Ｂ、２７Ｂによって下側イ
ンナリード押さえ部材１９に垂直に押さえ付けられると
ともに、水平方向に押されることによって水平方向への
移動をも阻止された状態で、それぞれ確実かつ安定的に
固定された状態になる。

【００４７】次いで、ボンディングヘッド３２がＸＹテ
ーブル３１によりＸＹ方向に移動され、かつ、ボンディ
ングアーム３３が昇降されることにより、ウエッジ３４
がワイヤ３５をペレット６の電極パッドとリードフレー
ム１のインナリード４とにボンディングをそれぞれ行っ
て両者間に架橋し、両者を電気的に接続する。

【００４８】このワイヤボンディング時に、ウエッジ３
４によって超音波エネルギがワイヤ３５に付勢され、そ
のエネルギによってワイヤ３５の端部が電極パッドおよ
びインナリード４に接合されることになる。そして、本
実施例においては、太いアルミニウム線材がワイヤ３５
として使用されているため、超音波エネルギは比較的大
きなレベルのものとなる。

【００４９】ところで、インナリード４に対する押さえ
が不充分であると、ワイヤボンディング中にインナリー
ド４が遊動することにより、超音波エネルギの伝播が不
適正になったりすることにより、ボンディング状態が不
良になる。

【００５０】しかし、本実施例においては、各インナリ
ード４、４は各上側インナリード押さえ部材２２Ａおよ
び２２Ｂにそれぞれ形成されている各傾斜面部２６Ａ、
２７Ａおよび２６Ｂ、２７Ｂによって下側インナリード
押さえ部材１９に垂直に押さえ付けられるとともに、水
平方向に押されることによって水平方向への移動をも阻
止された状態で、それぞれ確実かつ安定的に固定された
状態になるため、超音波エネルギのインナリード４、４
への伝播は適正になり、ボンディング状態はきわめて良
好になる。

【００５１】すなわち、図３（ａ）に示されているよう
に、各傾斜面部２６Ａ、２７Ａおよび２６Ｂ、２７Ｂは
各インナリード４、４の上面における左右のエッジにそ
れぞれ押接した状態になるため、各インナリード４、４
に対して垂直方向の分力および水平方向の分力を同時に
付勢することになる。したがって、各インナリード４、
４はその垂直方向分力と水平方向分力とによって、それ
ぞれ確実に保定された状態になる。

【００５２】また、図３（ｂ）に示されているように、
例えば、上側インナリード押さえ部材２２Ａはインナリ
ード４に押力された状態において、この上側インナリー
ド押さえ部材２２Ａを形成する材料の靱性によって撓み
変形するため、その撓み変形力によって押力を増強する
状態になる。したがって、上側インナリード押さえ部材
２２Ａの保定力はより一層増加されることになる。

【００５３】また、インナリード４のエッジが傾斜面部
２６Ａと２７Ａとに接触することによって保定される
と、インナリード４の幅方向（左右方向）における寸法
Ｗのばらつきが吸収されることになる。すなわち、イン
ナリード４の幅方向の寸法が大きい場合には、インナリ
ード４のエッジの傾斜面部２６Ａ、２７Ａへの接触箇所
が、下側に移動することにより、その寸法誤差が吸収さ
れることになる。逆に、インナリード４の幅方向の寸法
が小さい場合には、インナリード４のエッジの傾斜面部
２６Ａ、２７Ａへの接触箇所が、上側に移動することに
より、その寸法誤差が吸収されることになる。

【００５４】ところで、左右のインナリード４と４との
間隔（リード群のピッチに相当する。）Ｐは、各種トラ
ンジスタの規格によって変動する。この間隔の変動の都
度、上側インナリード押さえ部材２２Ａおよび２２Ｂを
交換していると、ワイヤボンディング装置の稼働効率が
きわめて低下する。

【００５５】しかし、本実施例においては、左右のイン
ナリード４と４との間隔Ｐの変動の都度、上側インナリ
ード押さえ部材２２Ａおよび２２Ｂを交換しなくとも済
む。すなわち、左右のインナリード４と４との間隔が変
動した場合、左右の送りねじ軸２１Ａと２１Ｂとによっ
て、左右の上側インナリード押さえ部材２２Ａと２２Ｂ
とを開閉作動させてその間隔Ｐを変更調整することによ
り、この間隔の変動に対応することができる。

【００５６】前記実施例によれば次の効果が得られる。左右の上側インナリード押さえ部材２２Ａおよび２
２Ｂに各傾斜面部２６Ａ、２７Ａおよび２６Ｂ、２７Ｂ
をそれぞれ形成することにより、各インナリード４、４
は各上側インナリード押さえ部材２２Ａおよび２２Ｂに
形成されている各傾斜面部２６Ａ、２７Ａおよび２６
Ｂ、２７Ｂによって下側インナリード押さえ部材１９に
垂直に押さえ付けられるとともに、水平方向に押される
ことによって水平方向への移動をも阻止された状態で、
それぞれ確実かつ安定的に固定された状態になるため、
超音波エネルギのインナリード４、４への伝播を適正な
状態に維持することができ、良好なボンディング状態を
確保することができる。

【００５７】上側インナリード押さえ部材２２Ａ、
２２Ｂは各インナリード４、４にそれぞれ押力された状
態において、この上側インナリード押さえ部材２２Ａを
形成する材料の靱性によって撓み変形するため、その撓
み変形力によって押力を増強する状態になり、その結
果、上側インナリード押さえ部材２２Ａ、２２Ｂの保定
力をより一層増加させることができる。

【００５８】インナリード４を傾斜面部２６Ａおよ
び２７Ａとの接触によって保定することにより、インナ
リード４の幅方向（左右方向）における寸法ばらつきを
吸収することができるため、インナリード４の加工精度
の厳格性を緩和させることができ、その生産性を高める
ことができる。

【００５９】左右のインナリード４と４との間隔が
変動した場合、左右の送りねじ軸２１Ａと２１Ｂとによ
って、左右の上側インナリード押さえ部材２２Ａと２２
Ｂとの間隔を変更調整することにより、この間隔の変動
に対応することができるため、左右のインナリード４と
４との間隔の変動の都度に、上側インナリード押さえ部
材２２Ａおよび２２Ｂを交換しなくとも済み、その結
果、ワイヤボンディング装置の稼働効率の低下を抑制す
ることができる。

【００６０】傾斜面部２６Ａおよび２７Ａがインナ
リード４のエッジに接触することにより、インナリード
４が押さえられるため、平面によって押さえる従来の押
さえ手段に比較して、接触面積が少なくて済み、インナ
リード４においてボンディング可能な領域を広く確保す
ることができる。

【００６１】図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は左
右の傾斜面部の変形例をそれぞれ示す各拡大部分断面図
である。

【００６２】図４（ａ）に示されている実施例２が前記
実施例１と異なる点は、左右の傾斜面部２６Ｃおよび２
７Ｃ、下側のインナリード押さえ部材１９の表層にダイ
ヤモンド粉等の超硬材質粉から成る超硬材質粉層２８が
それぞれ形成されている点にある。

【００６３】本実施例２によれば、傾斜面部２６Ｃおよ
び２７Ｃに超硬材質層２８が形成されているため、傾斜
面部２６Ｃおよび２７Ｃはインナリード４のエッジに滑
り止め状態で接触することになる。したがって、傾斜面
部２６Ｃおよび２７Ｃはインナリード４をより一層確実
に固定することができる。

【００６４】なお、超硬材質層２８の代わりに硬質ゴム
等の摩擦係数の大きな材料層を傾斜面部の表層に形成し
ても、同様の作用および効果を得ることができる。

【００６５】図４（ｂ）に示されている実施例３が前記
実施例１と異なる点は、片側の上側押さえ部材１８Ａに
左側の押さえ部片２４Ａのみが形成されている点にあ
る。

【００６６】本実施例３においては、図４（ｂ）に示さ
れているように、インナリード４は片側の押さえ部片２
４Ａにおける左側の傾斜面部２６Ａによって右方向に押
されて、撓み変形量Ｌだけ撓み変形するため、そのイン
ナリード４自体による撓み変形力下で確実に固定される
ことになる。

【００６７】なお、他方の片側である右側の上側押さえ
部材１８Ｂにおいても押さえ部片を片側にのみ形成する
ことにより、同様の作用および効果を得ることができ
る。

【００６８】図４（ｃ）に示されている実施例４が前記
実施例１と異なる点は、左右の傾斜面部２６Ｄおよび２
７Ｄが下側のインナリード押さえ部材１９に形成されて
いる点にある。

【００６９】本実施例４によれば、傾斜面部２６Ｄおよ
び２７Ｄがインナリード４の下面におけるエッジにそれ
ぞれ接触するため、インナリード４は傾斜面部２６Ｄお
よび２７Ｄによって垂直方向に押さえ付けられるととも
に、水平方向に押される状態になるため、前記実施例１
と同様に確実かつ安定的に固定されることになる。

