JPH05262535A - 黒色石英ガラス、及びその製法、並びに、それを使用した治具 - Google Patents
黒色石英ガラス、及びその製法、並びに、それを使用した治具Info
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- JPH05262535A JPH05262535A JP8944592A JP8944592A JPH05262535A JP H05262535 A JPH05262535 A JP H05262535A JP 8944592 A JP8944592 A JP 8944592A JP 8944592 A JP8944592 A JP 8944592A JP H05262535 A JPH05262535 A JP H05262535A
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- Glass Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 ニオブ塩化物をアルコール溶液中に溶解し、
該溶液をシリカ粉に湿潤、混合後、乾燥させて微粉末と
して、さらに水素雰囲気中で高温熱処理した後に、該乾
燥粉末を真空中で溶融することを特徴とする二酸化ニオ
ブ５００〜４００００ｐｐｍ含有の黒色石英ガラス。 【効果】 高温における熱処理に対して結晶化すること
がなく溶着等の加工性が良い。また、熱線遮断効果に優
れ、均熱効果もあり、高温材用として治工具類に用いる
ことができ、さらに紫外から赤外までの広範囲の波長域
における光透過率が厚さ１ｍｍで１％以下と遮光性に優
れ、迷光をほぼゼロに抑えられることから光学分析用セ
ル材として有用である。
該溶液をシリカ粉に湿潤、混合後、乾燥させて微粉末と
して、さらに水素雰囲気中で高温熱処理した後に、該乾
燥粉末を真空中で溶融することを特徴とする二酸化ニオ
ブ５００〜４００００ｐｐｍ含有の黒色石英ガラス。 【効果】 高温における熱処理に対して結晶化すること
がなく溶着等の加工性が良い。また、熱線遮断効果に優
れ、均熱効果もあり、高温材用として治工具類に用いる
ことができ、さらに紫外から赤外までの広範囲の波長域
における光透過率が厚さ１ｍｍで１％以下と遮光性に優
れ、迷光をほぼゼロに抑えられることから光学分析用セ
ル材として有用である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、分光光度計用セル等に
用いる黒色石英ガラス、さらに詳しくは、遷移金属酸化
物をシリカガラス中に均一に分散させることにより得ら
れる黒色石英ガラス及び、その製造方法、並びに、該黒
色石英ガラスを用いた治具に関する。
用いる黒色石英ガラス、さらに詳しくは、遷移金属酸化
物をシリカガラス中に均一に分散させることにより得ら
れる黒色石英ガラス及び、その製造方法、並びに、該黒
色石英ガラスを用いた治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、分光光度計用セルの材料や半
導体用炉芯管等の高温材には黒色石英ガラスや白色の不
透明石英ガラスが用いられている。
導体用炉芯管等の高温材には黒色石英ガラスや白色の不
透明石英ガラスが用いられている。
【０００３】このうち、黒色石英ガラスとしては五酸化
バナジウムを含有するものが開示されている（特開昭５
４−１５７１２１号公報）。
バナジウムを含有するものが開示されている（特開昭５
４−１５７１２１号公報）。
【０００４】
【発明が解決しょうとする課題】しかし、五酸化バナジ
ウムを含む黒色石英ガラスは、１０００℃以上で熱処理
を行うとガラスに結晶化部分が生じ、そのため使用に耐
え得る黒色石英ガラスを得るには、歩留まりが悪く、コ
スト高になるという欠点があった。
ウムを含む黒色石英ガラスは、１０００℃以上で熱処理
を行うとガラスに結晶化部分が生じ、そのため使用に耐
え得る黒色石英ガラスを得るには、歩留まりが悪く、コ
スト高になるという欠点があった。
