JPH05247631A - 合成樹脂被膜の形成装置及び形成方法 - Google Patents
合成樹脂被膜の形成装置及び形成方法Info
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- JPH05247631A JPH05247631A JP4659992A JP4659992A JPH05247631A JP H05247631 A JPH05247631 A JP H05247631A JP 4659992 A JP4659992 A JP 4659992A JP 4659992 A JP4659992 A JP 4659992A JP H05247631 A JPH05247631 A JP H05247631A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空中で２種以上の合成樹脂原料モノマーを
蒸発させ、これを基体上で重合させて樹脂被膜を形成す
る方法において、安定性の良い被膜形成が長時間、効率
良くできる合成樹脂被膜の形成装置及び形成方法を提供
することを目的とする。 【構成】 原料モノマーの真空排気経路とは枝分かれ状
にモノマートラップ容器１３，１４を設置するととも
に、このモノマートラップ容器に補足された原料モノマ
ーを加熱して再使用することにより、長時間そして効率
良く合成樹脂被膜が得られる。
蒸発させ、これを基体上で重合させて樹脂被膜を形成す
る方法において、安定性の良い被膜形成が長時間、効率
良くできる合成樹脂被膜の形成装置及び形成方法を提供
することを目的とする。 【構成】 原料モノマーの真空排気経路とは枝分かれ状
にモノマートラップ容器１３，１４を設置するととも
に、このモノマートラップ容器に補足された原料モノマ
ーを加熱して再使用することにより、長時間そして効率
良く合成樹脂被膜が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体素子または静電
チャックの絶縁膜、パッシベーション膜、ソフトエラー
膜、プラスチックコンデンサの誘電体などに用いられる
薄い合成樹脂被膜の形成装置及び形成方法に関するもの
である。
チャックの絶縁膜、パッシベーション膜、ソフトエラー
膜、プラスチックコンデンサの誘電体などに用いられる
薄い合成樹脂被膜の形成装置及び形成方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、合成樹脂被膜の形成方法として
は、合成樹脂原料モノマー（以下、原料モノマーと略
す）を適当な溶媒に溶かして基体に塗布し、これを基体
上で重合させる「湿式法」、合成樹脂自体を基体上に蒸
着させる「ポリマー蒸着法」または原料モノマーをプラ
ズマ状態にして、プラズマ中で基体上に重合させる「プ
ラズマ重合法」、原料モノマーを真空中で蒸発させて、
これを基体上で重合させる「蒸着重合法」などが知られ
ている。
は、合成樹脂原料モノマー（以下、原料モノマーと略
す）を適当な溶媒に溶かして基体に塗布し、これを基体
上で重合させる「湿式法」、合成樹脂自体を基体上に蒸
着させる「ポリマー蒸着法」または原料モノマーをプラ
ズマ状態にして、プラズマ中で基体上に重合させる「プ
ラズマ重合法」、原料モノマーを真空中で蒸発させて、
これを基体上で重合させる「蒸着重合法」などが知られ
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の合成樹脂被膜の形成方法では、「湿式法」の場合は
極めて薄い膜を形成するのが困難である。また基体に対
する合成樹脂の密着力が不十分で、しかも塗液の調合や
溶媒の除去（乾燥）・回収などの工程が入るために、不
純物の混入が起こりやすいという課題を有していた。ま
た「ポリマー蒸着法」の場合は、蒸着時にポリマーの解
重合とともに分解が併発し、原料ポリマーの重合度が低
下して、形成された合成樹脂被膜の物性が低下するとい
う課題を有していた。「プラズマ重合法」の場合は、原
料モノマー自体が分解したりするので、合成樹脂被膜の
分子構造の制御が困難であるという課題を有していた。
来の合成樹脂被膜の形成方法では、「湿式法」の場合は
極めて薄い膜を形成するのが困難である。また基体に対
する合成樹脂の密着力が不十分で、しかも塗液の調合や
溶媒の除去（乾燥）・回収などの工程が入るために、不
純物の混入が起こりやすいという課題を有していた。ま
