JPH05242993A - X線高電圧装置 - Google Patents

X線高電圧装置

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JPH05242993A
JPH05242993A JP7908492A JP7908492A JPH05242993A JP H05242993 A JPH05242993 A JP H05242993A JP 7908492 A JP7908492 A JP 7908492A JP 7908492 A JP7908492 A JP 7908492A JP H05242993 A JPH05242993 A JP H05242993A
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JP
Japan
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voltage
tube
output
rectified
ray
Prior art date
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JP7908492A
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English (en)
Inventor
Makoto Furuyama
誠 古山
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Shimadzu Corp
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Shimadzu Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 インバータ方式のX線高電圧装置において、
リップル成分を除去し完全な直流出力が得られるように
する。 【構成】 整流された後スイッチングされ再び整流され
た電圧を電圧分割し、分割された一方の電圧をX線管に
供給し、この電圧と設定管電圧との差に応じて、分割さ
れた他方の電圧が変化するように制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、X線高電圧装置に関
し、とくにインバータ方式のX線高電圧装置における管
電圧出力の制御系の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、インバータ方式のX線高電圧
装置が知られている。このインバータ方式のX線高電圧
装置は、交流電源を一旦整流・平滑した後高速にスイッ
チングして交流を作り、この交流を変圧器で昇圧し再び
整流・平滑して、高圧の直流を得、これをX線管に供給
するものである。供給する管電圧の制御は、基本的に
は、管電圧を測定し、その測定値と設定値とを比較し、
その間の誤差が最小となるようにスイッチング周波数を
変化させるという、フィードバック制御によって行な
う。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
インバータ方式のX線高電圧装置では、出力する高電圧
はスイッチング周波数に応じたリップル成分を含んだも
のとなっており、高圧真空管を用いたような完全な直流
出力となっていない、という問題がある。
【0004】この発明は上記に鑑み、リップル成分を除
去し完全な直流出力が得られるように改善した、インバ
ータ方式のX線高電圧装置を提供することを目的とす
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明によるX線高電圧装置では、整流された後
スイッチングされ、さらに整流された電圧を電圧分割
し、分割された一方の電圧(第1の電圧)をX線管に供
給する電圧とし、この電圧と設定管電圧との差に応じ
て、分割された他方の電圧(第2の電圧)が変化するよ
うに制御することが特徴となっている。整流出力電圧に
リップル成分があるときは、そのリップル成分も含めて
第1の電圧は設定管電圧より高いものとなるが、この第
1の電圧と設定管電圧との差が捉えられ、この差に応じ
た電圧が第2の電圧として現われる。分割された第1の
電圧の方は、分割された第2の電圧の残余の電圧として
現われるので、第2の電圧がこのようにリップル成分も
含めて設定管電圧との差に相当する電圧となることによ
り、第1の電圧の方はリップル成分が除去された設定管
電圧に相当する完全な直流となる。
【0006】
【実施例】以下、この発明の一実施例について図面を参
照しながら詳細に説明する。図1において、交流電源1
からの交流出力が整流器2で整流され、平滑コンデンサ
3で平滑されて直流出力に変換される。そして、この直
流出力がスイッチ素子4a〜4dでスイッチングされて
(スイッチ素子4a、4dとスイッチ素子4b,4cと
が交互にオン、オフする)交流出力に変換され、共振コ
ンデンサ5及び共振インダクタンス6を経て高圧変圧器
7の1次側に送られる。この高圧変圧器7の2次側には
高圧の交流出力が現れ、これが2つの整流器8a、8b
で整流され、平滑コンデンサ10a、10bでそれぞれ
平滑されて、高圧の直流に変換される。
【0007】この高圧の整流平滑出力は、抵抗26a〜
26d及び高電圧真空管(4極真空管)30a、30b
の直列回路の両端に加えられて電圧分割される。すなわ
ち、抵抗26a〜26d及び高電圧真空管30a、30
bの直列回路の両端に加えられた電圧は、抵抗26a〜
26dの両端に生じる電圧と、高電圧真空管30a、3
0bのアノード、カソード間に生じる電圧とに分割され
る。分割された一方の電圧(抵抗26a〜26dに生じ
る電圧)がX線管11のアノード、カソード間に加えら
れる。
【0008】整流平滑出力電圧は、高圧検出用抵抗9a
〜9hから、図2に示すようにインバータ制御装置12
の加算器13、14に送られる。この加算器13、14
の出力は加算器15で加算されることにより整流平滑出
力電圧が検出される。そしてこの検出された整流平滑出
力電圧に応じて、インバータ制御装置12により、スイ
ッチ素子4a〜4dのスイッチング動作が制御される。
【0009】このインバータ制御装置12は、上記の加
算器13〜15に加えて、比較器16と、この比較器1
6の出力によってセットされるラッチ回路17と、ラッ
チ回路17の出力によってオン・オフされるスイッチS
1、S2と、電圧/周波数変換器(V/Fコンバータ)
18と、スイッチ素子4a〜4dの駆動回路19と、加
算器25とを備えており、撮影時間設定器22、管電流
設定器23、管電圧設定器24の出力が供給されてい
る。
【0010】一方、電圧分割回路をなす高圧真空管30
a、30bは、図3に示すようにそのアノード、カソー
ド間に発生する電圧が制御される。プラス側の高圧真空
管30aとマイナス側の高圧真空管30bとではプラス
とマイナスとが異なるだけでまったく同様に制御される
ので、この図3では、プラス側の高電圧真空管30aに
ついてのみ、高電圧真空管制御回路31とグリッド制御
回路41とを示している。高電圧真空管制御回路31
は、除算器32と、誤差増幅器33と、抵抗34と、出
力トランジスタ35とを含み、フォトカプラ36を介し
て出力をグリッド制御回路41に送る。グリッド制御回
路41は直流電源42、43、抵抗45、46、出力ト
ランジスタ44を含む。
【0011】上記のインバータ制御装置12のメモリ2
0、21には電圧値Vn、Vsが管電圧(kV)と管電
流(mA)とにアドレスされて記憶されている。これら
記憶された電圧値Vs、Vnはそれぞれ図4のA、Bに
示すように、管電圧(kV)と管電流(mA)の組み合
わせによって一意的に定まる。Vnの値は、設定された
管電圧・管電流を得るのに必要なスイッチング周波数に
対応する値であって、他方、Vsの値は、Vnより大き
な値となるように定められている。
【0012】ここで、図5のタイミングチャートをも参
照しながら説明する。最初に、撮影条件である撮影時
間、管電流、管電圧がそれぞれ撮影時間設定器22、管
電流設定器23、管電圧設定器24により設定される。
すると、その設定管電流値、設定管電圧値に応じてメモ
リ20、21からVn、Vsの読み出しが行われる。
【0013】つぎに図示しないX線曝射ボタンが押され
ると、図5Aに示すようにX線曝射信号がHighにな
る。このX線曝射信号は撮影時間設定器22から生じる
もので、設定した時間だけHighとなっている。この
X線曝射信号がV/Fコンバータ18及びラッチ回路1
7に与えられる。これにより、X線曝射信号がHigh
になっている期間中、V/Fコンバータ18が、その入
力電圧Vinに対応した周波数Foで発振する(図5の
B、C参照)。ラッチ回路17はそのQ出力がLowの
ままとされる。V/Fコンバータ18の出力(周波数F
o)は駆動回路19に与えられ、この駆動回路19によ
り周波数Foでスイッチ素子4a〜4dがスイッチング
駆動される。すると図5のDで示すように、高圧変圧器
7の1次側に電流が流れ始め、平滑コンデンサ10a,
10bの充電電圧及びX線管11に加わる電圧が図5の
E、Gのように徐々に立ち上がっていく。
【0014】この管電圧の立上りの過程では、加算器1
5から得られる平滑整流出力電圧は、加算器25の出力
電圧つまり管電圧設定器24から送られる設定管電圧に
数kVプラスした電圧よりも低いものとなっているの
で、比較器16の出力はLowのままである。そのため
ラッチ回路17のQ出力もLowのままとなっており、
スイッチS1はオフ、S2はオンである。そのためV/
Fコンバータ18の入力電圧Vinは、Vsに対応した
一定の値となり(図5のB参照)、V/Fコンバータ1
8の出力FoはそのVsに対応した一定周波数のパルス
(図5のC参照)となって、一定周波数でスイッチ素子
4a〜4dのスイッチングが繰り返されることになる。
【0015】整流平滑出力電圧が加算器25からの設定
管電圧値+数kVの値に達すると、比較器16の出力が
Highとなり、その結果ラッチ回路17のQ出力がH
ighになる。すると、スイッチS1がオンになるとと
もに、スイッチS2がオフとなる。そのため、V/Fコ
ンバータ18の入力VinはVsからVnに切り換えら
れ、スイッチ素子4a〜4dはVnに対応した一定周波
数でスイッチングされ、整流平滑出力電圧は図5のEに
示すように設定管電圧値よりも数kV高い値に保たれ
る。
【0016】一方、X線管11のアノード、カソード間
に加わる電圧Vx(図6参照)は、抵抗26a〜26d
より取り出される。この管電圧Vxはプラス側Vx+と
マイナス側Vx−とでそれぞれ同様な構成で制御される
ので、図3を参照してプラス側のみについて説明する。
図6のようにプラス側の整流平滑出力電圧をVc+、プ
ラス側の高電圧真空管30aのアノード、カソード間に
発生する電圧をVT+とすると、 (Vc+)=(Vx+)+(VT+) の関係にあり、X線管11に加わる電圧は高電圧真空管
30aの電圧を整流平滑出力電圧より差し引いた残余の
電圧であることが分かる。
【0017】抵抗26a、26bより取り出された電圧
Vx+は、高電圧真空管制御回路31の誤差増幅器33
に送られる。この誤差増幅器33の他方の入力には、管
電圧設定器24からの設定管電圧値を、除算器32で半
分に割ったものが送られてきており、これと電圧Vx+
との差に相当する出力が誤差増幅器33から出力され
る。
【0018】平滑コンデンサ10aの充電電圧の立ち上
がり過程、つまり管電圧の立ち上がり過程では、誤差増
幅器33の一方に入力される電圧Vx+は設定管電圧値
の1/2よりも低いものとなるので、誤差増幅器33の
出力はゼロとなる。そのためトランジスタ35はオフ
で、フォトカプラ36の入力側の発光ダイオードには電
流が流れないので、出力側のフォトトランジスタはオフ
である。
【0019】その結果、グリッド制御回路41のトラン
ジスタ44はオフとなっており、高電圧真空管30aの
コントロールグリッドは抵抗46を通じてそのカソード
と同電位とされる。なお、スクリーングリッドは直流電
源42によりカソードに対して常にプラス側電位に保た
れている。このようにコントロールグリッドがカソード
に対してバイアスがかけられた状態とはなっていないこ
とにより、高電圧真空管30aは電子放出可能なオン状
態となり、飽和領域で動作することになるため、そのア
ノード、カソード間には電圧はほとんど生じない。した
がって、この立ち上がり過程では平滑整流出力電圧Vc
+と管電圧Vx+とはその波形が図5のE、Gのように
一致する。
【0020】誤差増幅器33の一方に入力される電圧V
x+が設定管電圧値の1/2に到達し、それよりも大き
くなると、その差に応じた出力が誤差増幅器33より出
力されるようになり、抵抗34を通じてトランジスタ3
5のベース電流が流れ始める。そのため、トランジスタ
35が非飽和領域でオンとなり、フォトカプラ36の入
力側発光ダイオードもオンになる。その結果、出力側の
フォトトランジスタも活性領域でオンとなり、電圧Vx
+と設定管電圧値の1/2との差に応じた電流がトラン
ジスタ44のベースに流れるようになる。このトランジ
スタ44のエミッタには直流電源43のマイナス側が接
続されているため、抵抗46及びトランジスタ44のコ
レクタ・エミッタ通路を通る閉回路に電流が流れて、抵
抗46の両端に電圧が発生する。その結果、コントロー
ルグリッドはカソードに対してマイナス側にバイアスさ
れ始め、高電圧真空管30aは活性領域で動作し、アノ
ード、カソード間に電圧が発生する。
【0021】したがって、X線管11に加わる電圧Vx
+は、整流平滑出力電圧Vc+から高電圧真空管30a
のアノード、カソード間に電圧VT+を引いた電圧とな
る。この電圧VT+は、高電圧真空管30aのスクリー
ングリッドには直流電源42より一定の電圧が加えられ
ているため、コントロールグリッドの対カソード電位に
よって決まり、このコントロールグリッドの対カソード
電位に反比例したものとなる。
【0022】そこで、さらに整流平滑出力電圧が上昇
し、管電圧が上昇すると、誤差増幅器33の出力が大き