【０００５】また、ガラス加工上さらに高温での熱処理
工程が必要な製品については、この結晶化は致命的欠陥
となっていた。
工程が必要な製品については、この結晶化は致命的欠陥
となっていた。
【０００６】炉芯管の高温材に用いられている不透明石
英ガラスは、透明石英ガラスに比べれば熱線遮断効果は
優れているものの、厚さ１ｍｍ当たりの透光性について
いえば、熱源となる光を１００％カットする事ができな
い。
英ガラスは、透明石英ガラスに比べれば熱線遮断効果は
優れているものの、厚さ１ｍｍ当たりの透光性について
いえば、熱源となる光を１００％カットする事ができな
い。
【０００７】また、その構造が気泡を含有させて不透明
石英ガラスとしているため、透明石英ガラスに比べれば
気泡を制御することで灼熱性を向上させることはできて
も気泡による熱拡散のバラツキが避けられず、発熱体の
発熱ムラがそのまま加熱ムラとなり、炉芯管の均熱性が
その炉の能力に依存する炉においては高性能の炉は望め
なくなる。
石英ガラスとしているため、透明石英ガラスに比べれば
気泡を制御することで灼熱性を向上させることはできて
も気泡による熱拡散のバラツキが避けられず、発熱体の
発熱ムラがそのまま加熱ムラとなり、炉芯管の均熱性が
その炉の能力に依存する炉においては高性能の炉は望め
なくなる。
【０００８】本発明は、光による熱伝導をほぼ１００％
カツトし、かつ均熱効果があり、また、熱処理時にも結
晶化することがない黒色石英ガラスを提供することを目
的とする。
カツトし、かつ均熱効果があり、また、熱処理時にも結
晶化することがない黒色石英ガラスを提供することを目
的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者らは、
前記目的を解決するために鋭意研究を行った結果、二酸
化ニオブ５００〜４００００ｐｐｍを主着色原とし、気
相還元処理を行って作成した黒色石英ガラスは、紫外域
可視域及び赤外域の波長においても遮光性がよく、また
熱線による熱伝導をほぼ１００％カツトし、かつ均熱効
果があり、さらに、熱処理時にも結晶化しないとの知見
を得て本発明を完成した。
前記目的を解決するために鋭意研究を行った結果、二酸
化ニオブ５００〜４００００ｐｐｍを主着色原とし、気
相還元処理を行って作成した黒色石英ガラスは、紫外域
可視域及び赤外域の波長においても遮光性がよく、また
熱線による熱伝導をほぼ１００％カツトし、かつ均熱効
果があり、さらに、熱処理時にも結晶化しないとの知見
を得て本発明を完成した。
【００１０】本発明の黒色石英ガラスを得るには、まず
ニオブ塩化物をアルコール溶液に溶解させ、該溶液を石
英ガラス製造用シリカ粉に添加し、これを湿潤・乾燥さ
せる。
ニオブ塩化物をアルコール溶液に溶解させ、該溶液を石
英ガラス製造用シリカ粉に添加し、これを湿潤・乾燥さ
せる。
【００１１】シリカ粉としては、水晶粉または無定形シ
リカ、クリストバライト等の高純度の酸化ケイ素源の一
種またはこれらの混合物等いかなる方法により製造され
たものも用いることができる。
リカ、クリストバライト等の高純度の酸化ケイ素源の一
種またはこれらの混合物等いかなる方法により製造され
たものも用いることができる。
【００１２】ついで還元雰囲気の電気炉中で１１００℃
以上の高温熱処理を行い、得られた乾燥粉末を真空炉中
で溶融して石英ガラスを得る。
以上の高温熱処理を行い、得られた乾燥粉末を真空炉中
で溶融して石英ガラスを得る。
【００１３】一般的に熱還元作用により、すなわち不活
性ガス雰囲気中でも、高温下に酸化物をおくと還元性雰
囲気にしなくとも還元は生じるが、ニオブの場合は通常
の高温下ではこの熱還元が起きにくく、還元性雰囲気に
よる熱処理が最も有効であり、還元性雰囲気は効果及び
取扱い易さから水素雰囲気とすることが好ましい。
性ガス雰囲気中でも、高温下に酸化物をおくと還元性雰
囲気にしなくとも還元は生じるが、ニオブの場合は通常
の高温下ではこの熱還元が起きにくく、還元性雰囲気に
よる熱処理が最も有効であり、還元性雰囲気は効果及び
取扱い易さから水素雰囲気とすることが好ましい。
