JP2017183535A - 吸着部材及びその使用方法 - Google Patents

Abstract

【課題】１以上の部品の吸着と離脱とを好適に行う吸着部材を提供する。
【解決手段】本発明の吸着部材は、平均細孔径が１μｍを超え１０μｍ以下の範囲であり１以上の部品を大気中又は液体中で真空吸着、離脱するセラミックの多孔体である吸着層と、前記吸着層の平均細孔径よりも大きい平均細孔径を有し前記吸着層を支持するセラミックの多孔体である支持体と、を備えたものである。
【選択図】なし

Description

本発明は、吸着部材及びその使用方法に関する。

従来、吸着面を有する多孔質吸着部材と、裏面側に配置される多孔質支持部材とにより構成された真空チャックが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この真空チャックでは、２層構造とし、所定の細孔径の範囲とすることによって、吸着性を確保しつつ被吸着部材の変形を抑えることができるとしている。

特開２００８−６０２３２号公報

しかしながら、この特許文献１に記載された吸着部材では、ウエハという比較的大きな部材を吸着するものであり、例えば、チップ部品などの比較的小さな部品を複数、吸着面に吸着することは考慮されていなかった。また、複数の部品を迅速に吸着すると共に、迅速に離脱することは考慮されていなかった。

本発明は、このような課題に鑑みなされたものであり、１以上の部品の吸着と離脱とを好適に行うことができる吸着部材を提供することを主目的とする。

上述した主目的を達成するために鋭意研究したところ、本発明者らは、吸着層と支持体の２層構造の平均細孔径や厚さをより好適なものとすることにより、複数の部品を迅速に吸着すると共に、迅速に離脱することができることを見いだし、本発明を完成するに至った。

即ち、本発明の吸着部材は、
厚さが５０μｍ以上７００μｍ以下の範囲であり、平均細孔径が１μｍを超え１０μｍ以下の範囲であり１以上の部品を大気中又は液体中で真空吸着、離脱するセラミックの多孔体である吸着層と、
前記吸着層の平均細孔径よりも大きい平均細孔径を有し前記吸着層を支持するセラミックの多孔体である支持体と、
を備えたものである。

本発明の吸着部材の使用方法は、上述した吸着部材を用い、１以上の部品を大気中又は液体中で真空吸着、離脱するものである。

本発明の吸着部材は、大気中又は液体中で１以上の部品の吸着と離脱とを好適に行うことができる。この理由は、例えば、以下のように推察される。吸着部材の吸着層の平均細孔径が大きいと、部品同士の空間から空気が入り込み、部品の吸引が不十分になる一方、吸着層の平均細孔径が小さいと、常圧からの減圧や減圧状態から常圧への回復ができない、あるいは不十分になる。本発明の吸着部材は、平均細孔径が好適な範囲にあるため、１以上の部品、特に複数の部品の吸着と離脱とを好適に行うことができる。

洗浄装置１０の一例を示す説明図。 成膜装置４０の一例を示す説明図。 実験例６、１６、１７の圧力の経時変化の測定結果。

次に、本発明を実施するための形態を図面を用いて説明する。図１は、本発明の一実施形態である吸着部材２０を備えた洗浄装置１０の構成の概略を示す構成図である。図２は、本発明の一実施形態である吸着部材２０を作製する成膜装置４０の一例を示す説明図であり、図２（ａ）が平面図、図２（ｂ）が図２（ａ）のＡ−Ａ断面図である。本実施形態の吸着部材２０は、同一の吸着面２１上に１以上の部品、特に複数の部品を吸着、離脱するものであり、吸着層２２と支持体２４とを備える。部品としては、例えば、ウエハから切り出されたチップ部品などが挙げられる。この部品は、例えば、一辺が１０ｍｍ以下のサイズであるものとしてもよいし、一辺が５ｍｍ以下のサイズであるものとしてもよい。

吸着層２２は、平均細孔径が１μｍを超え１０μｍ以下の範囲であり複数の部品を液体中で真空吸着、離脱するセラミックの多孔体である。平均細孔径が１μｍを超えると、例えば水などの液体中で減圧、減圧解除を行うことができる。また、平均細孔径が１０μｍ以下では、吸着層２２の吸着面２１上に複数の部品が隙間を有して配置された状態でも吸着を十分に行うことができる。この吸着層２２は、部品を水中で真空吸着、離脱し、平均細孔径が３μｍ以上の範囲であるものとしてもよい。平均細孔径が３μｍ以上では、水中での減圧、減圧解除を行うことができる。水中で使用する場合において、吸着層２２の平均細孔径は、８μｍ以下であることが好ましく、５μｍ以下であることがより好ましい。平均細孔径が５μｍ以下では、部品の吸着性と離脱性とをより好適にすることができる。この吸着層２２は、厚さが５０μｍ以上７００μｍ以下の範囲であるものとしてもよい。厚さが５０μｍ以上では、十分な厚さがあり、例えば膜欠陥などをより抑制することができ、部品をより確実に吸着することができる。また、厚さが７００μｍ以下では、吸着解除したあとの真空度をより常圧に近いものとすることができる。吸着層２２の厚さは、３５０μｍ以下であることがより好ましく、３００μｍ以下であることが更に好ましい。ここで、「平均細孔径」は、水銀圧入法で測定した値をいうものとする。

吸着層２２は、焼結材を３質量％以上２０質量％以下の範囲で含むものとしてもよい。焼結材が３質量％以上では、吸着層２２の強度をより高めることができる。また、焼結材が２０質量％以下では、例えば、焼結材による支持体細孔の閉塞をより抑制することができる。焼結材としては、例えば、チタニア、ムライト、易焼結性アルミナ、シリカ、ガラス、粘土鉱物、易焼結性コージェライトのうち１以上を用いることができる。この吸着層２２は、支持体２４と同じ材質であってもよいし、異なる材質であるものとしてもよい。この吸着層２２は、アルミナ、チタニア、シリカ、コージェライト、ジルコニア、ムライト及びジルコニアのうち１以上のセラミックスであるものとしてもよい。このうち、酸化雰囲気で焼成が可能であることからアルミナであることが好ましい。吸着層２２の吸着面２１は、例えば、部品に合わせて＃３００以上の砥石で研削し表面仕上げされたものとしてもよい。吸着層２２の厚さは次のようにして測定するものとする。吸着部材２０の断面を、光学顕微鏡を用いて２０００倍の倍率で観察する。測定試料のほぼ中心部分で、支持体と吸着層の境界面の支持体を構成する構成粒子の凹凸の最大最小値を１０点測定し、且つ、吸着層の表面の構成粒子の凹凸の最大最小値を１０点測定し、互いの平均線間の長さを測定しこれを厚さとする。

支持体２４は、吸着層２２の平均細孔径よりも大きい平均細孔径を有し吸着層２２を支持するセラミックの多孔体である。支持体２４は、吸着層２２の１．５倍以上の平均細孔径であるものとしてもよい。こうすれば、支持体での減圧、減圧解除をより好適に行うことができる。支持体２４は、平均細孔径が８μｍ以上７０μｍ以下の範囲であることが好ましい。平均細孔径が８μｍ以上では、支持体での減圧、減圧解除をより好適に行うことができる。平均細孔径が７０μｍ以下では、表面上に強固な吸着層を形成しやすい。この平均細孔径は、１０μｍ以上であることがより好ましい。また、支持体２４の平均細孔径は、５０μｍ未満の範囲であることがより好ましく、３０μｍ以下の範囲であることが更に好ましい。支持体２４は、厚さが２０ｍｍ以下の範囲としてもよい。支持体２４の厚さは、吸着層２２を支持できる程度の強度を有する厚さとすればよい。この支持体２４の厚さは、１５ｍｍ未満の範囲であることが好ましい。厚さが１５ｍｍ未満では、支持体での減圧、減圧解除をより好適に行うことができる。支持体２４の厚さは、１０ｍｍ以下であることがより好ましい。また、支持体２４の厚さは、機械的強度の観点から、３ｍｍ以上であることが好ましく、５ｍｍ以上であることがより好ましい。

