JPH05253550A - Article cleaning apparatus - Google Patents
Article cleaning apparatusInfo
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- JPH05253550A JPH05253550A JP5085792A JP5085792A JPH05253550A JP H05253550 A JPH05253550 A JP H05253550A JP 5085792 A JP5085792 A JP 5085792A JP 5085792 A JP5085792 A JP 5085792A JP H05253550 A JPH05253550 A JP H05253550A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板や液晶板
等の物品の製造ラインに設置され、物品の表面の塵埃を
除去してクリーンルームへ搬送する物品清浄装置の改良
に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement of an article cleaning apparatus which is installed in a production line for articles such as printed circuit boards and liquid crystal boards and which removes dust on the surface of articles and conveys them to a clean room.
【０００２】[0002]
【従来の技術】プリント基板等の製造ラインにおいて、
上記基板の表面に塵埃が付着していると、この塵埃が上
記基板等に回路パターンを印刷するスクリーン印刷膜に
付着し、この結果、上記塵埃が上記基板等に一緒に印刷
されて回路パターンに不良が生じる。2. Description of the Related Art In a printed circuit board manufacturing line,
When dust adheres to the surface of the substrate, the dust adheres to a screen printing film that prints a circuit pattern on the substrate or the like, and as a result, the dust is printed together on the substrate or the like on the circuit pattern. Defects occur.
【０００３】このため、特開昭６２−４９９８４号公報
に開示された従来技術のように、基板上の塵埃を除去し
て上記印刷工程の設置されたクリーンルームへ搬送する
清浄装置が知られている。Therefore, as in the prior art disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 62-49984, there is known a cleaning device for removing dust on the substrate and transporting it to a clean room in which the above printing process is installed. ..
【０００４】この清浄装置は、装置内の基板搬送空間が
仕切りパネルにより３室に分割されており、搬送方向の
下流に向かうに従って空間の清浄度が上がるとともに、
各室において基板表面に付着している塵埃を除去するよ
うになっている。すなわち、清浄装置の各室では、イオ
ン発生装置によって基板にイオン風を当て、基板表面に
付着している塵埃の電荷を放電して剥離し易い状態に
し、除電及び剥離用のブラシで上記塵埃を剥離させた
後、パンカールーバー型吹出ノズルからの清浄空気を上
記基板表面に当てることにより、塵埃を浮遊させて取り
除くようになっている。In this cleaning device, the substrate transfer space in the device is divided into three chambers by a partition panel, and the cleanliness of the space increases as it goes downstream in the transfer direction.
Dust adhering to the substrate surface is removed in each chamber. In other words, in each chamber of the cleaning device, an ion wind is applied to the substrate by the ion generator to discharge the electric charges of the dust adhering to the substrate surface so that the dust can be easily separated, and the dust is removed by a brush for static elimination and separation. After peeling, dust is floated and removed by applying clean air from the bunker bar blow nozzle to the substrate surface.
【０００５】ところで、この清浄装置では、パンカール
ーバー型吹出ノズルからの清浄空気は乱流になるため、
浮遊した塵埃が乱流に乗って基板表面に戻ることが多
く、この結果、上記基板へ再付着し易いことになる。By the way, in this cleaning device, the clean air from the bunker bar type blowing nozzle becomes a turbulent flow.
Floating dust is often returned to the surface of the substrate by turbulent flow, and as a result, it is easy for the dust to reattach to the substrate.
【０００６】この対策として、特開昭６２−４９９８４
号公報では、清掃ローラにより基板上の塵埃を剥離した
後、ノズルから吹き出す高速清浄気流で基板上の塵埃を
基板の搬送方向の上流側に吹き飛ばし、その際、塵埃が
基板表面に戻らないようにノズルの周辺に微風速の清浄
気流を吹き出させ、これにより塵埃の基板への再付着を
防止するようにした清浄装置が提案されている。As a countermeasure against this, Japanese Patent Laid-Open No. 62-49984
In the publication, after the dust on the substrate is peeled off by the cleaning roller, the dust on the substrate is blown off to the upstream side in the transfer direction of the substrate by the high-speed clean airflow blown out from the nozzle, and at that time, the dust is prevented from returning to the substrate surface. A cleaning device has been proposed in which a clean air stream at a low wind speed is blown around the nozzle to prevent dust from reattaching to the substrate.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】ところが、特開昭６２
−４９９８４号公報の清浄装置にあっては、装置内の空
気は、基板の搬入口の近傍に配設された有孔板等によっ
て吸引されるため、上記搬入口から外気が入り易く、こ
の外気に含まれた塵埃により装置内の清浄度が低下する
ことになる。これにより、塵埃を除去するフィルターが
汚れ易いことになる。However, JP-A-62-62
In the cleaning device of Japanese Patent Publication No. 498994, since the air in the device is sucked by a perforated plate or the like arranged in the vicinity of the carry-in port of the substrate, the outside air easily enters through the carry-in port and The dust contained in will reduce the cleanliness inside the device. As a result, the filter for removing dust easily becomes dirty.