【００１４】得られた石英ガラスは黒色を呈し、１８５
〜２５０００ｎｍの波長域で厚さ１ｍｍでも光透過率は
１％以下となる。
〜２５０００ｎｍの波長域で厚さ１ｍｍでも光透過率は
１％以下となる。
【００１５】製造に際して出発原料に五塩化ニオブを選
択するのは、五酸化ニオブは水やアルコール類に不溶
で、酸中ではＨＦにしか解けず、このためシリカ粉体に
均一に分散させるには取扱い上難があり、また、仮りに
ＨＦに溶かしてシリカ粉に入れたとしても、シリカ粉も
同様に溶けてしまうからである。
択するのは、五酸化ニオブは水やアルコール類に不溶
で、酸中ではＨＦにしか解けず、このためシリカ粉体に
均一に分散させるには取扱い上難があり、また、仮りに
ＨＦに溶かしてシリカ粉に入れたとしても、シリカ粉も
同様に溶けてしまうからである。
【００１６】また、ニオブ酸アンモンは、合成すれば使
用可能となるが、合成の際の手間及び精製を考えると原
価高になり好ましくない。
用可能となるが、合成の際の手間及び精製を考えると原
価高になり好ましくない。
【００１７】これに対して、五塩化ニオブは、エタノー
ル、メタノール等のアルコール溶液に容易に溶け、乾燥
すると五酸化ニオブとなり、シリカ粉に均一に分散する
事ができる。
ル、メタノール等のアルコール溶液に容易に溶け、乾燥
すると五酸化ニオブとなり、シリカ粉に均一に分散する
事ができる。
【００１８】原料粉であるシリカ粉は、６０メッシュ
（２５０μｍ）程度の粉体を使用しても粉体の溶融は可
能であるが、１５０メッシュ以上の微粉末が好ましく、
さらに好ましくは２００メッシュ以上で、２００〜２５
０メッシュのものが５０〜６０％含まれることが望まし
い。これは６０メッシュ粉を含む通常粉で溶解すると、
溶融したガラス母材を薄板にした際に粒度のムラが現れ
外観上好ましくないためである。
（２５０μｍ）程度の粉体を使用しても粉体の溶融は可
能であるが、１５０メッシュ以上の微粉末が好ましく、
さらに好ましくは２００メッシュ以上で、２００〜２５
０メッシュのものが５０〜６０％含まれることが望まし
い。これは６０メッシュ粉を含む通常粉で溶解すると、
溶融したガラス母材を薄板にした際に粒度のムラが現れ
外観上好ましくないためである。
【００１９】五塩化ニオブ（固体）は、アルコール溶液
の例えばメタノールに溶解し、シリカ粉に湿潤、混合し
てから乾燥する事で、空気中で酸化され五酸化ニオブが
析出される。
の例えばメタノールに溶解し、シリカ粉に湿潤、混合し
てから乾燥する事で、空気中で酸化され五酸化ニオブが
析出される。
【００２０】五塩化ニオブの添加量は、石英ガラス中に
含有させる二酸化ニオブ重量換算値の３．０〜３．５倍
が好ましい。例えば、１．５ｋｇの水晶粉（シリカ粉）
に対しては、２５〜５０ｇの五塩化ニオブを添加する。
これを二酸化ニオブに換算すると、０．７７ｗｔ％〜
１．５ｗｔ％程度となる。しかし、五酸化ニオブへの酸
化工程において乾燥熱処理により中間体であるＮｂＯＣ
ｌ3等の形態で一部気化してしまい、ガラス化した時点
では、二酸化ニオブ換算で、約０．５〜１ｗｔ％含有の
ガラスとなる。
含有させる二酸化ニオブ重量換算値の３．０〜３．５倍
が好ましい。例えば、１．５ｋｇの水晶粉（シリカ粉）
に対しては、２５〜５０ｇの五塩化ニオブを添加する。
これを二酸化ニオブに換算すると、０．７７ｗｔ％〜
１．５ｗｔ％程度となる。しかし、五酸化ニオブへの酸
化工程において乾燥熱処理により中間体であるＮｂＯＣ
ｌ3等の形態で一部気化してしまい、ガラス化した時点
では、二酸化ニオブ換算で、約０．５〜１ｗｔ％含有の
ガラスとなる。
【００２１】石英ガラス中に含有させる二酸化ニオブ量
は、５００〜４００００ｐｐｍが好ましい。５００ｐｐ
ｍ未満だと、黒色化が不完全となり、また４００００ｐ
ｐｍを超えると未反応物がでてきて色ムラや熱処理時に
表面が結晶化したり発泡する可能性が高くなり好ましく
ない。二酸化ニオブ量は実用上から二酸化ニオブ量換算
で０．２５〜１．５ｗｔ％が好ましいといえる。
は、５００〜４００００ｐｐｍが好ましい。５００ｐｐ
