JPH05232421A - 液晶用基板ハンドリング装置 - Google Patents

液晶用基板ハンドリング装置

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JPH05232421A
JPH05232421A JP6934792A JP6934792A JPH05232421A JP H05232421 A JPH05232421 A JP H05232421A JP 6934792 A JP6934792 A JP 6934792A JP 6934792 A JP6934792 A JP 6934792A JP H05232421 A JPH05232421 A JP H05232421A
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JP
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liquid crystal
crystal substrate
conductor
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liquid crystals
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JP6934792A
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English (en)
Inventor
Isao Nemoto
功 根本
Masaru Shindo
賢 神藤
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KOEI ENG KK
Sumitomo Chemical Engineering Co Ltd
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KOEI ENG KK
Sumitomo Chemical Engineering Co Ltd
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  • Liquid Crystal (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 液晶用基板への液晶物質付着工程で液晶用基
板のハンドリングを機械的に自動的にかつ正確に行い、
液晶用基板に均一に液晶物質を付着できる、液晶用基板
ハンドリング装置を提供する。 【構成】 液晶用基板を所定位置に挟持し、かつ電源接
続導体を液晶用基板に接触させる挟持手段が自由端近傍
に設けられた、90°間隔の4本の水平アームを有す
る、昇降かつ回転自在な支持体を備え、、制御装置から
の命令に応じて、支持体に停止、上昇運動、90°回転
運動、及び下降運動を順次行わせ、並びに支持体の停止
中に4本のアームの各々に、それぞれ供給装置で液晶用
基板を挟持する操作、付着槽内で液晶用基板に液晶物質
を付着させる操作、付着処理した液晶用基板を解放する
操作、及び導体試験・交換装置との協働操作を同時に行
わせ、更に運動及び操作がサイクルとして繰り返すよう
にする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶用基板に所要の液
晶物質を付着させる処理を自動で行うために特に開発さ
れた液晶用基板ハンドリング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶用基板は、縦約500mm、横約40
0mm、厚さ約0.5mmの寸法の平板状ガラス基板で、そ
の一つの面には液晶物質を付着させるパターンが刻設さ
れており、更にパターン刻設領域を囲む周囲に沿って導
電性帯条が配設されている。液晶用基板に液晶物質を付
着させる工程は、基本的には次の一連の操作からなって
いる。即ち、洗浄装置で純水のジェット洗浄等による液
晶用基板の前洗浄操作と、前洗浄した液晶用基板を等速
度で緩やかに付着槽内の溶液に浸漬し、液晶物質をパタ
ーンに付着させる操作と、処理した液晶用基板を付着槽
から引き上げて別の洗浄装置で洗浄してパターン以外に
付着した液晶物質を洗い落とす後洗浄操作等である。
尚、これらの操作は、埃、ゴミ等の異物混入を避けるた
めクリーンな環境で実施される。
【0003】従来、上述の液晶用基板への液晶物質付着
工程では、各操作、特に肝心の浸漬操作が、人の手によ
るマニュアル操作により行われていた。例えば、ゴム手
袋をした人の手が液晶用基板の上部を指で挟んで徐々に
付着槽の溶液中に浸漬させ、所定時間保持しながら液晶
物質を付着させていた。この場合、液晶用基板の上端に
沿って配設された導電性帯条をグリップで挟み、そのグ
リップに外部電源を接続していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述のように人の手に
よるマニュアル操作では、次に挙げるような種々の欠点
を有していた。その一は、マニュアル操作では液晶用基
板を付着槽の溶液中に等速度で浸漬させ、液晶用基板を
正確に位置決めして保持することは非常に難しく、その
ため液晶物質の付着結果が不均一になることである。そ
の二は、ゴム手袋をしている指で液晶用基板を挟んで保
持するので、挟んだことによる影響がその保持部分に出
て付着結果にマイナスの影響が出ることである。その三
は、導電性帯条を挟むグリップを1回の付着操作毎に廃
棄せざるを得ないことである。その四は、マニュアル操
作は熟練オペレータを必要とするが、かかる熟練オペレ
ータの不足のため生産計画に支障を来すことである。こ
のような状況に鑑み、本発明の目的は、液晶用基板への
液晶物質付着工程で液晶用基板のハンドリングを機械的
に自動的にかつ正確に行い、液晶用基板に均一に液晶物
質を付着できる、液晶用基板ハンドリング装置を提供す
ることである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明に係
る次の特徴を有する液晶用基板ハンドリング装置により
達成される。その特徴とは、昇降かつ回転自在に支持さ
れた直立の支柱と、一方の端部が支柱の頂部に固定さ
れ、他方の端部が自由端として放射状に90°間隔で水
平に延在する4本のアームとからなり、更に、アームの
自由端近傍には、液晶用基板を垂直にかつアームの長手
方向線に平行に解除自在に挟持し、かつ電源に接続され
た導体を交換自在に保持し、該導体を液晶用基板に電気
的に接触させる挟持手段が設けられた、支持体を備え液
晶用基板を順次送り出す供給装置と、液晶基板に所定物
質を付着させる付着槽と、処理された液晶用基板を送り
出すと共に挟持手段を洗浄する装置と、及び導体の導通
性を試験し、必要に応じ導体を交換するための装置と
が、支柱の回り90°間隔毎の方向であって支柱からア
ームの挟持手段までの長さに等しい距離だけ離隔した位
置にそれぞれ設けられ、加えて、支持体を90°づつ順
次支柱の回りに回転する回転駆動機構と、支持体を昇降
する昇降機構と、必要な動作を適所に命令する制御装置
とを備え、制御装置からの命令に応じて、支持体に停
止、上昇運動、90°回転運動、及び下降運動を順次行
わせ、並びに支持体の停止中に4本のアームの各々に、
それぞれ供給装置で液晶用基板を挟持する操作、付着槽
内で液晶物質を付着させる操作、処理した液晶用基板を
解放する操作、及び導体試験・交換装置との協働操作を
同時に行わせ、更に運動及び操作がサイクルとして繰り
返すようにされた、液晶用基板ハンドリング装置であ
る。以下に、添付図面を参照して実施例に基づき本発明
をより詳細に説明する。
【0006】
【実施例】図1は本発明に係る液晶用基板ハンドリング
装置の実施例10の支持体及びその駆動装置の正面図で
あり、図2は実施例装置10の平面図である。図1及び
図2を参照しながら、実施例装置10を説明する。本発
明に係る液晶用基板ハンドリング装置10は、液晶用基
板に液晶物質を付着させる工程で使用される装置であっ
て、工程の前後の前洗浄装置、及び後洗浄装置と協働し
て運転される。本実施例の液晶用基板ハンドリング装置
10でハンドリングする液晶用基板12は、図4に示す
ように縦約500mm、横約400mm、厚さ約0.5mm位
の寸法の平板状ガラス基板であって、その一つの面には
液晶物質を堆積させるパターンが刻設されており、導電
性帯条13がパターン刻設領域15を囲む周囲に沿って
配設されている。本発明に係る液晶用基板ハンドリング
装置がハンドリングできる液晶用基板は、上述のものに
限定されるものではなく、その寸法及び材質も特に限定
されない。
【0007】液晶用基板ハンドリング装置10は、保持
した液晶用基板12を後述の供給装置、付着槽、送り出
し/洗浄装置及び導体試験・交換装置にそれぞれ位置決
めするための昇降かつ回転自在な支持体14と、この支
持体14を上下に所定速度で昇降させる昇降機構16
と、支持体14を順次正確に90°づつ回動させる(支
持体14の上から見て時計回り、以下同様)回転駆動機
構18とを備えている。更に、支持体14の回りには、
90°間隔で支持体14の支柱32の半径方向等距離の
底板30上の位置に、液晶用基板を順次送り出す供給装
置20と、付着槽22と、処理した液晶用基板を送り出
し、同時にチャック40を選択的に洗浄する装置24
と、導体試験・交換装置26とがそれぞれ設備され、更
に離れて動作を適所に命令する制御装置28が設けられ
ている。
【0008】支持体14は、装置10の底板30に常用
の機構により昇降かつ回転自在に支持された直立の1本
の支柱32と、一方の端部が支柱32の頂部34に固定
され、他方の端部36が自由端として放射状に90°間
隔で水平に延在する同一の4本の第1アーム38A、第
2アーム38B、第3アーム38C及び38Dとから構
成されている。4本のアーム38A、B、C及びDのそ
れぞれの自由端36近傍には、1対のチャック40A、
Bが、液晶用基板12の挟持手段として上述の供給装置
等に到達できる長さの位置にアームの長手方向線に沿っ
て離隔して配設されている。チャック40の各々は、図
3に示すように、対向する2個の爪42A、Bを備えて
いる。2個の爪42A、Bは、空気圧アクチュエータ
(図示しない)により作動されてそれぞれの対向面が接
近又は離隔するように自在に進退して、液晶用基板12
をその厚さ方向から挟持し、アーム38の長手方向線に
平行にかつ垂直に保持し、また解放する。爪42A、B
の進退は、本実施例では空気圧アクチュエータにより作
動されるが、油圧でも或いは電動式アクチュエータでも
よい。
【0009】供給装置20は、支柱32の半径方向に直
交する方向に一定の間隔を置いて直立して整列した液晶
用基板12の群を保管しているマガジンラック52を備
え、マガジンラック52からチャック40が液晶用基板
12を挟持する毎に隣接する液晶用基板12間の間隔だ
け順次マガジンラック52を前進させ、次々と液晶用基
板を供給する装置である。供給装置20の前進動作は、
ステッピングモータ(図示しない)を使用した既知の機
構により行われる。アーム38Aのチャック40が一つ
の液晶用基板を挟持すると、支持体14は昇降機構16
により所定距離を所定速度で上昇し、次いで回転駆動機
構18により90°回転し、液晶用基板を挟持したアー
ム38Aは付着槽22の上に到達する。
【0010】付着槽22は、液晶用基板12に液晶物質
を付着させる既知の装置である。液晶用基板へ液晶物質
を均一に付着させるためには、液晶用基板を等速度で溶
液中に浸漬し正確に位置決めすることが必要である。そ
のため、支持体14は、付着槽22の上から所定速度で
下降し、挟持した液晶用基板12を所定位置に正確に位
置決めし、所定時間その位置で停止する液晶物質の付着
操作では、液晶用基板12の導電性帯条13に電源を電
気的に接続することが必要である。そのため、本実施例
では図3に示すように、チャック40は、2個の爪42
A、Bとの間に電源に接続された導体44を保持してい
る。その導体44と液晶用基板12の双方を一緒に押圧
保持して、導体44を液晶用基板12の導電性帯条13
に強制的に接触させることにより、電源と液晶用基板1
2の導電性帯条13との導電性を確保している。
【0011】更に説明すれば、導体44は、チャック4
0の爪42Bの上部に設けられた電極ホルダー46によ
り挟持されている。電極ホルダー46は、対向する2枚
の相互に凸状の板バネ式電気接触子48A、Bを備え、
そのバネ力により電気接触子48A、Bの間に導体44
を挟持する構成になっている。挟持された導体44は、
チャック40の爪42Bを貫通する貫通孔50を経てチ
ャック40の2個の爪42A、Bの間に垂下している。
電気接触子48A、Bは外部電源に接続されていて、導
体44はそれを介して外部電源に接続されている。尚、
導体44と接触する爪42の部分は、導体44との間に
電気的絶縁性を確保するために電気絶縁材料で形成され
ている。
【0012】付着槽22で付着処理がなされた後、支持
体14は、前述の上昇、90°回転、下降運動を行い、
付着処理の終了した液晶用基板12を挟持するアーム3
8Aは送り出し/洗浄装置24の所定位置に位置決めさ
れ、所定時間停止する。同時にチャック40は、付着処
理された液晶用基板をそこで解放する。送り出し/洗浄
装置24は、解放された液晶用基板12を順次後の工程
に送り出す機構(図示しない)と液晶用基板12を解放
したチャック40を選択的に洗浄する洗浄装置(図示し
ない)とを備えている。送り出し機構及び洗浄装置は、
いずれも既知の技術を使用したものである。送り出し/
洗浄装置24で液晶用基板を解放した後、支持体は、再
び上昇、90°回転、下降運動を行い、空のチャックを
有するアーム38Aは導体試験・交換装置26に到達
し、所定時間停止する。
【0013】導体試験・交換装置26は、この停止時間
中にチャック40が保持する導体44の導通性を試験
し、必要に応じて導体44を交換するために設けられた
装置である。付着槽22における付着処理ではチャック
40及び導体44にも液晶物質が付着する傾向にあるの
で、送り出し/洗浄装置24によるチャック40及び導
体44の洗浄後でも導体44が導電性不良になっている
ことがしばしばある。そのため、導体44の導電性を試
験し、導電性が不良である場合、また繰り返し使用によ
る損傷等のためにその交換が必要となるからである。
【0014】導体試験・交換装置26には、液晶用基板
12と同様な構成のダミー基板(図示しない)を待機位
置から作業位置に移行させる装置(図示しない)が底板
30に設けてある。作業位置では1対のチャック40
A、Bの各々が液晶用基板12の挟持と同様にしてダミ
ー基板46の電極線を同時に挟持し、チャック40A、
Bそれぞれに挟持された導体のそれぞれの間に電圧を印
加して一方のチャックの導体、ダミー基板の電極線及び
他方のチャックの導体を経由して通電する。導通性が良
好の場合には、そのまま次のハンドリングのサイクルに
入る。若し通電不良が検出された場合、いずれかのチャ
ック40に挟持された導体44が導電性不良であるか
ら、チャック40A、Bそれぞれに挟持された2本の導
体44が自動的に以下に説明する装置と方法により交換
される。導体44の交換が必要な場合には、ダミー基板
は前述の移行装置((図示しない)により作業位置から
待機位置に移行される。
【0015】電極ホルダー46により挟持されている導
電性不良の導体44を下方に押し出だすために、電極押
し出し装置56が電極ホルダー46の直ぐ上に設けられ
ている。電極押し出し装置56は、電極ホルダー52の
2枚の板バネ48A、Bの間に挟持された導体44を下
方に押して、挟持状態を解除し、更にチャック40の貫
通孔50を経てチャック40の爪42A、Bの間から下
方に押し出す。電極押し出し装置56の下部には、下方
に突出自在な突起部57が、導体44の真上に位置する
ように設けてあり、空気圧等で突起部を下方に押し出す
ことにより、導体44を押し落とす。
【0016】一方、新しい導体を供給するために、導体
試験・交換装置26の一部として電極線供給ユニット5
8が底板30の適所に配置されている。電極線供給ユニ
ット58は、所定長さの交換用の新たな導体を上方に押
し上げることのできる装置であって、押し上げの方法は
常用の例えば対向する2個のローラ等の摩擦力でリール
に巻回されている交換用導体60を上方に押し上げる。
押し上げられた導体60は、チャック40の2個の爪4
2A、Bの間、更に貫通孔50を経て電極ホルダー46
の2枚の板バネ48A、Bの間に達し、そこで挟持され
る。導体44の導電不良が検出されると、上述のように
して先ず電極押し出し装置56が導電不良の導体44を
下方に押し落とし、電極線供給ユニット58が代わりの
交換用導体60を供給する。
【0017】導体試験又は導体交換の終了した後、支持
体は、再び上昇、90°回転、下降運動を行い、導電性
の確認された導体を保持する空のチャックを有するアー
ム38Aは供給装置20に到達し、所定時間停止し、ハ
ンドリングの次のサイクルに入る。以上のアーム操作と
支持体運動は、他のアーム38B、C及びDの場合にも
同じである。支持体14を上下に所定速度で所定距離、
例えば液晶用基板が付着槽22の槽壁上縁を越えて付着
槽22内に入ることのできる高さに上昇させ、又は下降
させる昇降機構16は、本実施例ではサーボモータによ
り駆動される既知の歯車機構による昇降手段を使用した
もので、装置10の底板30に設けられている。支持体
14を90°づつ順次回転させる回転駆動機構18は、
同じく本実施例ではサーボモータにより駆動される既知
の歯車機構による回転手段を使用したもので、装置10
の底板30に設けられている。
【0018】一般に市販の直交系回転軸駆動部の歯車機
構には、バックラッシュが存在し、そのため支持体14
を正確に90°づつ回転させることが難しい。そこで好
適には、本実施例で使用しているように昇降機構16及
び回転駆動機構18の直交系回転駆動部にはバックラッ
シュレスの直交系回転軸駆動機構、例えば根本企画工業
(株)(千葉県八千代市)から製作販売されている、特
許公告公報特公昭第60−15810号に記載されてい
るようなバックラッシュレス−ネモト・ドライブ・シス
テム(商標登録NEMODRIVE)を使用する。制御
装置28は、上述の昇降機構16、回転駆動機構18、
供給装置20、付着槽22、送り出し/洗浄装置24、
導体試験・交換装置26及びチャック40等の必要な所
に必要な命令をだす制御装置で、予め設定されたプログ
ラムに従って制御するプログラマブルな制御装置であ
る。
【0019】以上の構成により、昇降機構16により所
定距離上昇し、回転駆動装置18により90°正確に回
転し、更に昇降機構16により所定位置に下降し、停止
する支持体14の各運動が制御装置28からの命令によ
り順次行われる。支持体14の停止時間中に4本のいず
れかのアーム、例えばアーム38Aがその挟持手段40
により供給装置20から1個の液晶用基板を挟持し、ア
ーム38Bが付着槽22内で別の液晶用基板の付着処理
を行い、アーム38Cが付着した別の液晶用基板を解放
し、アーム38Dが導体試験・交換装置26と協働して
導体の導電性を試験し必要に応じて交換を行うと言う4
本のアームの操作が制御装置28の命令により同時に行
われる。上述の4本のアームの操作と支持体12の昇降
及び回転運動が制御装置28の命令によりサイクルで順
次繰り返される。
【0020】
【発明の効果】本発明は、支持体の回りに90°の間隔
で液晶用基板に液晶物質を付着させるのに必要な4種類
の設備を配置し、液晶用基板を挟持した4本のアームを
有する支持体を順次昇降させ正確に90°づつ順次回転
することにより、マニュアル操作によることなく機械的
に自動的に液晶用基板の付着処理を行うことができる。
本発明の装置を使用することにより、付着槽内に等速度
で液晶用基板を浸漬させ、かつ正確に所定位置に位置決
めできるので、液晶用基板全面にわたり均一に液晶物質
を付着させることができる効果を奏する。更に、熟練作
業員を必要とせず、資材を繰り返し使用できるので、運
転費を大幅に軽減できる。昇降及び回転運動を行う支持
体が装置の中央に位置しているので、付着槽へのゴミ等
の異物混入がマニュアル操作に比較して大幅に低減され
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る液晶用基板ハンドリング装置の支
持体とその駆動装置の概念的正面図である。
【図2】図1に示す液晶用基板ハンドリング装置の概念
的平面図である。
【図3】本発明に係る液晶用基板ハンドリング装置のチ
ャックと電極押し出し装置と電極線供給装置の図解的構
成図である。
【図4】本発明に係る液晶用基板ハンドリング装置でハ
ンドリングする液晶用基板の一例の模式図である。
【符号の説明】
10 本発明に係る液晶用基板ハンドリング装置 12 液晶用基板 13 液晶用基板の導電性帯条 14 支持体 15 パターン刻設領域 16 昇降機構 18 回転駆動機構 20 供給装置 22 付着槽 24 送り出し/洗浄装置 26 導体試験・交換装置 28 制御装置 30 装置の底板 32 支柱 34 支柱の頂部 36 アームの他方の端部、自由端 38 アーム 40 チャック 42 チャックの爪 44 導体 46 電極ホルダー 48 凸状板バネ式電気接触子 50 貫通孔 52 マガジンラック 56 電極押し出し装置 57 突起部 58 電極線供給ユニット 60 交換用導体

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 昇降かつ回転自在に支持された直立の支
    柱と、一方の端部が支柱の頂部に固定され、他方の端部
    が自由端として放射状に90°間隔で水平に延在する4
    本のアームとからなり、更に、アームの自由端近傍に
    は、液晶用基板を垂直にかつアームの長手方向線に平行
    に解除自在に挟持し、かつ電源に接続された導体を交換
    自在に保持し、該導体を液晶用基板に電気的に接触させ
    る挟持手段が設けられた、支持体を備え 液晶用基板を順次送り出す供給装置と、液晶用基板に液
    晶物質を付着させる付着槽と、付着処理された液晶用基
    板を送り出すと共に前記挟持手段を洗浄する装置と、及
    び前記導体の導通性を試験し、必要に応じ導体を交換す
    るための装置とが、前記支柱の回り90°間隔毎の方向
    であって支柱から前記挟持手段までの距離に等しい距離
    離隔した位置にそれぞれ設けられ、 加えて、前記支持体を90°づつ順次前記支柱の回りに
    回転する回転駆動機構と、前記支持体を昇降する昇降機
    構と、必要な動作を適所に命令する制御装置とを備え、 制御装置からの命令に応じて、前記支持体に停止、上昇
    運動、90°回転運動、及び下降運動を順次行わせ、並
    びに支持体の前記停止中に前記4本のアームの各々に、
    それぞれ前記供給装置で液晶用基板を挟持する操作、前
    記付着槽内で液晶用基板に液晶物質を付着させる操作、
    付着処理した液晶用基板を解放する操作、及び前記導体
    試験・交換装置との協働操作を同時に行わせ、更に前記
    運動及び操作がサイクルとして繰り返すようにされた、
    ことを特徴とする液晶用基板ハンドリング装置。
  2. 【請求項2】 前記昇降機構及び前記回転駆動機構の直
    交系回転軸駆動部にバックラッシュレス−ネモト・ドラ
    イブ・システム(商標登録NEMODRIVE)を使用
    して、より一層正確な位置決めを可能にしたことを特徴
    とする請求項1に記載の液晶用基板ハンドリング装置。
JP6934792A 1992-02-20 1992-02-20 液晶用基板ハンドリング装置 Pending JPH05232421A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100814893B1 (ko) * 2006-08-03 2008-03-18 주식회사 에스에프에이 로딩 및 언로딩 장치와 로딩 및 언로딩 방법
JP2010528474A (ja) * 2007-05-21 2010-08-19 ラム リサーチ コーポレーション 統合電気接点を有する基板把持装置

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