JPH05265555A - 圧電素子高さ調整装置 - Google Patents
圧電素子高さ調整装置Info
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- JPH05265555A JPH05265555A JP4041612A JP4161292A JPH05265555A JP H05265555 A JPH05265555 A JP H05265555A JP 4041612 A JP4041612 A JP 4041612A JP 4161292 A JP4161292 A JP 4161292A JP H05265555 A JPH05265555 A JP H05265555A
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- JP
- Japan
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- piezoelectric element
- piezo
- outer cylinder
- adjustment
- electric element
- Prior art date
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- Pending
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- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims description 14
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission Devices (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧電素子の高さ調整に際し、装置の分解等の
複雑な作業無しに、短時間で容易に調整を行うことが可
能な圧電素子高さ調整装置を提供する。 【構成】 圧電素子の伸縮によって可動部を押し上げ、
移動させる移動機構において、中央部の圧電素子4は、
上側外筒2に固定されており、上側外筒は、下側外筒3
に対し回転しないように回転止め8がつけられ、調節リ
ング1は上側外筒,下側外筒にネジがかみ合っており、
各ネジのピッチを異なるものとすることにより、調整リ
ングの回転で外筒間の距離を微少量変化させ、圧電素子
収納部の深さを可変とする。
複雑な作業無しに、短時間で容易に調整を行うことが可
能な圧電素子高さ調整装置を提供する。 【構成】 圧電素子の伸縮によって可動部を押し上げ、
移動させる移動機構において、中央部の圧電素子4は、
上側外筒2に固定されており、上側外筒は、下側外筒3
に対し回転しないように回転止め8がつけられ、調節リ
ング1は上側外筒,下側外筒にネジがかみ合っており、
各ネジのピッチを異なるものとすることにより、調整リ
ングの回転で外筒間の距離を微少量変化させ、圧電素子
収納部の深さを可変とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、精密機器に用いられる
位置決め装置、特に圧電素子高さ調整装置に関するもの
である。
位置決め装置、特に圧電素子高さ調整装置に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】従来、圧電素子の伸縮によって可動部を
押し上げ、移動させる移動機構における圧電素子の高さ
調整では、圧電素子または圧電素子を納めているホルダ
ーの端面を削って必要とする長さに合わせることが行わ
れてきた。
押し上げ、移動させる移動機構における圧電素子の高さ
調整では、圧電素子または圧電素子を納めているホルダ
ーの端面を削って必要とする長さに合わせることが行わ
れてきた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】圧電素子の伸縮によっ
て可動部を押し上げ、移動させる移動機構における圧電
素子の高さ調整では、圧電素子の伸縮量が十数μmと非
常に小さく、この小さい伸縮量で可動部を確実に押し上
げるためには、伸縮前に基準面と伸縮する面の高精度の
位置調整が必要となる。従来の圧電素子または圧電素子
を納めているホルダーの端面を削って必要とする長さに
合わせる方法では、作業に高度の技術が要求される、調
整を行う度に圧電素子取付部を分解し、圧電素子を取り
外さなければならない、調整に時間がかかる等の問題が
ある。
て可動部を押し上げ、移動させる移動機構における圧電
素子の高さ調整では、圧電素子の伸縮量が十数μmと非
常に小さく、この小さい伸縮量で可動部を確実に押し上
げるためには、伸縮前に基準面と伸縮する面の高精度の
位置調整が必要となる。従来の圧電素子または圧電素子
を納めているホルダーの端面を削って必要とする長さに
合わせる方法では、作業に高度の技術が要求される、調
整を行う度に圧電素子取付部を分解し、圧電素子を取り
外さなければならない、調整に時間がかかる等の問題が
ある。
【0004】本発明の目的は、圧電素子の高さ調整に際
し、高度な技術を要求せず、装置の分解等の複雑な作業
無しに短時間で容易に調整を行うことが可能な圧電素子
高さ調整装置を提供することにある。
し、高度な技術を要求せず、装置の分解等の複雑な作業
無しに短時間で容易に調整を行うことが可能な圧電素子