【００７０】図４（ｄ）に示されている実施例５が前記
実施例１と異なる点は、上側押さえ部材１８Ａにおける
左右の傾斜面部２６Ｅおよび２７ＥによってＶ字形状の
凸部２９が形成されているとともに、この凸部２９がイ
ンナリード４に形成されたＶ字形状溝３０に嵌入するよ
うに構成されている点にある。

【００７１】本実施例５によれば、上側押さえ部材１８
Ａの凸部２９がインナリード４のＶ字形状溝３０に嵌入
することにより、左右の傾斜面部２６Ｅおよび２７Ｅが
Ｖ字形状溝３０の左右の傾斜面部に接触するため、イン
ナリード４は傾斜面部２６Ｅおよび２７Ｅによって垂直
方向に押さえ付けられるとともに、水平方向に押される
状態になるため、前記実施例１と同様に確実に固定され
ることになる。

【００７２】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００７３】例えば、傾斜面部はインナリード押さえ部
材に形成するに限らず、タブ押さえ部材に形成してもよ
い。

【００７４】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるワイヤ
ボンディング装置に適用した場合について説明したが、
それに限定されるものではなく、リードフレームにおけ
るタブ上にペレットをボンディングするペレットボンデ
ィング装置等にも適用することができる。

【００７５】また、前記実施例においては、トランジス
タ用のリードフレームにワイヤをボンディングする場合
について説明したが、半導体集積回路装置用のリードフ
レームにワイヤやペレットをボンディングするボンディ
ング装置等にも適用することができる。

【００７６】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００７７】リードフレームを押さえる上側押さえ部材
および下側押さえ部材の少なくとも一方におけるリード
フレームとの接触面の少なくとも一部に、リードフレー
ムの端辺のエッジに接触する傾斜面部を形成することに
より、リードフレームは押さえ部材に形成されている傾
斜面部によって垂直に押さえ付けられるとともに、水平
方向に押されることによって水平方向への移動をも阻止
された状態で、確実かつ安定的に固定された状態になる
ため、超音波エネルギのリードフレームへの伝播を適正
な状態に維持することができ、良好なボンディング状態
を確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるワイヤボンディング装
置を示す拡大部分斜視図である。

【図２】その側面図である。

【図３】その作用を説明するための各拡大部分断面図で
ある。

【図４】左右の傾斜面部の変形例をそれぞれ示す各拡大
部分断面図である。

【符合の説明】

１…リードフレーム、２…タブ、３…タブ吊りリード、
４…インナリード、５…ボンディングワイヤ、６…ペレ
ット、７…透孔、１１…ブロック、１２…下側押さえ部
材、１３…位置決め凸部、１４…クランプスプリング、
１５…ブラケット、１６…前側ガイドレール、１７Ａ、
１７Ｂ…送りねじ軸、１８Ａ、１８Ｂ…タブ上側押さえ
部材、１９…インナリード下側押さえ部材、２０…後側
ガイドレール、２１Ａ、２１Ｂ…送りねじ軸、２２Ａ、
２２Ｂ…インナリード上側押さえ部材、２３Ａ、２３Ｂ
…押さえ部片、２４Ａ、２４Ｂ…押さえ部片、２５Ａ、
２５Ｂ…凹部、２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ、２６
Ｅ…傾斜面部、２７Ａ、２７Ｂ、２７Ｃ、２７Ｄ、２７
Ｅ…傾斜面部、２８…超硬材質層、２９…Ｖ字形状凸
部、３０…Ｖ字形状溝、３１…ＸＹテーブル、３２…ボ
ンディングヘッド、３３…ボンディングアーム、３４…
ウエッジ、３５…ワイヤ、３６…支持アーム、３７…テ
レビカメラ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】リードフレームを押さえる上側押さえ部
材および下側押さえ部材の少なくとも一方におけるリー
ドフレームとの接触面の少なくとも一部に、リードフレ
ームの端辺のエッジに接触する傾斜面部が形成されてい
ることを特徴とするボンディング装置。
【請求項２】傾斜面部が形成されている押さえ部材の
リードフレームに対する位置が、調整し得るように構成
されていることを特徴とする請求項１に記載のボンディ
ング装置。
【請求項３】リードフレームを押さえる上側押さえ部
材および下側押さえ部材の少なくとも一方におけるリー
ドフレームとの接触面の少なくとも一部に、リードフレ
ームに形成されたＶ溝に嵌合する押さえ凸部が形成され
ていることを特徴とするボンディング装置。