支持体２４は、焼結材を５質量％以上３０質量％以下の範囲で含むものとしてもよい。焼結材を５質量％以上含むものとすれば、支持体２４の強度をより高めることができる。また、焼結材を３０質量％以下とすれば、例えば焼結材による細孔の閉塞をより抑制することができる。この支持体は、アルミナ、チタニア、シリカ、コージェライト、ジルコニア、ムライト及びジルコニアのうち１以上のセラミックスであるものとしてもよい。このうち、アルミナであることが好ましい。支持体２４の表面は、例えば、＃３００以上の砥石で研削し表面仕上げされたものとしてもよい。支持体２４の上下面を研削すれば、支持体２４の寸法精度を高めることができ、吸着層２２の厚さの精度を高めることができる。

吸着部材２０は、例えば、板状体としてもよい。その平面形状は、矩形としてもよいし、円形としてもよく、利用する態様に応じて適宜選択すればよい。

吸着部材２０は、例えば、１以上の部品を大気中又は液体中で真空吸着、離脱する使用方法に用いることができる。例えば、吸着部材２０は、液体により複数の部品を洗浄する際に複数の部品を吸着保持するものとしてもよいし、液体中にある１以上の部品を吸着して液体から取り出すものとしてもよい。あるいは、吸着部材２０は、紙などの細かな用紙や比較的微小な部品を吸着して運搬する治具に用いられるものとしてもよい。吸着部材２０の使用方法の一例として洗浄装置１０について説明する。洗浄装置１０は、図１に示すように、チップ部品３０を吸着保持し、洗浄液（例えば水）によりチップ部品３０を洗浄する装置として構成されている。この洗浄装置１０は、装着容器１２と、排管１３と、廃液タンク１４と、真空ポンプ１５と、洗浄管１６とを備えている。装着容器１２は、吸着部材２０を密着保持する容器であり、吸着部材２０を収容する空間が形成されている。排管１３は、装着容器１２に接続され、吸着部材２０上に吸着保持したチップ部品３０を洗浄した洗浄液を排出するものである。廃液タンク１４は、排管１３からの廃液を貯蔵するものである。真空ポンプ１５は、排管１３を介して吸着部材２０を減圧するポンプである。吸着部材２０は、排管１３を介して真空ポンプ１５によって支持体２４側から減圧される。洗浄管１６は、吸着部材２０上に配置され、吸着部材２０上のチップ部品３０へ洗浄液を供給する。この洗浄装置１０では、チップ部品３０を多数洗浄することから、より迅速に多数のチップ部品３０を吸着し、洗浄後は速やかに吸着解除することが望まれる。特に、洗浄装置１０では、チップ部品３０を複数配置すると、部品の間に空間を要することから、この空間が存在しても十分な吸着力を発揮しなければならない。また、洗浄装置１０では、大気中及び液体中での十分な吸着性、離脱性が求められる。吸着部材２０では、各部材の平均細孔径や厚さなどを好適な範囲に調整することにより、部品を吸着と離脱とを好適に行うことができる。この吸着部材２０は、例えば、２５ｋＰａ以上、より好適には５０ｋＰａ以上で減圧されるものとしてもよく、２５〜７０ｋＰａの範囲で減圧されることが好ましい。

次に、この吸着部材２０の製造方法について説明する。この製造方法は、例えば、支持体２４を作製する支持体作製工程と、吸着層２２を作製する吸着層作製工程とを含むものとしてもよい。この製造方法では、上述した吸着部材２０の構成（平均細孔径、厚さなど）となるよう吸着部材２０を作製する。

（支持体作製工程）
この工程では、支持体２４を作製する。支持体２４は、複数の粒度の原料を混合するものとしてもよい。例えば、第１の平均粒径の主原料と、第１の平均粒径と異なる平均粒径の副原料とを混合した原料粉体を用いるものとしてもよい。主原料は、例えば、平均粒径が３０μｍ以上３００μｍ以下の範囲であることが好ましい。平均粒径がこの範囲では、焼成後の支持体の平均細孔径を好適なものとすることができる。主原料の平均粒径は、１５０μｍ以上２５０μｍ以下の範囲であることがより好ましい。また、副原料は、平均粒径が０．５μｍ以上１５．０μｍ以下の範囲であることが好ましい。この副原料の平均粒径は、０．５μｍ以上５．０μｍ以下の範囲であることがより好ましい。主原料Ｍと副原料Ｓとの混合比率Ｓ／Ｍは、質量比で１／１０以上５／６以下の範囲が好ましく、１／５以上１／３以下の範囲がより好ましい。主原料は、混合比率で５０質量％以上であり、より好ましくは６０質量％以上である。ここで、「原料粒子の平均粒径」は、レーザー式粒度分布測定器で計測した値とする。

