JPS6314997Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6314997Y2 JPS6314997Y2 JP1984090776U JP9077684U JPS6314997Y2 JP S6314997 Y2 JPS6314997 Y2 JP S6314997Y2 JP 1984090776 U JP1984090776 U JP 1984090776U JP 9077684 U JP9077684 U JP 9077684U JP S6314997 Y2 JPS6314997 Y2 JP S6314997Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- arms
- attached
- rotating
- vacuum processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 6
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Feeding Of Workpieces (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の技術分野〕
本考案は搬送装置に係り、特に自動的に真空処
理を行なう真空処理装置において被処理物を搬送
するための搬送装置に関する。
理を行なう真空処理装置において被処理物を搬送
するための搬送装置に関する。
通常、真空処理装置においてはエツチングやス
パツタリング等の真空処理を行なう真空処理室が
設けられ、この真空処理室の入口側および出口側
には、それぞれロードマツク室が連結されてい
る。このロードマツク室には、搬送装置が配設さ
れており、この搬送装置により真空処理装置の外
部から真空処理室へ、あるいは真空処理室から真
空処理装置の外部へ被処理物を搬送するようにな
されている。
パツタリング等の真空処理を行なう真空処理室が
設けられ、この真空処理室の入口側および出口側
には、それぞれロードマツク室が連結されてい
る。このロードマツク室には、搬送装置が配設さ
れており、この搬送装置により真空処理装置の外
部から真空処理室へ、あるいは真空処理室から真
空処理装置の外部へ被処理物を搬送するようにな
されている。
このような搬送装置には、従来コンベア形式の
ものが一般に使用されているが、コンベア形式の
装置の場合、装置が大型化、複雑化してしまい真
空処理装置全体の大型化を招くという欠点を有し
ている。特にロードマツク室が大型化すると、真
空排気に長時間を要すため、真空処理時間が長く
なり、作業効率が低下するという欠点を有してい
る。
ものが一般に使用されているが、コンベア形式の
装置の場合、装置が大型化、複雑化してしまい真
空処理装置全体の大型化を招くという欠点を有し
ている。特にロードマツク室が大型化すると、真
空排気に長時間を要すため、真空処理時間が長く
なり、作業効率が低下するという欠点を有してい
る。
本考案は上記欠点に鑑みてなされたもので、小
型化を図り、真空処理装置の小型化に対応するこ
とのできる搬送装置を提供することを目的とする
ものである。
型化を図り、真空処理装置の小型化に対応するこ
とのできる搬送装置を提供することを目的とする
ものである。
上記目的を達成するため本考案に係る搬送装置
は、支持ベース上に歯車伝達機構を介して一端部
を中心として対称的に回転するように取付けられ
た２本の第１アームと、これら各第１アームの他
端部に該第１アームの回転面と異なる回転面とな
るよう間隔を置いて回転自在に取付けられ先端部
にそれぞれ歯車が取付けられた上記第１アームと
同一長さの第２アームと、これら各第２アームの
先端部を上記各歯車が噛合うように回転自在に連
結する被処理物の載置板とを有し、上記第１アー
ムの一方を回転させる回転駆動源を設けるととも
に、この一方の第１アームの回転運動を伝達して
該第１アームに取付けられた一方の第２アームを
回転させる動力伝達機構を設けて構成されてお
り、上記第１アーム及びこれと同一長さの第２ア
ームの異なる回転面における回転により、載置板
上の被非処理物を直線的、かつ第１アーム（第２
アーム）の長さ４倍の長さまで搬送するようなさ
れている。
は、支持ベース上に歯車伝達機構を介して一端部
を中心として対称的に回転するように取付けられ
た２本の第１アームと、これら各第１アームの他
端部に該第１アームの回転面と異なる回転面とな
るよう間隔を置いて回転自在に取付けられ先端部
にそれぞれ歯車が取付けられた上記第１アームと
同一長さの第２アームと、これら各第２アームの
先端部を上記各歯車が噛合うように回転自在に連
結する被処理物の載置板とを有し、上記第１アー