高さ調整装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の圧電素子高さ調
整装置は、圧電素子の伸縮によって可動部を押し上げ、
移動させる移動機構において、圧電素子収納部を分割
し、分割した圧電素子収納部双方にピッチの異なるネジ
部を設け、双方のネジ部にかみ合う調整リングにより双
方を接続したことを特徴とする。
整装置は、圧電素子の伸縮によって可動部を押し上げ、
移動させる移動機構において、圧電素子収納部を分割
し、分割した圧電素子収納部双方にピッチの異なるネジ
部を設け、双方のネジ部にかみ合う調整リングにより双
方を接続したことを特徴とする。
【0006】
【作用】本発明の高さ調整装置は、圧電素子の伸縮によ
って可動部を押し上げて固定部から離し、移動用の圧電
素子によって移動させた後、可動部を下ろして固定部に
接触させるという動作を繰り返すことによって可動部を
移動させる移動機構において、押し上げ用圧電素子収納
部を構成する外筒を2分割しその2個の外筒にピッチの
異なる雄ネジ部を設け、この外側に設けた調節リングの
両側に雌ネジを設け、両外筒に設けた雄ネジとかみ合わ
せる。両外筒は、回転止めにより相互に回転はしないた
め、調節リングを回転させることにより、ネジのピッチ
差の分だけ両外筒間の距離が変えられる。
って可動部を押し上げて固定部から離し、移動用の圧電
素子によって移動させた後、可動部を下ろして固定部に
接触させるという動作を繰り返すことによって可動部を
移動させる移動機構において、押し上げ用圧電素子収納
部を構成する外筒を2分割しその2個の外筒にピッチの
異なる雄ネジ部を設け、この外側に設けた調節リングの
両側に雌ネジを設け、両外筒に設けた雄ネジとかみ合わ
せる。両外筒は、回転止めにより相互に回転はしないた
め、調節リングを回転させることにより、ネジのピッチ
差の分だけ両外筒間の距離が変えられる。
【0007】
【実施例】以下、本発明の実施例を図に基づいて説明す
る。
る。
【0008】図1は、本発明の一実施例を示す説明図
で、本発明の高さ調整装置を圧電素子4の中心を通る面
で断面図にしたものである。中央部の圧電素子4は、上
側外筒2に固定されている。上側外筒2は、下側外筒3
に対し回転しないように、下側外筒3に中心軸方向に設
けた溝に上側外筒の突起を噛み合わせた回転止め部8が
ついている。調整リング1は上側外筒2、下側外筒3に
ネジがかみ合っている。上側外筒2のネジピッチはこの
例では0.5mm、下側外筒3のネジのピッチは0.6
mmとなっており、ともに右ネジである。調整リング1
を1回転回すと上側外筒2と下側外筒3の距離は0.1
mmだけ変化する。このような細かい変化が得られるた
め、例えば、調整リング1を30°だけ回すと8.3μ
mという微少な変位が得られ装置の調整が容易に行え
る。
で、本発明の高さ調整装置を圧電素子4の中心を通る面
で断面図にしたものである。中央部の圧電素子4は、上
側外筒2に固定されている。上側外筒2は、下側外筒3
に対し回転しないように、下側外筒3に中心軸方向に設
けた溝に上側外筒の突起を噛み合わせた回転止め部8が
ついている。調整リング1は上側外筒2、下側外筒3に
ネジがかみ合っている。上側外筒2のネジピッチはこの
例では0.5mm、下側外筒3のネジのピッチは0.6
mmとなっており、ともに右ネジである。調整リング1
を1回転回すと上側外筒2と下側外筒3の距離は0.1
mmだけ変化する。このような細かい変化が得られるた
め、例えば、調整リング1を30°だけ回すと8.3μ
mという微少な変位が得られ装置の調整が容易に行え
る。
【0009】一つのネジにより調整を行った場合、ネジ
のピッチを小さくすることには限度があるため細かい調
整は行えない。これに対し、本発明では、ピッチそのも
のは小さくする必要はないため任意でよく、2つのネジ
のピッチを僅かに変えることによって、ミクロンオーダ
ーの細かい調整が可能となる。
のピッチを小さくすることには限度があるため細かい調
整は行えない。これに対し、本発明では、ピッチそのも
のは小さくする必要はないため任意でよく、2つのネジ
のピッチを僅かに変えることによって、ミクロンオーダ
ーの細かい調整が可能となる。
【0010】なお、外筒に雌ネジを設け、調整リングに
雄ネジを設けたり、一方の外筒に雄ネジ、他の一方に雌
ネジを設けてもよい。また、外筒の一方を他の外筒の内
部に配し、2個の外筒の間に調整リングを設け、調整リ
ング外側の雄ネジと内側の雌ネジのピッチを変えて調整
リングを回転させることにより高さを調整してもよい。
雄ネジを設けたり、一方の外筒に雄ネジ、他の一方に雌
ネジを設けてもよい。また、外筒の一方を他の外筒の内
部に配し、2個の外筒の間に調整リングを設け、調整リ
ング外側の雄ネジと内側の雌ネジのピッチを変えて調整
リングを回転させることにより高さを調整してもよい。
【0011】図2は本発明の他の実施例を示す説明図
で、上側外筒2の外側に調整リング1、さらにその外側
に下側外筒3が配されている。上側外筒2と下側外筒3
は図1の例と同様、回転止め部8がついている。調整リ
ング1の内側と外側のネジのピッチを変えることによ
り、図1の実施例と同様にμmオーダーの微少な距離調
整が容易に行える。
で、上側外筒2の外側に調整リング1、さらにその外側
に下側外筒3が配されている。上側外筒2と下側外筒3
は図1の例と同様、回転止め部8がついている。調整リ
ング1の内側と外側のネジのピッチを変えることによ