原料粉体は、アルミナ、チタニア、シリカ、コージェライト、ジルコニア、ムライト及びジルコニアのうち１以上としてもよい。このうち、アルミナであることが好ましい。原料粉体には、焼結材を５質量％以上３０質量％以下の範囲で加えるものとしてもよい。焼結材を５質量％以上含むものとすれば、支持体２４の強度をより高めることができる。また、焼結材を３０質量％以下とすれば、例えば焼結材による細孔の閉塞をより抑制することができる。焼結材としては、例えば、チタニア、ムライト、易焼結性アルミナ、シリカ、ガラス、粘土鉱物、易焼結性コージェライトのうち１以上を用いることができる。このうち、焼結材としては、ガラスや粘土鉱物などが好適である。また、原料粉体には、解膠材やろ過抵抗材を加えてもよい。解膠材としては、例えば、ポリアクリル酸系のものや、ポリカルボン酸系のものを利用できる。解膠材の添加量は、例えば、原料粉体に対して０．１〜２．０質量％の範囲とすることが好ましい。また、ろ過抵抗材としては、例えば、アクリル酸系のものや、多糖類、メチルセルロ−ス系のものを利用できる。ろ過抵抗材の添加量は、例えば、原料粉体に対して０．０１〜３．００質量％の範囲とすることが好ましい。この工程では、押出成形やプレス成形などにより原料粉体を所定の平面形状に成形するものとしてもよい。成形体は、例えば、焼成後に研削する場合には、研削する分を厚く成形するものとすればよい。成形体は、例えば、原料に応じた焼成温度で焼成するものとすればよい。例えば、焼結材として粘土やガラスを含むアルミナ粉体の成形体では、焼成温度は、９００℃以上１６００℃以下の範囲とすることができる。得られた焼成体は、例えば＃３００以上の砥石で焼成体の表面及び裏面を研削するものとしてもよい。

（吸着層作製工程）
この工程では、支持体２４上に吸着層２２を形成する。吸着層２２の原料粉体は、例えば、平均粒径が１．０μｍ以上２５．０μｍ以下の範囲のものを用いることが好ましい。平均粒径がこの範囲では、焼成後の吸着層２２の平均細孔径を好適なものとすることができる。この原料粉体の平均粒径は、８．０μｍ以上１８．０μｍ以下の範囲とすることがより好ましい。原料粉体は、アルミナ、チタニア、シリカ、コージェライト、ジルコニア、ムライト及びジルコニアのうち１以上としてもよい。このうち、アルミナであることが好ましい。原料粉体には、焼結材を３質量％以上２０質量％以下の範囲で加えるものとしてもよい。焼結材を３質量％以上含むものとすれば、吸着層２２の強度をより高めることができる。また、焼結材を２０質量％以下とすれば、例えば焼結材による支持体２４の細孔の閉塞をより抑制することができる。焼結材は、上述したものを利用できる。この工程では、原料粉体に溶媒を加えて撹拌して得られた原料スラリーを用いて支持体２４上に吸着層２２の原料を形成するものとしてもよい。溶媒は、水や、例えばアルコールなどの有機溶媒を用いることができる。支持体２４上へ吸着層２２の原料を形成する方法としては、例えば、印刷法や、ドクターブレード法、ろ過成膜法などを利用することができる。

ろ過成膜法では、例えば、図２に示す成膜装置４０を用いることができる。成膜装置４０は、成膜容器４１と、パッキン４２と、排管４３と、廃液タンク４４と、真空ポンプ４５とを備える。成膜容器４１は、支持体２４及び原料スラリーを収容する容器として構成されている。支持体２４は、成膜容器４１の内部において、排管４３の接続部の上方にパッキン４２を介して配置される。排管４３は、成膜容器４１に接続され、支持体２４を介して排出されるスラリーの溶媒を流通する。廃液タンク４４は、排管４３からの液体を貯蔵する。真空ポンプ４５は、排管４３を介して支持体２４を背面側から減圧する。支持体２４は、排管４３を介して真空ポンプ４５によって支持体２４の背面側から減圧される。このとき、原料スラリーに含まれる原料粉体が支持体２４の表面に比較的強固な状態で堆積した積層体となる。この成膜装置４０では、廃液タンク４４に排出された溶媒量に応じて吸着層２２の原料粉体の厚さを制御することができる。また、原料スラリーを成膜容器４１から排出したあとに真空ポンプ４５で吸引することにより、支持体２４上に形成された原料から溶媒を除去することもできる。

吸着層２２の原料は、例えば、焼成後に研削する場合には、研削する分を厚く成形する。吸着層２２の原料を形成した積層体は、例えば、原料に応じた焼成温度で焼成するものとすればよい。例えば、焼結材として粘土やガラスを含むアルミナ粉体の積層体では、焼成温度は、９００℃以上１３００℃以下の範囲とすることができる。得られた焼成体は、例えば＃３００以上の砥石で吸着層２２の表面（吸着面）を研削するものとしてもよい。

以上説明した実施形態の吸着部材によれば、大気中又は液体中で１以上、特に複数の部品の吸着と離脱とを好適に行うことができる。例えば、吸着部材の吸着層の平均細孔径が大きいと、部品同士の隙間から空気が入り込み、部品の吸引が不十分になる一方、吸着層の平均細孔径が小さいと、常圧からの減圧や減圧状態から常圧への回復ができない、あるいは不十分になる。この吸着部材は、平均細孔径が好適な範囲にあるため、１以上の部品、特に複数の部品の吸着と離脱とを好適に行うことができる。

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

以下には、吸着部材を具体的に製造した例を実験例として説明する。実験例１〜３、１０、１１、１４〜１６、１９、２０、２４、３１、３９が参考例に相当する。また実験例４〜９、１２、１３、１７、１８、２１〜２３、２５〜３０、３２〜３８、４０〜４３が実施例に相当する。

［吸着部材の作製］
主原料のアルミナ粉体（平均粒径が６０〜１８００μｍ）と、副原料のアルミナ粉体（平均粒径が３μｍ）と、ガラス系（ジルコニアを含むアルカリ系ガラス）の焼結材（平均粒径が６μｍ）あるいはチタニア系の焼結材（平均粒径が０．５μｍ）とを所定の質量比率で混合し、成形バインダーを更に４〜６質量％加えてニーダを用いて混練した。具体的な配合比率などは表１、２に示す。混練した原料を１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×８ｍｍの平板を金型を用いてプレス成形し、１２５０℃で焼成した。焼成した平板の上下面を＃８００の砥石で研削し、厚さ５ｍｍの支持体とした。ここで、ガラス系の焼結材とは釉薬、カオリン・長石などの天然粘土で調合されるものを指す。また、ガラスの溶解温度、強度、耐食性を調整する際に、アルミナ、ジルコニアなどが添加されるものである。

次に、吸着層の原料として、主原料のアルミナ粉体（平均粒径が１．５〜６０μｍ）と、ガラス系の焼結材（平均粒径が６μｍ）とを所定の質量比率で混合し、解膠材を更に０．０５〜２質量％、ろ過抵抗材を０．１〜３質量％加えた。解膠材は、原料の比表面積に合わせて混合できるように添加量を調整した。吸着層の原料に水が８０質量％となるように水を加え、成膜スラリーとした。図２に示す成膜装置４０に支持体を配置し、成膜スラリーを投入し、支持体の下部より真空ポンプにて吸引し、所定量の水を排出させることによって、約１ｍｍの吸着層を成膜させた。成膜スラリーを成膜容器から除去したのち、１０分間排気させて脱脂を行い、６０℃、２４ｈで乾燥させ、９６０℃で１ｈ焼成を行った。焼成したものを所定厚さになるよう＃８００の砥石で吸着層を研削した。なお、原料粉体の平均粒径は、レーザー式粒度分布測定器（堀場製作所製ＬＡ９５０）を用いて測定した。

［実験例１〜４３］
表１、２に示す主原料、副原料、焼結材の配合とし、吸着部材を作製した。実験例１、２では、支持体のみとした。実験例３〜１０では、支持体の原料の平均粒径を変更した。実験例１１〜１４では、支持体の焼結材料の添加量を変更した。実験例１５〜１９では、吸着層の原料の平均粒径を変更した。実験例２０〜２３では、吸着層の焼結材の添加量を変更した。実験例２４〜３６では、吸着層の厚さと原料の平均粒径とを変更した。実験例３７、３８では、支持体の厚さを変更した。実験例３９〜４３では、焼結材としてチタニアを支持体に用い、その添加量を変更した。

（細孔径測定）
実験例１〜４３の平均細孔径は、水銀ポロシメータ（島津製作所製ＡｕｔｏＰｏｒｅ９４０５）を用いて測定した。なお、この測定において、支持体のみ、吸着層のみで成形体を作製し、その成形体を用いて平均細孔径を測定した。

（吸着性評価）
図２に示す成膜装置を評価装置とし、下記の試験を行った。成膜装置に吸着部材をセットし、吸着部材上に５ｍｍ角×０．２ｍｍ厚のチップ部品を複数、吸着層の表面上に載置させ、大気中で下面側から真空ポンプにより吸引し、そのときのチップ部品の吸着の可否と、真空ポンプの吸引を停止したのちにチップ部品を離脱することができる離脱時間とを測定した。真空ポンプは、６０．０Ｌ／分の条件で作動させた。吸着、離脱の評価基準は、吸引した際に逆さにして落ちないときに吸着可と判定し、吸引後に逆さにして落ちたときに離脱したと判定した。

（水没吸着性評価）
図２に示す成膜装置に乾燥状態の吸着部材をセットし、水を投入すると共に真空ポンプで吸引した。真空ポンプは、６０．０Ｌ／分の条件で作動させた。吸着部材が脱気され、水が吸着部材の細孔に十分入り込んだ状態から３０秒経過時の圧力を初期真空度（ｋＰａ）とし、真空ポンプを停止して時間経過に伴う圧力の回復を測定した。真空度（ゲージ圧）は、排管に接続した圧力ゲージにより測定した。図３は、実験例６、１６、１７の圧力の経時変化の測定結果である。圧力が回復して一定圧になった時間を回復時間（分）とし、その一定圧を回復後真空度（ｋＰａ）とした。なお、十分入り込んだ状態とは、３０秒間経過した初期圧力に変化の無い状態のことである。

（結果と考察）
吸着性評価と水没吸着性の評価結果を表１、２にまとめて示す。表１に示すように、１層構造で平均細孔径が比較的小さい実験例１では、部品の吸着はできるものの、離脱時間や回復時間が大きく、吸着部材から部品が離れにくいことがわかった。また、１層構造で平均細孔径が比較的大きい実験例２では、細孔が大きすぎて真空引きできず、部品を吸着しにくいことがわかった。支持体の平均細孔径を検討した実験例３〜１０において、１層構造で細孔径の小さな実験例３では、部品を吸着できないことがわかった。支持体の平均細孔径が大きい実験例１０では、吸着層を十分に成膜することができなかった。また、支持体の焼結材の量を検討した実験例１１〜１４において、焼結材が少ない実験例１１では、支持体の焼結が不十分であった。支持体の焼結材が多い実験例１４では、部品の吸着ができなかった。この理由は、焼結材のガラスが細孔を塞いだためであると推察された。例えば、実験例１２、１３の開気孔率は２５〜４０体積％であったのに対し、実験例１４の開気孔率は２０体積％であった。吸着層の平均細孔径を検討した実験例１５〜１９において、吸着層の平均細孔径が小さい実験例１５、１６では、吸着できず、水溶媒では空気が入りにくく吸着時の減圧状態は回復しなかった（図３参照）。また、吸着層の平均細孔径が比較的大きい実験例１９では、真空引きができなかった。これに対して、実験例４〜９、１２、１３、１７、１８では、支持体及び吸着層の厚さ、平均細孔径、焼結性などが好適であり、部品の吸着性や、大気中及び水中での部品の離脱性が比較的好適であることがわかった。

