JPH05253411A - 電子部品製造用スラリーの脱泡方法及び脱泡装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 成膜して電子部品材料とされるスラリーから
気泡を除去する脱泡処理の信頼性改善と脱泡処理時間の
短縮化。 【構成】 内部が真空吸引系（4）で真空引きされる密
閉容器（2）内にノズル（3）で、別の容器（5）のスラ
リー（1）を少量ずつ吸い込み、密閉容器（2）内の真空
空間に吸い込んだスラリー（1）を順に晒して脱泡す
る。ノズル（3）から吸い込まれたスラリー（1）は、脱
泡されて密閉容器（2）のスラリー収容部（2a）に収容
される。密閉容器（2）に収容された脱泡済みのスラリ
ー（1）は、ノズル（3）などの放出手段を介して密閉容
器（2）から外部に取り出され、電子部品の製造に供さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、積層セラミックコンデ
ンサやチップ抵抗、積層基板などの電子部品の製造に使
用されるスラリーから気泡を除去する脱泡方法及び脱泡
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】積層セラミックコンデンサの製造に使用
されるスラリーは、セラミック粉末と溶剤を含む材料を
ミキサーやボールミルなどで混合し粉砕、混練等した泥
状のものである。このスラリーをドクターブレード法で
薄く成膜し乾燥させて、グリーンシートと称するセラミ
ックシートが製造される。グリーンシートに膜状の内部
電極を印刷し、このグリーンシートを積層する等の各種
工程を経て、積層セラミックコンデンサが製造される。

【０００３】上記スラリーには気泡が含まれ、この気泡
を残したまま、スラリーを薄く延ばしてグリーンシート
を製造すると、グリーンシートに気泡によるピンホール
が形成される。このピンホールのあるグリーンシートを
積層して積層セラミックコンデンサを製造すると、ピン
ホールのある欠陥部分が積層セラミックコンデンサの内
部電極間を放電短絡等させて積層セラミックコンデンサ
を不良品にすることがある。

【０００４】そこで、スラリーでグリーンシートを製造
する前に、スラリーに含まれる気泡を除去する脱泡処理
が行われる。この脱泡処理は、図３に示すように、真空
チャンバ（10）の内部にスラリー（1）を収容したビー
カー（11）を入れ、真空チャンバ（10）内を真空吸引系
（12）で真空引きすることで行われる。真空チャンバ
（10）の真空空間にビーカー（11）のスラリー（1）を
晒しておくと、スラリー（1）中の気泡が真空空間に吸
引されてスラリー（1）の表面から放出される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記のようなスラリー
の脱泡方法は、脱泡が不十分であり、１回の脱泡に長時
間を要する問題があった。

【０００６】すなわち、ビーカーに収容されたスラリー
の表面近くの気泡は、真空空間に吸引されて放出され易
いが、ビーカーの底近くのスラリーの気泡のほとんどは
真空空間に放出されずに残り、結果的にスラリーの脱泡
が不十分となる。また、真空空間にスラリーを晒して、
後で問題とならない程度に脱泡を行うには長時間を要し
ていた。

【０００７】さらに、脱泡時間の経過と共にスラリー表
面から溶剤が蒸発して、スラリー表面が薄膜状に凝固
し、この凝固膜がスラリーからの気泡の放出を邪魔し
て、スラリーの脱泡を尚更に不十分なものにすることが
あった。

【０００８】また、上記脱泡時間経過に伴って生じるス
ラリー表面の凝固膜は、脱泡後のスラリーに凝固塊とし
て残り、これがスラリーの密度や、スラリーを成膜した
グリーンシートの密度を不均一なものにし、スラリーを
使った電子部品の品質のばらつきの原因となっている。

【０００９】本発明の目的は、スラリーの脱泡を常に十
分に、且つ、短時間で行うことのできる脱泡方法及び脱
泡装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、内部が真空引
きされる密閉容器から延びるノズルで、別の容器に収容
されたスラリーを少量ずつ密閉容器内に吸い込み、密閉
容器内の真空空間にスラリーを順に晒して、スラリー中
の気泡を除去する脱泡方法にて、上記目的を達成する。

【００１１】また本発明は、底部の離反部分にスラリー
収容部とノズル結合部を有する密閉容器と、密閉容器の
上部から密閉容器内を適宜真空引きする真空吸引系とを
備えた装置で、真空吸引系で内部が真空引きされる密閉
容器内に、密閉容器のノズル結合部から外部に導出され
たノズルを介して、別の容器に収容された電子部品材料
のスラリーを吸い込み、吸い込んだスラリーを密閉容器
内の真空空間に晒して脱泡しながら、密閉容器のスラリ
ー収容部に収容する脱泡装置にて、上記目的を達成す
る。

【００１２】この場合の密閉容器は、収容したスラリー
を外部に放出する放出手段を有する構造が、脱泡後のス
ラリーの取り扱いを便利にする上で望ましい。

【００１３】

【作用】密閉容器にノズルから、別の容器に収容された
スラリーを少量ずつ真空吸引することにより、スラリー
は密閉容器内の真空空間に小量ずつが順に晒されて脱泡
される。この脱泡をスラリーの全量に対して行うことに
より、スラリー全体が平均的に真空空間に晒されること
になって、脱泡が十分に、しかも短時間で行うことがで
きる。この脱泡時間の短縮で、スラリー表面の凝固がほ
とんど無くなり、脱泡後のスラリーの密度が均一とな
る。

【００１４】

【実施例】以下、本発明を図１及び図２に示される一実
施例の脱泡装置を参照して説明する。

【００１５】図１（イ）（ロ）に示される脱泡装置は、
密閉容器（2）と真空吸引系（4）を備える。この脱泡装
置は、ビーカーなどの容器（5）に収容されたスラリー
（1）を密閉容器（2）内に真空吸引することで脱泡す
る。

【００１６】密閉容器（2）は、例えば底の２箇所の離
反部分にスラリー収容部（2a）とノズル結合部（2b）を
有し、上部が真空吸引系（4）に連結される。ノズル結
合部（2b）に、下方に延びるノズル（3）の上端が結合
される。ノズル結合部（2b）の横に、ノズル結合部（2
b）より低い位置でスラリー収容部（2a）が設けられ
る。

【００１７】図１の脱泡装置によるスラリー（1）の脱
泡は、次のように行われる。図１（イ）に示すように密
閉容器（2）のノズル（3）を容器（5）のスラリー（1）
中に挿入して、密閉容器（2）の内部を真空吸引系（4）
で真空引きする。すると、図１（ロ）に示すように容器
（5）のスラリー（1）の小量ずつがノズル（3）を通っ
て密閉容器（2）内に吸い込まれる。

【００１８】密閉容器（2）内にノズル（3）から吸い込
まれるスラリー（1）が、ノズル結合部（2b）からスラ
リー収容部（2a）に流れるように、真空吸引系（4）の
真空吸引力がコントロールされる。ノズル結合部（2b）
から密閉容器（2）内に吸い込まれたスラリー（1）は、
密閉容器（2）内の真空空間に晒されてスラリー収容部
（2a）に流れ、この間にスラリー（1）の気泡が真空空
間に放出され、脱泡される。

【００１９】かかるスラリー（1）の脱泡が少量ずつ連
続的に行われて、最終的に容器（5）のスラリー（1）の
全量が密閉容器（2）内に移動し、スラリー収容部（2
a）に収容される。つまり、スラリー（1）の全量が順に
真空空間に晒されて脱泡されるので、スラリー収容部
（2a）に溜まったスラリー（1）は、結果的に十分に脱
泡処理されたものとなる。

【００２０】ノズル（3）からのスラリー吸引量、吸引
速度をコントロールすることで、スラリー（1）の確実
で十分な脱泡を短時間で達成することが可能となる。こ
の脱泡処理時間の短縮で、密閉容器（2）内でスラリー
（1）の表面が薄膜状に凝固する間が無くなり、脱泡後
のスラリー（1）の品質が安定する。

【００２１】密閉容器（2）に収容されたスラリー（1）
は、密閉容器（2）から取り出されて、電子部品製造に
供される。密閉容器（2）からのスラリー（1）の取出し
は、例えば次のように行われる。

【００２２】密閉容器（2）のノズル（3）を、上記脱泡
時の使用と逆のスラリー放出手段として利用する。すな
わち、密閉容器（2）を傾けて、スラリー収容部（2a）
のスラリー（1）をノズル結合部（2b）へと移動させ、
ノズル（3）を通して外部に放出する。この時、真空吸
引系（4）の配管を利用して密閉容器（2）内に圧縮空気
を送り、ノズル（3）からのスラリー放出を効果的なら
しめるようにしてもよい。

【００２３】また、密閉容器（2）の上部にスラリー放
出口〔図示せず〕を設け、ここから密閉容器（2）を傾
けてスラリー（1）を放出させるようにしてもよい。

【００２４】また、図２に示すように密閉容器（2）の
スラリー収容部（2a）の底の一部に放出管（7）とバル
ブ（8）からなる放出手段（6）を設置してもよい。この
場合、密閉容器（2）でスラリー（1）の脱泡処理を行っ
た後、放出手段（6）の放出管（7）がスラリー回収用容
器（5'）の中にセットされてバルブ（8）が開かれ、ス
ラリー収容部（2a）のスラリー（1）が放出管（7）から
容器（5'）に移される。

【００２５】

【発明の効果】本発明によれば、スラリーが少量ずつ密
閉容器に真空吸引されて真空空間に晒され、このときに
スラリーに含まれる気泡が真空空間に放出されるので、
最終的に定量のスラリーの全量を真空空間に晒して十分
に脱泡することができ、かつ、１回の脱泡時間の短縮化
が可能となって、脱泡後のスラリー密度の均一化、スラ
リーを使った電子部品の品質、歩留まりの向上が図れる
効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を説明するための脱泡装置の
部分断面を含む側面図で、（イ）は脱泡前、（ロ）は脱
泡時のものである。

【図２】図１の脱泡装置の部分変更例を示す側面図

【図３】従来のスラリー脱泡装置の部分断面を含む側面
図

【符号の説明】

1 スラリー 2 密閉容器 2a スラリー収容部 2b ノズル結合部 3 ノズル 4 真空吸引系 5 容器 6 放出手段

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 成膜して電子部品材料とされるスラリー
   から気泡を除去する方法であって、 内部が真空引きされる密閉容器から延びるノズルで、別
   の容器に収容されたスラリーを少量ずつ密閉容器内に吸
   い込み、密閉容器内の真空空間にスラリーを晒してスラ
   リー中の気泡を除去することを特徴とする電子部品製造
   用スラリーの脱泡方法。
2. 【請求項２】 底部の離反部分にスラリー収容部とノズ
   ル結合部を有する密閉容器と、密閉容器の上部から密閉
   容器内を適宜真空引きする真空吸引系とを備え、 真空吸引系で内部が真空引きされる密閉容器内に、密閉
   容器のノズル結合部から外部に導出されたノズルを介し
   て、別の容器に収容された電子部品材料のスラリーを少
   量ずつ吸い込んで脱泡しながら、密閉容器のスラリー収
   容部に収容することを特徴とする電子部品製造用スラリ
   ーの脱泡装置。
3. 【請求項３】 密閉容器は、収容したスラリーを外部に
   放出する放出手段を有する請求項２記載の電子部品製造
   用スラリーの脱泡装置。