KR100814893B1 - 로딩 및 언로딩 장치와 로딩 및 언로딩 방법 - Google Patents

로딩 및 언로딩 장치와 로딩 및 언로딩 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100814893B1
KR100814893B1 KR1020060073507A KR20060073507A KR100814893B1 KR 100814893 B1 KR100814893 B1 KR 100814893B1 KR 1020060073507 A KR1020060073507 A KR 1020060073507A KR 20060073507 A KR20060073507 A KR 20060073507A KR 100814893 B1 KR100814893 B1 KR 100814893B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
stage
clamping unit
loading
unloading
Prior art date
Application number
KR1020060073507A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20080012550A (ko
Inventor
윤영순
이영호
Original Assignee
주식회사 에스에프에이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에스에프에이 filed Critical 주식회사 에스에프에이
Priority to KR1020060073507A priority Critical patent/KR100814893B1/ko
Publication of KR20080012550A publication Critical patent/KR20080012550A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100814893B1 publication Critical patent/KR100814893B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67745—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber characterized by movements or sequence of movements of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68735—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by edge profile or support profile
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/141—Associated with semiconductor wafer handling includes means for gripping wafer

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)

Abstract

로딩 및 언로딩 장치와 로딩 및 언로딩 방법이 개시된다. 본 발명의 로딩 및 언로딩 장치는, 일축을 중심으로 회전가능하게 마련된 스테이지; 스테이지를 회전시키는 회전 구동부; 및 스테이지에 마련되어 기판이 스테이지와 같이 회전할 수 있도록 기판을 파지하는 클램핑 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 작업 공간을 감소시킬 수 있으며 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
로딩, 언로딩, 수직형, 회전, 편광판 부착장치

Description

로딩 및 언로딩 장치와 로딩 및 언로딩 방법{Device loading and unloading, and method thereof}
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 로딩 및 언로딩 장치의 구성을 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 2는 도 1의 로딩 및 언로딩 장치에 구비된 클램핑 유닛의 구성을 도시한 투명 사시도이다.
도 3은 도 2의 A-A' 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 로딩 및 언로딩 장치의 로딩 방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.
도 5는 도 4의 과정을 클램핑 유닛을 중심으로 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 로딩 및 언로딩 장치의 언로딩 방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.
도 7은 도 6의 과정을 클램핑 유닛을 중심으로 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 로딩 및 언로딩 장치의 구성을 개략적으로 도시한 모식도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
110 : 스테이지 120 : 클램핑 유닛
121 : 고정 가이드 122 : 지지턱
123 : 회동 가이드 124 : 로딩 및 언로딩 롤러
125 : 공급 및 회수 롤러
본 발명은 로딩 및 언로딩 장치와 로딩 및 언로딩 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 작업 공간을 감소시킬 수 있으며 구조가 단순할 뿐만 아니라 공정 시간을 단축시킬 수 있는 로딩 및 언로딩 장치와 로딩 및 언로딩 방법에 관한 것이다.
다양한 종류의 정보 표시 장치 중에서, 액정 표시 장치는 그 화질이 선명하고 구동 전력이 매우 낮을 뿐만 아니라 소형 정보 기기에도 손쉽게 적용할 수 있는 여러 가지 장점으로 인하여, 그 필요성이 크게 증대되고 있다.
특히, 고화질 TV(HDTV : High Definition Television)용 방송 송출이 본격화됨에 따라, 선명한 화질을 시청하고자 하는 사용자의 구매 욕구를 충족시키기 위하여, 액정 표시 장치에 대한 연구 개발이 지속적으로 이루어지고 있다.
일반적으로, 액정 표시 장치는 전기적인 신호를 영상으로 표시할 수 있는 액정 패널을 구비한다. 이와 같은 액정 패널의 외면에는 편광판이 부착되어 전체 방 향으로 진동하는 빛을 특정 방향으로만 진동하는 빛으로 편광시켜 원하는 영상이 구현되도록 한다. 따라서, 액정 패널의 외면에 편광판을 부착하기 위한 편광판 부착장치에 관한 연구 및 개발이 꾸준히 이루어지고 있다.
그런데, 선명한 화질을 대형 화면에서 시청하고자 하는 사용자의 욕구를 충족시키기 위하여, 기판(패널)의 사이즈가 점차 대형화될 수밖에 없고, 이에 따라 기판에 편광판을 부착하는 편광판 부착장치의 크기 또한 매우 커질 수밖에 없는 문제점이 있었다.
이에 대한 해결책으로, 로봇팔을 이용하여 수평 상태로 공급된 기판을 붙잡아서 수직 상태로 편광판 부착장치에 공급하는 수직형 편광판 부착장치를 개발함으로써, 작업공간을 줄이고자 하는 노력이 있었다. 그러나, 이와 같은 로봇팔은 매우 고가이며, 로봇팔이 기판을 흡착하여 회전(수평에서 수직으로)한 후 소정 거리 전진하여 기판을 공급한 후에는 다시 후진 및 회전(수직에서 수평으로)하여 기판을 흡착해야되기 때문에 작업 공정 시간이 크게 늘어날 뿐만 아니라, 작업 공간(Foot Print)이 커질 수밖에 없는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은, 작업 공간을 감소시킬 수 있으며 구조가 단순할 뿐만 아니라 공정 시간을 단축시킬 수 있는 로딩 및 언로딩 장치와 로딩 및 언로딩 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 일축을 중심으로 회전가능하게 마련된 스테이 지; 스테이지를 회전시키는 회전 구동부; 및 스테이지에 마련되어 기판이 스테이지와 같이 회전할 수 있도록 기판을 파지하는 클램핑 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 로딩 및 언로딩 장치에 의하여 달성된다.
여기서, 2개의 클램핑 유닛이 스테이지의 양단에 각각 설치되는 것이 바람직하다.
그리고, 2개의 클램핑 유닛은, 스테이지의 양단으로서 스테이지의 반대면에 각각 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 스테이지는 실질적으로 90도씩 회전하는 것이 바람직하다.
그리고, 2개의 스테이지가 일축을 공유하여 상호 직교하도록 마련되어 동시에 실질적으로 90도씩 회전하는 것이 바람직하다.
이 경우, 기판을 소정 방향으로부터 이송받거나 소정 방향으로 이송시키는 이송 유닛을 더 포함할 수 있다.
여기서, 이송 유닛은, 클램핑 유닛에 마련되는 적어도 하나의 롤러인 것이 바람직하다.
그리고, 클램핑 유닛은, 스테이지의 일면에 고정 설치되어 기판의 단부를 안내하는 고정 가이드; 고정 가이드에 직교하도록 고정 가이드의 단부에 고정 설치되는 지지턱; 및 지지턱의 일단에 회동가능하게 결합되어 클램핑 유닛의 내부에 안착된 기판의 단부를 파지하는 회동 가이드를 포함할 수 있다.
또한, 롤러는, 고정 가이드, 지지턱 및 회동 가이드 중 적어도 어느 하나에 마련되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 일축을 중심으로 회전가능하게 마련된 스테이지에 기판을 이송하여 파지하는 단계; 기판이 파지된 스테이지를 소정 각도 회전하는 단계; 및 기판을 소정 방향으로 이송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 로딩 및 언로딩 방법에 의하여도 달성된다.
여기서, 기판을 이송하여 파지하는 단계는, 스테이지에 기판을 이송하는 단계; 및 기판을 스테이지에 마련된 클램핑 유닛으로 파지하는 단계를 포함할 수 있다.
그리고, 기판을 이송하여 파지하는 단계는, 기판을 실질적으로 수평인 상태로 공급하여 파지하는 단계이고, 스테이지를 소정 각도 회전하는 단계는, 스테이지를 실질적으로 90도 회전하는 단계이고, 기판을 소정 방향으로 이송하는 단계는, 실직적으로 수직 상태의 기판을 편광판 부착장치로 로딩하는 단계인 것이 바람직하다.
또한, 기판을 이송하여 파지하는 단계는, 편광판 부착장치로부터 실질적으로 수직한 상태로 언로딩된 기판을 이송하여 파지하는 단계이고, 스테이지를 소정 각도 회전하는 단계는, 스테이지를 실질적으로 90도 회전하는 단계이고, 기판을 소정 방향으로 이송하는 단계는, 실질적으로 수평 상태의 기판을 기판 공급 및 회수부로 회수하는 단계인 것이 바람직하다.