ムの一方を回転させる回転駆動源を設けるととも
に、この一方の第１アームの回転運動を伝達して
該第１アームに取付けられた一方の第２アームを
回転させる動力伝達機構を設けて構成されてお
り、上記第１アーム及びこれと同一長さの第２ア
ームの異なる回転面における回転により、載置板
上の被非処理物を直線的、かつ第１アーム（第２
アーム）の長さ４倍の長さまで搬送するようなさ
れている。
以下、本考案の一実施例を第１図および第２図
を参照して説明する。
を参照して説明する。
本実施例においては、２本の第１アーム１ａ，
１ｂの一端部下面側には、駆動軸２ａ，２ｂが
夫々固着され、この駆動軸２ａ，２ｂには歯車３
ａ，３ｂが同軸的に取付けられている。この各第
１アーム１ａ，１ｂは、上記各歯車３ａ，３ｂが
互いに噛合うように対称的に配置され、かつ、上
記駆動軸２ａ，２ｂは、支持ベース４上に回転自
在に支持されており、各第１アーム１ａ，１ｂが
各駆動軸２ａ，２ｂを中心として対称的に回転す
るようになされている。
１ｂの一端部下面側には、駆動軸２ａ，２ｂが
夫々固着され、この駆動軸２ａ，２ｂには歯車３
ａ，３ｂが同軸的に取付けられている。この各第
１アーム１ａ，１ｂは、上記各歯車３ａ，３ｂが
互いに噛合うように対称的に配置され、かつ、上
記駆動軸２ａ，２ｂは、支持ベース４上に回転自
在に支持されており、各第１アーム１ａ，１ｂが
各駆動軸２ａ，２ｂを中心として対称的に回転す
るようになされている。
また、各第１アーム１ａ，１ｂの他端部には、
第１アームと等しい長さの第２アーム５ａ，５ｂ
がこの第２アーム５ａ，５ｂの一端部下面側に固
着された回転軸６ａ，６ｂを介して上記第１アー
ム１ａ，１ｂの回転面とこの第２アーム５ａ，５
ｂの回転面が異なるように間隔を置いて連結され
ており、各第２アーム５ａ，５ｂが上記第１アー
ム１ａ，１ｂに平行に回転軸６ａ，６ｂを中心と
してこの第１アーム１ａ，１ｂに阻害されること
なく回転するようになされている。さらに、各第
２アーム５ａ，５ｂの他端部には、歯車７ａ，７
ｂが固着されており、この第２アーム５ａ，５ｂ
の他端部は、上記各歯車７ａ，７ｂが噛合うよう
に被処理物の載置板８に回転自在に連結されてい
る。
第１アームと等しい長さの第２アーム５ａ，５ｂ
がこの第２アーム５ａ，５ｂの一端部下面側に固
着された回転軸６ａ，６ｂを介して上記第１アー
ム１ａ，１ｂの回転面とこの第２アーム５ａ，５
ｂの回転面が異なるように間隔を置いて連結され
ており、各第２アーム５ａ，５ｂが上記第１アー
ム１ａ，１ｂに平行に回転軸６ａ，６ｂを中心と
してこの第１アーム１ａ，１ｂに阻害されること
なく回転するようになされている。さらに、各第
２アーム５ａ，５ｂの他端部には、歯車７ａ，７
ｂが固着されており、この第２アーム５ａ，５ｂ
の他端部は、上記各歯車７ａ，７ｂが噛合うよう
に被処理物の載置板８に回転自在に連結されてい
る。
このように、歯車３ａ，３ｂ及び７ａ，７ｂを
夫々噛合わせることにより、載置板８が確実に直
線運動を行うように構成されている。
夫々噛合わせることにより、載置板８が確実に直
線運動を行うように構成されている。
なお、本実施例においては、一方（図において
左側）の第１アーム１ａの駆動軸２ａは支持ベー
ス４を貫通してモータ等の回転駆動源９に接続さ
れており、支持ベース４には、上記回転駆動源９
に接続される駆動軸２ａと同軸上に位置する固定
ホイール１０が設けられている。さらに、この第
１アーム１ａに連結される第２アーム５ａの回転
軸６ａの下端軸６ａの下端には、上記固定ホイー
ル１０の直径の1/2の直径を有する回転ホイール
１１が取付けられ、上記固定ホイール１０と回転
ホイール１１との間には、動力伝達機構としてベ
ルト１２が掛けられ、第１アーム１ａの回転運動
を第２アーム５ａに強制的に伝達し、これにより
第２アーム５ａがスムーズに回転運動するように
なされている。
左側）の第１アーム１ａの駆動軸２ａは支持ベー
ス４を貫通してモータ等の回転駆動源９に接続さ
れており、支持ベース４には、上記回転駆動源９
に接続される駆動軸２ａと同軸上に位置する固定
ホイール１０が設けられている。さらに、この第
１アーム１ａに連結される第２アーム５ａの回転
軸６ａの下端軸６ａの下端には、上記固定ホイー
ル１０の直径の1/2の直径を有する回転ホイール
１１が取付けられ、上記固定ホイール１０と回転
ホイール１１との間には、動力伝達機構としてベ
ルト１２が掛けられ、第１アーム１ａの回転運動
を第２アーム５ａに強制的に伝達し、これにより
第２アーム５ａがスムーズに回転運動するように
なされている。
なお、この動力伝達機構はベルトに限られるも
のではなく、例えば歯車を複数組合わせる機構で
あつてもよい。
のではなく、例えば歯車を複数組合わせる機構で
あつてもよい。