【０００８】また、ノズルからの高速清浄気流は、基板
の搬送方向の上流側に流れるようになっており、清掃ロ
ーラ等に当たって乱流を生じさせる。このため、塵埃が
上記乱流に乗って清掃ローラの下流側で基板に付着する
ことが生じる。この塵埃は清掃ローラにより剥離されな
いので、ノズルからの高速清浄気流によっては吹き飛ば
すことができないことになる。Further, the high-speed clean air flow from the nozzle is designed to flow upstream in the substrate carrying direction, and hits the cleaning roller or the like to generate a turbulent flow. For this reason, the dust may adhere to the substrate on the downstream side of the cleaning roller due to the turbulent flow. Since this dust is not separated by the cleaning roller, it cannot be blown off by the high-speed clean air flow from the nozzle.
【０００９】本発明は、上記問題を解決するもので、装
置内の清浄度を高くすることができるとともに、剥離し
た塵埃が物品に再付着することを確実に防止することが
できる物品清浄装置を提供することを目的とする。The present invention solves the above problems and provides an article cleaning apparatus capable of increasing the cleanliness inside the apparatus and reliably preventing the peeled dust from reattaching to the article. The purpose is to provide.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、物品を搬送する搬送手段と、物品の搬送
空間を物品の搬送方向の上流側と下流側に分割して成る
第１，第２のチャンバーと、上記第１のチャンバー内で
物品表面の塵埃を除去する清掃手段と、複数個の孔が穿
設され、各チャンバーの上下を塞ぐようにそれぞれ配設
された一対の有孔板と、上記第１，第２のチャンバーの
上方の有孔板を通して上記第１，第２のチャンバーにそ
れぞれ送風する第１，第２の送風手段とを備え、上記第
１，第２の送風手段は互いに等しい送風能力を有した物
品清浄装置において、上記第１のチャンバーの一対の有
孔板は、上方の有孔板を通して上記第１のチャンバーへ
供給される空気量が下方の有孔板を通して排気される空
気量よりも少なくなるように開口率が設定され、上記第
２のチャンバーの一対の有孔板は、第２のチャンバー内
の気圧が第１のチャンバー内の気圧よりも高くなるよう
に開口率が設定されたものである。In order to achieve the above object, the present invention comprises a conveying means for conveying an article, and an article conveying space divided into an upstream side and a downstream side in the article conveying direction. First and second chambers, a cleaning means for removing dust on the surface of the article in the first chamber, and a pair of holes, each having a plurality of holes and arranged so as to close the upper and lower sides of each chamber. A perforated plate and first and second blowing means for blowing air to the first and second chambers through the perforated plate above the first and second chambers, respectively. Of the pair of perforated plates of the first chamber have a lower amount of air supplied to the first chamber through the upper perforated plates. Less than the amount of air exhausted through the perforated plate The aperture ratio is set so that the pair of perforated plates of the second chamber have the aperture ratio set so that the atmospheric pressure in the second chamber is higher than the atmospheric pressure in the first chamber. Is.
【００１１】[0011]
【作用】上記構成の物品清浄装置によれば、第１のチャ
ンバー内の気圧が外気圧よりも高くなるようにしたこと
により、物品清浄装置の外部から第１のチャンバー内へ
の塵埃の侵入を防ぐことができ、第２のチャンバー内の
気圧が第１のチャンバー内の気圧よりも高くなるように
したことにより、第１のチャンバーや物品清浄装置の外
部から第２のチャンバー内への塵埃の侵入を防ぐことが
できる。According to the article cleaning apparatus having the above structure, the atmospheric pressure in the first chamber is set to be higher than the external atmospheric pressure, so that dust can be prevented from entering the first chamber from the outside of the article cleaning apparatus. By preventing the pressure in the second chamber from becoming higher than the pressure in the first chamber, dust from the outside of the first chamber or the article cleaning device into the second chamber can be prevented. Intrusion can be prevented.
