JPH05246508A - ウエハの搬送保管方法とウエハキャリア - Google Patents
ウエハの搬送保管方法とウエハキャリアInfo
- Publication number
- JPH05246508A JPH05246508A JP4045339A JP4533992A JPH05246508A JP H05246508 A JPH05246508 A JP H05246508A JP 4045339 A JP4045339 A JP 4045339A JP 4533992 A JP4533992 A JP 4533992A JP H05246508 A JPH05246508 A JP H05246508A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafers
- lid
- carrier
- stored
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003860 storage Methods 0.000 title description 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 119
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 101100321304 Bacillus subtilis (strain 168) yxdM gene Proteins 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67353—Closed carriers specially adapted for a single substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Containers And Packaging Bodies Having A Special Means To Remove Contents (AREA)
- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 搬送や保管においてウエハの損傷等の問題が
生じにくい、かつ、高速での搬送を可能にするウエハの
搬送保管方法と、個別のウエハを取り扱うのに便利なウ
エハキャリアを提供する。 【構成】 平らな箱体内にウエハ１枚を収納し、この箱
体を１個ずつあるいは段積みして、搬送したり、保管し
たりする。これに用いるウエハキャリアは、内部にウエ
ハ１枚を収容する空間を有し１側面がウエハ出入口とし
て開口する平らな箱体と、前記出入口を塞ぐ開閉自在な
蓋を備え、前記空間の上下面は、少なくとも前記出入口
から見た両端側の部分が中央部側から端部側にかけて次
第に互いの間隔が狭くなるように傾斜した傾斜面になっ
ており、前記箱体と蓋との間には蓋を閉方向に付勢する
付勢手段を備えるとともに、前記空間の奥にはウエハを
出入口側に向けて付勢する付勢手段をも備えている。 【効果】 ウエハを１枚ずつキャリアに収納して搬送し
たり保管したりするのでウエハが損傷されず、高速での
ウエハの搬送が可能となる。
生じにくい、かつ、高速での搬送を可能にするウエハの
搬送保管方法と、個別のウエハを取り扱うのに便利なウ
エハキャリアを提供する。 【構成】 平らな箱体内にウエハ１枚を収納し、この箱
体を１個ずつあるいは段積みして、搬送したり、保管し
たりする。これに用いるウエハキャリアは、内部にウエ
ハ１枚を収容する空間を有し１側面がウエハ出入口とし
て開口する平らな箱体と、前記出入口を塞ぐ開閉自在な
蓋を備え、前記空間の上下面は、少なくとも前記出入口
から見た両端側の部分が中央部側から端部側にかけて次
第に互いの間隔が狭くなるように傾斜した傾斜面になっ
ており、前記箱体と蓋との間には蓋を閉方向に付勢する
付勢手段を備えるとともに、前記空間の奥にはウエハを
出入口側に向けて付勢する付勢手段をも備えている。 【効果】 ウエハを１枚ずつキャリアに収納して搬送し
たり保管したりするのでウエハが損傷されず、高速での
ウエハの搬送が可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ウエハの搬送方法と
ウエハキャリアに関し、詳しくは、半導体等からなりＩ
Ｃ製造用の基板等となる薄板材料すなわちウエハを、各
種の処理工程へ供給あるいは移送したりするための方法
と、ウエハを供給、移送したり、保管したりする際に用
いる搬送用部材すなわちキャリアに関するものである。
ウエハキャリアに関し、詳しくは、半導体等からなりＩ
Ｃ製造用の基板等となる薄板材料すなわちウエハを、各
種の処理工程へ供給あるいは移送したりするための方法
と、ウエハを供給、移送したり、保管したりする際に用
いる搬送用部材すなわちキャリアに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ウエハは薄くて、割れたり欠けたりし易
いものである。取り扱い中にウエハに過大な変形や内部
応力が生じると、ＩＣなどの最終製品の品質性能に悪影
響が生じる。ウエハは、表面にゴミや汚れが付着した
り、傷付いたりすることを避ける必要がある。ウエハの
表面にゴミや汚れが付いていたり、わずかな傷でも付い
ていたりすると、微細な回路構造などを形成できなくな
るからである。
いものである。取り扱い中にウエハに過大な変形や内部
応力が生じると、ＩＣなどの最終製品の品質性能に悪影
響が生じる。ウエハは、表面にゴミや汚れが付着した
り、傷付いたりすることを避ける必要がある。ウエハの
表面にゴミや汚れが付いていたり、わずかな傷でも付い
ていたりすると、微細な回路構造などを形成できなくな
るからである。
【０００３】そこで、ウエハの搬送や保管などの取り扱
いは、上記のような問題が生じないように、極めて慎重
に行う必要がある。
いは、上記のような問題が生じないように、極めて慎重
に行う必要がある。
【０００４】従来、ウエハキャリアとしては、平面略Ｃ
字形をなす多数の棚を有し、この略Ｃ形の棚の隙間に、
円板状のウエハを挿入してウエハの外周部分を保持させ
る構造のキャリアが用いられている。普通、ひとつのキ
ャリアには、２５枚のウエハが収容できるようになって
おり、多数のウエハをキャリア毎、各処理工程に一括し
て供給するようにしていた。
字形をなす多数の棚を有し、この略Ｃ形の棚の隙間に、
円板状のウエハを挿入してウエハの外周部分を保持させ
る構造のキャリアが用いられている。普通、ひとつのキ
ャリアには、２５枚のウエハが収容できるようになって
おり、多数のウエハをキャリア毎、各処理工程に一括し
て供給するようにしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記した従
来のウエハキャリアでは、ウエハを個別に取り扱い難い
という問題がある。
来のウエハキャリアでは、ウエハを個別に取り扱い難い
という問題がある。
【０００６】すなわち、ＩＣチップの製造などにおいて
は、最終製品の仕様や要求性能が様々であるため、ウエ
ハ毎に、必要な処理内容や処理手順が違う場合が多い。
このような場合に、前記したように多数のウエハをまと
めて取り扱うウエハキャリアでは、ウエハ毎に、異なる
処理ラインや処理装置に供給することが出来ない。その
ため、ウエハキャリアから、個々のウエハを取り出した
り、挿入したりする作業を行っている。
は、最終製品の仕様や要求性能が様々であるため、ウエ
ハ毎に、必要な処理内容や処理手順が違う場合が多い。
このような場合に、前記したように多数のウエハをまと
めて取り扱うウエハキャリアでは、ウエハ毎に、異なる
処理ラインや処理装置に供給することが出来ない。その
ため、ウエハキャリアから、個々のウエハを取り出した
り、挿入したりする作業を行っている。
【０００７】キャリアに収容された多数のウエハのう
ち、個々の処理工程毎に、必要なウエハのみを取り出し
たり、処理を終えたウエハを再びキャリアに戻すのは、
非常に面倒であり、ウエハの取り出しおよび戻し装置も
複雑になる。また、キャリアからの取り出しや戻し作業
の際に、ウエハを挿入する棚の位置を間違ったまま、そ
の後の処理を行うと、この間違えたウエハは、製品とし
て使用できなくなってしまう。ひとつのキャリアには、
全ての処理工程が同じウエハだけを収容しておくように
しておけば、上記問題は生じないが、例えば２５枚のウ
エハを収容するキャリアに、わずか数枚のウエハだけを
収容しておくのでは、大変に効率が悪く、不経済であ
る。
ち、個々の処理工程毎に、必要なウエハのみを取り出し
たり、処理を終えたウエハを再びキャリアに戻すのは、
非常に面倒であり、ウエハの取り出しおよび戻し装置も
複雑になる。また、キャリアからの取り出しや戻し作業
の際に、ウエハを挿入する棚の位置を間違ったまま、そ
の後の処理を行うと、この間違えたウエハは、製品とし
て使用できなくなってしまう。ひとつのキャリアには、
全ての処理工程が同じウエハだけを収容しておくように
しておけば、上記問題は生じないが、例えば２５枚のウ
エハを収容するキャリアに、わずか数枚のウエハだけを
収容しておくのでは、大変に効率が悪く、不経済であ
る。
【０００８】そこで、この発明の課題は、上記した従来
のウエハの搬送方法とウエハキャリアの有する問題点を
解消し、搬送や保管において問題の生じにくい、かつ、
高速での搬送をも可能にするウエハの搬送保管方法と、
個別のウエハを取り扱うのに便利なウエハキャリアを提
供することにある。
のウエハの搬送方法とウエハキャリアの有する問題点を
解消し、搬送や保管において問題の生じにくい、かつ、
高速での搬送をも可能にするウエハの搬送保管方法と、
個別のウエハを取り扱うのに便利なウエハキャリアを提
供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する、こ
の発明にかかるウエハの搬送保管方法は、平らな箱体内
にウエハ１枚を収納して搬送したり、保管したりするよ
うにする。この場合、ウエハを収納した箱体を段積みし
て搬送・保管するようにすることがあり、また、この箱
体を１個ずつベルト上に並べて搬送・保管したり、テー
プで連結して搬送・保管したりすることもある。
の発明にかかるウエハの搬送保管方法は、平らな箱体内
にウエハ１枚を収納して搬送したり、保管したりするよ
うにする。この場合、ウエハを収納した箱体を段積みし
て搬送・保管するようにすることがあり、また、この箱
体を１個ずつベルト上に並べて搬送・保管したり、テー
プで連結して搬送・保管したりすることもある。
【００１０】そして、上記課題を解決する、この発明に
かかるウエハキャリアは、内部にウエハ１枚を収容する
空間を有し１側面がウエハ出入口として開口する平らな
箱体と前記出入口を塞ぐ開閉自在な蓋を備えるととも
に、前記箱体と蓋との間には蓋を閉方向に付勢する蓋付
勢手段を、かつ、前記箱体内の空間の奥にはウエハを出
入口側に向けて付勢するウエハ付勢手段をそれぞれ備
え、前記箱体内の空間の上下面は少なくとも出入口から
見た両端側の部分が中央部側から端部側にかけて互いの
間隔が次第に狭くなるように傾斜した傾斜面になってお
り、かつ、前記ウエハ付勢手段は前記蓋が閉じられた際
には前記空間に収納されたウエハを押圧固定することが
できるようになっている。
かかるウエハキャリアは、内部にウエハ１枚を収容する
空間を有し１側面がウエハ出入口として開口する平らな
箱体と前記出入口を塞ぐ開閉自在な蓋を備えるととも
に、前記箱体と蓋との間には蓋を閉方向に付勢する蓋付
勢手段を、かつ、前記箱体内の空間の奥にはウエハを出
入口側に向けて付勢するウエハ付勢手段をそれぞれ備
え、前記箱体内の空間の上下面は少なくとも出入口から
見た両端側の部分が中央部側から端部側にかけて互いの
間隔が次第に狭くなるように傾斜した傾斜面になってお
り、かつ、前記ウエハ付勢手段は前記蓋が閉じられた際
には前記空間に収納されたウエハを押圧固定することが
できるようになっている。
【００１１】
【作用】ウエハを１枚毎、平らな箱体内に収納するよう
にすると、個々のウエハに必要な処理内容や処理順序等
に従って、ウエハを直接取り扱うのでなく、そのウエハ
を収納した箱体を扱えば良いから、ウエハの搬送や保管
の際に、薄いウエハに割れや欠けが生じにくく、取り扱
い中にウエハに過大な変形や内部応力が生じることもな
い。ウエハの搬送や保管を高速で行うことも出来る。
にすると、個々のウエハに必要な処理内容や処理順序等
に従って、ウエハを直接取り扱うのでなく、そのウエハ
を収納した箱体を扱えば良いから、ウエハの搬送や保管
の際に、薄いウエハに割れや欠けが生じにくく、取り扱
い中にウエハに過大な変形や内部応力が生じることもな
い。ウエハの搬送や保管を高速で行うことも出来る。
【００１２】そこで、ウエハの搬送や保管などの取り扱
いは、上記のような問題が生じないように、極めて慎重
に行う必要がある。
いは、上記のような問題が生じないように、極めて慎重
に行う必要がある。
【００１３】この発明にかかるウエハキャリア内にウエ
ハを収納すると、ウエハの左右端部が箱体内の傾斜面で
押さえられるとともに前後端部が蓋とウエハ付勢手段と
で挟まれるので、収納状態が安定する。箱体の蓋を閉方
向に付勢する付勢手段を設けているので、ウエハを箱体
内に挿入すれば、蓋が自動的に閉まって便利である。箱
体内部空間の奥には、ウエハを出入口側に向けて付勢す
るウエハ付勢手段を設けているので、出入口の蓋を、蓋
付勢手段の力に抗して開けると、ウエハの端が自動的に
出入口の外に出る。そのため、ウエハの取り出しが容易
になる。
ハを収納すると、ウエハの左右端部が箱体内の傾斜面で
押さえられるとともに前後端部が蓋とウエハ付勢手段と
で挟まれるので、収納状態が安定する。箱体の蓋を閉方
向に付勢する付勢手段を設けているので、ウエハを箱体
内に挿入すれば、蓋が自動的に閉まって便利である。箱
体内部空間の奥には、ウエハを出入口側に向けて付勢す
るウエハ付勢手段を設けているので、出入口の蓋を、蓋
付勢手段の力に抗して開けると、ウエハの端が自動的に
出入口の外に出る。そのため、ウエハの取り出しが容易
になる。
【００１４】
【実施例】ついで、この発明の実施例を図面を参照しな
がら、以下に説明する。
がら、以下に説明する。
【００１５】図１は、この発明の一実施例にかかるウエ
ハキャリアを示し、図２はその内部を拡大して示す。こ
のウエハキャリア１は、平らな箱体２と、その１側面に
設けられたウエハ出入口２１を塞ぐ蓋３を備えている。
箱体２は、その内部にウエハ１０を１枚だけ収容するに
足るだけの空間２２を有し、その１側面が前記ウエハ出
入口２１として開口している。箱体２内部の空間２２
は、ウエハ１０を出し入れするときの治具（図示省略）
先端が容易に箱体内部に入ることが出来るように、ウエ
ハ１０の厚みよりも厚くなっている。前記空間２２の上
面２３は、出入口２１から見て、出入口全長のほぼ３分
の１に当たる中央部分２３ａが水平面となり、その両側
部分２３ｂ、２３ｂが中央部側から端部側にかけて下が
り勾配に傾斜した傾斜面になっている。また、前記空間
２２の下面２４は、出入口２１から見て、出入口全長の
大部分に当たる中間部分２４ａが水平面となり、その両
端部分２４ｂ、２４ｂが中央部側から端部側にかけて上
がり勾配に傾斜した傾斜面になっている。その結果、空
間２２の上下面２３、２４の間隔は、出入口２１から見
た両端側の部分が中央部側から端部側にかけて次第に狭
くなるようになっている。なお、上下面２３、２４は、
出入口２１から見て、中央点から両端にかけての全体が
傾斜面になっていても良いが、そのようにすると、箱体
２の厚みが厚くなるか、または内部空間２２の厚みが薄
くなるので、なるべくは、両端側の部分のみを傾斜面に
するのが良い。箱体２と蓋３との間には蓋３を矢印で示
す閉方向に付勢する蓋付勢手段４を備えている。この実
施例では、蓋付勢手段４は、蓋３の回転中心軸３１に設
けられた蔓（つる）巻きバネであるが、これ以外の付勢
手段であっても良い。蓋３の端に設けられた押圧片３２
を駆動ピン５で押し上げると、蓋３は、蓋付勢手段４の
力に抗して開けられる。箱体２内の空間２２の奥にはウ
エハ１０を出入口側２１に向けて付勢するウエハ付勢手
段６を備えている。このウエハ付勢手段６は、実施例で
は、弓状のバネ板からなるが、これ以外の構造であって
も良い。この実施例では、箱体２も蓋３もプラスチック
で作られているので、このバネ板も、プラスチックで出
来ている。
ハキャリアを示し、図２はその内部を拡大して示す。こ
のウエハキャリア１は、平らな箱体２と、その１側面に
設けられたウエハ出入口２１を塞ぐ蓋３を備えている。
箱体２は、その内部にウエハ１０を１枚だけ収容するに
足るだけの空間２２を有し、その１側面が前記ウエハ出
入口２１として開口している。箱体２内部の空間２２
は、ウエハ１０を出し入れするときの治具（図示省略）
先端が容易に箱体内部に入ることが出来るように、ウエ
ハ１０の厚みよりも厚くなっている。前記空間２２の上
面２３は、出入口２１から見て、出入口全長のほぼ３分
の１に当たる中央部分２３ａが水平面となり、その両側
部分２３ｂ、２３ｂが中央部側から端部側にかけて下が
り勾配に傾斜した傾斜面になっている。また、前記空間
２２の下面２４は、出入口２１から見て、出入口全長の
大部分に当たる中間部分２４ａが水平面となり、その両
端部分２４ｂ、２４ｂが中央部側から端部側にかけて上
がり勾配に傾斜した傾斜面になっている。その結果、空
間２２の上下面２３、２４の間隔は、出入口２１から見
た両端側の部分が中央部側から端部側にかけて次第に狭
くなるようになっている。なお、上下面２３、２４は、
出入口２１から見て、中央点から両端にかけての全体が
傾斜面になっていても良いが、そのようにすると、箱体
２の厚みが厚くなるか、または内部空間２２の厚みが薄
くなるので、なるべくは、両端側の部分のみを傾斜面に
するのが良い。箱体２と蓋３との間には蓋３を矢印で示
す閉方向に付勢する蓋付勢手段４を備えている。この実
施例では、蓋付勢手段４は、蓋３の回転中心軸３１に設
けられた蔓（つる）巻きバネであるが、これ以外の付勢
手段であっても良い。蓋３の端に設けられた押圧片３２
を駆動ピン５で押し上げると、蓋３は、蓋付勢手段４の
力に抗して開けられる。箱体２内の空間２２の奥にはウ
エハ１０を出入口側２１に向けて付勢するウエハ付勢手
段６を備えている。このウエハ付勢手段６は、実施例で
は、弓状のバネ板からなるが、これ以外の構造であって
も良い。この実施例では、箱体２も蓋３もプラスチック
で作られているので、このバネ板も、プラスチックで出
来ている。
【００１６】この発明にかかるウエハの搬送方法は、図
４に例示するように、上述のウエハキャリア１にウエハ
を１枚ずつ収納して、ベルトコンベア等の搬送手段７で
搬送するようにするのである。このとき、つぎの処理工
程点に着くまでは、ウエハキャリア１を図示のように段
積みして送ると搬送効率が良い。ウエハを保管するとき
も、ウエハを１枚ずつウエハキャリア１に収納し、段積
みする等して保管するようにする。また、図５の（ａ）
に示すように、ウエハを収納したウエハキャリア１を１
個ずつベルト７上に並べて固定したり、図６の（ａ）に
示すように、ウエハを収納したウエハキャリア１を１個
ずつテープ８で連結したりして、搬送・保管するように
してもよい。この場合、図５の（ｂ）や図６の（ｂ）に
示すように折り畳んで搬送・保管するようにすることも
できる。
４に例示するように、上述のウエハキャリア１にウエハ
を１枚ずつ収納して、ベルトコンベア等の搬送手段７で
搬送するようにするのである。このとき、つぎの処理工
程点に着くまでは、ウエハキャリア１を図示のように段
積みして送ると搬送効率が良い。ウエハを保管するとき
も、ウエハを１枚ずつウエハキャリア１に収納し、段積
みする等して保管するようにする。また、図５の（ａ）
に示すように、ウエハを収納したウエハキャリア１を１
個ずつベルト７上に並べて固定したり、図６の（ａ）に
示すように、ウエハを収納したウエハキャリア１を１個
ずつテープ８で連結したりして、搬送・保管するように
してもよい。この場合、図５の（ｂ）や図６の（ｂ）に
示すように折り畳んで搬送・保管するようにすることも
できる。
【００１７】
【発明の効果】以上に述べた、この発明にかかるウエハ
の搬送保管方法によれば、ウエハを１枚ずつキャリアに
収納して搬送したり保管したりする。ウエハを搬送手段
で搬送する際や、搬送手段に載せたり、搬送手段から下
ろしたりするときも、また、ウエハを保管中や、保管場
所に置いたり、保管場所から出したりするときも、ウエ
ハを直接載置したり把持したりするのでなく、ウエハを
キャリア内に収納して、このキャリアを載置したり、把
持したりするようにするため、ウエハが損傷されない。
そのため、高速でのウエハの搬送が可能となる。
の搬送保管方法によれば、ウエハを１枚ずつキャリアに
収納して搬送したり保管したりする。ウエハを搬送手段
で搬送する際や、搬送手段に載せたり、搬送手段から下
ろしたりするときも、また、ウエハを保管中や、保管場
所に置いたり、保管場所から出したりするときも、ウエ
ハを直接載置したり把持したりするのでなく、ウエハを
キャリア内に収納して、このキャリアを載置したり、把
持したりするようにするため、ウエハが損傷されない。
そのため、高速でのウエハの搬送が可能となる。
【００１８】この発明にかかるウエハキャリアを用いれ
ば、ウエハは、キャリア内に収納された状態で端部が前
後左右から固定されるため、安定的に収納され、収納中
に損傷されることがない。
ば、ウエハは、キャリア内に収納された状態で端部が前
後左右から固定されるため、安定的に収納され、収納中
に損傷されることがない。
【図１】この発明にかかるウエハキャリアの一実施例を
示す斜視図
示す斜視図
【図２】キャリア内でのウエハの収容状態を示す要部拡
大断面図
大断面図
【図３】キャリアの蓋取付状態を示す部分側面図
【図４】この発明にかかるウエハの搬送保管方法の一実
施例を示す斜視図
施例を示す斜視図
【図５】（ａ）この発明にかかるウエハの搬送保管方法
の別の実施例を示す斜視図 （ｂ）同側面図
の別の実施例を示す斜視図 （ｂ）同側面図
【図６】（ａ）この発明にかかるウエハの搬送保管方法
のさらに別の実施例を示す斜視図 （ｂ）同側面図
のさらに別の実施例を示す斜視図 （ｂ）同側面図
１ ウエハキャリア ２ 箱体 ２１ 出入口 ２２ 空間 ２３ 上面 ２３ｂ 傾斜面 ２４ 下面 ２４ｂ 傾斜面 ４ 蓋付勢手段 ６ ウエハ付勢手段 ７ ベルト ８ テープ １０ ウエハ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｇ 49/07 9244−3Ｆ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｔ 8418−4Ｍ Ａ 8418−4Ｍ
Claims (5)
- 【請求項１】 平らな箱体内にウエハ１枚を収納して搬
送したり保管したりするウエハの搬送保管方法。 - 【請求項２】 ウエハを収納した箱体を段積みして搬送
したり保管したりする請求項１記載のウエハの搬送保管
方法。 - 【請求項３】 ウエハを収納した箱体を１個ずつベルト
上に並べて搬送したり保管したりする請求項１記載のウ
エハの搬送保管方法。 - 【請求項４】 ウエハを収納した箱体を１個ずつテープ
で連結して搬送したり保管したりする請求項１記載のウ
エハの搬送保管方法。 - 【請求項５】 内部にウエハ１枚を収容する空間を有し
１側面がウエハ出入口として開口する平らな箱体と前記
出入口を塞ぐ開閉自在な蓋を備えるとともに、前記箱体
と蓋との間には蓋を閉方向に付勢する蓋付勢手段を、か
つ、前記箱体内の空間の奥にはウエハを出入口側に向け
て付勢するウエハ付勢手段をそれぞれ備え、前記箱体内
の空間の上下面は少なくとも出入口から見た両端側の部
分が中央部側から端部側にかけて互いの間隔が次第に狭
くなるように傾斜した傾斜面になっており、かつ、前記
ウエハ付勢手段は前記蓋が閉じられた際には前記空間に
収納されたウエハを押圧固定することができるようにな
っているウエハキャリア。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4045339A JP2970183B2 (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | ウエハの搬送保管方法とウエハキャリア |
| US08/025,629 US5360106A (en) | 1992-03-03 | 1993-03-02 | Method for transporting/storing wafer and wafer carrier |
| KR93002949A KR0130752B1 (en) | 1992-03-03 | 1993-03-02 | Method for transporting / storing wafer and wafer carrier |
| US08/281,676 US5502953A (en) | 1992-03-03 | 1994-07-28 | Method for transporting/storing a wafer in a wafer carrier |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4045339A JP2970183B2 (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | ウエハの搬送保管方法とウエハキャリア |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05246508A true JPH05246508A (ja) | 1993-09-24 |
| JP2970183B2 JP2970183B2 (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=12716536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4045339A Expired - Fee Related JP2970183B2 (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | ウエハの搬送保管方法とウエハキャリア |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5360106A (ja) |
| JP (1) | JP2970183B2 (ja) |
| KR (1) | KR0130752B1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6431806B1 (en) * | 1998-06-08 | 2002-08-13 | Incam Solutions | Adapter device for carrier pods containing at least one flat object in an ultraclean atmosphere |
| WO2006035484A1 (ja) | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 半導体製造装置および半導体製造方法 |
| JP2006245206A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5573120A (en) * | 1993-04-27 | 1996-11-12 | Pop-Pak, Limited | Storage container for compact discs and the like |
| US5799782A (en) * | 1995-04-10 | 1998-09-01 | Gelardi; John A. | Compact disc case |
| US5662216A (en) * | 1995-11-15 | 1997-09-02 | Nesbitt; Alexander H. | Jewel case for compact laser disc |
| US5590768A (en) * | 1996-01-11 | 1997-01-07 | Compliant Solutions, Lc | Storage case for disk-shaped media having a bi-stable ejection mechanism utilizing compliant device technology |
| WO1997025260A1 (en) * | 1996-01-11 | 1997-07-17 | Compliant Solutions, Lc | Disk-media storage case with ejection mechanism |
| US5799784A (en) * | 1996-12-19 | 1998-09-01 | Bosworth; John | Compact disk record case |
| US5899327A (en) * | 1997-10-31 | 1999-05-04 | Ufe, Inc. | Protective storage case for digital discs, computer game cartridges and the like |
| KR100558471B1 (ko) * | 1999-12-07 | 2006-03-07 | 삼성전자주식회사 | 반도체 디바이스 반송 시스템 |
| US6283281B1 (en) * | 2000-02-24 | 2001-09-04 | 2Bngenius, Inc. | Compact disc carrying case |
| CA2341320A1 (en) * | 2001-03-22 | 2002-09-22 | Andre Lafleur | Compact disk case |
| US7258520B2 (en) * | 2002-08-31 | 2007-08-21 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for using substrate carrier movement to actuate substrate carrier door opening/closing |
| JP2005071511A (ja) * | 2003-08-26 | 2005-03-17 | Let's Communications Co Ltd | 記録媒体用ディスク収納ケース |
| US7089712B2 (en) * | 2004-05-18 | 2006-08-15 | The Form House, Inc. | Apparatus and method for producing a DVD carrier assembly |
| US7409263B2 (en) | 2004-07-14 | 2008-08-05 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for repositioning support for a substrate carrier |
| US7720558B2 (en) | 2004-09-04 | 2010-05-18 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for mapping carrier contents |
| US7311198B2 (en) * | 2004-09-15 | 2007-12-25 | Peter Bergus | Storage device for compact discs |
| CN2919349Y (zh) * | 2006-04-21 | 2007-07-04 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 存储器固定装置 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3904259A (en) * | 1974-02-22 | 1975-09-09 | Boeing Co | Magnetic tape cassette storage containers |
| CH632389B (fr) * | 1978-09-15 | Ebauches Sa | Dispositif pour l'assemblage de resonateurs a cristal piezo-electrique. | |
| JPS606930Y2 (ja) * | 1981-06-01 | 1985-03-07 | 日本ビクター株式会社 | 円盤状情報記録媒体用カ−トリツジ |
| AU3199284A (en) * | 1983-08-29 | 1985-03-07 | Idn Inventions And Development Of Novelties A.G. | Compact disk storage |
| DE3536509A1 (de) * | 1985-10-12 | 1987-04-16 | Ilsemann Heino | Verfahren und vorrichtung zum einbringen von compact-discs (cd) in cd-boxen |
| US4863031A (en) * | 1985-12-18 | 1989-09-05 | Tdk Corporation | Disc cartridge having peripheral disc support |
| DE8618905U1 (de) * | 1986-07-15 | 1986-08-28 | fischerwerke Artur Fischer GmbH & Co KG, 7244 Tumlingen | Aufbewahrungsbehälter für Magnetbandkassetten |
| DE3643693C1 (de) * | 1986-12-20 | 1988-02-11 | Philips & Du Pont Optical | Assemblierungsmaschine fuer eine Verpackung |
| US4905217A (en) * | 1988-11-18 | 1990-02-27 | Simplicity Products, Inc. | Enclosure for optical disk or the like |
| KR930004624Y1 (ko) * | 1991-03-30 | 1993-07-22 | 송진외 | 콤펙트디스크케이스의 원터치서랍식 개폐장치 |
| US5186328A (en) * | 1991-09-23 | 1993-02-16 | Molex Incorporated | Packaging system for electrical connectors |
| GB2262516B (en) * | 1991-12-21 | 1995-03-22 | Tdk Corp | Electronic component feed system |
-
1992
- 1992-03-03 JP JP4045339A patent/JP2970183B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-03-02 US US08/025,629 patent/US5360106A/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-03-02 KR KR93002949A patent/KR0130752B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1994
- 1994-07-28 US US08/281,676 patent/US5502953A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6431806B1 (en) * | 1998-06-08 | 2002-08-13 | Incam Solutions | Adapter device for carrier pods containing at least one flat object in an ultraclean atmosphere |
| WO2006035484A1 (ja) | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 半導体製造装置および半導体製造方法 |
| US7994067B2 (en) | 2004-09-27 | 2011-08-09 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor manufacturing equipment with an open-topped cassette apparatus |
| JP2006245206A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
| JP4592449B2 (ja) * | 2005-03-02 | 2010-12-01 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2970183B2 (ja) | 1999-11-02 |
| US5360106A (en) | 1994-11-01 |
| US5502953A (en) | 1996-04-02 |
| KR0130752B1 (en) | 1998-04-06 |
| KR930020626A (ko) | 1993-10-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH05246508A (ja) | ウエハの搬送保管方法とウエハキャリア | |
| EP0756314B1 (en) | Semiconductor wafer loading and unloading apparatus | |
| JP3391623B2 (ja) | 半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーション | |
| US6607602B1 (en) | Device for processing semiconductor wafers | |
| US5348151A (en) | Low profile disk carrier | |
| US5749469A (en) | Wafer carrier | |
| US4718552A (en) | Disk shipper and transfer tray | |
| TWI401759B (zh) | How to use the wafer box, the handling method of the wafer box, and the holding part for the wafer box handling | |
| JPH05508746A (ja) | 基板を格納し、運搬し、ロードするための装置 | |
| US6866470B2 (en) | Methods and apparatus for retaining a tray stack having a plurality of trays for carrying microelectronic devices | |
| US5452801A (en) | Conveyor cassette for wafers | |
| KR100271586B1 (ko) | 반도체 가공 장비용 투입 방출장치 | |
| JPH0936215A (ja) | キャリアケース | |
| US5816415A (en) | Integrated wafer cassette holder and wafer cassette box | |
| JPH07101550A (ja) | 物品処理装置 | |
| KR200155617Y1 (ko) | 반도체 웨이퍼 자동반송용 캐리어 | |
| JPH06298290A (ja) | チップトレイ及びそれを用いたチップパッケージ | |
| JPH0590388A (ja) | 移替装置 | |
| KR100364843B1 (ko) | 반도체 패키지 운송용 트레이의 트레이월 구조 | |
| JPH0826462A (ja) | 物品保持具及び物品整列装置 | |
| JPH01274447A (ja) | ウェーハ輸送用ケース | |
| JPH0974131A (ja) | ウエハ輸送用ケース及びウエハ輸送方法 | |
| JPH04225257A (ja) | ウェーハカセット | |
| JPH10194454A (ja) | カセット搬送台車 | |
| JPH0656214A (ja) | 基板供給収納装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |