JPH0524638A - 基板の搬送路変更装置 - Google Patents
基板の搬送路変更装置Info
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- JPH0524638A JPH0524638A JP20469391A JP20469391A JPH0524638A JP H0524638 A JPH0524638 A JP H0524638A JP 20469391 A JP20469391 A JP 20469391A JP 20469391 A JP20469391 A JP 20469391A JP H0524638 A JPH0524638 A JP H0524638A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 搬送路変更装置の駆動源の個数を減らしてコ
スト低減を図り、併せて各駆動源の駆動量の設定個数を
減らすことで、煩雑な手間を少なくする。 【構成】 前段支持手段10の可動側支持具11bと後段支
持手段20の一対の各支持具21a・21bとを横幅変更手段15
で、それぞれ１対1/2の移動比で連動可能に構成し、後段
支持手段20の他方の支持具21bを移動架台22に固定する。
移動架台22に、伝動輪46とこれと同径で同軸回転する動
輪48a及び無端索体49介して回転する従輪48bを付設し、
移載手段30の一方の移載支持具31aを移載位置整合手段4
0を構成する無端索体47に連結するとともに、他方の移
載支持具31bを移動架台22に付設した無端索体49に連結
して連動可能に構成する。これにより移載手段30の一対
の移載支持具31a・31bは、前段支持具11a・11b及び後段支
持具21a・21bに対して位置整合する。
スト低減を図り、併せて各駆動源の駆動量の設定個数を
減らすことで、煩雑な手間を少なくする。 【構成】 前段支持手段10の可動側支持具11bと後段支
持手段20の一対の各支持具21a・21bとを横幅変更手段15
で、それぞれ１対1/2の移動比で連動可能に構成し、後段
支持手段20の他方の支持具21bを移動架台22に固定する。
移動架台22に、伝動輪46とこれと同径で同軸回転する動
輪48a及び無端索体49介して回転する従輪48bを付設し、
移載手段30の一方の移載支持具31aを移載位置整合手段4
0を構成する無端索体47に連結するとともに、他方の移
載支持具31bを移動架台22に付設した無端索体49に連結
して連動可能に構成する。これにより移載手段30の一対
の移載支持具31a・31bは、前段支持具11a・11b及び後段支
持具21a・21bに対して位置整合する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、前段搬送路より基板
を受け取って、後段搬送路へその基板を引き渡す場合に
用いられる基板の搬送路変更装置に関し、更に詳しく
は、前段搬送路が横幅方向の一端辺を基準（以下端辺基
準という）に、基板の横幅寸法に対応させて搬送路を拡
狭可能な搬送手段であり、後段搬送路が横幅方向のセン
ターを基準（以下センター基準という）に、搬送路を拡
狭可能な搬送手段である場合に適用可能な基板の搬送路
変更装置に関するものである。
を受け取って、後段搬送路へその基板を引き渡す場合に
用いられる基板の搬送路変更装置に関し、更に詳しく
は、前段搬送路が横幅方向の一端辺を基準（以下端辺基
準という）に、基板の横幅寸法に対応させて搬送路を拡
狭可能な搬送手段であり、後段搬送路が横幅方向のセン
ターを基準（以下センター基準という）に、搬送路を拡
狭可能な搬送手段である場合に適用可能な基板の搬送路
変更装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より基板の搬送路変更装置として、
多種多用のものが知られているが、上記のように前段搬
送路が端辺基準であり、後段搬送路がセンター基準の場
合には、一般に例えば図５で示すように構成されてい
る。この搬送路変更装置は、基板Ｗの前段搬送路Ｒ1を
形成する前段支持手段１１０と、基板Ｗの後段搬送路Ｒ
2を形成する後段支持手段１２０と、基板を前段支持手
段１１０より受け取って後段支持手段１２０に引き渡す
移載手段１３０とを具備して成る。
多種多用のものが知られているが、上記のように前段搬
送路が端辺基準であり、後段搬送路がセンター基準の場
合には、一般に例えば図５で示すように構成されてい
る。この搬送路変更装置は、基板Ｗの前段搬送路Ｒ1を
形成する前段支持手段１１０と、基板Ｗの後段搬送路Ｒ
2を形成する後段支持手段１２０と、基板を前段支持手
段１１０より受け取って後段支持手段１２０に引き渡す
移載手段１３０とを具備して成る。
【０００３】上記前段支持手段１１０は、基板の横幅両
端部を支持する一対の支持具１１１ａ・１１１ｂのう
ち、一方の支持具１１１ａを基板Ｗの一端辺基準側とし
て固定し、他方の支持具１１１ｂを可動側として基板Ｗ
の横幅寸法Ｌに応じて変動可能に構成し、後段支持手段
１２０は、基板Ｗの横幅両端部を支持する一対の支持具
１２１ａ・１２１ｂを、基板Ｗの横幅寸法Ｌに応じて左
右対称に変動可能に構成し、移載手段１３０は、基板Ｗ
の横幅両端部を支持する一対の移載支持具１３１ａ・１
３１ｂを、前段支持具１１１ａ・１１１ｂ及び後段支持
具１２１ａ・１２１ｂに対して位置整合可能に構成され
ている。なお、図５中の符号１１６は前段の支持具１１
１ｂの駆動モータ、１１７は後段の一対の支持具１２１
ａ・１２１ｂの駆動モータ、１４０ａは一方の移載支持
具１３１ｂ駆動用のリニアアクチュエータ、１４０ｂは
移載手段１３０を搭載した移動架台１３２の駆動モータ
である。
端部を支持する一対の支持具１１１ａ・１１１ｂのう
ち、一方の支持具１１１ａを基板Ｗの一端辺基準側とし
て固定し、他方の支持具１１１ｂを可動側として基板Ｗ
の横幅寸法Ｌに応じて変動可能に構成し、後段支持手段
１２０は、基板Ｗの横幅両端部を支持する一対の支持具
１２１ａ・１２１ｂを、基板Ｗの横幅寸法Ｌに応じて左
右対称に変動可能に構成し、移載手段１３０は、基板Ｗ
の横幅両端部を支持する一対の移載支持具１３１ａ・１
３１ｂを、前段支持具１１１ａ・１１１ｂ及び後段支持
具１２１ａ・１２１ｂに対して位置整合可能に構成され
ている。なお、図５中の符号１１６は前段の支持具１１
１ｂの駆動モータ、１１７は後段の一対の支持具１２１
ａ・１２１ｂの駆動モータ、１４０ａは一方の移載支持
具１３１ｂ駆動用のリニアアクチュエータ、１４０ｂは
移載手段１３０を搭載した移動架台１３２の駆動モータ
である。
【０００４】上記従来例では図６のように作動する。こ
こで図６は動作説明図であり、それぞれ図６(Ａ)は作動
開始前の状態を示し、図６(Ｂ)は第１ステップの作動状
態を示し、図６(Ｃ)は第２ステップの状態を示す。第１
ステップＳ1では図６(Ｂ)で示すように、前段支持手段
１１０の他方の支持具１１１ｂを基板Ｗの横幅寸法Ｌに
応じて変動するとともに、移載手段１３０の一方の移載
支持具１３１ｂを基板Ｗの横幅寸法Ｌに応じて変動す
る。この状態で基板Ｗを前段支持手段１１０から移載手
段１３０へ移す。また、これと同時に後段支持手段１２
０の一対の支持具１２１ａ・１２１ｂを基板Ｗの横幅寸
法Ｌに応じて左右対称に変動する。第２ステップＳ2で
は図６(Ｃ)で示すように、移載手段１３０の一対の移載
支持具１３１ａ・１３１ｂを後段支持具１２１ａ・１２１
ｂに対して位置整合する。この状態で基板Ｗを移載手段
１３０から後段支持手段１２０へ移す。これにより、基
板Ｗは端辺基準の前段搬送路から、センター基準の後段
搬送路へ引き渡す。
こで図６は動作説明図であり、それぞれ図６(Ａ)は作動
開始前の状態を示し、図６(Ｂ)は第１ステップの作動状
態を示し、図６(Ｃ)は第２ステップの状態を示す。第１
ステップＳ1では図６(Ｂ)で示すように、前段支持手段
１１０の他方の支持具１１１ｂを基板Ｗの横幅寸法Ｌに
応じて変動するとともに、移載手段１３０の一方の移載
支持具１３１ｂを基板Ｗの横幅寸法Ｌに応じて変動す
る。この状態で基板Ｗを前段支持手段１１０から移載手
段１３０へ移す。また、これと同時に後段支持手段１２
０の一対の支持具１２１ａ・１２１ｂを基板Ｗの横幅寸
法Ｌに応じて左右対称に変動する。第２ステップＳ2で
は図６(Ｃ)で示すように、移載手段１３０の一対の移載
支持具１３１ａ・１３１ｂを後段支持具１２１ａ・１２１
ｂに対して位置整合する。この状態で基板Ｗを移載手段
１３０から後段支持手段１２０へ移す。これにより、基
板Ｗは端辺基準の前段搬送路から、センター基準の後段
搬送路へ引き渡す。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例のものは、
それぞれ前段の支持具１１１ｂ、後段の一対の支持具１
２１ａ・１２１ｂ及び一方の移載支持具１３１ｂを、そ
れぞれ駆動モータ１１６、駆動モータ１１７及びリニア
アクチュエータ１４０ａで駆動するとともに、移載手段
１３０を搭載した移動架台１３２を駆動モータ１４０ｂ
で駆動する構成であるから、多数の駆動源を必要としコ
スト高につく。しかも、基板Ｗの横幅寸法が変わるたび
に当該寸法に対応させて個別に各駆動源の駆動量を設定
しなければならず、その手間が煩雑となる。本発明はこ
のような事情を考慮してなされたもので、駆動源の個数
を減らしてコスト低減を図り、併せて各駆動源の駆動量
の設定を減らすことで、煩雑な手間を少なくすることを
技術課題とする。
それぞれ前段の支持具１１１ｂ、後段の一対の支持具１
２１ａ・１２１ｂ及び一方の移載支持具１３１ｂを、そ
れぞれ駆動モータ１１６、駆動モータ１１７及びリニア
アクチュエータ１４０ａで駆動するとともに、移載手段
１３０を搭載した移動架台１３２を駆動モータ１４０ｂ
で駆動する構成であるから、多数の駆動源を必要としコ
スト高につく。しかも、基板Ｗの横幅寸法が変わるたび
に当該寸法に対応させて個別に各駆動源の駆動量を設定
しなければならず、その手間が煩雑となる。本発明はこ
のような事情を考慮してなされたもので、駆動源の個数
を減らしてコスト低減を図り、併せて各駆動源の駆動量
の設定を減らすことで、煩雑な手間を少なくすることを
技術課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するものとして、前記従来例（図５）の基板の搬送路変
更装置において、図１のように改良したものである。こ
こで、図１は本発明に係る基板の搬送路変更装置を模式
的に示す斜視図である。即ち、前段の可動側支持具１１
ｂと後段の一対の各支持具２１ａ・２１ｂとを、単一の駆
動モータ１６を有する横幅変更手段１２で、それぞれ１
対1/2の移動比で連動可能に構成し、後段の一対の支持
具２１ａ・２１ｂのうち、前段の可動側支持具１１ｂと
同じ側の支持具２１ｂを移動架台２２上に固定して、移
動架台２２と一体に移動可能に構成し、移載手段３０の
移載位置整合手段４０は、それぞれ基板Ｗの横幅寸法Ｌ
外に配置した駆動モータ４１の駆動輪４２及び従動輪４
３と、駆動輪４２と従動輪４３の間に位置し上記移動架
台２２に付設された伝動輪４６と、これらの駆動輪４
２、従動輪４３、伝動輪４６に順に巻掛けた無端索体４
７と、それぞれ上記移動架台２２に付設され、伝動輪４
６と同径に形成されかつ同軸回転する動輪４８ａ及び無
端索体４９介して回転する従輪４８ｂとから成り、上記
移載手段３０の一対の移載支持具３１ａ・３１ｂのう
ち、一方の移載支持具３１ａを駆動輪４２に巻掛けた無
端索体４７に連結するとともに、他方の移載支持具３１
ｂを上記移動架台２２に付設した無端索体４９に連結し
て連動可能に構成したことを特徴とするものである。
するものとして、前記従来例（図５）の基板の搬送路変
更装置において、図１のように改良したものである。こ
こで、図１は本発明に係る基板の搬送路変更装置を模式
的に示す斜視図である。即ち、前段の可動側支持具１１
ｂと後段の一対の各支持具２１ａ・２１ｂとを、単一の駆
動モータ１６を有する横幅変更手段１２で、それぞれ１
対1/2の移動比で連動可能に構成し、後段の一対の支持
具２１ａ・２１ｂのうち、前段の可動側支持具１１ｂと
同じ側の支持具２１ｂを移動架台２２上に固定して、移
動架台２２と一体に移動可能に構成し、移載手段３０の
移載位置整合手段４０は、それぞれ基板Ｗの横幅寸法Ｌ
外に配置した駆動モータ４１の駆動輪４２及び従動輪４
３と、駆動輪４２と従動輪４３の間に位置し上記移動架
台２２に付設された伝動輪４６と、これらの駆動輪４
２、従動輪４３、伝動輪４６に順に巻掛けた無端索体４
７と、それぞれ上記移動架台２２に付設され、伝動輪４
６と同径に形成されかつ同軸回転する動輪４８ａ及び無
端索体４９介して回転する従輪４８ｂとから成り、上記
移載手段３０の一対の移載支持具３１ａ・３１ｂのう
ち、一方の移載支持具３１ａを駆動輪４２に巻掛けた無
端索体４７に連結するとともに、他方の移載支持具３１
ｂを上記移動架台２２に付設した無端索体４９に連結し
て連動可能に構成したことを特徴とするものである。
【０００７】
【作 用】本発明では、先ず前段の可動側支持具１１ｂ
と後段の一対の各支持具２１ａ・２１ｂとを、単一の駆
動モータ１６を有する横幅変更手段１２で、それぞれ１
対1/2の移動比で連動する。これにより、前段支持手段１
０の他方の支持具１１ｂの位置が基板Ｗの横幅寸法Ｌに
応じて変動するとともに、後段支持手段２０の一対の支
持具２１ａ・２１ｂの位置が、基板Ｗの横幅寸法Ｌに応じ
て左右対称に変動する。
と後段の一対の各支持具２１ａ・２１ｂとを、単一の駆
動モータ１６を有する横幅変更手段１２で、それぞれ１
対1/2の移動比で連動する。これにより、前段支持手段１
０の他方の支持具１１ｂの位置が基板Ｗの横幅寸法Ｌに
応じて変動するとともに、後段支持手段２０の一対の支
持具２１ａ・２１ｂの位置が、基板Ｗの横幅寸法Ｌに応じ
て左右対称に変動する。
【０００８】このとき、後段の支持具２１ｂを固定した
移動架台２２も一体に移動するが、移載位置整合手段４
０の駆動モータ４１は停止しており、移動架台２２の移
動に伴って、移動架台２２に付設された伝動輪４６が当
該伝動輪４６に順に巻掛けた無端索体４７を介して回転
する。これにより、伝動輪４６と同径に形成された動輪
４８ａも同軸回転する。このときの伝動輪４６及び動輪
４８ａの回転量は、移動架台２２の移動量に相当する。
つまり、無端索体４９介して移動する移載支持具３１ｂ
の移動量は、移動架台２２の２倍の移動量に相当する。
従って、上記移載支持具３１ｂの位置も基板Ｗの横幅寸
法Ｌに応じて変動する。この状態で基板Ｗを前段支持手
段１０から移載手段３０へ移す。
移動架台２２も一体に移動するが、移載位置整合手段４
０の駆動モータ４１は停止しており、移動架台２２の移
動に伴って、移動架台２２に付設された伝動輪４６が当
該伝動輪４６に順に巻掛けた無端索体４７を介して回転
する。これにより、伝動輪４６と同径に形成された動輪
４８ａも同軸回転する。このときの伝動輪４６及び動輪
４８ａの回転量は、移動架台２２の移動量に相当する。
つまり、無端索体４９介して移動する移載支持具３１ｂ
の移動量は、移動架台２２の２倍の移動量に相当する。
従って、上記移載支持具３１ｂの位置も基板Ｗの横幅寸
法Ｌに応じて変動する。この状態で基板Ｗを前段支持手
段１０から移載手段３０へ移す。
【０００９】次いで、移載位置整合手段４０の駆動モー
タ４１を作動させる。このとき上記移動架台２２は停止
しており、移載手段３０の一対の移載支持具３１ａ・３
１ｂは、基板Ｗを載置した状態で平行移動し、後段支持
具２１ａ・２１ｂに対して位置整合する。この状態で基
板Ｗを移載手段３０から後段支持手段２０へ移す。これ
により、基板Ｗは端辺基準の前段搬送路から、センター
基準の後段搬送路へ引き渡される。
タ４１を作動させる。このとき上記移動架台２２は停止
しており、移載手段３０の一対の移載支持具３１ａ・３
１ｂは、基板Ｗを載置した状態で平行移動し、後段支持
具２１ａ・２１ｂに対して位置整合する。この状態で基
板Ｗを移載手段３０から後段支持手段２０へ移す。これ
により、基板Ｗは端辺基準の前段搬送路から、センター
基準の後段搬送路へ引き渡される。
【００１０】
【実施例】以下本発明の実施例を図１〜図４に基づいて
さらに詳しく説明する。図２は図１で示した搬送路変更
装置を具体化した第１の実施例に係る平面図、図３はそ
の正面図である。なお、これらの図中、同一の機能を有
する部材については同一の符号を付する。この実施例
は、基板Ｗの前段搬送路Ｒ1を形成する前段支持手段１
０と、基板Ｗの後段搬送路Ｒ2を形成する後段支持手段
２０と、基板を前段支持手段１０より受け取って後段支
持手段２０に引き渡す移載手段３０とを具備して成る。
さらに詳しく説明する。図２は図１で示した搬送路変更
装置を具体化した第１の実施例に係る平面図、図３はそ
の正面図である。なお、これらの図中、同一の機能を有
する部材については同一の符号を付する。この実施例
は、基板Ｗの前段搬送路Ｒ1を形成する前段支持手段１
０と、基板Ｗの後段搬送路Ｒ2を形成する後段支持手段
２０と、基板を前段支持手段１０より受け取って後段支
持手段２０に引き渡す移載手段３０とを具備して成る。
【００１１】前段支持手段１０は、基板の横幅両端部を
支持する一対の支持具１１ａ・１１ｂのうち、一方の支
持具１１ａを基板Ｗの一端辺基準側として固定し、他方
の支持具１１ｂを可動側として変動可能に構成し、横幅
変更手段１２を構成する前段の駆動軸１３Ａで当該他方
の支持具１１ｂを基板Ｗの横幅寸法Ｌに応じて変動可能
に構成されている。なお、図２中の符号１３Ｂは当該他
方の支持具１１ｂのガイド軸である。
支持する一対の支持具１１ａ・１１ｂのうち、一方の支
持具１１ａを基板Ｗの一端辺基準側として固定し、他方
の支持具１１ｂを可動側として変動可能に構成し、横幅
変更手段１２を構成する前段の駆動軸１３Ａで当該他方
の支持具１１ｂを基板Ｗの横幅寸法Ｌに応じて変動可能
に構成されている。なお、図２中の符号１３Ｂは当該他
方の支持具１１ｂのガイド軸である。
【００１２】また後段支持手段２０は、基板Ｗの横幅両
端部を支持する一対の支持具２１ａ・２１ｂを、上記横
幅変更手段１２を構成する後段の駆動軸１４Ａで基板Ｗ
の横幅寸法Ｌに応じて左右対称に変動可能に構成し、前
段の可動側支持具１１ｂと後段の一対の各支持具２１ａ
・２１ｂとを、単一の駆動モータ１６を有する上記横幅
変更手段１２で、それぞれ１対1/2の移動比で連動する
ように構成されている。なお、図２中の符号１４Ｂは当
該一対の支持具２１ａ・２１ｂのガイド軸である。
端部を支持する一対の支持具２１ａ・２１ｂを、上記横
幅変更手段１２を構成する後段の駆動軸１４Ａで基板Ｗ
の横幅寸法Ｌに応じて左右対称に変動可能に構成し、前
段の可動側支持具１１ｂと後段の一対の各支持具２１ａ
・２１ｂとを、単一の駆動モータ１６を有する上記横幅
変更手段１２で、それぞれ１対1/2の移動比で連動する
ように構成されている。なお、図２中の符号１４Ｂは当
該一対の支持具２１ａ・２１ｂのガイド軸である。
【００１３】上記横幅変更手段１２は、上記前段の駆動
軸１３Ａ及びこの駆動軸１３Ａの一端に固定した伝動輪
１３ａと、後段の駆動軸１４Ａ及びこの駆動軸１４Ａの
一端に固定した伝動輪１４ａと、駆動モータ１６と、テ
ンション用転動輪１７と、駆動モータ１６の駆動輪１６
ａと伝動輪１３ａ・１４ａ及びテンション用転動輪１７
に順に巻掛けた無端索体１８とから成り、伝動輪１３ａ
と伝動輪１４ａは、その半径の比ｒ1:ｒ2が１:２に設定
され、後段の駆動軸１４Ａには、一対の支持具２１ａ・２
１ｂを左右対称に変位するように一対の逆向き駆動ネジ
１５ａ・１５ｂが形成されている。そして後段の一対の
支持具２１ａ・２１ｂのうち、前段の可動側支持具１１
ｂと同じ側の支持具２１ｂは移動架台２２上に固定さ
れ、移動架台２２と一体に移動するように構成されてい
る。
軸１３Ａ及びこの駆動軸１３Ａの一端に固定した伝動輪
１３ａと、後段の駆動軸１４Ａ及びこの駆動軸１４Ａの
一端に固定した伝動輪１４ａと、駆動モータ１６と、テ
ンション用転動輪１７と、駆動モータ１６の駆動輪１６
ａと伝動輪１３ａ・１４ａ及びテンション用転動輪１７
に順に巻掛けた無端索体１８とから成り、伝動輪１３ａ
と伝動輪１４ａは、その半径の比ｒ1:ｒ2が１:２に設定
され、後段の駆動軸１４Ａには、一対の支持具２１ａ・２
１ｂを左右対称に変位するように一対の逆向き駆動ネジ
１５ａ・１５ｂが形成されている。そして後段の一対の
支持具２１ａ・２１ｂのうち、前段の可動側支持具１１
ｂと同じ側の支持具２１ｂは移動架台２２上に固定さ
れ、移動架台２２と一体に移動するように構成されてい
る。
【００１４】なお、上記伝動輪１３ａ・１４ａ及びテン
ション用転動輪１７としては、適宜スプロケット等を用
いると共に、無端索体１８としてはワイヤーの他、チェ
ーン、ベルト等を用いることもできる。また、テンショ
ン用転動輪１７は必ずしも必要でなく、例えば駆動モー
タ１６の駆動輪１６ａに無端索体１８を二重に巻つける
等、適宜変更してこれを省略してもよい。かかる構成は
後述する移載位置整合手段４０についても同様である。
ション用転動輪１７としては、適宜スプロケット等を用
いると共に、無端索体１８としてはワイヤーの他、チェ
ーン、ベルト等を用いることもできる。また、テンショ
ン用転動輪１７は必ずしも必要でなく、例えば駆動モー
タ１６の駆動輪１６ａに無端索体１８を二重に巻つける
等、適宜変更してこれを省略してもよい。かかる構成は
後述する移載位置整合手段４０についても同様である。
【００１５】上記移載手段３０は、基板Ｗの横幅両端部
を支持する一対の移載支持具３１ａ・３１ｂを、後述す
る移載位置整合手段４０で前段支持具１１ａ・１１ｂ及
び後段支持具２１ａ・２１ｂに対して位置整合可能に構
成されている。ここで図２中の符号３３Ａ・３３Ｂは一
対の移載支持具３１ａ・３１ｂのガイド軸である。即
ち、移動架台２２には転動輪４５と、伝動輪４６と、こ
の伝動輪４６と同径で同軸回転する動輪４８ａ及び無端
索体４９介して回転する従輪４８ｂが付設され、移載手
段３０の一方の移載支持具３１ａを連結アーム３２ａを
介して、移載位置整合手段４０を構成する無端索体４７
に連結するとともに、他方の移載支持具３１ｂを連結ア
ーム３２ｂを介して、移動架台２２に付設した上記無端
索体４９に連結し、両者が連動するように構成されてい
る。
を支持する一対の移載支持具３１ａ・３１ｂを、後述す
る移載位置整合手段４０で前段支持具１１ａ・１１ｂ及
び後段支持具２１ａ・２１ｂに対して位置整合可能に構
成されている。ここで図２中の符号３３Ａ・３３Ｂは一
対の移載支持具３１ａ・３１ｂのガイド軸である。即
ち、移動架台２２には転動輪４５と、伝動輪４６と、こ
の伝動輪４６と同径で同軸回転する動輪４８ａ及び無端
索体４９介して回転する従輪４８ｂが付設され、移載手
段３０の一方の移載支持具３１ａを連結アーム３２ａを
介して、移載位置整合手段４０を構成する無端索体４７
に連結するとともに、他方の移載支持具３１ｂを連結ア
ーム３２ｂを介して、移動架台２２に付設した上記無端
索体４９に連結し、両者が連動するように構成されてい
る。
【００１６】上記移載位置整合手段４０は、それぞれ基
板Ｗの横幅寸法Ｌの範囲外に配置した駆動モータ４１の
駆動輪４２及び従動輪４３と、駆動輪４２と従動輪４３
の間に位置し上記移動架台２２に付設された転動輪４５
及び伝動輪４６と、これらの駆動輪４２、従動輪４３、
転動輪４５、伝動輪４６に順に巻掛けた無端索体４７
と、上記移動架台２２に付設され、伝動輪４６と同径で
同軸回転する上記動輪４８ａ及び無端索体４９介して回
転する従輪４８ｂとから成り、駆動モータ４１を作動さ
せて、一対の移載支持具３１ａ・３１ｂを、前段支持具
１１ａ・１１ｂ及び後段支持具２１ａ・２１ｂに対して
位置整合するように構成されている。
板Ｗの横幅寸法Ｌの範囲外に配置した駆動モータ４１の
駆動輪４２及び従動輪４３と、駆動輪４２と従動輪４３
の間に位置し上記移動架台２２に付設された転動輪４５
及び伝動輪４６と、これらの駆動輪４２、従動輪４３、
転動輪４５、伝動輪４６に順に巻掛けた無端索体４７
と、上記移動架台２２に付設され、伝動輪４６と同径で
同軸回転する上記動輪４８ａ及び無端索体４９介して回
転する従輪４８ｂとから成り、駆動モータ４１を作動さ
せて、一対の移載支持具３１ａ・３１ｂを、前段支持具
１１ａ・１１ｂ及び後段支持具２１ａ・２１ｂに対して
位置整合するように構成されている。
【００１７】以下、上記実施例装置の動作を図１及び図
６に基づいて説明する。先ず第１のステップＳ1では、
前段の可動側支持具１１ｂと後段の一対の各支持具２１
ａ・２１ｂとを、横幅変更手段１２の駆動モータ１６を
作動させて移動させる。これにより、前段支持手段１０
の他方の支持具１１ｂの位置が基板Ｗの横幅寸法Ｌに応
じて(Ｌ1−Ｌ0)だけ変動するとともに、後段支持手段２
０の一対の支持具２１ａ・２１ｂの位置が基板Ｗの横幅
寸法Ｌに応じて左右対称に(Ｌ1−Ｌ0)／２だけ変動す
る。
６に基づいて説明する。先ず第１のステップＳ1では、
前段の可動側支持具１１ｂと後段の一対の各支持具２１
ａ・２１ｂとを、横幅変更手段１２の駆動モータ１６を
作動させて移動させる。これにより、前段支持手段１０
の他方の支持具１１ｂの位置が基板Ｗの横幅寸法Ｌに応
じて(Ｌ1−Ｌ0)だけ変動するとともに、後段支持手段２
０の一対の支持具２１ａ・２１ｂの位置が基板Ｗの横幅
寸法Ｌに応じて左右対称に(Ｌ1−Ｌ0)／２だけ変動す
る。
【００１８】このとき、後段の支持具２１ｂを固定した
移動架台２２も一体に(Ｌ1−Ｌ0)／２だけ移動するが、
移載位置整合手段４０の駆動モータ４１は停止してお
り、移動架台２２の移動に伴って、移動架台２２に付設
された伝動輪４６が、当該伝動輪４６に順に巻掛けた無
端索体４７を介して回転する。これにより、伝動輪４６
と同径に形成された動輪４８ａも同軸回転する。このと
きの伝動輪４６及び動輪４８ａの回転量は、移動架台２
２の移動量(Ｌ1−Ｌ0)／２に相当する。つまり、無端索
体４９を介して移動する移載手段３０の他方の移載支持
具３１ｂの移動量は、移動架台２２の２倍の移動量(Ｌ1
−Ｌ0)に相当する。従って、上記移載手段３０の他方の
移載支持具３１ｂの位置も基板Ｗの横幅寸法Ｌに応じて
(Ｌ1−Ｌ0)だけ変動する。この状態で基板Ｗを前段支持
手段１０から移載手段３０へ移すことができる。
移動架台２２も一体に(Ｌ1−Ｌ0)／２だけ移動するが、
移載位置整合手段４０の駆動モータ４１は停止してお
り、移動架台２２の移動に伴って、移動架台２２に付設
された伝動輪４６が、当該伝動輪４６に順に巻掛けた無
端索体４７を介して回転する。これにより、伝動輪４６
と同径に形成された動輪４８ａも同軸回転する。このと
きの伝動輪４６及び動輪４８ａの回転量は、移動架台２
２の移動量(Ｌ1−Ｌ0)／２に相当する。つまり、無端索
体４９を介して移動する移載手段３０の他方の移載支持
具３１ｂの移動量は、移動架台２２の２倍の移動量(Ｌ1
−Ｌ0)に相当する。従って、上記移載手段３０の他方の
移載支持具３１ｂの位置も基板Ｗの横幅寸法Ｌに応じて
(Ｌ1−Ｌ0)だけ変動する。この状態で基板Ｗを前段支持
手段１０から移載手段３０へ移すことができる。
【００１９】第２ステップＳ2では、移載位置整合手段
４０の駆動モータ４１を作動させる。このとき上記移動
架台２２は停止しており、移載手段３０の一対の移載支
持具３１ａ・３１ｂは無端索体４７を介して等量（この
実施例では前段搬送路Ｒ1と後段搬送路Ｒ2との変位差
Ｄ）だけ平行移動し、後段支持具２１ａ・２１ｂに対し
て位置整合する。この状態で基板Ｗを移載手段３０から
後段支持手段２０へ移すことができる。これにより、基
板Ｗは端辺基準の前段搬送路から、センター基準の後段
搬送路へ引き渡される。
４０の駆動モータ４１を作動させる。このとき上記移動
架台２２は停止しており、移載手段３０の一対の移載支
持具３１ａ・３１ｂは無端索体４７を介して等量（この
実施例では前段搬送路Ｒ1と後段搬送路Ｒ2との変位差
Ｄ）だけ平行移動し、後段支持具２１ａ・２１ｂに対し
て位置整合する。この状態で基板Ｗを移載手段３０から
後段支持手段２０へ移すことができる。これにより、基
板Ｗは端辺基準の前段搬送路から、センター基準の後段
搬送路へ引き渡される。
【００２０】図４は本発明の第２の実施例に係る搬送路
変更装置の正面図である。なお、この図中、前記と同一
の機能を有する部材については同一の符号を付して重複
する説明を省く。前記第１の実施例装置は、説明の便宜
上前段支持手段１０と後段支持手段２０と移載手段３０
とを、それぞれ平面的に配置したものとして例示した
が、この実施例装置は、それらを上下多段に配置すると
ともに、前段支持手段１０と移載手段３０との間に、基
板Ｗのバッファ支持手段５０を配置し、移載手段３０を
も一種のバッファ支持手段として構成したものである。
変更装置の正面図である。なお、この図中、前記と同一
の機能を有する部材については同一の符号を付して重複
する説明を省く。前記第１の実施例装置は、説明の便宜
上前段支持手段１０と後段支持手段２０と移載手段３０
とを、それぞれ平面的に配置したものとして例示した
が、この実施例装置は、それらを上下多段に配置すると
ともに、前段支持手段１０と移載手段３０との間に、基
板Ｗのバッファ支持手段５０を配置し、移載手段３０を
も一種のバッファ支持手段として構成したものである。
【００２１】即ち、前段支持手段１０の一対の支持具１
１ａ・１１ｂのうち、一方の支持具１１ａを基板Ｗの一
端辺基準側として昇降自在に設け、他方の支持具１１ｂ
を可動側として変動可能に構成し、図示しない傾斜搬送
路より搬送されてきた基板Ｗを傾斜状態で支持するよう
に構成されている。なお、符号１３Ｃは当該他方の支持
具１１ｂを固定したスライド部材１１Ｂの傾斜ガイド軸
である。
１ａ・１１ｂのうち、一方の支持具１１ａを基板Ｗの一
端辺基準側として昇降自在に設け、他方の支持具１１ｂ
を可動側として変動可能に構成し、図示しない傾斜搬送
路より搬送されてきた基板Ｗを傾斜状態で支持するよう
に構成されている。なお、符号１３Ｃは当該他方の支持
具１１ｂを固定したスライド部材１１Ｂの傾斜ガイド軸
である。
【００２２】上記バッファ手段５０は、上記一方の支持
具１１ａが下降するとき、基板Ｗの一端側を斜め下方へ
向けてガイドする下降ガイド５１ａと、後段の一方の支
持具２１ａに付設され、基板Ｗの当該一端側を受け止め
る水平ガイド部材５２と、上記スライド部材１１Ｂに揺
動自在に付設された他端支持具５１ｂとから成り、上記
一方の支持具１１ａを図示しないエアシリンダーで下降
させて、基板Ｗの当該一端側を水平ガイド部材５２で支
持するとともに、基板Ｗの他端部を他方の支持具１１ｂ
から他端支持具５１ｂで受け取り、基板Ｗをバッファ支
持して移載手段３０へ引き渡すように構成されている。
具１１ａが下降するとき、基板Ｗの一端側を斜め下方へ
向けてガイドする下降ガイド５１ａと、後段の一方の支
持具２１ａに付設され、基板Ｗの当該一端側を受け止め
る水平ガイド部材５２と、上記スライド部材１１Ｂに揺
動自在に付設された他端支持具５１ｂとから成り、上記
一方の支持具１１ａを図示しないエアシリンダーで下降
させて、基板Ｗの当該一端側を水平ガイド部材５２で支
持するとともに、基板Ｗの他端部を他方の支持具１１ｂ
から他端支持具５１ｂで受け取り、基板Ｗをバッファ支
持して移載手段３０へ引き渡すように構成されている。
【００２３】上記移載手段３０は、一方の移載支持具３
２ａを構成する上記水平ガイド部材５２及びプッシャー
３４と、他方の移載支持具３２ｂと、移動架台２２に搭
載されたエアシリンダー３５とを備え、移載手段３０の
一方のプッシャー３４を移載位置整合手段４０を構成す
る無端索体４７に連結するとともに、他方の移載支持具
３２ｂをエアシリンダー３５及びシリンダー固定具３６
を介して、前記無端索体４９に連結して両者を連動可能
に構成し、プッシャー３４は基板Ｗの一端側を水平ガイ
ド部材５２に沿って押す進め、他方の移載支持具３２ｂ
は基板Ｗの他端側を受け止めてから、プッシャー３４と
連動して水平移動し、次いで基板Ｗの一端側を後段の一
方の支持具２１ａに移載すると共に、エアシリンダー３
５の出力ロッド３５ｂを退入させて、基板Ｗの他端側を
後段の他方の支持具２１ｂに移載するように構成されて
いる。
２ａを構成する上記水平ガイド部材５２及びプッシャー
３４と、他方の移載支持具３２ｂと、移動架台２２に搭
載されたエアシリンダー３５とを備え、移載手段３０の
一方のプッシャー３４を移載位置整合手段４０を構成す
る無端索体４７に連結するとともに、他方の移載支持具
３２ｂをエアシリンダー３５及びシリンダー固定具３６
を介して、前記無端索体４９に連結して両者を連動可能
に構成し、プッシャー３４は基板Ｗの一端側を水平ガイ
ド部材５２に沿って押す進め、他方の移載支持具３２ｂ
は基板Ｗの他端側を受け止めてから、プッシャー３４と
連動して水平移動し、次いで基板Ｗの一端側を後段の一
方の支持具２１ａに移載すると共に、エアシリンダー３
５の出力ロッド３５ｂを退入させて、基板Ｗの他端側を
後段の他方の支持具２１ｂに移載するように構成されて
いる。
【００２４】つまり、本実施例では上記バッファ手段５
０及び移載手段３０が基板のバッファ支持手段として機
能し、順次搬送されてくる基板を一時的に停留すること
ができる。なお、本発明は上記実施例に限るものではな
く、前記前段支持手段１０、後段支持手段２０及び移載
手段３０の形態についても、適宜変動を加えて実施し得
ることは、多言を要しない。
０及び移載手段３０が基板のバッファ支持手段として機
能し、順次搬送されてくる基板を一時的に停留すること
ができる。なお、本発明は上記実施例に限るものではな
く、前記前段支持手段１０、後段支持手段２０及び移載
手段３０の形態についても、適宜変動を加えて実施し得
ることは、多言を要しない。
【００２５】
【発明の効果】本発明は上記のように構成され、作用す
ることから、横幅変更手段と移載位置整合手段とに各１
個の駆動モータを用いるだけで、従来例と同様の機能を
保持させることが可能になる。これにより、搬送路変更
装置全体の駆動源の個数を減らしてコスト低減を図り、
併せて基板の横幅寸法の変化に対応する各駆動源の駆動
量の設定数を減らすことで、煩雑な手間を少なくするこ
とができる。
ることから、横幅変更手段と移載位置整合手段とに各１
個の駆動モータを用いるだけで、従来例と同様の機能を
保持させることが可能になる。これにより、搬送路変更
装置全体の駆動源の個数を減らしてコスト低減を図り、
併せて基板の横幅寸法の変化に対応する各駆動源の駆動
量の設定数を減らすことで、煩雑な手間を少なくするこ
とができる。
【図１】本発明に係る搬送路変更装置を模式的に示す斜
視図である。
視図である。
【図２】本発明の第１の実施例に係る搬送路変更装置の
平面図である。
平面図である。
【図３】本発明の第１の実施例に係る搬送路変更装置の
正面図である。
正面図である。
【図４】本発明の第２の実施例に係る搬送路変更装置の
正面図である。
正面図である。
【図５】従来例に係る搬送路変更装置を模式的に示す斜
視図である。
視図である。
【図６】搬送路変更装置の動作説明図である。
１０…前段支持手段、 １１ａ・１１ｂ
…前段の支持具、１２…横幅変更手段、
１６…駆動モータ、２０…後段支持手段、 ２１ａ
・２１ｂ…後段の支持具、２２…移動架台、
３０…移載手段、３１ａ・３１ｂ…移載支持
具、 ４０…移載位置整合手段、４１…駆動モー
タ、 ４２…駆動モータの駆動輪、４
３…従動輪、 ４６…伝動輪、４
７…無端索体、 ４８ａ…動輪、４８
ｂ…従輪、 ４９…無端索体。
…前段の支持具、１２…横幅変更手段、
１６…駆動モータ、２０…後段支持手段、 ２１ａ
・２１ｂ…後段の支持具、２２…移動架台、
３０…移載手段、３１ａ・３１ｂ…移載支持
具、 ４０…移載位置整合手段、４１…駆動モー
タ、 ４２…駆動モータの駆動輪、４
３…従動輪、 ４６…伝動輪、４
７…無端索体、 ４８ａ…動輪、４８
ｂ…従輪、 ４９…無端索体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 基板の前段搬送路を形成する前段支持手
段と、基板の後段搬送路を形成する後段支持手段と、基
板を前段支持手段より受け取って後段支持手段に引き渡
す移載手段とを具備して成り、 前段支持手段は、基板の横幅両端部を支持する一対の支
持具のうち、一方の支持具を基板の一端辺基準側として
固定し、他方の支持具を可動側として基板の横幅寸法に
応じて変動可能に構成し、 後段支持手段は、基板の横幅両端部を支持する一対の支
持具を、基板の横幅寸法に応じて左右対称に変動可能に
構成し、 移載手段は、基板Ｗの横幅両端部を支持する一対の移載
支持具を、移載位置整合手段で前段支持具及び後段支持
具に対して位置整合可能に構成した基板の搬送路変更装
置において、 前段の可動側支持具と後段の一対の各支持具とを、単一
の駆動モータを有する横幅変更手段で、それぞれ１対1/
2の移動比で連動可能に構成し、 後段の一対の支持具のうち、前段の可動側支持具と同じ
側の支持具を移動架台上に固定して、移動架台と一体に
移動可能に構成し、 前記移載位置整合手段は、それぞれ基板の横幅寸法外に
配置した駆動モータの駆動輪及び従動輪と、駆動輪と従
動輪の間に位置し上記移動架台に付設された伝動輪と、
これらの駆動輪、従動輪、伝動輪に順に巻掛けた無端索
体と、それぞれ上記移動架台に付設され、伝動輪と同径
に形成されかつ同軸回転する動輪及び無端索体介して回
転する従輪とから成り、 上記移載手段の一対の移載支持具のうち、一方の移載支
持具を駆動輪に巻掛けた無端索体に連結するとともに、
他方の移載支持具を上記移動架台に付設した無端索体に
連結して連動可能に構成したことを特徴とする基板の搬
送路変更装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3204693A JP2564220B2 (ja) | 1991-07-19 | 1991-07-19 | 基板の搬送路変更装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3204693A JP2564220B2 (ja) | 1991-07-19 | 1991-07-19 | 基板の搬送路変更装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0524638A true JPH0524638A (ja) | 1993-02-02 |
| JP2564220B2 JP2564220B2 (ja) | 1996-12-18 |
Family
ID=16494751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3204693A Expired - Lifetime JP2564220B2 (ja) | 1991-07-19 | 1991-07-19 | 基板の搬送路変更装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2564220B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100526373B1 (ko) * | 1997-12-31 | 2005-12-21 | 이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니 | 아크릴계 수지 인조대리석판의 연속 제조장치 |
| JP2012046333A (ja) * | 2010-08-27 | 2012-03-08 | Ys Kk | コンベア装置 |
-
1991
- 1991-07-19 JP JP3204693A patent/JP2564220B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100526373B1 (ko) * | 1997-12-31 | 2005-12-21 | 이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니 | 아크릴계 수지 인조대리석판의 연속 제조장치 |
| JP2012046333A (ja) * | 2010-08-27 | 2012-03-08 | Ys Kk | コンベア装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2564220B2 (ja) | 1996-12-18 |
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