여기서, 기판을 소정 방향으로 이송하는 단계는, 클램핑 유닛에 마련된 롤러에 의하여 기판을 이송하는 단계인 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예들을 상세하게 설 명하면 다음과 같다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 로딩 및 언로딩 장치의 구성을 개략적으로 도시한 모식도이고, 도 2는 도 1의 로딩 및 언로딩 장치에 구비된 클램핑 유닛의 구성을 도시한 투명 사시도이고, 도 3은 도 2의 A-A' 단면도이다.
이에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 로딩 및 언로딩 장치(100)는, 지면에 대하여 평행한 회전축(111)을 축심으로 회전 가능하게 마련된 스테이지(110a, 110b)와, 스테이지(110a, 110b)의 양단에 각각 마련되어 기판(1)의 단부를 파지하는 클램핑 유닛(120)을 구비한다.
스테이지(110a, 110b)는 지면에 대하여 평행한 회전축(111)을 축심으로 90도씩 회전함으로써, 수평 상태로 공급된 기판(1)을 수직 상태로 세워 편광판 부착장치(3)로 로딩하거나, 편광판 부착장치(3)로부터 수직 상태로 언로딩된 기판(1)을 수평 상태로 눕혀서 기판 공급 및 회수부(2)로 회수하는 기능을 수행하는 구성 요소이다. 따라서, 스테이지(110a, 110b)는 대형 기판을 회전시킬 때 발생되는 전단 응력(τ, Shear Stress) 또는 굽힘 모멘트(M, Bending Moment)에 강한 재질로 이루어지는 것이 바람직하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되지는 아니한다.
스테이지(110a, 110b)는, 하나의 회전축(111)을 공유하도록 2개의 스테이지(110a, 110b)가 상호 직교하도록 마련되어, 짧은 공정 시간 내에 가능한 많은 수의 기판(1)을 로딩하거나 언로딩할 수 있다. 이는, 후술할 바와 같은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 로딩 및 언로딩 장치보다 공정 효율을 대략 2배 향상시킬 수 있 다.
스테이지(110a, 110b)는 회전축(110)을 축심으로 90도씩 회전하기 때문에, 스테이지(110a, 110b)를 회전 구동시키는 회전구동부 즉, 액추에이터(미도시)가 필요하다. 이 액추에이터는, 공기압 또는 유압을 이용하여 구동력을 제공하는 공유압 액추에이터 또는 입력 신호에 따라 미리 정해진 소정 각도만큼 회전력을 제공하는 스테퍼 모터(Stepper Motor) 등으로 구성될 수도 있지만, 고도의 정밀성과 청결성을 요하는 클린룸(Clean Room)에서 작업이 이루어지는 점을 감안할 때 리니어 모터(Linear Motor)로 구성되는 것이 바람직하다.
스테이지(110a, 110b)에 수평 상태로 기판(1)을 공급하거나 기판(1)을 회수하는 기판 공급 및 회수부(2)는, 수평 상태로 놓인 스테이지(110a)를 기준으로 봤을 때, 스테이지(110a)의 양단으로부터 소정 거리 이격된 지점에 하나씩 구비되는 것이 바람직하다. 따라서, 스테이지(110a, 110b)는 한 방향(도 1에는 반시계 방향으로 도시됨)으로만 90도씩 회전하면 된다. 즉, 기판(1)의 로딩(loading) 과정을 예를 들어 설명하자면, 제1 스테이지(110a)가 A 및 C 지점에서 기판(1)을 공급받아 90도 회전하여 각각 B 및 D 지점의 편광판 부착장치(3)에 기판(1)을 로딩해주고, 제1 스테이지(110a)가 편광판 부착장치(3)에 기판(1)을 로딩하고 있을 때 제2 스테이지(110b)는 A 및 C 지점에서 기판(1)을 공급받는다. 그리고는, 다시 같은 방향으로 90도 회전하여 제1 스테이지(110a)가 C 및 A 지점에서 기판(1)을 공급받아 90도 회전하여 각각 D 및 B 지점의 편광판 부착장치(3)에 기판(1)을 로딩해주고, 이와 동시에 제2 스테이지(110b)가 B 및 D 지점의 편광판 부착장치(3)에 기판을 로딩해 준 후 C 및 A 지점에서 기판(1)을 공급받는다. 이와 같이, 스테이지(110a, 110b)가 한 방향으로만 회전할 경우, 역회전을 위한 별도의 소모 전력의 낭비를 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 작업 공정이 물 흐르듯이 순차적으로 이루어질 수 있기 때문에 작업 공정 시간도 줄일 수 있다. 이와 같은 과정은, 기판(1)이 언로딩(unloading)되는 과정에도 그대로 준용될 수 있다.
클램핑 유닛(120)은, 스테이지(110a, 110b)의 양단에 하나씩 구비되기 때문에, 기판(1)이 로딩되는 경우에 스테이지(110a, 110b)의 1 쿼터 회전(90도 회전)에 2개의 기판(1)이 수직 상태로 로딩되고 2개의 기판(1)이 클램핑 유닛(120)에 파지될 수 있다. 마찬가지로, 기판(1)이 언로딩되는 경우에도 스테이지(110a, 110b)의 1 쿼터 회전에 2개의 기판(1)이 수직 상태로 언로딩되고 2개의 기판(1)이 기판 공급 및 회수부(2)로 회수될 수 있다.
또한, 스테이지(110a, 110b)의 양단에 구비된 각각의 클램핑 유닛(120a 내지 120d)은 서로 반대면에 설치되어야 한다. 이하, 설명을 용이하게 하기 위하여, 제1 스테이지(110a)의 A에 위치한 클램핑 유닛(120a)을 제1 클램핑 유닛(120a)으로, 제1 스테이지(110a)의 C에 위치한 클램핑 유닛(120b)을 제2 클램핑 유닛(120b)으로, 제2 스테이지(110b)의 D에 위치한 클램핑 유닛(120c)을 제3 클램핑 유닛(120c)으로, 제2 스테이지(110b)의 B에 위치한 클램핑 유닛(120d)을 제4 클램핑 유닛(120d)으로 약칭하여 설명하기로 한다.
스테이지(110a, 110b)의 양단에 구비된 각각의 클램핑 유닛(120a 내지 120d)을 스테이지(110a, 110b)의 서로 반대면에 설치하는 것은, 제1 스테이지(110a)의 제1 클램핑 유닛(120a)이 A의 위치에서는 제1 스테이지(110a)의 상면에 위치하고 있지만, 제1 스테이지(110a)가 1 하프 회전(180도 회전)하면 C의 위치에서는 제1 스테이지(110a)의 하면에 위치하기 때문이다. 따라서, 클램핑 유닛(120a 내지 120d)들이 스테이지(110a, 110b)의 회전에 따라 서로 자리를 바꾸어가며 계속적으로 기판(1)을 파지하기 위해서는, 클램핑 유닛(120a 내지 120d)들은 스테이지(110a, 110b)의 서로 반대면에 설치되어야 하는 것이다.
이와 같이, 클램핑 유닛(120a 내지 120d)들이 스테이지(110a, 110b)의 서로 반대면에 설치될 경우에도, 각각의 클램핑 유닛(120a 내지 120d)들은 스테이지(110a, 110b)가 회전하는 방향의 면에 설치되는 것이 바람직하다. 즉, 스테이지(110a, 110b)가 도 1에 도시된 바와 같이, 반 시계방향으로 회전할 경우에는, 각각의 클램핑 유닛(120a 내지 120d)들은 스테이지(110a, 110b)에 대하여 좌측(스테이지가 회전하려는 방향)에 마련되어야 하는 것이다. 다시 말하면, 제1 클램핑 유닛(120a)은 제1 스테이지(110a)의 상면에 마련되고, 제2 클램핑 유닛(120b)은 제1 스테이지(110a)의 하면에 마련되는 것이다. 이는, 각각의 클램핑 유닛(120a 내지 120d)들이 스테이지(110a, 110b)가 회전하려는 방향의 면에 설치될 경우, 회전축(111)으로부터 소정 거리(도 1에 d로 도시됨) 편심된 위치에 클램핑 유닛(120) 및 기판(1)의 무게 중심이 발생되기 때문에, 스테이지(110a, 110b)의 회전에 도움을 줄 수 있으며 적어도 스테이지(110a, 110b)의 회전을 방해하여 모터의 소모 전력이 낭비되는 것을 방지할 수 있기 때문이다.
클램핑 유닛(120)은, 스테이지(110a, 110b)에 고정 설치되어 기판(1)의 단부 가 클램핑 유닛(120)의 내부로 안착되도록 안내하거나 클램핑 유닛(120)의 내부로부터 기판 공급 및 회수부(2)로 회수되도록 안내하는 고정 가이드(121)와, 고정 가이드(121)의 단부에 직교하도록 마련되어 기판(1)의 단부를 지지하는 지지턱(122)과, 지지턱(122)의 단부에 회동 가능하게 결합되어 기판(1)의 단부를 파지하는 회동 가이드(123)를 구비한다. 따라서, 기판(1)이 공급될 때는 회동 가이드(123)가 개방되었다가, 기판(1)의 단부가 고정 가이드(121)를 따라 안내되어 지지턱(122)에 다다르면 회동 가이드(123)가 닫힘으로써 기판(1)의 단부를 파지하게 된다.
기판(1)에 접촉되어 기판(1)을 파지하는 고정 가이드(121), 지지턱(122) 및 회동 가이드(123)의 접촉면은, 기판(1)을 파지함으로써 기판(1)에 스크래치나 압흔(壓痕) 등의 손상을 주지 않도록, 보호재(미도시)가 구비되는 것이 바람직하다. 이 보호재는, 소정의 쿠션(Cushion)을 가질 뿐만 아니라, 기판(1)이 클램핑 유닛(120)으로부터 미끄러지지 않도록 소정의 마찰력을 가지는 재질인 합성수지재로 이루어지는 것이 바람직하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되지는 아니한다.
클램핑 유닛(120)에는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 이송 유닛(124, 125)이 추가로 구비될 수 있다. 이송 유닛(124, 125)은, 기판(1)에 면접촉되어 기판(1)을 편광판 부착장치(3)로 이송시켜 로딩시키거나 편광판 부착장치(3)로부터 언로딩된 기판(1)을 이송받을 수 있는 로딩 및 언로딩 롤러(124)와, 기판(1)을 기판 공급 및 회수부(2)로부터 공급받아 클램핑 유닛(120)의 내부로 이송시키거나 클램핑 유닛(120)의 내부로부터 기판 공급 및 회수부(2)로 회수시킬 수 있는 공급 및 회수 롤러(125)를 구비하는 것이 바람직하다.
로딩 및 언로딩 롤러(124)와 공급 및 회수 롤러(125)는, 기판(1)에 면접촉된 상태로 회전함으로써 기판(1)을 소정 방향으로 이송시키기 때문에, 롤러(124, 125)들을 회전 구동시키는 액추에이터(미도시)가 필요하다. 이 액추에이터는, 공기압 또는 유압을 이용하여 구동력을 제공하는 공유압 액추에이터 또는 입력 신호에 따라 미리 정해진 소정 각도만큼 회전력을 제공하는 스테퍼 모터(Stepper Motor) 등으로 구성될 수도 있지만, 고도의 정밀성과 청결성을 요하는 클린룸(Clean Room)에서 작업이 이루어지는 점을 감안할 때 리니어 모터(Linear Motor)로 구성되는 것도 바람직하다.
로딩 및 언로딩 롤러(124)는, 클램핑 유닛(120)의 고정 가이드(121), 지지턱(122) 및 회동 가이드(123)에 적어도 하나씩 마련되는 것이 바람직하다. 따라서, 기판(1)은, 로딩 및 언로딩 롤러(124)들의 회전에 의하여 화살표 방향(도 2에 도시됨)으로 수평 이동될 수 있다.
공급 및 회수 롤러(125)는, 클램핑 유닛(120)의 고정 가이드(121) 및 회동 가이드(123)에 로딩 및 언로딩 롤러(124)의 회전축과 직교되도록 적어도 하나씩 마련되는 것이 바람직하다. 따라서, 기판(1)은 공급 및 회수 롤러(125)들의 회전에 의하여 기판 공급 및 회수부(2)로 이송될 수 있다.
이와 같이 구성되는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 로딩 및 언로딩 장치의 로딩 방법(S100)을 설명하면 다음과 같다.
도 4는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 로딩 및 언로딩 장치의 로딩 방법(S100)을 순차적으로 도시한 순서도이고, 도 5는 도 4의 과정을 클램핑 유닛을 중심으로 개략적으로 도시한 모식도로서, 이에 도시된 바와 같이, 수평 상태로 대기하고 있는 제1 스테이지(110a)의 양단에 각각 마련된 클램핑 유닛(120)의 회동 가이드(123)가 개방된 상태에서, 기판 공급 및 회수부(2)로부터 수평 상태로 기판(1)을 공급한다(S110). 기판(1)의 단부가 고정 가이드(121)의 공급 및 회수 롤러(125)의 회전에 의하여 안내되어 지지턱(122)에 다다르게 되면, 회동 가이드(123)가 닫히면서 기판(1)의 단부를 파지하게 된다(S120). 따라서, 제1 클램핑 유닛(120a)은 A 위치에서 기판(1)을 파지하고, 제2 클램핑 유닛(120b)은 C 위치에서 기판(1)을 파지한 상태가 된다.
그러면, 스테이지(110a, 110b)는 회전축(111)을 중심으로 90도 회전하면서 수평 상태로 공급된 기판(1)을 수직 상태로 세우게 된다(S130). 따라서, 2개의 기판(1)이 서로 높이를 달리하여 수직으로 세워진 상태가 된다. 즉, 제1 클램핑 유닛(120a)에 파지된 기판(1)은 B 지점에 위치하게 되고, 제2 클램핑 유닛(120b)에 파지된 기판(1)은 D 지점에 위치하게 된다.
다음으로, 고정 가이드(121), 지지턱(122) 및 회동 가이드(123)에 각각 마련된 로딩 및 언로딩 롤러(124)들이 기판(1)에 면접촉된 상태로 회전하여, 기판(1)을 편광판 부착장치(3)로 이송시켜 로딩시킨다(S140).
이와 동시에, 제2 스테이지(110b)의 제3 클램핑 유닛(120c)과 제4 클램핑 유닛(120d)은, 각각 D 및 B 지점에서 A 및 C 지점으로 이동하여 기판 공급 및 회수부(2)로부터 수평 상태로 새로운 기판(1)을 공급받게 된다.
즉, 제3 클램핑 유닛(120c) 및 제4 클램핑 유닛(120d)의 회동 가이드(123)가 개방된 상태에서, 기판 공급 및 회수부(2)로부터 수평 상태로 새로운 기판(1)을 공급받는다. 기판(1)의 단부가 고정 가이드(121)의 공급 및 회수 롤러(125)의 회전에 의하여 안내되어 지지턱(122)에 다다르게 되면, 회동 가이드(123)가 닫히면서 기판(1)의 단부를 파지하게 된다. 따라서, 제3 클램핑 유닛(120c)은 A 위치에서 기판(1)을 파지하고, 제4 클램핑 유닛(120d)은 C 위치에서 기판(1)을 파지한 상태가 된다.
다시, 스테이지(110a, 110b)는 동일한 방향으로 90도 회전한다. 그러면, 제1 클램핑 유닛(120a)은 C 지점에, 제2 클램핑 유닛(120b)은 A 지점에 위치하여 새로운 기판(1)을 공급받을 준비를 하고, 제3 클램핑 유닛(120c) 및 제4 클램핑 유닛(120d)은 각각 B 및 D 지점에 위치하여 로딩 및 언로딩 롤러(124)들이 기판(1)에 면접촉된 상태로 회전하여 기판(1)을 편광판 부착장치(3)로 이송시켜 로딩시킨다.
이와 동시에, 제1 클램핑 유닛(120a)과 제2 클램핑 유닛(120b)은, 각각의 회동 가이드(123)를 개방하고, 새로운 기판(1)의 단부가 고정 가이드(121)를 따라 안내되어 지지턱(122)에 다다르게 되면, 회동 가이드(123)를 닫아서 기판(1)의 단부를 파지한다. 즉, 제1 클램핑 유닛(120a)은 C 위치에서 기판(1)을 파지하고, 제2 클램핑 유닛(120b)은 A 위치에서 기판을 파지한 상태가 된다.
스테이지(110a, 110b)가 회전축(111)을 중심으로 다시 90도 회전하면, 제1 클램핑 유닛(120a)에 파지된 기판(1)은 D 지점에 위치하게 되고, 제2 클램핑 유닛(120b)에 파지된 기판(1)은 B 지점에 위치하게 된다.
그러면, 제1 및 제2 클램핑 유닛(120a, 120b)에 구비된 로딩 및 언로딩 롤 러(124)들이 기판(1)을 편광판 부착장치(3)로 이송시킨다. 이와 동시에, 제3 클램핑 유닛(120c)과 제4 클램핑 유닛(120d)은 각각 C 및 A 지점에 위치하여 새로운 기판(1)을 공급받는다.
다시, 스테이지(110a, 110b)가 90도 회전하여 원위치로 돌아오면, 제1 및 제2 클램핑 유닛(120a, 120b)은 각각 A 및 C 지점에서 새로운 기판(1)을 공급받을 준비를 하고, 제3 및 제4 클램핑 유닛(120c, 120d)은 각각 D 및 B 지점에서 기판(1)을 편광판 부착장치(3)로 이송시킨다.
이와 같은 과정을 거치면서, 스테이지(110a, 110b)가 1 회전(360도 회전)하면, 각각의 클램핑 유닛(120a 내지 120d)이 2개씩의 기판 즉, 총 8개의 기판을 편광판 부착장치(3)로 이송시켜 로딩하게 된다. 따라서, 작업 공정 시간이 매우 단축될 수 있을 뿐만 아니라, 공정 효율도 크게 향상된다. 뿐만 아니라, 기판(1)의 사이즈가 대형이라도 수직형 편광판 부착장치(3)를 이용하기 때문에, 작업 공간도 감축될 수 있는 것이다.
이하, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 로딩 및 언로딩 장치의 언로딩 방법을 설명하면 다음과 같다.
도 6은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 로딩 및 언로딩 장치의 언로딩 방법(S200)을 순차적으로 도시한 순서도이고, 도 7은 도 6의 과정을 클램핑 유닛을 중심으로 개략적으로 도시한 모식도로서, 이에 도시된 바와 같이, 수직 상태로 대기하고 있는 제2 스테이지(110b)의 양단에 각각 마련된 클램핑 유닛(120)의 로딩 및 언로딩 롤러(124)들의 회전에 의하여 수직 상태의 기판(1)이 이송된다(S210). 기판(1)의 중심이 클램핑 유닛(120)에 다다르게 되면, 스테이지(110a, 110b)는 회전축(111)을 중심으로 90도 회전하면서 수직 상태로 이송된 기판(1)을 수평 상태로 눕히게 된다(S220). 즉, D 지점에서 제3 클램핑 유닛(120c)에 파지된 기판(1)은 A 지점에 위치하게 되고, B 지점에서 제4 클램핑 유닛(120d)에 파지된 기판(1)은 C 지점에 위치하게 된다.
다음으로, 고정 가이드(121) 및 회동 가이드(123)에 각각 마련된 공급 및 회수 롤러(125)들이 기판(1)에 면접촉된 상태로 회전하여, 기판(1)을 기판 공급 및 회수부(2)로 이송시켜 기판(1)을 회수시킨다(S230).
이와 동시에, 제1 스테이지(110a)의 제1 클램핑 유닛(120a)과 제2 클램핑 유닛(120b)은, 각각 A 및 C 지점에서 B 및 D 지점으로 이동하여 편광판 부착장치(3)로부터 언로딩된 수직 상태의 기판(1)을 이송받게 된다.
즉, 제1 클램핑 유닛(120a) 및 제2 클램핑 유닛(120b)의 로딩 및 언로딩 롤러(124)들의 회전에 의하여, 편광판 부착장치(3)로부터 수직 상태의 기판(1)을 이송받는다. 기판(1)의 중심이 클램핑 유닛(120)에 다다르게 되면, 스테이지(110a, 110b)는 동일한 방향으로 90도 회전한다. 그러면, 제1 클램핑 유닛(120a)은 C 지점에, 제2 클램핑 유닛(120b)은 A 지점에 위치하여 기판(1)을 기판 공급 및 회수부(2)로 회수시킨다.
이와 동시에, 제3 클램핑 유닛(120c) 및 제4 클램핑 유닛(120d)은 각각 B 및 D 지점에 위치하여 로딩 및 언로딩 롤러(124)들이 기판(1)에 면접촉된 상태로 회전하여 편광판 부착장치(3)로부터 기판(1)을 이송받는다.
편광판 부착장치(3)로부터 이송받은 기판(1)의 중심이 제3 및 제4 클램핑 유닛(120c, 120d)에 다다르게 되면, 스테이지(110a, 110b)가 회전축(111)을 중심으로 다시 90도 회전하고, 제1 클램핑 유닛(120a) 및 제2 클램핑 유닛(120b)은 각각 D 및 B 지점에 위치하여 편광판 부착장치(3)로부터 언로딩된 기판(1)을 이송받고, 제3 클램핑 유닛(120c) 및 제4 클램핑 유닛(120d)은 각각 C 및 A 지점에 위치하여 기판 공급 및 회수부(2)로 기판(1)을 이송시킨다.
다시, 스테이지(110a, 110b)가 90도 회전하여 원위치로 돌아오면, 제1 및 제2 클램핑 유닛(120a, 120b)은 각각 A 및 C 지점에서 기판(1)을 기판 공급 및 회수부(2)로 회수시키고, 제3 및 제4 클램핑 유닛(120c, 120d)은 각각 D 및 B 지점에서 편광판 부착장치(3)로부터 기판(1)을 이송받는다.
이와 같은 과정을 거치면서, 스테이지(110a, 110b)가 1 회전(360도 회전)하면, 각각의 클램핑 유닛(120a 내지 120d)이 2개씩의 기판 즉, 총 8개의 기판을 편광판 부착장치(3)로부터 이송받아 기판 공급 및 회수부(2)로 회수시킨다. 따라서, 작업 공정 시간이 매우 단축될 수 있을 뿐만 아니라, 공정 효율도 크게 향상된다.
이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 제2 실시 예에 따른 로딩 및 언로딩 장치에 대하여 상세하게 설명하기로 한다. 다만, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 로딩 및 언로딩 장치의 기능과 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대하여는 동일한 도면 부호를 부여하고 중복된 설명을 생략하기로 한다.
도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 로딩 및 언로딩 장치의 구성을 개략적으로 도시한 모식도로서, 이에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 로딩 및 언로딩 장치(200)는, 회전축(111)을 중심으로 회전 가능하게 마련된 하나의 스테이지(210)와, 스테이지(210)의 양단에 하나씩 마련된 클램핑 유닛(220a, 220b)을 구비한다.
본 발명의 제2 실시 예에 다른 로딩 및 언로딩 장치(200)에서는, 본 발명의 제1 실시 예에서와 달리, 스테이지(210)가 하나만 구비된다. 따라서, 스테이지(210)의 1회전(360도 회전)당 4개씩의 기판(1)이 편광판 부착장치(3)로 로딩되거나 편광판 부착장치(3)로부터 언로딩될 수 있다. 즉, 공정상의 필요에 따라 스테이지(210)를 하나만 구비하거나, 스테이지(110a, 110b)를 2개 구비함으로써 공정 효율을 선택적으로 조정할 수 있도록 한다.
이하, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 로딩 및 언로딩 장치의 로딩 방법을 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 다만, 설명을 용이하게 하기 위하여, A 지점에 위치한 클램핑 유닛(220a)을 제1 클램핑 유닛(220a)으로, B 지점에 위치한 클램핑 유닛(220b)을 제2 클램핑 유닛(220b) 으로 약칭하여 설명하기로 한다.
우선, 수평 상태로 대기하고 있는 스테이지(210)의 양단에 마련된 클램핑 유닛(220)의 회동 가이드(223)가 개방된 상태에서, 기판 공급 및 회수부(2)로부터 수평 상태로 기판(1)을 공급한다. 기판(1)의 단부가 고정 가이드(221)의 공급 및 회수 롤러(125)의 회전에 의하여 안내되어 지지턱(222)에 다다르게 되면, 회동 가이드(223)가 닫히면서 기판(2)의 단부를 파지하게 된다. 따라서, 제1 클램핑 유닛(220a)은 A 위치에서 기판(1)을 파지하고, 제2 클램핑 유닛(220b)은 C 위치에서 기판(1)을 파지한 상태가 된다.
그러면, 스테이지(210)는 회전축(111)을 중심으로 90도 회전하면서 수평 상태로 공급된 기판(1)을 수직 상태로 세우게 된다. 따라서, 2개의 기판(1)이 서로 높이를 달리하여 수직으로 세워진 상태가 된다. 즉, 제1 클램핑 유닛(220a)에 파지된 기판(1)은 B 지점에 위치하게 되고, 제2 클램핑 유닛(220b)에 파지된 기판(1)은 D 지점에 위치하게 된다.
다음으로, 고정 가이드(221), 지지턱(222) 및 회동 가이드(223)에 각각 마련된 로딩 및 언로딩 롤러(124)들이 기판(1)에 면접촉된 상태로 회전하여 기판(1)을 편광판 부착장치(3)로 이송시켜 로딩시킨다.
기판(1)이 클램핑 유닛(220)으로부터 완전히 빠져나가서 편광판 부착장치(3)로 이송되고 나면, 스테이지(210)는 동일한 방향으로 다시 90도 회전한다. 그러면, 제1 클램핑 유닛(220a)은 C 지점에 위치하게 되고, 제2 클램핑 유닛(220b)은 A 지점에 위치하게 된다.
다시, 각각의 클램핑 유닛(220)의 회동 가이드(223)가 개방되고, 새로운 기판(1)의 단부가 고정 가이드(221)의 공급 및 회수 롤러(125)를 따라 안내되어 지지턱(222)에 다다르게 되면, 회동 가이드(223)가 닫히면서 기판(1)의 단부를 파지하게 된다. 따라서, 제1 클램핑 유닛(220a)은 C 위치에서 기판(1)을 파지하고, 제2 클램핑 유닛(220b)은 A 위치에서 기판을 파지한 상태가 된다.
스테이지(210)는 회전축(111)을 중심으로 다시 90도 회전하면서 수평 상태로 공급된 기판(1)을 수직 상태로 세우게 된다. 따라서, 제1 클램핑 유닛(220a)에 파지된 기판(1)은 D 지점에 위치하게 되고, 제2 클램핑 유닛(220b)에 파지된 기판(1) 은 B 지점에 위치하게 된다.
그러면, 각각의 클램핑 유닛(220)에 구비된 로딩 및 언로딩 롤러(124)들이 기판(1)을 편광판 부착장치(3)로 이송시킨다. 기판(1)이 클램핑 유닛(220)으로부터 완전히 빠져나가서 편광판 부착장치(3)로 로딩되고 나면, 스테이지(210)는 다시 90도 회전하여 원위치로 돌아오게 된다.
이와 같은 과정을 거치면서, 스테이지(210)가 1회전(360도 회전)하면, 각각의 클램핑 유닛(220a, 220b)이 2개씩의 기판 즉, 총 4개의 기판을 편광판 부착장치(3)로 로딩시키게 된다. 따라서, 작업 공정 시간이 매우 단축될 수 있을 뿐만 아니라, 공정 효율도 크게 향상된다. 뿐만 아니라, 기판(1)의 사이즈가 대형이라도 수직형 편광판 부착장치(3)를 이용하기 때문에, 작업 공간도 감축될 수 있다.
이하, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 로딩 및 언로딩 장치의 언로딩 방법을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
우선, 수직 상태로 대기하고 있는 스테이지(210)의 양단에 마련된 클램핑 유닛(220)의 로딩 및 언로딩 롤러(124)들의 회전에 의하여 편광판 부착장치(3)로부터 언로딩된 기판(1)의 중심이 클램핑 유닛(220)에 다다르게 되면, 스테이지(210)는 회전축(111)을 중심으로 90도 회전하면서 수직 상태로 이송된 기판(1)을 수평 상태로 눕히게 된다. 즉, B 지점에서 제1 클램핑 유닛(220a)에 파지된 기판(1)은 C 지점에 위치하게 되고, D 지점에서 제2 클램핑 유닛(220b)에 파지된 기판(1)은 A 지점에 위치하게 된다.
다음으로, 고정 가이드(221) 및 회동 가이드(223)에 각각 마련된 공급 및 회 수 롤러(125)들이 기판(1)에 면접촉된 상태로 회전하여 기판(1)을 기판 공급 및 회수부(2)로 이송시켜 회수시킨다.
기판(1)이 클램핑 유닛(220)으로부터 완전히 빠져나가서 기판 공급 및 회수부(2)로 이송되고 나면, 스테이지(210)는 동일한 방향으로 다시 90도 회전한다. 그러면, 제1 클램핑 유닛(220a)은 D 지점에 위치하게 되고, 제2 클램핑 유닛(220b)은 B 지점에 위치하게 된다.
다시, 각각의 클램핑 유닛(220)의 로딩 및 언로딩 롤러(124)들의 회전에 의하여 편광판 부착장치(3)로부터 언로딩된 기판(1)의 중심이 클램핑 유닛(220)에 다다르게 되면, 스테이지(210)는 회전축(111)을 중심으로 90도 회전하면서 수직 상태로 이송된 기판(1)을 수평 상태로 눕히게 된다. 따라서, D 지점에서 제1 클램핑 유닛(220a)에 파지된 기판(1)은 A 지점에 위치하게 되고, B 지점에서 제2 클램핑 유닛(220b)에 파지된 기판(1)은 C 지점에 위치하게 된다.
그러면, 각각의 클램핑 유닛(220)에 구비된 공급 및 회수 롤러(125)들이 기판(1)을 기판 공급 및 회수부(2)로 이송시킨다. 기판(1)이 클램핑 유닛(220)으로부터 완전히 빠져나가서 기판 공급 및 회수부(2)로 회수되고 나면, 스테이지(210)는 다시 90도 회전하여 원위치로 돌아오게 된다.
이와 같은 과정을 거치면서, 스테이지(210)가 1회전(360도 회전)하면, 각각의 클램핑 유닛(220a, 220b)이 2개씩의 기판 즉, 총 4개의 기판을 편광판 부착장치(3)로부터 이송받아 기판 공급 및 회수부(2)로 회수시키게 된다. 따라서, 작업 공정 시간이 매우 단축될 수 있을 뿐만 아니라, 공정 효율도 크게 향상된다.
이상에서는, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 예시적으로 설명한 것이므로, 본 발명의 권리범위가 상기와 같은 특정 실시 예에 한정되지 아니하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 본 발명의 특허청구범위에 기재된 내용의 범주에서 적절하게 변경 가능한 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 수평 상태로 공급된 기판을 회전시켜 수직 상태로 편광판 부착장치로 로딩하거나 편광판 부착장치로부터 언로딩된 수직 상태의 기판을 회전시켜 수평 상태로 회수할 수 있도록 하여, 작업 공간을 감소시킬 수 있으며 구조가 단순할 뿐만 아니라 공정 시간을 단축시킬 수 있다.

