JPH0526261U - 真空吸着治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空吸着ヘッドで吸着して持ち上げたウェー
ハのオリエンテーションフラットの位置を変え得るよう
にする。 【構成】 スイッチ１５を備えた筒状の把持部１２の先
端側にはパイプ１３が設けられている。パイプ１３の先
端側には円板状の真空吸着ヘッド１７が回転自在に設け
られている。真空吸着ヘッド１７に一体的に設けられた
歯車２１と把持部１２に設けられた歯車２２には歯付き
ベルト２４が掛け渡されている。歯車２２には、把持部
１２に回転自在に設けられた手操作歯車２５が噛合され
ている。スイッチ１５がオンになり、真空ポンプが駆動
すると、真空吸着ヘッド１７でウェーハを吸着して持ち
上げることができる。この状態で手操作歯車２５を回転
させると、その回転が歯車２２、歯付きベルト２４およ
び歯車２１を介して真空吸着ヘッド１７に伝達され、真
空吸着ヘッド１７がこれに吸着されたウェーハと共に回
転する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は半導体製造工程等において用いられる真空吸着治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】

例えば半導体製造工程においては、ウェーハを次工程に移したり、斜光検査や 目視検査等を行う際、ウェーハを傷つけることなく持ち上げるために、真空ピン セットと呼ばれる真空吸着治具を用いることが多い。

【０００３】 図３および図４は従来のこのような真空吸着治具の一例を示したものである。 この真空吸着治具は真空吸着治具本体１を備えている。真空吸着治具本体１は 、筒状の把持部２の先端側にパイプ３が設けられ、把持部２の基端側がチューブ ４を介して真空ポンプ（図示せず）に接続され、把持部２の所定の個所にスイッ チ５が設けられた構造となっている。パイプ３の先端部には、下面中央部に開口 ６を有する方形板状の真空吸着ヘッド７が設けられている。そして、スイッチ５ が押されてオンの状態になると、真空ポンプが駆動し、真空吸着ヘッド７の開口 ６側の下面で図示しないウェーハを吸着して持ち上げることができるようになっ ている。この場合、ウェーハには結晶方位を示すためのオリエンテーションフラ ットが設けられており、真空吸着ヘッド７で吸着して持ち上げたウェーハを該オ リエンテーションフラットを位置決め部材に突き当てることにより位置決めを行 なう。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、従来のこのような真空吸着治具では、真空吸着ヘッド７でウェ ーハを吸着して持ち上げることができるだけであるので、吸着して持ち上げたウ ェーハのオリエンテーションフラットの位置を変えたい場合には、ウェーハに対 する吸着を解除し、次いでウェーハに対する真空吸着ヘッド７の位置を変えた後 ウェーハを吸着し直すこととなり、面倒であるという問題があった。 この考案の目的は、真空吸着ヘッドで吸着して持ち上げたウェーハ等の位置を 容易に変えることのできる真空吸着治具を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

この考案は、把持部を有する真空吸着治具本体の先端部に真空吸着ヘッドを回 転自在に設け、真空吸着治具本体の把持部に操作回転体を回転自在に設け、操作 回転体の回転を伝達手段を介して真空吸着ヘッドに伝達するようにしたものであ る。

【０００６】

【作用】

この考案によれば、真空吸着治具本体の把持部に設けられた操作回転体が回転 されると、その回転が伝達手段を介して真空吸着ヘッドに伝達され、真空吸着ヘ ッドが回転することになるので、ウェーハ等を真空吸着ヘッドで吸着して持ち上 げた状態で回転させることができ、したがって真空吸着ヘッドで吸着して持ち上 げたウェーハ等の位置を容易に変えることができる。

【０００７】

【実施例】

図１および図２はこの考案の一実施例における真空吸着治具の要部を示したも のである。 この真空吸着治具は真空吸着治具本体１１を備えている。真空吸着治具本体１ １は、従来とほぼ同じ構成であって、筒状の把持部１２の先端側にパイプ１３が 設けられ、把持部１２の基端側がチューブ１４を介して真空ポンプ（図示せず） に接続され、把持部１２の所定の個所にスイッチ１５が設けられた構造となって いる。このうちパイプ１３の先端部はその他の部分に対してほぼ直角に折り曲げ られている。この折り曲げられたパイプ１３の先端部には筒状のヘッド支持軸１ ６が気密に取り付けられている。ヘッド支持軸１６には円板状の真空吸着ヘッド １７がスラスト軸受１８を介して回転自在にかつＯリング１９を介して気密に取 り付けられている。真空吸着ヘッド１７は、下面中央部に開口２０が設けられ、 上面中央部に歯車２１が設けられた構造となっている。真空吸着ヘッド１７の歯 車２１に対応して、把持部１２の先端部側面には歯車２２が軸２３を介して回転 自在に設けられている。両歯車２１、２２には歯付きベルト２４が掛け渡されて いる。把持部１２側の歯車２２には手操作歯車２５が噛合されている。手操作歯 車２５は、その一部を把持部１２の外側に突出された状態で、把持部１２の先端 部側面に軸２６を介して回転自在に設けられている。

【０００８】 この真空吸着治具では、スイッチ１５が押されてオンの状態になると、真空ポ ンプが駆動し、真空吸着ヘッド１７の開口１８側の下面で図示しないウェーハを 吸着して持ち上げることができる。この吸着して持ち上げたウェーハのオリエン テーションフラットの位置を変えたい場合には、把持部１２の外側に突出された 手操作歯車２５の一部を所望の方向に回転させると、その回転が歯車２２、歯付 きベルト２４および歯車２１からなる伝達手段を介して真空吸着ヘッド１７に伝 達され、真空吸着ヘッド１７がこれに吸着されたウェーハと共に所望の方向に回 転する。したがって、真空吸着ヘッド１７で吸着して持ち上げたウェーハのオリ エンテーションフラットの位置を容易に変えることができる。

【０００９】 なお、上記実施例では、パイプ１３の先端部をその他の部分に対してほぼ直角 に折り曲げ、この折り曲げたパイプ１３の先端部にヘッド支持軸１６を取り付け ているが、これに限らず、例えばパイプ１３の先端部をその他の部分に対して１ ３５°程度に折り曲げ、この折り曲げたパイプ１３の先端部にヘッド支持軸１６ を取り付けるようにしてもよい。また、Ｏリング１９がなくても十分な吸着力を 得ることができれば、Ｏリング１９を省略してもよい。

【００１０】

【考案の効果】

以上説明したように、この考案によれば、真空吸着治具本体の把持部に設けら れた操作回転体を回転させると、真空吸着ヘッドが回転するようにしているので 、ウェーハ等を真空吸着ヘッドで吸着して持ち上げた状態で回転させることがで き、したがって真空吸着ヘッドで吸着して持ち上げたウェーハ等の位置を容易に 変えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例における真空吸着治具の要
部の底面図。

【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図。

【図３】従来の真空吸着治具の一例の一部の底面図。

【図４】図３のＢ−Ｂ線に沿う断面図。

【符号の説明】

１１ 真空吸着治具本体 １２ 把持部 １３ パイプ １６ ヘッド支持軸 １７ 真空吸着ヘッド ２１、２２ 歯車 ２４ 歯付きベルト ２５ 手操作歯車

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 把持部を有する真空吸着治具本体と、 該真空吸着治具本体の先端部に回転自在に設けられた真
   空吸着ヘッドと、 前記真空吸着治具本体の把持部に回転自在に設けられた
   操作回転体と、 該操作回転体の回転を前記真空吸着ヘッドに伝達する伝
   達手段と、 を具備してなる真空吸着治具。