JP2009147078A - 真空吸着装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を載置する載置面を有するセラミックス多孔質体からなる載置部と、該載置部を取り囲む環状の緻密質セラミックスからなる枠部と、該枠部及び前記載置部を支持し、セラミックスを強化材とした金属基複合材料からなる支持部と、を備える基板搬送用の真空吸着装置であって、前記載置部と前記枠部とが隙間無く直接接合されていることを特徴とする真空吸着装置。前記載置部の厚みは2mm以下であって、前記載置部を含めた真空吸着装置の全厚みが5mm以下である。
【選択図】図1
Description
11、21、31:載置部
11a、31a:載置面
12、22、322:枠部
321:器状部材
13、23、33:支持部
14、24:吸引孔
25:吸引溝
36:吸着部
Claims (3)
- 基板を載置する載置面を有するセラミックス多孔質体からなる載置部と、
該載置部を取り囲む環状の緻密質セラミックスからなる枠部と、
該枠部及び前記載置部を支持し、セラミックスを強化材とした金属基複合材料からなる支持部と、
を備える基板搬送用の真空吸着装置であって、
前記載置部と前記枠部とが隙間無く直接接合されていることを特徴とする真空吸着装置。 - 前記載置部の厚みは2mm以下であって、前記載置部を含めた真空吸着装置の全厚みが5mm以下である請求項1記載の真空吸着装置。
- 緻密質セラミックスからなる略凹型の器状部材の凹部にセラミックス粉末と結合材を含むセラミックス多孔質体原料の混合物を投入し、成形体を成形する工程と、
前記成形体を前記器状部材ごと前記結合材が溶融する温度以上に加熱して、セラミックス多孔質体を得るとともに、前記結合材によりセラミックス多孔質体を器状部材の凹部に隙間無く直接接合する工程と、
前記器状部材と前記セラミックス多孔質体とを加工して、環状の枠部と、その内側に接合された載置部とからなる吸着部を形成する工程と、
前記吸着部と、セラミックスを強化材とする金属基複合材料からなる支持部とを接合する工程と、
を含むことを特徴とする真空吸着装置の製造方法。
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2007
- 2007-12-13 JP JP2007322326A patent/JP2009147078A/ja active Pending
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