また、表２に示すように、吸着層の焼結材の少ない実験例２０では、吸着層の焼結が十分でなかった。また、吸着層の焼結材が多い実験例２３では、部品の吸着ができなかった。この理由は、焼結材のガラスが細孔を塞いだためであると推察された。吸着層の平均細孔径とその厚さを検討した実験例２４〜３６において、吸着層の厚さの薄い実験例２４、３１では、真空に引くことができず、部品を吸着することができなかった。実験例２４では、平均細孔径も小さく、吸着層に欠陥があるものと推察された。支持体の厚さが厚い実験例３７，３８では、水没吸着性の回復時間がやや劣るものの、吸着性は良好であった。また、実験例３９〜４３において、支持体の焼結材をチタニアとしても、ガラス系の焼結材と同様の結果が得られた。

以上の結果より、吸着層は、平均細孔径が１μｍを超え１０μｍ以下の範囲であり、より好ましくは、３μｍ以上、８μｍ以下、更に好ましくは５μｍ以下であると考えられた。また、吸着層は、厚さが５０μｍ以上７００μｍ以下の範囲であり、より好ましくは３５０μｍ以下の範囲であり、更に好ましくは３００μｍ以下であると考えられた。更に、吸着層は、焼結材を３質量％以上２０質量％以下の範囲で含むことが好ましいことがわかった。支持体は、平均細孔径が吸着層の１．５倍以上であり、より好ましくは、８μｍ以上７０μｍ以下の範囲であり、更に好ましくは、１０μｍ以上、５０μｍ未満の範囲であり、特に好ましくは、３０μｍ以下の範囲であると考えられた。また、支持体は、厚さが２０ｍｍ以下の範囲であり、より好ましくは３ｍｍ以上、１５ｍｍ未満の範囲であり、更に好ましくは５ｍｍ以上、１０ｍｍ以下であると考えられた。更に、支持体は、焼結材を１質量％以上３５質量％以下の範囲、より好ましくは５質量％以上３０質量％以下の範囲で含むことが好ましいことがわかった。

なお、本発明は上述した実施例に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

本発明は、大気中や液体中で部品を保持する技術分野に利用可能である。

１０ 洗浄装置、１２ 装着容器、１３ 排管、１４ 廃液タンク、１５ 真空ポンプ、１６ 洗浄管、２０ 吸着部材、２１ 吸着面、２２ 吸着層、２４ 支持体、３０ チップ部品、４０ 成膜装置、４１ 成膜容器、４２ パッキン、４３ 排管、４４ 廃液タンク、４５ 真空ポンプ。

Claims (10)

1. 厚さが５０μｍ以上７００μｍ以下の範囲であり、平均細孔径が１μｍを超え１０μｍ以下の範囲であり１以上の部品を大気中又は液体中で真空吸着、離脱するセラミックの多孔体である吸着層と、
   前記吸着層の平均細孔径よりも大きい平均細孔径を有し前記吸着層を支持するセラミックの多孔体である支持体と、
   を備えた吸着部材。
2. 前記吸着層は、前記部品を水中で真空吸着、離脱し、平均細孔径が３μｍ以上の範囲である、請求項１に記載の吸着部材。
3. 前記支持体は、厚さが１５ｍｍ未満の範囲である、請求項１又は２に記載の吸着部材。
4. 前記支持体は、前記吸着層の１．５倍以上の平均細孔径である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の吸着部材。
5. 前記支持体は、平均細孔径が８μｍ以上５０μｍ未満の範囲である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の吸着部材。
6. 前記支持体は、焼結材を５質量％以上３０質量％以下の範囲で含む、請求項１〜５のいずれか１項に記載の吸着部材。
7. 前記吸着層は、焼結材を３質量％以上２０質量％以下の範囲で含む、請求項１〜６のいずれか１項に記載の吸着部材。
8. 前記吸着層は、アルミナ、チタニア、シリカ、コージェライト、ジルコニア、ムライト及びジルコニアのうち１以上のセラミックスである、請求項１〜７のいずれか１項に記載の吸着部材。
9. 前記支持体は、アルミナ、チタニア、シリカ、コージェライト、ジルコニア、ムライト及びジルコニアのうち１以上のセラミックスである、請求項１〜８のいずれか１項に記載の吸着部材。
10. 請求項１〜９のいずれか１項に記載の吸着部材を用い、１以上の部品を大気中又は液体中で真空吸着、離脱する、吸着部材の使用方法。

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