本実施例においては、回転駆動源９を動作させ
一方の駆動軸２ａを回転させると、歯車３ａ，３
ｂにより他方の駆動軸２ｂも同時に反対方向へ回
転し、各第１アーム１ａ，１ｂは対称的に回転す
る。一方、第１アーム１ａの回転によりベルト１
２を介して回転ホイール１１が回転して第２アー
ム５ａが第１アーム１ａと反対方向へスムーズび
回転し、歯車７ａ，７ｂにより他方の第２アーム
５ｂも同時に回転する。このとき、載置板８は直
線的に移動し、この載置板８の上に被処理物を載
置することにより、被処理物を搬送することがで
きる。
一方の駆動軸２ａを回転させると、歯車３ａ，３
ｂにより他方の駆動軸２ｂも同時に反対方向へ回
転し、各第１アーム１ａ，１ｂは対称的に回転す
る。一方、第１アーム１ａの回転によりベルト１
２を介して回転ホイール１１が回転して第２アー
ム５ａが第１アーム１ａと反対方向へスムーズび
回転し、歯車７ａ，７ｂにより他方の第２アーム
５ｂも同時に回転する。このとき、載置板８は直
線的に移動し、この載置板８の上に被処理物を載
置することにより、被処理物を搬送することがで
きる。
したがつて、小形な搬送装置であつても第１ア
ーム（第２アーム）の長さの４倍の大きな、しか
も直線的な搬送距離を得ることができ、その結
果、搬送装置が収容されるロードマツク室の大幅
な小型化を図ることができる。さらに、回転駆動
源が１つで済み経済性も高い。
ーム（第２アーム）の長さの４倍の大きな、しか
も直線的な搬送距離を得ることができ、その結
果、搬送装置が収容されるロードマツク室の大幅
な小型化を図ることができる。さらに、回転駆動
源が１つで済み経済性も高い。
本考案は上記のような構成であるので、比較的
簡単な構造で第１アーム（第２アーム）の長さの
４倍の長さの大きな、しかも直線的でスムーズな
搬送を行うことができ、搬送移動量に対する装置
の小型化を図ることができる。したがつて、ロー
ドロツク室等のの小型化を図ることができ、真空
処理作業効率が大幅に高まる等の効果を奏する。
簡単な構造で第１アーム（第２アーム）の長さの
４倍の長さの大きな、しかも直線的でスムーズな
搬送を行うことができ、搬送移動量に対する装置
の小型化を図ることができる。したがつて、ロー
ドロツク室等のの小型化を図ることができ、真空
処理作業効率が大幅に高まる等の効果を奏する。
第１図および第２図はそれぞれ本考案の一実施
例を示す平面図および正面図である。 １ａ，１ｂ……第１アーム、２ａ，２ｂ……駆
動軸、３ａ，３ｂ，７ａ，７ｂ……歯車、４……
支持ベース、５ａ，５ｂ……第２アーム、８……
載置板、９……回転駆動源、１０……固定ホイー
ル、１１……回転ホイール、１２……ベルト。
例を示す平面図および正面図である。 １ａ，１ｂ……第１アーム、２ａ，２ｂ……駆
動軸、３ａ，３ｂ，７ａ，７ｂ……歯車、４……
支持ベース、５ａ，５ｂ……第２アーム、８……
載置板、９……回転駆動源、１０……固定ホイー
ル、１１……回転ホイール、１２……ベルト。
Claims (1)
- 支持ベース上に歯車伝達機構を介して一端部を
中心として対称的に回転するように取付けられた
２本の第１アームと、これら各第１アームの他端
部に該第１アームの回転面と異なる回転面となる
よう間隔を置いて回転自在に取付けられ先端部に
それぞれ歯車が取付けられた上記第１アームと同
一長さの第２アームと、これら各第２アームの先
端部を上記各歯車が噛合うように回転自在に連結
する被処理物の載置板とを有し、上記第１アーム
の一方を回転させる回転駆動源を設けるととも
に、この一方の第１アームの回転運動を伝達して
該第１アームに取付けられた一方の第２アームを
回転させる動力伝達機構を設けたことを特徴とす
る搬送装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9077684U JPS619231U (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | 搬送装置 |
| DE8585105298T DE3573899D1 (en) | 1984-05-02 | 1985-05-01 | Carrying device |
| EP85105298A EP0160305B1 (en) | 1984-05-02 | 1985-05-01 | Carrying device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9077684U JPS619231U (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS619231U JPS619231U (ja) | 1986-01-20 |
| JPS6314997Y2 true JPS6314997Y2 (ja) | 1988-04-26 |
Family
ID=30646069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9077684U Granted JPS619231U (ja) | 1984-05-02 | 1984-06-20 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS619231U (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0121717Y2 (ja) * | 1985-07-30 | 1989-06-28 | ||
| JP4760675B2 (ja) * | 2006-11-09 | 2011-08-31 | 株式会社Ｉｈｉ | フロッグレッグアームロボット及びその制御方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57138555A (en) * | 1981-02-22 | 1982-08-26 | Hitachi Seiki Co Ltd | Apparatus for exchanging pallet of machine tool |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5112838Y2 (ja) * | 1971-03-25 | 1976-04-07 |
-
1984
- 1984-06-20 JP JP9077684U patent/JPS619231U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57138555A (en) * | 1981-02-22 | 1982-08-26 | Hitachi Seiki Co Ltd | Apparatus for exchanging pallet of machine tool |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS619231U (ja) | 1986-01-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5584647A (en) | Object handling devices | |
| US4897015A (en) | Rotary to linear motion robot arm | |
| SE8406268D0 (sv) | Robot, serskilt for overforing av metallplatstycken fran en presstation till nesta presstation i en presslinje | |
| JPH0538686A (ja) | 搬送装置 | |
| JP2003170384A (ja) | 平板状物の搬送用スカラ型ロボットおよび平板状物の処理システム | |
| GB1526189A (en) | Transfer and turnover mechanism for use with power press or the like | |
| US4749330A (en) | Transport mechanism | |
| JPS60238134A (ja) | 真空処理装置 | |
| JPS6314997Y2 (ja) | ||
| JPH09285982A (ja) | 薄型ワーク搬送装置 | |
| KR100288085B1 (ko) | 기판 반송용 스칼라형 로보트 | |
| JPH1022364A (ja) | 搬送装置における吸着ハンド | |
| CN214055268U (zh) | 一种水平关节机械手 | |
| JP3257730B2 (ja) | タイルの面取加工装置 | |
| JP2009095940A (ja) | ワーク搬送ロボットおよび搬送方法 | |
| JPS6395631A (ja) | ダイボンデイング装置 | |
| JPS62157788A (ja) | 工業用ロボツト | |
| JPS6039084A (ja) | ロボット装置 | |
| CN220963269U (zh) | 一种晶圆倒料装置 | |
| JPH07205061A (ja) | 搬送装置 | |
| JPS63134446A (ja) | 搬送装置 | |
| JPH0236666Y2 (ja) | ||
| JP2968595B2 (ja) | ワーク実装装置 | |
| JP2958587B2 (ja) | 半導体の方向変換搬送装置 | |
| JP2968594B2 (ja) | ワーク実装装置 |