くなり、それにともないフォトカプラ36の入力電流が
大きくなっていくため、フォトカプラ36の出力側に流
れる電流が大きくなる。その結果、トランジスタ44の
ベースに流れる電流が増大し、コントロールグリッド電
位はカソードに対してマイナス方向に大きくなり、アノ
ード、カソード間の電圧が大きくなる(図5のF参
照)。
【0023】逆に、整流平滑出力電圧が下降し、管電圧
が下降すると、誤差増幅器33の出力が小さくなり、そ
れにともないフォトカプラ36の入力電流が小さくなっ
ていくため、フォトカプラ36の出力側に流れる電流が
小さくなる。その結果、トランジスタ44のベースに流
れる電流が減少し、コントロールグリッドのカソードに
対してマイナス方向の電位は小さくなり、アノード、カ
ソード間の電圧が小さくなる(図5のF参照)。
【0024】このように高電圧真空管制御回路31とグ
リッド制御回路41とにより、電圧VT+が、リップル
成分をも含めた電圧Vx+と設定管電圧値の1/2との
差に応じたものとなるようなフィードバック制御ループ
が構成され、その結果、X線管11に印加される電圧
は、図5のGに示すようにリップル成分をも除かれた一
定の値(設定管電圧に対応する)に保たれることにな
る。
【0025】この実施例では、プラス側の高電圧真空管
30aはそのアノードがアースに接続され、マイナス側
の高電圧真空管30bはそのカソードがアースに接続さ
れ、それぞれアノード、カソード間電圧は数kV程度で
あるので、小型の高電圧真空管を使用でき、そのためこ
のX線高電圧装置は全体としても小型にできる。
【0026】
【発明の効果】この発明のX線高電圧装置によれば、イ
ンバータ方式でありながらリップル成分が除去され完全
な直流出力が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示す回路図。
【図2】同実施例のインバータ制御装置の部分を示す回
路図。
【図3】同実施例の高電圧真空管の制御部分を示す回路
図。
【図4】同実施例におけるメモリ20、21の記憶内容
を示すグラフ。
【図5】同実施例における各部の波形を示すタイムチャ
ート。
【図6】同実施例における電圧分割を説明するための回
路図。
【符号の説明】
1 交流電源 2、8a、8b 整流器 3、10a、10b 平滑コンデンサ 4a〜4d スイッチ素子 5 共振コンデンサ 6 共振インダクタンス 7 高圧変圧器 9a〜9h 高圧検出用抵抗 11 X線管 12 インバータ制御装置 13〜15、25 加算器 16 比較器 17 ラッチ回路 18 V/Fコンバータ 19 駆動回路 20、21 メモリ 22 撮影時間設定器 23 管電流設定器 24 管電圧設定器 30a、30b 高電圧真空管 31 高電圧真空管制御回路 32 除算器 33 誤差増幅器 36 フォトカプラ 41 グリッド制御回路

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 交流電源からの交流出力を整流する第1
    の整流手段と、この直流出力をスイッチングして所定周
    波数の交流出力に変換するスイッチング手段と、この交
    流出力の電圧を昇圧する手段と、昇圧された交流出力を
    整流する第2の整流手段と、この整流出力電圧を検出す
    る手段と、検出された整流出力電圧と設定管電圧よりや
    や高い値とを比較しそれらの誤差が最小となるように上
    記スイッチング周波数を変化させるフィードバック制御
    を行なうスイッチング制御手段と、上記の整流出力電圧
    をX線管に供給する第1の電圧と他の第2の電圧とに分
    割する電圧分割手段と、第1の電圧を設定管電圧と比較
    してそれらの差に応じて上記第2の電圧が変化するよう
    に上記電圧分割手段を制御する手段とを備えることを特
    徴とするX線高電圧装置。
JP7908492A 1992-02-29 1992-02-29 X線高電圧装置 Pending JPH05242993A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015145668A1 (ja) * 2014-03-27 2015-10-01 株式会社ニコン X線発生装置、x線装置および構造物の製造方法

Cited By (2)

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TWI674039B (zh) * 2014-03-27 2019-10-01 日商尼康股份有限公司 X射線產生裝置、x射線裝置以及結構物之製造方法

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