【００１２】[0012]
【実施例】図１〜図３は、本発明に係る物品清浄装置の
一実施例を示し、図１は側面からみた概略構成図、図２
は図１のII−II線矢視図、図３は高圧ノズル及び吸込部
の拡大図である。1 to 3 show an embodiment of an article cleaning apparatus according to the present invention, and FIG. 1 is a schematic configuration diagram as viewed from the side, FIG.
Is a view taken along the line II-II in FIG. 1, and FIG. 3 is an enlarged view of the high pressure nozzle and the suction portion.
【００１３】この物品清浄装置Ａは、クリーンルームＢ
へ偏光板や液晶板やプリント基板等の物品（以下、物品
Ｐという）を搬入する搬入部に設置されるもので、物品
Ｐの表面に付着している塵埃を除去して上記クリーンル
ームＢへ搬出するようになっている。また、物品清浄装
置Ａは、第１，第２のチャンバー１，２と、還流路６０
とから構成されている。The article cleaning apparatus A is a clean room B.
It is installed in a carry-in section for carrying in an article (hereinafter referred to as article P) such as a polarizing plate, a liquid crystal plate, or a printed circuit board, and removes dust adhering to the surface of the article P and carries it out to the clean room B. It is supposed to do. In addition, the article cleaning apparatus A includes the first and second chambers 1 and 2 and the return path 60.
It consists of and.
【００１４】第１，第２のチャンバー１，２は、仕切板
６により仕切られており、第１のチャンバー１は、その
上下を塞ぐように上パンチング板１１及び下パンチング
板１２が配設され、この第１のチャンバー１の上部に
は、シロッコファン１３とＵＬＰＡフィルタ１４とが配
設されている。第２のチャンバー２は、その上下を塞ぐ
ように上パンチング板２１及び下パンチング板２２が配
設され、この第２のチャンバー２の上部には、シロッコ
ファン２３とＵＬＰＡフィルタ２４とが配設されてい
る。シロッコファン１３，２３は、互いにほぼ等しい回
転速度（送風能力）で回転するようになっている。The first and second chambers 1 and 2 are partitioned by a partition plate 6, and the first chamber 1 is provided with an upper punching plate 11 and a lower punching plate 12 so as to close the upper and lower sides thereof. A sirocco fan 13 and a ULPA filter 14 are arranged above the first chamber 1. An upper punching plate 21 and a lower punching plate 22 are arranged so as to close the upper and lower sides of the second chamber 2, and a sirocco fan 23 and a ULPA filter 24 are arranged above the second chamber 2. ing. The sirocco fans 13 and 23 are designed to rotate at substantially the same rotation speed (air blowing capacity).
【００１５】上記還流路６０は、第１，第２のチャンバ
ー１，２の下方から第１，第２のチャンバー１，２の後
方を通ってシロッコファン１３，２３の上方まで形成さ
れ、第１，第２のチャンバー１，２の下方の還流路６０
と第１，第２のチャンバー１，２の後方の還流路６０と
は吸込口６１を通して接続されている。The return passage 60 is formed from below the first and second chambers 1 and 2 to behind the first and second chambers 1 and 2 and above the sirocco fans 13 and 23. , A reflux path 60 below the second chambers 1 and 2
And the reflux passage 60 at the rear of the first and second chambers 1 and 2 are connected through a suction port 61.
【００１６】上記第１のチャンバー１のパンチング板１
１，１２及び第２のチャンバー２のパンチング板２１，
２２は、複数個の孔が均一に分布するように穿設され、
シロッコファン１３，２３からの送風を整流するように
なっている。Punching plate 1 of the first chamber 1
1, 12 and the punching plate 21 of the second chamber 2,
22 is provided so that a plurality of holes are evenly distributed,
The air blown from the sirocco fans 13 and 23 is rectified.
【００１７】また、第１のチャンバー１のパンチング板
１１，１２は、下パンチング板１２を通して排気される
空気量が上パンチング板１１を通して第１のチャンバー
１内へ供給される空気量よりも小さくなるとともに、第
２のチャンバー２の上パンチング板２１を通して第２の
チャンバー２内へ供給される空気量よりも小さくなるよ
うに、例えば、下パンチング板１２の開口率を８０％に
設定し、上パンチング板１１の開口率を２０％に設定し
て第１のチャンバー１内の気圧が外気より０．２ｍｍＡ
ｑ程度高くなるようにする。この第１のチャンバー１内
の気圧と外気圧との気圧差により、第１のチャンバー１
内から搬入口４を通って装置外へ常に気流が生じ、装置
外の塵埃が搬入口４を通って第１のチャンバー１内に侵
入することが防がれる。In the punching plates 11 and 12 of the first chamber 1, the amount of air exhausted through the lower punching plate 12 is smaller than the amount of air supplied into the first chamber 1 through the upper punching plate 11. At the same time, for example, the opening ratio of the lower punching plate 12 is set to 80% so that the amount of air supplied to the second chamber 2 through the upper punching plate 21 of the second chamber 2 is set to 80%, and the upper punching plate 21 is punched. The opening ratio of the plate 11 is set to 20%, and the air pressure inside the first chamber 1 is 0.2 mmA higher than the outside air.
Make it about q higher. Due to the pressure difference between the atmospheric pressure in the first chamber 1 and the external pressure, the first chamber 1
An airflow is constantly generated from the inside through the carry-in port 4 to the outside of the device, and dust outside the device is prevented from entering the first chamber 1 through the carry-in port 4.
【００１８】一方、第２のチャンバー２のパンチング板
２１，２２は、上パンチング板２１が上記上パンチング
板１１よりも大きい開口率を有し、下パンチング板２２
が上パンチング板２１よりも小さい開口率を有するよう
に、例えば、上パンチング板２１の開口率を８０％に設
定し、下パンチング板２２の開口率を２０％に設定して
第２のチャンバー２内の気圧が第１のチャンバー１内の
気圧より０．２ｍｍＡｑ程度高くなるようにする。この
第１のチャンバー１内の気圧と第２のチャンバー２内の
気圧との気圧差により、第２のチャンバー２内から通過
口８を通って第１のチャンバー１へ常に気流が生じ、第
１のチャンバー１内の塵埃が通過口８を通って第２のチ
ャンバー２内へ侵入することが防がれる。なお、クリー
ンルームＢの気圧は通常大気圧のため、第２のチャンバ
ー２内から搬出口５を通ってクリーンルームＢへも気流
が生じる。これにより、クリーンルームＢからの塵埃が
第２のチャンバー２内に侵入することが防がれる。On the other hand, in the punching plates 21 and 22 of the second chamber 2, the upper punching plate 21 has a larger aperture ratio than the upper punching plate 11 and the lower punching plate 22.
So as to have a smaller aperture ratio than the upper punching plate 21, for example, the aperture ratio of the upper punching plate 21 is set to 80% and the aperture ratio of the lower punching plate 22 is set to 20%. The atmospheric pressure inside is set to be higher than the atmospheric pressure inside the first chamber 1 by about 0.2 mmAq. Due to the atmospheric pressure difference between the atmospheric pressure in the first chamber 1 and the atmospheric pressure in the second chamber 2, an airflow is constantly generated from the inside of the second chamber 2 to the first chamber 1 through the passage port 8, It is possible to prevent dust in the chamber 1 from entering the second chamber 2 through the passage port 8. Since the atmospheric pressure of the clean room B is usually atmospheric pressure, an air flow is also generated in the clean room B from the inside of the second chamber 2 through the carry-out port 5. This prevents dust from the clean room B from entering the second chamber 2.
【００１９】なお、ＵＬＰＡフィルタ１４，２４は、シ
ロッコファン１３，２３による第１，第２のチャンバー
１，２内の気圧の維持をほとんど妨げない通気性を有す
るようになっている。The ULPA filters 14 and 24 are designed to have a breathability that hardly hinders the maintenance of the atmospheric pressure in the first and second chambers 1 and 2 by the sirocco fans 13 and 23.
【００２０】また、第１のチャンバー１の側板であって
物品搬入側には搬入口４が、仕切板６には通過口８が、
第２のチャンバー２の側板であってクリーンルームＢ側
には搬出口５が形成され、これらを貫通するようにコン
ベヤ３が配設されている。そして、コンベヤ３により物
品Ｐが搬入口４から搬出口５まで搬送されるようになっ
ている。Further, the side plate of the first chamber 1 has a carry-in port 4 on the article carrying-in side and a passage port 8 on the partition plate 6.
A carry-out port 5 is formed on the side of the second chamber 2 that is the clean room B side, and a conveyor 3 is arranged so as to penetrate these. Then, the article P is conveyed from the carry-in port 4 to the carry-out port 5 by the conveyor 3.
【００２１】また、第１のチャンバー１内であってコン
ベヤ３の上方には清掃ブラシ７が配設され、この清掃ブ
ラシ７の下流側には通過口８を挾んで第１のチャンバー
１側に吸引部９ｂが、第２のチャンバー２側に高圧ノズ
ル９ａが配設されている。また、第１，第２のチャンバ
ー１，２の後方の還流路６０には、高圧ブロア９ｅと外
気取入ユニット１０とが設けられている。A cleaning brush 7 is disposed in the first chamber 1 and above the conveyor 3, and a passage port 8 is provided on the downstream side of the cleaning brush 7 toward the first chamber 1 side. The suction unit 9b is provided with the high-pressure nozzle 9a on the side of the second chamber 2. Further, a high pressure blower 9e and an outside air intake unit 10 are provided in the return passage 60 behind the first and second chambers 1 and 2.
【００２２】上記高圧ブロア９ｅは、高速気流を送風す
るもので、その送風側がエアパイプ９ｃを介して上記高
圧ノズル９ａに接続され、吸気側がダクト９ｆを介して
上記吸引部９ｂに接続されている。上記高圧ノズル９ａ
は、例えば、複数個のフラットジェットノズル９０をコ
ンベヤ３の幅方向に並設して構成されている。各ノズル
９０は、図３に示すように、コンベヤ３の搬送方向の下
流側にθ（例えば６０°）傾くように配設されるととも
に、その空気吹き出し口の高さｈは、コンベヤ３上の物
品Ｐから、例えば１０ｍｍ〜２０ｍｍになるように配設
されている。吸引部９ｂは、高圧ノズル９ａに向かって
開口９０ｂが形成されている。The high-pressure blower 9e blows a high-speed air stream, and its blowing side is connected to the high-pressure nozzle 9a via an air pipe 9c, and its suction side is connected to the suction section 9b via a duct 9f. The high pressure nozzle 9a
Is composed of, for example, a plurality of flat jet nozzles 90 arranged in parallel in the width direction of the conveyor 3. As shown in FIG. 3, each nozzle 90 is arranged so as to incline θ (for example, 60 °) on the downstream side of the conveyor 3 in the transport direction, and the height h of the air blowing port thereof is on the conveyor 3. It is arranged so as to be, for example, 10 mm to 20 mm from the article P. The suction portion 9b has an opening 90b formed toward the high pressure nozzle 9a.
【００２３】また、高圧ブロア９ｅと高圧ノズル９ａと
の間には、インライン型フィルタ９ｄが配設されてお
り、高圧ブロア９ｅからの高速気流から塵埃が除去され
るようになっている。Further, an in-line type filter 9d is arranged between the high pressure blower 9e and the high pressure nozzle 9a so that dust is removed from the high-speed air flow from the high pressure blower 9e.
【００２４】次に、上記構成の物品清浄装置の作用につ
いて説明する。シロッコファン１３，２３が図示しない
駆動モータ等により回転されることにより送風が開始
し、上パンチング板１１，２１により整流され、ＵＬＰ
Ａフィルタ１４，２４により塵埃が除去された空気が、
第１，第２のチャンバー１，２へ垂直方向の気流として
供給される。この空気は、下パンチング板１２，２２を
通って還流路６０へ排気された後、この還流路６０から
上パンチング板１１，２１を通ってシロッコファン１
３，２３へ還流される。Next, the operation of the article cleaning apparatus having the above structure will be described. The sirocco fans 13 and 23 start to be blown by being rotated by a drive motor or the like (not shown), and are rectified by the upper punching plates 11 and 21 to provide ULP
The air from which dust has been removed by the A filters 14 and 24 is
It is supplied to the first and second chambers 1 and 2 as a vertical air flow. This air is exhausted to the recirculation path 60 through the lower punching plates 12 and 22, and then passes from the recirculation path 60 to the upper punching plates 11 and 21 and the sirocco fan 1
Reflux to 3,23.