ｍ未満だと、黒色化が不完全となり、また４００００ｐ
ｐｍを超えると未反応物がでてきて色ムラや熱処理時に
表面が結晶化したり発泡する可能性が高くなり好ましく
ない。二酸化ニオブ量は実用上から二酸化ニオブ量換算
で０．２５〜１．５ｗｔ％が好ましいといえる。
【００２２】得られた石英ガラスは黒色を呈し、１８５
〜２５０００ｎｍの波長域において厚さ１ｍｍでも光透
過率は１％以下となり、これを分光光度計用セルに使用
した場合、セル内における迷光をほぼ０に押えられる。
〜２５０００ｎｍの波長域において厚さ１ｍｍでも光透
過率は１％以下となり、これを分光光度計用セルに使用
した場合、セル内における迷光をほぼ０に押えられる。
【００２３】また高温においても結晶化せず、耐熱性、
熱遮断性に優れているため、例えば高温炉の半導体用炉
心管のパイプ端間に用いれば中心部分が加熱しても炉芯
管端は可熱されることがなく断熱性、均熱性に優れた高
温材用石英ガラス製治具を得ることができる。
熱遮断性に優れているため、例えば高温炉の半導体用炉
心管のパイプ端間に用いれば中心部分が加熱しても炉芯
管端は可熱されることがなく断熱性、均熱性に優れた高
温材用石英ガラス製治具を得ることができる。
【００２４】
【実施例】 実施例１［黒色石英ガラスの製造］ ３００ｍｌのメタノール溶液に５０ｇの五塩化ニオブを
溶解し、得られた溶液を１．５Ｋｇの水晶粉（２００〜
２５０メッシュ６０％）を入れた容器中に入れ、粉体全
体を湿潤させる。ついで、湿潤させた粉体を１週間程
度、ドラフター中で乾燥させる。このとき、ドラフター
中でニオブが酸化され、塩素が離脱する。 ４ＮｂＣｌ5＋５Ｏ2→２Ｎｂ2Ｏ5＋１０Ｃｌ2
溶解し、得られた溶液を１．５Ｋｇの水晶粉（２００〜
２５０メッシュ６０％）を入れた容器中に入れ、粉体全
体を湿潤させる。ついで、湿潤させた粉体を１週間程
度、ドラフター中で乾燥させる。このとき、ドラフター
中でニオブが酸化され、塩素が離脱する。 ４ＮｂＣｌ5＋５Ｏ2→２Ｎｂ2Ｏ5＋１０Ｃｌ2
【００２５】さらに、窒素雰囲気中（５００℃，１時間
キープ，窒素６００ｍｌ／ｍｉｎ）で、残存塩素ガス等
の脱気を行い完全に乾燥させる。
キープ，窒素６００ｍｌ／ｍｉｎ）で、残存塩素ガス等
の脱気を行い完全に乾燥させる。
【００２６】ついで、水素雰囲気中（１１５０℃，３０
分キープ，水素５００ｍｌ／ｍｉｎ）で、還元処理を行
なう。 Ｎｂ2Ｏ5＋Ｈ2→２ＮｂＯ2＋Ｈ2Ｏ
分キープ，水素５００ｍｌ／ｍｉｎ）で、還元処理を行
なう。 Ｎｂ2Ｏ5＋Ｈ2→２ＮｂＯ2＋Ｈ2Ｏ
【００２７】＃１５０のフルイを通過させ、二次粒径を
揃え溶融用粉体（酸化ニオブ濃度１．５ｗｔ％、充填密
度０．８５）とし、成形用容器に入れた後、真空溶融
（１８５０℃，真空度０．４Ｔｏｒｒ Ａｔ １８５０
℃）を行いサンプルを得た。
揃え溶融用粉体（酸化ニオブ濃度１．５ｗｔ％、充填密
度０．８５）とし、成形用容器に入れた後、真空溶融
（１８５０℃，真空度０．４Ｔｏｒｒ Ａｔ １８５０
℃）を行いサンプルを得た。
【００２８】得られたサンプルのＸ線回折を行なった。
このとき比較のためバナジウムを着色剤とした黒色石英
ガラスも観察したところ、バナジウムを着色剤としたも
のにはクリストバライトが観察されたが（図２）、本発
明の黒色石英ガラスにはクリストバライトは観察されな
かった（図１）。
このとき比較のためバナジウムを着色剤とした黒色石英
ガラスも観察したところ、バナジウムを着色剤としたも
のにはクリストバライトが観察されたが（図２）、本発
明の黒色石英ガラスにはクリストバライトは観察されな
かった（図１）。
【００２９】なお、Ｘ線回折の測定条件は下記のとおり
である。 Target ： Cu、Voltage : 40KV、Current : 30mA、Full
Scale Range : 5kcps、Time Constant : 1sec、Scann
ing Speed : 2°/min、Chart Speed : 20cm/min、Race
iving Slit : 0.3mm
である。 Target ： Cu、Voltage : 40KV、Current : 30mA、Full
Scale Range : 5kcps、Time Constant : 1sec、Scann
ing Speed : 2°/min、Chart Speed : 20cm/min、Race
iving Slit : 0.3mm
【００３０】さらに、得られたサンプルについて、結晶
化防止、遮光性、耐熱性、加工性について試験を行っ
た。
化防止、遮光性、耐熱性、加工性について試験を行っ
た。
【００３１】［結晶化防止］本発明の黒色石英ガラスと
バナジウムを着色剤とした黒色石英ガラスを大気中で１
２００℃及び１２５０℃に再加熱し、結晶化について比
較したところ、バナジウムを着色剤とした製品は、１２
００℃で結晶化して外観上好ましくなく商品価値上問題
があったが、本発明品は、１２５０℃においても結晶化
が起らなかった。
バナジウムを着色剤とした黒色石英ガラスを大気中で１
２００℃及び１２５０℃に再加熱し、結晶化について比
較したところ、バナジウムを着色剤とした製品は、１２
００℃で結晶化して外観上好ましくなく商品価値上問題
があったが、本発明品は、１２５０℃においても結晶化
が起らなかった。
【００３２】［遮光性］本発明の黒色石英ガラスを１８
５〜２５０００ｎｍの波長域で光透過度を測定したとこ
ろ、１ｍｍ厚程度では、ほとんど零であった。
５〜２５０００ｎｍの波長域で光透過度を測定したとこ
ろ、１ｍｍ厚程度では、ほとんど零であった。
【００３３】［耐熱性］１２００℃における粘性値を測
定したところ、Ｌｏｇポイズ値は下記の表１に示すよう
に、本発明のニオブ添加物は透明石英ガラスとほぼ同程
度の値が得られた。
定したところ、Ｌｏｇポイズ値は下記の表１に示すよう
に、本発明のニオブ添加物は透明石英ガラスとほぼ同程
度の値が得られた。
【表１】
【００３４】［加工性］高温加熱による結晶化がおきな
い為、バナジウム添加物と比較して接着等の高温加工が
行ない易くなり、また、切削等の加工は石英ガラスと同
等であった。
い為、バナジウム添加物と比較して接着等の高温加工が
行ない易くなり、また、切削等の加工は石英ガラスと同
等であった。
【００３５】実施例２［石英炉芯管］ 図３に示すように実施例１で得た黒色石英ガラスを石英
炉芯管の細部間に用いると中心部が加熱されても炉芯管
左端部は加熱されなかった。また、図４に示すように中
心部を黒色石英ガラスで構成すると均熱域での温度分布
差が±１℃と均熱効果の高い炉芯管が得られた。
炉芯管の細部間に用いると中心部が加熱されても炉芯管
左端部は加熱されなかった。また、図４に示すように中
心部を黒色石英ガラスで構成すると均熱域での温度分布
差が±１℃と均熱効果の高い炉芯管が得られた。
【００３６】また、炉芯管は、表層部を任意の特性を持
たせた他種の石英ガラスとし、中間層を黒色石英ガラス
とした多層構造としてもよい。
たせた他種の石英ガラスとし、中間層を黒色石英ガラス
とした多層構造としてもよい。
【００３７】実施例３［光学分析用セル］ 実施例１で得た黒色石英ガラスを透光面以外に用いて図
５に示す光学分析用セルを作成したところ、黒色石英ガ
ラスが紫外から赤外線まで広範囲の波長域における遮光
性に優れているため、測定波長域以外のセル内における
迷光をほぼゼロに抑えられた。
５に示す光学分析用セルを作成したところ、黒色石英ガ
ラスが紫外から赤外線まで広範囲の波長域における遮光
性に優れているため、測定波長域以外のセル内における
迷光をほぼゼロに抑えられた。
【００３８】また、セル作成時においても、透光面とな
る透明石英ガラス板と高温での接着性が良く、また高温
時にも結晶化部分が発生することがないので、生産効率
よく、光学特性の安定した光学分析用セルが得られる。
る透明石英ガラス板と高温での接着性が良く、また高温
時にも結晶化部分が発生することがないので、生産効率
よく、光学特性の安定した光学分析用セルが得られる。
【００３９】
【効果】本発明の五酸化ニオブを水素気流中で熱還元し
たものを含む黒色石英ガラスは、製造時における結晶化
が起こりずらく、また、１０００℃以上での再加熱によ
る熱処理に対しても結晶化することがなく、溶着等の加
工性が良い。
たものを含む黒色石英ガラスは、製造時における結晶化
が起こりずらく、また、１０００℃以上での再加熱によ
る熱処理に対しても結晶化することがなく、溶着等の加
工性が良い。
【００４０】また黒色石英ガラスは、熱伝導性が透明・
不透明石英ガラスと比較して非常に良い為、半導体用高
温炉芯管等に使用すると炉芯管の均熱効果が上がる。
不透明石英ガラスと比較して非常に良い為、半導体用高
温炉芯管等に使用すると炉芯管の均熱効果が上がる。
【００４１】その一方で光透過率が１ｍｍで１％以下と
遮光性が優れている為、幅射熱等外部からの赤外光によ
る熱伝導を押える効果があり、このため、気泡による散
乱・反射をさせて加熱端部の温度上昇を防止する不透明
石英ガラスと異なり、石英ガラス部品の加熱端部に黒色
石英ガラスを使用すれば、光による熱伝導をほぼ１００
％カットでき、さらに、炉芯管を黒色化する事で、炉芯
管内部の均熱効果も向上させることができる。
遮光性が優れている為、幅射熱等外部からの赤外光によ
る熱伝導を押える効果があり、このため、気泡による散
乱・反射をさせて加熱端部の温度上昇を防止する不透明
石英ガラスと異なり、石英ガラス部品の加熱端部に黒色
石英ガラスを使用すれば、光による熱伝導をほぼ１００
％カットでき、さらに、炉芯管を黒色化する事で、炉芯
管内部の均熱効果も向上させることができる。
【００４２】このように、黒色石英ガラスが合わせ持
つ、石英ガラスの諸特性を活かして、半導体用均熱管や
治工具等の高温材としても有用である。
つ、石英ガラスの諸特性を活かして、半導体用均熱管や
治工具等の高温材としても有用である。
【００４３】さらに、本発明の黒色石英ガラスを用いた
光学分析用セルは、迷光をほぼゼロに抑えられ、紫外か
ら赤外までの広範囲の波長域における遮光性に優れた製
品を得ることができる。
光学分析用セルは、迷光をほぼゼロに抑えられ、紫外か
ら赤外までの広範囲の波長域における遮光性に優れた製
品を得ることができる。
【図１】本発明のＸ線回折を示す図。
【図２】バナジウムを着色剤とした製品のＸ線回折を示
す図。
す図。
【図３】黒色石英ガラスを炉芯管細部に用いた状態を示
す図。
す図。
【図４】黒色石英ガラスを炉芯管中央部に用いた状態を
示す図。
示す図。
【図５】黒色石英ガラスを用いた光学分析用セルの断面
図。
図。
【図６】黒色石英ガラスを用いた光学分析用セルの側面
図。
図。
【図７】黒色石英ガラスを用いた光学分析用セルの平面
図。
図。
１ 黒色石英ガラス ２ 透光板 ３ 炉芯管 ４ 光学分析用セル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/22 Ｍ 9278−4Ｍ
Claims (8)
- 【請求項１】 二酸化ニオブを５００〜４００００ｐｐ
ｍ含有してなる黒色石英ガラス。 - 【請求項２】 二酸化ニオブを５００〜４００００ｐｐ
ｍ含有し、１８５〜２５０００ｎｍの波長域で厚さ１ｍ
ｍ当たりの光透過率が１％以下であることを特徴とする
黒色石英ガラス。 - 【請求項３】 ニオブ化合物を含むシリカ粉を還元雰囲
気中で熱処理することを特徴とする黒色石英ガラスの製
造方法。 - 【請求項４】 ニオブ化合物とシリカ粉を二酸化ニオブ
量換算で５００〜４００００ｐｐｍとなるような割合で
混合して微粉末とし、気相還元処理を行った後に、溶融
ガラス化することを特徴とする黒色石英ガラスの製造方
法。 - 【請求項５】 還元処理雰囲気が水素気流中であること
を特徴とする請求項３または４記載の黒色石英ガラスの
製造方法。 - 【請求項６】 ニオブ塩化物をアルコール溶液中に溶解
し、該溶液をシリカ粉に湿潤、混合後、乾燥させて微粉
末として、さらに水素雰囲気中で高温熱処理した後に、
該乾燥粉末を真空中で溶融することを特徴とする黒色石
英ガラスの製造方法。 - 【請求項７】 二酸化ニオブを５００〜４００００ｐｐ
ｍ含有した黒色石英ガラスを有してなる光学分析用セ
ル。 - 【請求項８】 二酸化ニオブを５００〜４００００ｐｐ
ｍ含有した黒色石英ガラスを有してなる高温材用石英ガ
ラス製治具。
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|---|---|---|---|
| JP08944592A JP3156733B2 (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 黒色石英ガラス、及びその製法、並びに、それを使用した治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08944592A JP3156733B2 (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 黒色石英ガラス、及びその製法、並びに、それを使用した治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05262535A true JPH05262535A (ja) | 1993-10-12 |
| JP3156733B2 JP3156733B2 (ja) | 2001-04-16 |
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ID=13970884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08944592A Expired - Fee Related JP3156733B2 (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 黒色石英ガラス、及びその製法、並びに、それを使用した治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3156733B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7081290B2 (en) | 2002-04-04 | 2006-07-25 | Tosoh Corporation | Quartz glass thermal sprayed parts and method for producing the same |
| JP2014094864A (ja) * | 2012-11-09 | 2014-05-22 | Tosoh Quartz Corp | 黒色石英ガラスの製造方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5048445B2 (ja) | 2007-10-11 | 2012-10-17 | 信越石英株式会社 | 透明層付き黒色合成石英ガラス |
-
1992
- 1992-03-13 JP JP08944592A patent/JP3156733B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| US7081290B2 (en) | 2002-04-04 | 2006-07-25 | Tosoh Corporation | Quartz glass thermal sprayed parts and method for producing the same |
| KR100913116B1 (ko) * | 2002-04-04 | 2009-08-19 | 토소가부시키가이샤 | 석영유리 용사부품 및 그 제조방법 |
| JP2014094864A (ja) * | 2012-11-09 | 2014-05-22 | Tosoh Quartz Corp | 黒色石英ガラスの製造方法 |
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| JP3156733B2 (ja) | 2001-04-16 |
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