り、図1の実施例と同様にμmオーダーの微少な距離調
整が容易に行える。
【0012】精密かつ、荷重の大きい、圧電素子を用い
た精密機構で問題となる、ネジ部のガタ,ゆるみについ
ては、調整リング部にさらにロックナットを付加する事
等により解決される。ロックナットを締めることにより
若干の変位が生じるが、これは常にほぼ一定であり、こ
の変位を予め考慮しておけば問題はない。
た精密機構で問題となる、ネジ部のガタ,ゆるみについ
ては、調整リング部にさらにロックナットを付加する事
等により解決される。ロックナットを締めることにより
若干の変位が生じるが、これは常にほぼ一定であり、こ
の変位を予め考慮しておけば問題はない。
【0013】また、本発明では、調整リングだけが回転
し、外筒を回転させる必要がないため、調整リング以外
には回転する部分はなく、装置の構成が容易となる。
し、外筒を回転させる必要がないため、調整リング以外
には回転する部分はなく、装置の構成が容易となる。
【0014】
【発明の効果】本発明の利点とするところは、次の通り
である。本発明の圧電素子高さ調整装置により、圧電素
子の高さ調整に際し、高度な技術を要求せず、装置の分
解等の複雑な作業無しに短時間で容易に調整を行うこと
が可能となる。
である。本発明の圧電素子高さ調整装置により、圧電素
子の高さ調整に際し、高度な技術を要求せず、装置の分
解等の複雑な作業無しに短時間で容易に調整を行うこと
が可能となる。
【0015】一つのネジにより調整を行った場合、ネジ
のピッチを小さくすることには限度があるため細かい調
整は行えないが、本発明を用いることにより、ピッチそ
のものを小さくすることなく、二つのネジのピッチを僅
かに変えることによって、ミクロンオーダーの細かい調
整が可能となる。
のピッチを小さくすることには限度があるため細かい調
整は行えないが、本発明を用いることにより、ピッチそ
のものを小さくすることなく、二つのネジのピッチを僅
かに変えることによって、ミクロンオーダーの細かい調
整が可能となる。
【0016】また、調節リングだけが回転し、外筒を回
転させる必要がないため、調整リング以外には回転する
部分はなく、装置の構成が容易となる。
転させる必要がないため、調整リング以外には回転する
部分はなく、装置の構成が容易となる。
【図1】本発明の一実施例の断面図である。
【図2】本発明の他の実施例の断面図である。
1 調節リング 2 上側外筒 3 下側外筒 4 圧電素子 5 接触部材 6 可動部材 7 固定部材 8 回転止め部
Claims (1)
- 【請求項1】圧電素子の伸縮によって可動部を押し上
げ、移動させる移動機構において、圧電素子収納部を分
割し、分割した圧電素子収納部双方にピッチの異なるネ
ジ部を設け、双方のネジ部にかみ合う調整リングにより
双方を接続した圧電素子高さ調整装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4041612A JPH05265555A (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | 圧電素子高さ調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4041612A JPH05265555A (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | 圧電素子高さ調整装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05265555A true JPH05265555A (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=12613168
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4041612A Pending JPH05265555A (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | 圧電素子高さ調整装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05265555A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009181741A (ja) * | 2008-01-29 | 2009-08-13 | Institute Of Physical & Chemical Research | 位置出し機構 |
JP2020200934A (ja) * | 2019-06-13 | 2020-12-17 | Ckd株式会社 | 切換弁 |
-
1992
- 1992-02-27 JP JP4041612A patent/JPH05265555A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009181741A (ja) * | 2008-01-29 | 2009-08-13 | Institute Of Physical & Chemical Research | 位置出し機構 |
JP2020200934A (ja) * | 2019-06-13 | 2020-12-17 | Ckd株式会社 | 切換弁 |
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