Claims (14)

  1. 일축을 중심으로 회전가능하게 마련된 스테이지;
    상기 스테이지를 회전시키는 회전 구동부;
    상기 스테이지에 마련되어 기판이 상기 스테이지와 같이 회전할 수 있도록 상기 기판을 파지하는 클램핑 유닛; 및
    상기 기판을 소정 방향으로부터 이송받거나 소정 방향으로 이송시키는 이송 유닛을 포함하며,
    상기 이송 유닛은,
    상기 클램핑 유닛에 마련되는 적어도 하나의 롤러인 것을 특징으로 하는 로딩 및 언로딩 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    2개의 상기 클램핑 유닛이 상기 스테이지의 양단에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 로딩 및 언로딩 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 2개의 클램핑 유닛은,
    상기 스테이지의 양단으로서 상기 스테이지의 반대면에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 로딩 및 언로딩 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 스테이지는 실질적으로 90도씩 회전하는 것을 특징으로 하는 로딩 및 언로딩 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    2개의 상기 스테이지가 상기 일축을 공유하여 상호 직교하도록 마련되어 동시에 실질적으로 90도씩 회전하는 것을 특징으로 하는 로딩 및 언로딩 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 클램핑 유닛은,
    상기 스테이지의 일면에 고정 설치되어 상기 기판의 단부를 안내하는 고정 가이드;
    상기 고정 가이드에 직교하도록 상기 고정 가이드의 단부에 고정 설치되는 지지턱; 및
    상기 지지턱의 일단에 회동가능하게 결합되어 상기 클램핑 유닛의 내부에 안착된 상기 기판의 단부를 파지하는 회동 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 로딩 및 언로딩 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 롤러는,
    상기 고정 가이드, 상기 지지턱 및 상기 회동 가이드 중 적어도 어느 하나에 마련되는 것을 특징으로 하는 로딩 및 언로딩 장치.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 일축을 중심으로 회전가능하게 마련된 스테이지에 기판을 실질적으로 수평인 상태로 이송하여 파지하는 단계;
    상기 기판이 파지된 상기 스테이지를 실질적으로 90도 회전하는 단계; 및
    실질적으로 수직 상태의 상기 기판을 편광판 부착장치로 로딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 로딩 및 언로딩 방법.
  13. 편광판 부착장치로부터 실질적으로 수직 상태로 언로딩된 기판을 이송하여 파지하는 단계;
    일축을 중심으로 회전가능하게 마련되며 상기 기판이 파지된 스테이지를 실질적으로 90도 회전하는 단계; 및
    실질적으로 수평 상태의 상기 기판을 기판 공급 및 회수부로 회수하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 로딩 및 언로딩 방법.
  14. 제 12항 또는 제 13항에 있어서,
    상기 기판을 이송하여 파지하는 단계는,
    상기 스테이지에 기판을 이송하는 단계; 및
    상기 기판을 상기 스테이지에 마련된 클램핑 유닛으로 파지하는 단계를 포함하며,
    상기 기판을 편광판 부착장치로 로딩하는 단계 및 상기 기판을 기판 공급 및 회수부로 회수하는 단계 중 적어도 어느 하나의 단계는,
    상기 클램핑 유닛에 마련된 롤러에 의하여 상기 기판을 이송하는 단계인 것을 특징으로 하는 로딩 및 언로딩 방법.
KR1020060073507A 2006-08-03 2006-08-03 로딩 및 언로딩 장치와 로딩 및 언로딩 방법 KR100814893B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060073507A KR100814893B1 (ko) 2006-08-03 2006-08-03 로딩 및 언로딩 장치와 로딩 및 언로딩 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060073507A KR100814893B1 (ko) 2006-08-03 2006-08-03 로딩 및 언로딩 장치와 로딩 및 언로딩 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080012550A KR20080012550A (ko) 2008-02-12
KR100814893B1 true KR100814893B1 (ko) 2008-03-18

Family

ID=39340646

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060073507A KR100814893B1 (ko) 2006-08-03 2006-08-03 로딩 및 언로딩 장치와 로딩 및 언로딩 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100814893B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102055778B1 (ko) 2018-03-15 2019-12-16 이희신 기판 처리 시스템

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101341126B1 (ko) * 2013-07-08 2013-12-13 한동희 패널 부착장치
CN113800262B (zh) * 2021-09-17 2022-12-20 蚌埠兴科玻璃有限公司 一种便于调节的lowe镀膜玻璃生产加工用运输装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0194630A (ja) * 1987-10-06 1989-04-13 Toshiba Corp 自動モールド装置
JPH01211939A (ja) * 1988-02-18 1989-08-25 Nec Kyushu Ltd イオン注入装置
JPH05232421A (ja) * 1992-02-20 1993-09-10 Koei Eng Kk 液晶用基板ハンドリング装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0194630A (ja) * 1987-10-06 1989-04-13 Toshiba Corp 自動モールド装置
JPH01211939A (ja) * 1988-02-18 1989-08-25 Nec Kyushu Ltd イオン注入装置
JPH05232421A (ja) * 1992-02-20 1993-09-10 Koei Eng Kk 液晶用基板ハンドリング装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102055778B1 (ko) 2018-03-15 2019-12-16 이희신 기판 처리 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR20080012550A (ko) 2008-02-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5714319B2 (ja) 基板搭載用カセット
TW526372B (en) Polarizing plate gluing apparatus, polarizing plate reworking apparatus, and polarizing plate gluing method and polarizing plate reworking method using the same
KR20100009208A (ko) 박리 및 안착 통합 장치와, 이를 이용한 액정표시장치의제조방법
KR102149193B1 (ko) 기능성 필름 부착시스템
JP2009109979A (ja) 光学フィルム貼り付け装置及び表示用パネルの製造方法
JPH10270524A (ja) 基板処理装置、基板移載装置、基板姿勢変更装置および基板処理方法
JP5876544B2 (ja) パネル取り付け装置
JPH11194337A (ja) 偏光フィルムを剥離するシステム及びその方法
JP2006284558A (ja) 偏光フィルム検査装置及び方法
KR100814893B1 (ko) 로딩 및 언로딩 장치와 로딩 및 언로딩 방법
JP2007156487A (ja) 偏光フィルム検査装置及び方法
KR101095511B1 (ko) 편광판 부착장치
CN114746803A (zh) 用于显示面板的膜贴附装置
JP5795109B2 (ja) パネル取り付け装置
KR100901498B1 (ko) 기판 제조 장치 및 그 방법
KR100869838B1 (ko) 엘씨디 패널에 부착된 보호필름 박리용 로터리어셈블리가구비된 백라이트유닛 조립장치
TWI231964B (en) LCD panel auto gripping apparatus and method for use in a panel carrier for an automatic probe unit
KR101972341B1 (ko) 기능성 필름 부착시스템
KR102064192B1 (ko) 기능성 필름 부착시스템
KR101047489B1 (ko) 편광필름 부착장치 및 방법
KR100962687B1 (ko) 표시패널 제조를 위한 패널 로딩장치 및 패널 로딩방법
KR20050111448A (ko) 티에프티-엘시디 모듈 어셈블리 조립장치 및 이조립장치를 이용한 티에프티-엘시디 모듈 어셈블리 조립방법
CN114472211A (zh) 一种贴合系统
KR102252623B1 (ko) 다관절 로봇식 보호 필름 박리장치
KR100809530B1 (ko) 편광필름 부착장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
G170 Publication of correction
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130218

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140213

Year of fee payment: 7

LAPS Lapse due to unpaid annual fee