た「ポリマー蒸着法」の場合は、蒸着時にポリマーの解
重合とともに分解が併発し、原料ポリマーの重合度が低
下して、形成された合成樹脂被膜の物性が低下するとい
う課題を有していた。「プラズマ重合法」の場合は、原
料モノマー自体が分解したりするので、合成樹脂被膜の
分子構造の制御が困難であるという課題を有していた。
【０００４】そこで、特開昭６１−７８４６３号公報に
開示されているように、例えば、４，４′ジフェニル・
メタン・ジイソシアネートのような芳香族ジイソシアネ
ートと、例えば、４，４′ジアミノ・ジフェニル・エー
テルのような芳香族ジアミンを用いて真空中で両原料モ
ノマーを蒸発させて、これを基体上で重合させて尿素樹
脂被膜を形成させる「蒸着重合法」が提案され、再現性
・安定性・制御性に優れた乾式の薄膜形成法が実現し
た。しかし、上記両原料モノマーは一定温度に保って常
時蒸発させておく必要があり、蒸発源噴き出し口の開閉
装置を閉じて被膜形成を中断している時には、蒸発した
原料モノマーの大部分は真空排気ポンプに到達しポンプ
オイルを短時間に劣化させてしまうという問題があっ
た。
開示されているように、例えば、４，４′ジフェニル・
メタン・ジイソシアネートのような芳香族ジイソシアネ
ートと、例えば、４，４′ジアミノ・ジフェニル・エー
テルのような芳香族ジアミンを用いて真空中で両原料モ
ノマーを蒸発させて、これを基体上で重合させて尿素樹
脂被膜を形成させる「蒸着重合法」が提案され、再現性
・安定性・制御性に優れた乾式の薄膜形成法が実現し
た。しかし、上記両原料モノマーは一定温度に保って常
時蒸発させておく必要があり、蒸発源噴き出し口の開閉
装置を閉じて被膜形成を中断している時には、蒸発した
原料モノマーの大部分は真空排気ポンプに到達しポンプ
オイルを短時間に劣化させてしまうという問題があっ
た。
【０００５】この一つの対策として、一般的な金属の
「真空蒸着法」で用いられる冷却機能付きの残留水分ト
ラップ装置を真空排気経路の途中（真空排気ポンプの直
前）に設置したが、トラップされる原料モノマーの量が
多いために短時間でトラップ能力や排気能力が低下し
た。これを回復させるためには原料モノマーの蒸発を停
止させてから真空を破ってトラップ内部を清掃する必要
があり、作業時間と原材料のロスが大幅に増加するの
で、上記のトラップ方式では不十分で効率的な合成樹脂
被膜形成が実現できないことが判明した。
「真空蒸着法」で用いられる冷却機能付きの残留水分ト
ラップ装置を真空排気経路の途中（真空排気ポンプの直
前）に設置したが、トラップされる原料モノマーの量が
多いために短時間でトラップ能力や排気能力が低下し
た。これを回復させるためには原料モノマーの蒸発を停
止させてから真空を破ってトラップ内部を清掃する必要
があり、作業時間と原材料のロスが大幅に増加するの
で、上記のトラップ方式では不十分で効率的な合成樹脂
被膜形成が実現できないことが判明した。
【０００６】本発明は上記従来の問題を解決するもの
で、「蒸着重合法」で効率良く合成樹脂被膜を得ること
のできる形成装置及び形成方法を提供することを目的と
する。
で、「蒸着重合法」で効率良く合成樹脂被膜を得ること
のできる形成装置及び形成方法を提供することを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の合成樹脂被膜の形成装置及び形成方法は、各
原料モノマーの蒸発源容器にそれぞれ開閉装置と真空排
気装置とを有した蒸着重合装置において、各原料モノマ
ーの真空排気経路とは枝分かれ状に加熱手段付きモノマ
ートラップ容器をそれぞれ設置し、一度トラップした原
料モノマーを加熱して再使用する構成を有している。
に本発明の合成樹脂被膜の形成装置及び形成方法は、各
原料モノマーの蒸発源容器にそれぞれ開閉装置と真空排
気装置とを有した蒸着重合装置において、各原料モノマ
ーの真空排気経路とは枝分かれ状に加熱手段付きモノマ
ートラップ容器をそれぞれ設置し、一度トラップした原
料モノマーを加熱して再使用する構成を有している。
【０００８】
【作用】上記本発明の構成によれば、真空排気ポンプ又
は真空排気ポンプの直前に設置したモノマートラップへ
到達する原料モノマーの量を減少させることができ、ま
た真空を破ることなく一度トラップした原料モノマーを
加熱して再使用することができる。したがって一度モノ
マーを仕込んで真空排気を開始すれば、真空を破ること
なく長時間安定して被膜形成が行え、また原料ロスの少
ない効率的な被膜形成ができることとなる。
は真空排気ポンプの直前に設置したモノマートラップへ
到達する原料モノマーの量を減少させることができ、ま
た真空を破ることなく一度トラップした原料モノマーを
加熱して再使用することができる。したがって一度モノ
マーを仕込んで真空排気を開始すれば、真空を破ること
なく長時間安定して被膜形成が行え、また原料ロスの少
ない効率的な被膜形成ができることとなる。
【０００９】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１０】図１は、本発明を実施するために使用する
合成樹脂被膜の形成装置の概略断面図である。図１に示
すように、真空排気装置１に接続された真空槽２内に
は、合成樹脂被膜を形成させるための基体３が、基体ホ
ルダー４によって下向きに保持される。真空槽２の下部
には原料モノマーを噴き出すための蒸発源ノズル５，６
が設けられ、それらに接続した蒸発源容器７，８はヒー
ター（図示せず）と熱電対（図示せず）とによって、原
料モノマーがそれぞれ所定温度に保たれるように制御さ
れる。蒸発源ノズル５，６には開閉装置９，１０がそれ
ぞれ設けられ、その開閉により基体３に形成される膜厚
が調整される。開閉装置９，１０の下にはそれぞれ真空
排気装置１１，１２が接続され、これらの真空排気経路
とは枝分かれ状にモノマートラップ容器１３，１４があ
り、また真空排気装置１１，１２の直前にもモノマート
ラップ１５，１６が直列に設置されている。通常、モノ
マートラップ１５，１６の温度は０℃に設定した。な
お、モノマートラップ容器１３，１４には蒸発源容器
７，８と同様のヒーターと熱電対とによる温度調節機能
も取り付けられるようになっている。
合成樹脂被膜の形成装置の概略断面図である。図１に示
すように、真空排気装置１に接続された真空槽２内に
は、合成樹脂被膜を形成させるための基体３が、基体ホ
ルダー４によって下向きに保持される。真空槽２の下部
には原料モノマーを噴き出すための蒸発源ノズル５，６
が設けられ、それらに接続した蒸発源容器７，８はヒー
ター（図示せず）と熱電対（図示せず）とによって、原
料モノマーがそれぞれ所定温度に保たれるように制御さ
れる。蒸発源ノズル５，６には開閉装置９，１０がそれ
ぞれ設けられ、その開閉により基体３に形成される膜厚
が調整される。開閉装置９，１０の下にはそれぞれ真空
排気装置１１，１２が接続され、これらの真空排気経路
とは枝分かれ状にモノマートラップ容器１３，１４があ
り、また真空排気装置１１，１２の直前にもモノマート
ラップ１５，１６が直列に設置されている。通常、モノ
マートラップ１５，１６の温度は０℃に設定した。な
お、モノマートラップ容器１３，１４には蒸発源容器
７，８と同様のヒーターと熱電対とによる温度調節機能
も取り付けられるようになっている。
【００１１】次に上記装置を用いた重付加反応による尿
素樹脂被膜の形成方法を説明する。 （実施例１）ガラス板を基体３とし、蒸発源容器７にジ
アミンの１種である４，４′メチレン・ジアニリン（以
下、ＭＤＡと略す）２００ｇを、蒸発源容器８にジイソ
シアネートの１種である４，４′ジフェニル・メタン・
ジイソシアネート（以下、ＭＤＩと略す）２５０ｇを充
填し、開閉装置９，１０を閉じた状態で、真空槽２内の
雰囲気ガスの全圧が１×１０-3Ｐａ以下になるまで、真
空排気装置１により排気する。また、蒸発源容器７，８
内の雰囲気ガスの全圧が１×１０-3Ｐａ以下になるま
で、真空排気装置１１，１２により排気する。次いで、
蒸発源容器７，８のヒーターを制御して、ＭＤＡを１１
０±０．５℃に、ＭＤＩを８５±０．５℃に加熱した。
この時の蒸発源容器７，８内の雰囲気ガスの全圧はそれ
ぞれ０．６Ｐａ，１．３Ｐａであった。この状態で開閉
装置９，１０を同時に１２０秒間開けて基体３上に両原
料モノマーの蒸気を差し向けて、厚さ１μｍの尿素樹脂
膜Ａ（合成樹脂被膜）を得た以外は開閉装置９，１０を
閉じたままで、４８時間連続して両原料モノマーを蒸発
させた。その後真空を破って、各モノマートラップに補
足されたモノマーを採取しそれらの重量を測定したとこ
ろ、モノマートラップ１３，１４，１５，１６に対して
それぞれ７０ｇ，１１０ｇ，８０ｇ，１１０ｇであっ
た。
素樹脂被膜の形成方法を説明する。 （実施例１）ガラス板を基体３とし、蒸発源容器７にジ
アミンの１種である４，４′メチレン・ジアニリン（以
下、ＭＤＡと略す）２００ｇを、蒸発源容器８にジイソ
シアネートの１種である４，４′ジフェニル・メタン・
ジイソシアネート（以下、ＭＤＩと略す）２５０ｇを充
填し、開閉装置９，１０を閉じた状態で、真空槽２内の
雰囲気ガスの全圧が１×１０-3Ｐａ以下になるまで、真
空排気装置１により排気する。また、蒸発源容器７，８
内の雰囲気ガスの全圧が１×１０-3Ｐａ以下になるま
で、真空排気装置１１，１２により排気する。次いで、
蒸発源容器７，８のヒーターを制御して、ＭＤＡを１１
０±０．５℃に、ＭＤＩを８５±０．５℃に加熱した。
この時の蒸発源容器７，８内の雰囲気ガスの全圧はそれ
ぞれ０．６Ｐａ，１．３Ｐａであった。この状態で開閉
装置９，１０を同時に１２０秒間開けて基体３上に両原
料モノマーの蒸気を差し向けて、厚さ１μｍの尿素樹脂
膜Ａ（合成樹脂被膜）を得た以外は開閉装置９，１０を
閉じたままで、４８時間連続して両原料モノマーを蒸発
させた。その後真空を破って、各モノマートラップに補
足されたモノマーを採取しそれらの重量を測定したとこ
ろ、モノマートラップ１３，１４，１５，１６に対して
それぞれ７０ｇ，１１０ｇ，８０ｇ，１１０ｇであっ
た。
【００１２】（実施例２）実施例１と全く同様にして４
８時間連続して両原料モノマーを蒸発させた後、両蒸発
源容器を室温以下に冷却した。この時の蒸発源容器７，
８内の雰囲気ガスの全圧はそれぞれ２×１０-4Ｐａ，６
×１０-4Ｐａであった。次にモノマートラップ容器１
３，１４にヒーターと熱電対とによる温度調節機能を取
り付けそれぞれ１１０±０．５℃，８５±０．５℃に加
熱し、開閉装置９，１０を同時に１２０秒間開けて基体
３上に両原料モノマーの蒸気を差し向けて、厚さ１μｍ
の尿素樹脂膜Ｂ（合成樹脂被膜）を得た。この尿素樹脂
膜Ｂは赤外分光分析と熱分析から尿素樹脂膜Ａと同質で
あることを確認した。
８時間連続して両原料モノマーを蒸発させた後、両蒸発
源容器を室温以下に冷却した。この時の蒸発源容器７，
８内の雰囲気ガスの全圧はそれぞれ２×１０-4Ｐａ，６
×１０-4Ｐａであった。次にモノマートラップ容器１
３，１４にヒーターと熱電対とによる温度調節機能を取
り付けそれぞれ１１０±０．５℃，８５±０．５℃に加
熱し、開閉装置９，１０を同時に１２０秒間開けて基体
３上に両原料モノマーの蒸気を差し向けて、厚さ１μｍ
の尿素樹脂膜Ｂ（合成樹脂被膜）を得た。この尿素樹脂
膜Ｂは赤外分光分析と熱分析から尿素樹脂膜Ａと同質で
あることを確認した。
【００１３】（比較例）図２は、上記実施例と比較する
ために使用する合成樹脂被膜の形成装置の概略断面図
で、図１のモノマートラップ容器１３，１４を省略して
いる。図２の装置を用いた以外は実施例２と全く同様に
して、４８時間連続して両原料モノマーを蒸発させた
後、両蒸発源容器を室温以下に冷却した。この時の蒸発
源容器７，８内の雰囲気ガスの全圧はそれぞれ３×１０
-3Ｐａ，８×１０-3Ｐａで排気能力の低下が現れた。次
に真空を破って、モノマートラップ１５，１６内を観察
すると真空排気経路に目詰まりが見られ、各モノマート
ラップに補足されたモノマーを採取しそれらの重量を測
定したところ、モノマートラップ１５，１６に対してそ
れぞれ１５０ｇ，２２０ｇであった。
ために使用する合成樹脂被膜の形成装置の概略断面図
で、図１のモノマートラップ容器１３，１４を省略して
いる。図２の装置を用いた以外は実施例２と全く同様に
して、４８時間連続して両原料モノマーを蒸発させた
後、両蒸発源容器を室温以下に冷却した。この時の蒸発
源容器７，８内の雰囲気ガスの全圧はそれぞれ３×１０
-3Ｐａ，８×１０-3Ｐａで排気能力の低下が現れた。次
に真空を破って、モノマートラップ１５，１６内を観察
すると真空排気経路に目詰まりが見られ、各モノマート
ラップに補足されたモノマーを採取しそれらの重量を測
定したところ、モノマートラップ１５，１６に対してそ
れぞれ１５０ｇ，２２０ｇであった。
【００１４】以上説明したように本実施例によれば、各
原料モノマーの蒸発源容器にそれぞれ開閉装置と真空排
気装置とを有した蒸着重合装置において、各原料モノマ
ーの真空排気経路とは枝分かれ状にモノマートラップ容
器をそれぞれ設置することにより、真空排気ポンプ及び
真空排気ポンプの直前に設置したモノマートラップへ到
達する原料モノマーの量を減少させることができる。こ
のように比較的効率よく各原料モノマーをトラップでき
る原因は、有機物である原料モノマーの蒸気圧が１Ｐａ
前後と高いためと思われる。またモノマートラップ容器
に一度トラップした原料モノマーを加熱しても同質の被
膜が得られるので、一度モノマーを仕込んで真空排気を
開始すれば、真空を破ることなく長時間安定して被膜形
成が可能で、原料ロスの少ない効率的な被膜形成ができ
ることとなる。
原料モノマーの蒸発源容器にそれぞれ開閉装置と真空排
気装置とを有した蒸着重合装置において、各原料モノマ
ーの真空排気経路とは枝分かれ状にモノマートラップ容
器をそれぞれ設置することにより、真空排気ポンプ及び
真空排気ポンプの直前に設置したモノマートラップへ到
達する原料モノマーの量を減少させることができる。こ
のように比較的効率よく各原料モノマーをトラップでき
る原因は、有機物である原料モノマーの蒸気圧が１Ｐａ
前後と高いためと思われる。またモノマートラップ容器
に一度トラップした原料モノマーを加熱しても同質の被
膜が得られるので、一度モノマーを仕込んで真空排気を
開始すれば、真空を破ることなく長時間安定して被膜形
成が可能で、原料ロスの少ない効率的な被膜形成ができ
ることとなる。
【００１５】なお、各原料モノマーの蒸発源容器に接続
された真空排気経路の配管は加熱して、配管上でのモノ
マートラップを防止することが望ましい。
された真空排気経路の配管は加熱して、配管上でのモノ
マートラップを防止することが望ましい。
【００１６】また、蒸発源容器とモノマートラップ容器
とにそれぞれ専用のバルブを設置すれば、真空を破るこ
となく原料モノマーを追加することができ、成膜時間の
延長が可能となる。
とにそれぞれ専用のバルブを設置すれば、真空を破るこ
となく原料モノマーを追加することができ、成膜時間の
延長が可能となる。
【００１７】また、実施例ではジアミンとジイソシアネ
ートを用いて合成樹脂として尿素樹脂を形成する場合を
示したが、合成樹脂を上記ジアミンと３，３′−４，
４′ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物（ＢＴＤ
Ａ）のような酸二無水物とを用いてポリイミド樹脂とし
てもよいことは言うまでもない。
ートを用いて合成樹脂として尿素樹脂を形成する場合を
示したが、合成樹脂を上記ジアミンと３，３′−４，
４′ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物（ＢＴＤ
Ａ）のような酸二無水物とを用いてポリイミド樹脂とし
てもよいことは言うまでもない。
【００１８】
【発明の効果】本発明は上記実施例より明らかなよう
に、各原料モノマーの蒸発源容器にそれぞれ開閉装置と
真空排気装置とを有した蒸着重合装置において、各原料
モノマーの真空排気経路とは枝分かれ状にモノマートラ
ップ容器をそれぞれ設置することにより、真空排気ポン
プ又は真空排気ポンプの直前に設置したモノマートラッ
プへ到達する原料モノマーの量を減少させることがで
き、また真空を破ることなく一度トラップした原料モノ
マーを加熱して再使用することができる。その結果安定
性の良い被膜形成が長時間、効率良くできる優れた合成
樹脂被膜の形成方法を実現できるものである。
に、各原料モノマーの蒸発源容器にそれぞれ開閉装置と
真空排気装置とを有した蒸着重合装置において、各原料
モノマーの真空排気経路とは枝分かれ状にモノマートラ
ップ容器をそれぞれ設置することにより、真空排気ポン
プ又は真空排気ポンプの直前に設置したモノマートラッ
プへ到達する原料モノマーの量を減少させることがで
き、また真空を破ることなく一度トラップした原料モノ
マーを加熱して再使用することができる。その結果安定
性の良い被膜形成が長時間、効率良くできる優れた合成
樹脂被膜の形成方法を実現できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例における合成樹脂被膜の形成
方法を実施するために使用する装置の概略断面図
方法を実施するために使用する装置の概略断面図
【図２】本発明の一比較例における合成樹脂被膜を形成
するための装置の概略断面図
するための装置の概略断面図
１，１１，１２ 真空排気装置 ５，６ 蒸発源ノズル ７，８ 蒸発源容器 １３，１４ モノマートラップ容器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 飯島 正行 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 日本真空 技術株式会社内 (72)発明者 高橋 善和 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 日本真空 技術株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】真空中で２種以上の合成樹脂原料モノマー
を蒸発させ、これらを基体上で重合させて樹脂被膜を形
成することを目的として、各合成樹脂原料モノマーの蒸
発源容器にそれぞれ開閉装置と真空排気装置とを有した
形成装置において、各合成樹脂原料モノマーの真空排気
経路とは枝分かれ状にモノマートラップ容器をそれぞれ
設置したことを特徴とする合成樹脂被膜の形成装置。 - 【請求項２】前記モノマートラップ容器に加熱手段を設
けたことを特徴とする請求項１記載の合成樹脂被膜の形
成装置。 - 【請求項３】請求項１または２記載の合成樹脂被膜の形
成装置において、モノマートラップ容器を加熱して一度
トラップした合成樹脂原料モノマーを再使用することを
特徴とする合成樹脂被膜の形成方法。 - 【請求項４】合成樹脂がジイソシアネートとジアミンと
の重付加反応によって形成される尿素樹脂であることを
特徴とする請求項３記載の合成樹脂被膜の形成方法。 - 【請求項５】合成樹脂がジアミンと酸二無水物との加熱
重合によって形成されるポリイミド樹脂であることを特
徴とする請求項３記載の合成樹脂被膜の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4659992A JP2912756B2 (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | 合成樹脂被膜の形成装置及び形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4659992A JP2912756B2 (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | 合成樹脂被膜の形成装置及び形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05247631A true JPH05247631A (ja) | 1993-09-24 |
| JP2912756B2 JP2912756B2 (ja) | 1999-06-28 |
Family
ID=12751769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4659992A Expired - Lifetime JP2912756B2 (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | 合成樹脂被膜の形成装置及び形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2912756B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003085157A1 (fr) * | 2002-04-05 | 2003-10-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Procede et dispositif pour preparer un film de resine mince |
| JP2006063393A (ja) * | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Ulvac Japan Ltd | ポリ尿素膜の形成方法及びポリ尿素膜形成装置 |
| JP2007314881A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Ans Inc | 薄膜形成用蒸着装置 |
| WO2011071064A1 (ja) * | 2009-12-09 | 2011-06-16 | 株式会社アルバック | 有機薄膜の成膜装置および有機材料成膜方法 |
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