【００２５】そして、パンチング板１１，１２の開口率
の差により、第１のチャンバー１内へ供給される空気量
よりも排気される空気量が少なくなるようにしているた
め、第１のチャンバー１内の気圧が外気より０．２ｍｍ
Ａｑ程度高くなる。一方、パンチング板２１，２２の開
口率の差により、第２のチャンバー２内の気圧が第１の
チャンバー１内の気圧より０．２ｍｍＡｑ程度高くな
る。Since the amount of air exhausted is smaller than the amount of air supplied into the first chamber 1 due to the difference in the aperture ratio of the punching plates 11 and 12, the first chamber 1 The air pressure inside is 0.2 mm higher than the outside air
It becomes higher by about Aq. On the other hand, the atmospheric pressure in the second chamber 2 becomes higher than the atmospheric pressure in the first chamber 1 by about 0.2 mmAq due to the difference in the opening ratio between the punching plates 21 and 22.
【００２６】一方、搬入口４の外側でコンベヤ３に載置
された物品Ｐは、コンベヤ３によりクリーンルームＢへ
向けて搬送される。この搬送途中で物品Ｐに付着してい
る塵埃が、清掃ブラシ７により擦られて剥離された後、
高圧ノズル９ａの各ノズル９０からの高速気流により吹
き飛ばされ、上記各ノズル９０からの高速気流とともに
開口９０ｂを介して吸引部９ｂに全て吸引される。そし
て、この塵埃の除去された物品Ｐが第２のチャンバー２
を通って搬出口５へ搬送される。On the other hand, the article P placed on the conveyor 3 outside the carry-in port 4 is conveyed to the clean room B by the conveyor 3. Dust adhering to the article P during this conveyance is rubbed by the cleaning brush 7 and peeled off.
It is blown away by the high-speed airflow from each nozzle 90 of the high-pressure nozzle 9a, and is all sucked by the suction unit 9b through the opening 90b together with the high-speed airflow from each nozzle 90. Then, the article P from which the dust is removed is transferred to the second chamber 2
And is conveyed to the carry-out port 5.
【００２７】なお、外気取入ユニット１０により外気か
ら塵埃を除去して還流路６０内に送風することによって
第１，第２のチャンバー１，２内が冷却される。The inside and outside of the first and second chambers 1 and 2 are cooled by removing dust from the outside air by the outside air intake unit 10 and blowing the air into the return passage 60.
【００２８】このように、上パンチング板１１と下パン
チング板１２の開口率の差によって第１のチャンバー１
内の気圧を外気圧よりも高くなるように設定し、上パン
チング板１１と上パンチング板２１の開口率の差及び上
パンチング板２１と下パンチング板２２の開口率の差に
よって第２のチャンバー２内の気圧を第１のチャンバー
１内の気圧よりも高くなるように設定したので、装置外
から第１のチャンバー１内への塵埃の侵入、及び第１の
チャンバー１やクリーンルームＢから第２のチャンバー
２内への塵埃の侵入を防ぐことができる。As described above, the first chamber 1 has a difference in aperture ratio between the upper punching plate 11 and the lower punching plate 12.
The inner pressure is set to be higher than the outer pressure, and the second chamber 2 is controlled by the difference in the aperture ratio between the upper punching plate 11 and the upper punching plate 21 and the difference in the aperture ratio between the upper punching plate 21 and the lower punching plate 22. Since the atmospheric pressure inside is set to be higher than the atmospheric pressure inside the first chamber 1, the intrusion of dust from the outside of the device into the first chamber 1 and the second chamber from the first chamber 1 or the clean room B It is possible to prevent dust from entering the chamber 2.
【００２９】また、第１，第２のチャンバー１，２内で
は、気流は整流されて垂直方向に流れるため、塵埃が拡
散されることなく第１，第２のチャンバー１，２外へ排
出される。従って、第１，第２のチャンバー１，２内の
清浄度を高く保つことができ、物品Ｐに塵埃が付着する
ことを防止することができる。さらに、高圧ノズル９ａ
から物品表面に吹き付けられた高速気流は、第１のチャ
ンバー１内に若干入った位置で物品Ｐへ斜めに吹き付け
られるため、物品Ｐに吹き付けられた気流は第２のチャ
ンバー２側へ流れない。Further, in the first and second chambers 1 and 2, since the airflow is rectified and flows in the vertical direction, dust is discharged to the outside of the first and second chambers 1 and 2 without being diffused. It Therefore, the cleanliness inside the first and second chambers 1 and 2 can be kept high, and dust can be prevented from adhering to the article P. Further, the high pressure nozzle 9a
Since the high-speed airflow blown from the surface of the article to the article P is obliquely blown to the article P at a position slightly inside the first chamber 1, the airflow blown to the article P does not flow to the second chamber 2 side.
【００３０】なお、パンチング板１１，１２，２１，２
２の各開口率を同じにしてシロッコファン１３，２３の
回転速度をそれぞれ異ならせることにより、第１，第２
のチャンバー１，２内の気圧を上述した気圧に設定する
ことも可能であるが、このためには各シロッコファン１
３，２３の回転速度をそれぞれ所望の回転速度に制御す
る制御手段等を設ける必要があり、コストアップを招く
ことになる。一方、上記実施例では、シロッコファン１
３，２３は、互いに等しい回転速度でよいので、同一規
格のファンを配設すればよくコストの低減を図ることが
できる。The punching plates 11, 12, 21, 2
By setting the aperture ratios of 2 to be the same and making the rotational speeds of the sirocco fans 13 and 23 different,
It is also possible to set the atmospheric pressure in the chambers 1 and 2 of the above to the above-mentioned atmospheric pressure. For this purpose, each sirocco fan 1
It is necessary to provide a control means or the like for controlling the rotation speeds of 3 and 23 to desired rotation speeds, respectively, which leads to an increase in cost. On the other hand, in the above embodiment, the sirocco fan 1
Since the rotation speeds of 3 and 23 are equal to each other, it is sufficient to dispose fans of the same standard, and the cost can be reduced.
【００３１】また、パンチング板１１，１２，２１，２
２の各開口率は、第１のチャンバー１内の気圧が外気圧
よりも高く、第２のチャンバー２内の気圧が第１のチャ
ンバー１内の気圧よりも高くなるものであれば、上述し
た開口率に限定されるものではない。また、上記実施例
では、上パンチング板１１，２１をＵＬＰＡフィルタ１
４，２４の上方に配設したが、ＵＬＰＡフィルタ１４，
２４の下方に上パンチング板１１，２１を配設してもよ
い。さらに、１つのシロッコファンで第１，第２のチャ
ンバー１，２にそれぞれ送風してもよい。The punching plates 11, 12, 21, 2 are also provided.
Each of the opening ratios of 2 has been described above as long as the atmospheric pressure in the first chamber 1 is higher than the atmospheric pressure and the atmospheric pressure in the second chamber 2 is higher than the atmospheric pressure in the first chamber 1. It is not limited to the aperture ratio. In the above embodiment, the upper punching plates 11 and 21 are connected to the ULPA filter 1.
The ULPA filter 14,
Upper punching plates 11 and 21 may be disposed below 24. Furthermore, one sirocco fan may blow air into the first and second chambers 1 and 2, respectively.
【００３２】また、物品Ｐの搬送手段は、コンベヤ３に
限られるものではなく、ローラ等であってもよい。Further, the conveying means for the article P is not limited to the conveyor 3 and may be a roller or the like.
【００３３】また、物品Ｐの搬送手段の下方側に高圧ノ
ズル及び吸引部を設け、この高圧ノズルにより物品Ｐの
下側に付着している塵埃を吹き飛ばすようにしてもよ
い。Further, a high pressure nozzle and a suction portion may be provided on the lower side of the conveying means for the article P, and the high pressure nozzle may blow off dust adhering to the lower side of the article P.
【００３４】[0034]
【発明の効果】本発明は、第１のチャンバー内の気圧が
外気圧よりも高くなるように、第２のチャンバー内の気
圧が第１のチャンバー内の気圧よりも高くなるようにし
たので、物品清浄装置の外部から第１のチャンバー内へ
の塵埃の侵入、及び第１のチャンバーや物品清浄装置の
外部から第２のチャンバー内への塵埃の侵入を防ぐこと
ができる。従って、第１，第２のチャンバー内の清浄度
を高く保つことができるとともに、物品に塵埃が再付着
することを確実に防止することができる。According to the present invention, the atmospheric pressure in the first chamber is higher than the atmospheric pressure, and the atmospheric pressure in the second chamber is higher than the atmospheric pressure in the first chamber. It is possible to prevent dust from entering the first chamber from the outside of the article cleaning apparatus and from entering the second chamber from the outside of the first chamber or the article cleaning apparatus. Therefore, the cleanliness of the first and second chambers can be kept high, and dust can be reliably prevented from reattaching to the article.
【図１】本発明に係る物品清浄装置の一実施例を示す側
面からみた概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration view of an article cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention as seen from a side surface.
【図２】図１のII−II線矢視図である。FIG. 2 is a view taken along the line II-II of FIG.
【図３】高圧ノズル及び吸引部の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a high pressure nozzle and a suction unit.
１ 第１のチャンバー ２ 第２のチャンバー ３ コンベヤ（搬送手段） ４ 搬入口 ５ 搬出口 ６ 仕切板 ７ 清掃ブラシ（清掃手段） ８ 通過口 ９ａ 高圧ノズル（清掃手段） ９ｂ 吸引部（清掃手段） １１，２１ 上パンチング板（有孔板） １２，２２ 下パンチング板（有孔板） １３，２３ シロッコファン（送風手段） １４，２４ ＵＬＰＡフィルタ ６０ 還流路 ９０ フラットジェットノズル Ａ 物品清浄装置 Ｂ クリーンルーム Ｐ 物品 1 1st chamber 2 2nd chamber 3 Conveyor (conveying means) 4 Carrying inlet 5 Carrying outlet 6 Partition plate 7 Cleaning brush (cleaning means) 8 Passage port 9a High pressure nozzle (cleaning means) 9b Suction part (cleaning means) 11 , 21 Upper punching plate (perforated plate) 12,22 Lower punching plate (perforated plate) 13,23 Sirocco fan (blowing means) 14,24 ULPA filter 60 Reflux path 90 Flat jet nozzle A Article cleaning device B Clean room P Article
Claims (1)
空間を物品の搬送方向の上流側と下流側に分割して成る
第１，第２のチャンバーと、上記第１のチャンバー内で
物品表面の塵埃を除去する清掃手段と、複数個の孔が穿
設され、各チャンバーの上下を塞ぐようにそれぞれ配設
された一対の有孔板と、上記第１，第２のチャンバーの
上方の有孔板を通して上記第１，第２のチャンバーにそ
れぞれ送風する第１，第２の送風手段とを備え、上記第
１，第２の送風手段は互いに等しい送風能力を有した物
品清浄装置において、上記第１のチャンバーの一対の有
孔板は、上方の有孔板を通して上記第１のチャンバーへ
供給される空気量が下方の有孔板を通して排気される空
気量よりも少なくなるように開口率が設定され、上記第
２のチャンバーの一対の有孔板は、第２のチャンバー内
の気圧が第１のチャンバー内の気圧よりも高くなるよう
に開口率が設定されたことを特徴とする物品清浄装置。1. A conveying means for conveying an article, first and second chambers formed by dividing an article conveying space into an upstream side and a downstream side in an article conveying direction, and the article in the first chamber. A cleaning means for removing dust on the surface, a pair of perforated plates provided with a plurality of holes and arranged so as to close the upper and lower sides of each chamber, and the above-mentioned first and second chambers. An article cleaning apparatus having first and second air blowing means for respectively blowing air to the first and second chambers through a perforated plate, wherein the first and second air blowing means have equal air blowing capacities. The pair of perforated plates of the first chamber have an aperture ratio such that the amount of air supplied to the first chamber through the upper perforated plate is less than the amount of air exhausted through the lower perforated plate. Is set and one of the second chambers The article cleaning apparatus is characterized in that the aperture ratio of the pair of perforated plates is set so that the atmospheric pressure in the second chamber becomes higher than the atmospheric pressure in the first chamber.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP5085792A JPH0811224B2 (en) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | Article cleaning equipment |
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| JP5085792A JPH0811224B2 (en) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | Article cleaning equipment |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05253550A true JPH05253550A (en) | 1993-10-05 |
| JPH0811224B2 JPH0811224B2 (en) | 1996-02-07 |
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ID=12870399
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| JP5085792A Expired - Fee Related JPH0811224B2 (en) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | Article cleaning equipment |
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- 1992-03-09 JP JP5085792A patent/JPH0811224B2/en not_active Expired - Fee Related
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