JP4704971B2 - 真空吸着装置 - Google Patents
真空吸着装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4704971B2 JP4704971B2 JP2006199432A JP2006199432A JP4704971B2 JP 4704971 B2 JP4704971 B2 JP 4704971B2 JP 2006199432 A JP2006199432 A JP 2006199432A JP 2006199432 A JP2006199432 A JP 2006199432A JP 4704971 B2 JP4704971 B2 JP 4704971B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- peripheral
- peripheral portion
- glass
- vacuum suction
- less
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
はじめに載置部11を形成するセラミックス/ガラス複合多孔体の原料であるセラミックス粉末およびガラス粉末に、水またはアルコールを加えて混合してスラリーを調整する。原料の混合は、ボールミル、ミキサー等、公知の方法が適用できる。ここで、水またはアルコール量は特に限定しないが、セラミックス粉末の粒度、ガラス粉末の添加量を考慮し所望の流動性が得られるように、水またはアルコールの添加量を調整する。セラミックス粉末とガラス粉末の量は、目標とする開気孔率、セラミックス粉末の粒度、焼成温度およびガラス粘性等を考慮して調整されるが、概ねセラミックス粉末100質量部に対してガラス粉末を5〜30質量部の範囲で添加することが望ましい。
11:載置部
11a:載置面
12:周縁部
12a:周縁部表面
13:支持部
13a:支持部表面
14:吸気孔
15:吸気溝
W:半導体ウエハ
Claims (3)
- 被吸着体を真空吸着する載置面を有するセラミックス/ガラス複合多孔体からなる載置部と、当該載置部の外周を取り囲む環状のガラス/セラミックス複合多孔体からなる周縁部と、前記載置部の気孔に連通する吸気孔を備え、前記載置部および前記周縁部を支持する支持部とを具備し、被吸着体を同一平面上の前記載置面および前記周縁部表面に吸着固定して平面研削加工に供される真空吸着装置であって、前記周縁部のセラミック粉末とガラス粉末の混合比は、10:90〜50:50の範囲であり、前記周縁部は、閉気孔が均一に分散された構造を有することを特徴とする真空吸着装置。
- 前記周縁部の最大気孔径は1.0mm以下、開気孔率は3%以下であり、閉気孔を含む気孔率は10%以上、50%以下であることを特徴とする請求項1記載の真空吸着装置。
- 前記周縁部に含まれるセラミックス粉末の平均粒径は、50μm以下であることを特徴とする請求項1、2記載の真空吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006199432A JP4704971B2 (ja) | 2006-07-21 | 2006-07-21 | 真空吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006199432A JP4704971B2 (ja) | 2006-07-21 | 2006-07-21 | 真空吸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008028169A JP2008028169A (ja) | 2008-02-07 |
JP4704971B2 true JP4704971B2 (ja) | 2011-06-22 |
Family
ID=39118491
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006199432A Active JP4704971B2 (ja) | 2006-07-21 | 2006-07-21 | 真空吸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4704971B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5335593B2 (ja) * | 2009-07-23 | 2013-11-06 | 株式会社ディスコ | 研削装置のチャックテーブル |
JP5530275B2 (ja) * | 2010-06-30 | 2014-06-25 | 太平洋セメント株式会社 | 真空吸着装置及びその製造方法 |
JP6166122B2 (ja) * | 2013-08-14 | 2017-07-19 | 株式会社ディスコ | チャックテーブル |
JP6590675B2 (ja) * | 2015-12-14 | 2019-10-16 | 日本特殊陶業株式会社 | 真空吸着装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0513051U (ja) * | 1991-07-31 | 1993-02-19 | 京セラ株式会社 | 真空チヤツク |
JP2005074551A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Tech Res & Dev Inst Of Japan Def Agency | 真空吸着装置 |
JP2006093491A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Taiheiyo Cement Corp | 真空吸着装置 |
-
2006
- 2006-07-21 JP JP2006199432A patent/JP4704971B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0513051U (ja) * | 1991-07-31 | 1993-02-19 | 京セラ株式会社 | 真空チヤツク |
JP2005074551A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Tech Res & Dev Inst Of Japan Def Agency | 真空吸着装置 |
JP2006093491A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Taiheiyo Cement Corp | 真空吸着装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008028169A (ja) | 2008-02-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4885165B2 (ja) | 真空吸着装置 | |
JP4666656B2 (ja) | 真空吸着装置、その製造方法および被吸着物の吸着方法 | |
JP4718397B2 (ja) | 真空吸着装置の製造方法 | |
JP4908263B2 (ja) | 真空吸着装置およびその製造方法 | |
JP2008132562A (ja) | 真空チャックおよびこれを用いた真空吸着装置 | |
JP4704971B2 (ja) | 真空吸着装置 | |
JP5261057B2 (ja) | 吸着盤および真空吸着装置 | |
JP2008028170A (ja) | 真空吸着装置及びその製造方法 | |
JP4336532B2 (ja) | 真空吸着装置およびその製造方法 | |
JP4405887B2 (ja) | 真空吸着装置 | |
JP2005205507A (ja) | 真空吸着装置およびその製造方法 | |
JP2008166312A (ja) | 真空チャック及びこれを用いた真空吸着装置 | |
JP5279550B2 (ja) | 真空吸着装置及びその製造方法 | |
JP2005279789A (ja) | 研削・研磨用真空チャック | |
JP4964910B2 (ja) | 真空吸着装置およびその製造方法 | |
JP6179030B2 (ja) | 真空吸着装置およびその製造方法 | |
JP4405886B2 (ja) | 真空吸着装置 | |
JP2005118979A (ja) | 研削・研磨用真空チャックおよび吸着板 | |
JP6154274B2 (ja) | 吸着盤 | |
JP2005279788A (ja) | 研削・研磨用真空チャック | |
JP5597155B2 (ja) | 真空吸着装置およびその製造方法 | |
JP4468059B2 (ja) | 静圧軸受け装置 | |
JP5530275B2 (ja) | 真空吸着装置及びその製造方法 | |
JP2004209633A (ja) | 加工用基板固定装置およびその製造方法 | |
JP2009147078A (ja) | 真空吸着装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100729 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100810 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100810 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100916 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110308 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110310 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4704971 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |