JPH05231806A - 真円度測定装置 - Google Patents
真円度測定装置Info
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- JPH05231806A JPH05231806A JP3638192A JP3638192A JPH05231806A JP H05231806 A JPH05231806 A JP H05231806A JP 3638192 A JP3638192 A JP 3638192A JP 3638192 A JP3638192 A JP 3638192A JP H05231806 A JPH05231806 A JP H05231806A
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- sliding
- elevating member
- sliding surface
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 上下台を滑らかに、かつ正確に支柱の摺動面
に沿って移動することにより、測定精度の向上を図る。 【構成】 本体32に立設されたコラム40に沿って上
下方向に移動可能に上下台42を設けて上下台42にマ
グネット58、62を設けた。そして、マグネット5
8、62の磁性力で上下台42の摺動部56、60とコ
ラム40の摺動面41A、41B、41Cとの間に吸着
力を付与した状態で上下台42を上下方向に移動させ
る。これにより、コラム40の摺動面41A、41B、
41Cに上下台42の摺動部を56、60均一に押し付
けることができるので、コラム40の摺動面41A、4
1B、41Cに沿って上下台42を滑らかに、かつ正確
に移動することができる。
に沿って移動することにより、測定精度の向上を図る。 【構成】 本体32に立設されたコラム40に沿って上
下方向に移動可能に上下台42を設けて上下台42にマ
グネット58、62を設けた。そして、マグネット5
8、62の磁性力で上下台42の摺動部56、60とコ
ラム40の摺動面41A、41B、41Cとの間に吸着
力を付与した状態で上下台42を上下方向に移動させ
る。これにより、コラム40の摺動面41A、41B、
41Cに上下台42の摺動部を56、60均一に押し付
けることができるので、コラム40の摺動面41A、4
1B、41Cに沿って上下台42を滑らかに、かつ正確
に移動することができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は真円度測定装置に係
り、特にテーブルに載置された被測定物に先端子を接触
させた状態でテーブル又は先端子を回動して被測定物の
真円度等を測定する真円度測定装置に関する。
り、特にテーブルに載置された被測定物に先端子を接触
させた状態でテーブル又は先端子を回動して被測定物の
真円度等を測定する真円度測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図5、図6に従来の真円度測定装置が示
されていて、真円度測定装置の本体10にはコラム12
が立設されている。コラム12は矩形状の支柱から成
り、コラムの隣接する2面には摺動面12A、12Bが
形成されている。また、真円度測定装置はコラム12に
沿って上下方向に移動する上下台14を備えていて、上
下台14は外周が矩形状に形成されると共に内周がコラ
ム12に嵌入可能にコラムの外周より僅かに大きく形成
されている。そして、上下台14の隣接する2つの内面
には摺動部14A、14Bが設けられている。
されていて、真円度測定装置の本体10にはコラム12
が立設されている。コラム12は矩形状の支柱から成
り、コラムの隣接する2面には摺動面12A、12Bが
形成されている。また、真円度測定装置はコラム12に
沿って上下方向に移動する上下台14を備えていて、上
下台14は外周が矩形状に形成されると共に内周がコラ
ム12に嵌入可能にコラムの外周より僅かに大きく形成
されている。そして、上下台14の隣接する2つの内面
には摺動部14A、14Bが設けられている。
【0003】また、上下台14の摺動部14A、14B
が設けられている面に対向する2つの内面には与圧装置
16A、16Bが設けられている。与圧装置16A、1
6Bが対向するコラム12の外周を押圧することによ
り、上下台14の摺動部14A、14Bがコラム12の
摺動面12A、12Bに接触する。この状態で上下台1
4の移動手段(図示せず。)を駆動すると、上下台14
がコラム12の摺動面12A、12Bに沿って上下方向
に移動する。
が設けられている面に対向する2つの内面には与圧装置
16A、16Bが設けられている。与圧装置16A、1
6Bが対向するコラム12の外周を押圧することによ
り、上下台14の摺動部14A、14Bがコラム12の
摺動面12A、12Bに接触する。この状態で上下台1
4の移動手段(図示せず。)を駆動すると、上下台14
がコラム12の摺動面12A、12Bに沿って上下方向
に移動する。
【0004】これにより、アーム18を介して上下台1
4に設けられた検出器20の先端子22を、テーブル2
4に載置されたワーク26の測定位置に接触させること
ができ、さらに、この状態でテーブル24又は先端子2
2を回転して先端子22の変位に基づいてワーク26の
真円度等が測定される。
4に設けられた検出器20の先端子22を、テーブル2
4に載置されたワーク26の測定位置に接触させること
ができ、さらに、この状態でテーブル24又は先端子2
2を回転して先端子22の変位に基づいてワーク26の
真円度等が測定される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、与圧装
置16A、16Bでは、与圧装置16A、16Bに対向
するコラム12の外面にそれぞれ均一に与圧を付与させ
続けることが困難である。このように与圧が均一に付与
されないと上下台14が滑らかに、かつ正確にコラム1
2の摺動面12A、12Bに沿って上下方向に移動する
ことができないので、測定精度の向上を図ることができ
ないという問題がある。
置16A、16Bでは、与圧装置16A、16Bに対向
するコラム12の外面にそれぞれ均一に与圧を付与させ
続けることが困難である。このように与圧が均一に付与
されないと上下台14が滑らかに、かつ正確にコラム1
2の摺動面12A、12Bに沿って上下方向に移動する
ことができないので、測定精度の向上を図ることができ
ないという問題がある。
【0006】また、与圧装置16A、16Bがコラム1
2に接触するので、与圧装置16A、16Bの接触面の
精度が要求されるという問題もある。本発明はこのよう
な事情に鑑みてなされたもので、測定精度の向上を図る
と共に上下台の摺動面以外に精度が要求されない真円度
測定装置を提供することを目的とする。
2に接触するので、与圧装置16A、16Bの接触面の
精度が要求されるという問題もある。本発明はこのよう
な事情に鑑みてなされたもので、測定精度の向上を図る
と共に上下台の摺動面以外に精度が要求されない真円度
測定装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、本体に立設された支柱の摺動面に昇降部材
の摺動面を接触させた状態で昇降部材を支柱に沿って上
下方向に移動させて、昇降部材に設けられた検出器の先
端子をテーブルに載置された被測定物の測定位置に接触
させると共にテーブル又は先端子を回転して先端子の変
位に基づいて被測定物の真円度等を測定する真円度測定
装置において、前記昇降部材に磁性部材を設け、前記昇
降部材の摺動面と前記支柱の摺動面との間に吸着力を付
与した状態で前記昇降部材を昇降させることを特徴とす
る。
成する為に、本体に立設された支柱の摺動面に昇降部材
の摺動面を接触させた状態で昇降部材を支柱に沿って上
下方向に移動させて、昇降部材に設けられた検出器の先
端子をテーブルに載置された被測定物の測定位置に接触
させると共にテーブル又は先端子を回転して先端子の変
位に基づいて被測定物の真円度等を測定する真円度測定
装置において、前記昇降部材に磁性部材を設け、前記昇
降部材の摺動面と前記支柱の摺動面との間に吸着力を付
与した状態で前記昇降部材を昇降させることを特徴とす
る。
【0008】
【作用】本発明によれば、本体に立設された支柱に沿っ
て上下方向に移動可能な昇降部材を設けて昇降部材に磁
性部材を設けた。そして、磁性部材の磁性力で昇降部材
の摺動面と支柱の摺動面との間に吸着力を付与した状態
で昇降部材を昇降させる。従って、支柱の摺動面に昇降
部材の摺動面を均一に押し付けることができるので、支
柱の摺動面に沿って昇降部材を滑らかに、かつ正確に移
動することができ、さらに従来の真円度測定装置に不可
欠な与圧装置を除去することができる。
て上下方向に移動可能な昇降部材を設けて昇降部材に磁
性部材を設けた。そして、磁性部材の磁性力で昇降部材
の摺動面と支柱の摺動面との間に吸着力を付与した状態
で昇降部材を昇降させる。従って、支柱の摺動面に昇降
部材の摺動面を均一に押し付けることができるので、支
柱の摺動面に沿って昇降部材を滑らかに、かつ正確に移
動することができ、さらに従来の真円度測定装置に不可
欠な与圧装置を除去することができる。
【0009】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る真円度測
定装置について詳説する。図1には本発明に係る真円度
測定装置の側面図が示されている。真円度測定装置30
の本体32にはテーブル34が回動自在に設けられてい
て、テーブル34は図示しないモータの駆動で回動す
る。また、テーブル34にはX軸ツマミ36とY軸ツマ
ミ38とが設けられていて、テーブル34はX軸ツマミ
36を操作するとX軸方向に移動し、Y軸ツマミ38を
操作するとY軸方向に移動する。
定装置について詳説する。図1には本発明に係る真円度
測定装置の側面図が示されている。真円度測定装置30
の本体32にはテーブル34が回動自在に設けられてい
て、テーブル34は図示しないモータの駆動で回動す
る。また、テーブル34にはX軸ツマミ36とY軸ツマ
ミ38とが設けられていて、テーブル34はX軸ツマミ
36を操作するとX軸方向に移動し、Y軸ツマミ38を
操作するとY軸方向に移動する。
【0010】さらに、本体32にはコラム40が立設さ
れていて、コラム40にはコラム40に沿って上下方向
に移動可能な上下台42が支持されている。上下台42
にはアーム44が支持されていて、アーム44には検出
器46を介して測定子48が設けられている。そして、
測定子48をテーブル34に載置されたワーク50に接
触させた状態でテーブル34を回動して真円度等を測定
する。
れていて、コラム40にはコラム40に沿って上下方向
に移動可能な上下台42が支持されている。上下台42
にはアーム44が支持されていて、アーム44には検出
器46を介して測定子48が設けられている。そして、
測定子48をテーブル34に載置されたワーク50に接
触させた状態でテーブル34を回動して真円度等を測定
する。
【0011】図2乃至図4には本発明に係る真円度測定
装置30の要部拡大図が示されている。図2に示すよう
にコラム40は矩形状の鋼製中空体から成り、コラム4
0のワーク50に対向する面40Aには軸線方向に延長
された開口部41が形成されている。また、この対向面
40Aの開口部41の両側には摺動面41A、41Bが
形成されていて、さらに、図2上で対向面40Aに隣接
する下側の表面40Bの左端部にも摺動面41Cが形成
されている。
装置30の要部拡大図が示されている。図2に示すよう
にコラム40は矩形状の鋼製中空体から成り、コラム4
0のワーク50に対向する面40Aには軸線方向に延長
された開口部41が形成されている。また、この対向面
40Aの開口部41の両側には摺動面41A、41Bが
形成されていて、さらに、図2上で対向面40Aに隣接
する下側の表面40Bの左端部にも摺動面41Cが形成
されている。
【0012】一方、上下台42は断面逆コ字形に形成さ
れていて、コラム40を覆うように重ね合わせ可能に、
上下台42の内面はコラム40の外面より僅かに大きく
設定されている。そして、上下台42はコラム40の摺
動面41A、41Bに対向する内面に摺動部56、5
6、56、56を備えていて、摺動部56、56、5
6、56は後述するマグネット58、58の磁性力によ
って、コラム40の摺動面41A、41Bに吸着されて
いる。さらに、上下台42はコラム40の摺動面41C
に対向する内面に摺動部60、60を備えていて、摺動
部60、60は後述するマグネット62の磁性力によっ
て、コラム40の摺動面41Cに吸着されている。
れていて、コラム40を覆うように重ね合わせ可能に、
上下台42の内面はコラム40の外面より僅かに大きく
設定されている。そして、上下台42はコラム40の摺
動面41A、41Bに対向する内面に摺動部56、5
6、56、56を備えていて、摺動部56、56、5
6、56は後述するマグネット58、58の磁性力によ
って、コラム40の摺動面41A、41Bに吸着されて
いる。さらに、上下台42はコラム40の摺動面41C
に対向する内面に摺動部60、60を備えていて、摺動
部60、60は後述するマグネット62の磁性力によっ
て、コラム40の摺動面41Cに吸着されている。
【0013】前述したマグネット58は雄ねじ59内に
同軸上に埋設されていて、コラム40の摺動面41A、
41Bに対向する上下台42の辺には一対の雄ねじ59
が螺合されている。一対の雄ねじ59は先端部が上下台
42の内面から突出されていて、それぞれの先端部はコ
ラム40の摺動面41A、41Bに対向している。従っ
て、雄ねじ59内のマグネット58はコラム40に近接
した位置に配設されるので、摺動部56、56、56、
56はマグネット58の磁性力でコラム40の摺動面4
1A、41Bに吸着状態に保持される。雄ねじ59は上
下の摺動部56、56間の中央に配設されている(図3
参照)。
同軸上に埋設されていて、コラム40の摺動面41A、
41Bに対向する上下台42の辺には一対の雄ねじ59
が螺合されている。一対の雄ねじ59は先端部が上下台
42の内面から突出されていて、それぞれの先端部はコ
ラム40の摺動面41A、41Bに対向している。従っ
て、雄ねじ59内のマグネット58はコラム40に近接
した位置に配設されるので、摺動部56、56、56、
56はマグネット58の磁性力でコラム40の摺動面4
1A、41Bに吸着状態に保持される。雄ねじ59は上
下の摺動部56、56間の中央に配設されている(図3
参照)。
【0014】さらに、前述したマグネット62は雄ねじ
63内に同軸上に埋設されていて、コラム40の摺動面
41Cに対向する上下台42の辺には雄ねじ63が螺合
されている。雄ねじ63は先端部が上下台42の内面か
ら突出されていて、先端部はコラム40の摺動面41C
に対向している。従って、雄ねじ63内のマグネット6
2はコラム40に近接した位置に配設されるので、摺動
部60、60はマグネット62の磁性力でコラム40の
摺動面41Cに吸着状態に保持される。また、雄ねじ6
3は摺動部60、60間の中央に配設されている(図4
参照)。
63内に同軸上に埋設されていて、コラム40の摺動面
41Cに対向する上下台42の辺には雄ねじ63が螺合
されている。雄ねじ63は先端部が上下台42の内面か
ら突出されていて、先端部はコラム40の摺動面41C
に対向している。従って、雄ねじ63内のマグネット6
2はコラム40に近接した位置に配設されるので、摺動
部60、60はマグネット62の磁性力でコラム40の
摺動面41Cに吸着状態に保持される。また、雄ねじ6
3は摺動部60、60間の中央に配設されている(図4
参照)。
【0015】このように、雄ねじ59、63内にそれぞ
れマグネット58、62を埋設することにより、雄ねじ
59、63を回動してマグネット58、62の位置を調
整することができる。従って、組立て時のマグネット5
8、62の微調整が可能であり、さらに、マグネット5
8、62のコラム40に対する磁性による吸着力を調整
することも可能である。尚、図2乃至図4上のナット6
5は雄ねじ59を所定位置に固定するために使用され、
図4上のナット65は雄ねじ63を所定位置に固定する
ために使用される。
れマグネット58、62を埋設することにより、雄ねじ
59、63を回動してマグネット58、62の位置を調
整することができる。従って、組立て時のマグネット5
8、62の微調整が可能であり、さらに、マグネット5
8、62のコラム40に対する磁性による吸着力を調整
することも可能である。尚、図2乃至図4上のナット6
5は雄ねじ59を所定位置に固定するために使用され、
図4上のナット65は雄ねじ63を所定位置に固定する
ために使用される。
【0016】更に、上下台42はコラム40の開口部4
1に対向する内面には一対の突出部64Aと一対の突出
部64Bが形成されていて(図4参照)、それぞれの突
出部64A、64A、64B、64Bの先端部はコラム
40の開口部41を経てコラム40内に位置決めされて
いる(図2、図3参照)。そして、突出部64A、64
Aの先端部にはそれぞれクランプ用のブロック66A、
66Aがボルト70A、70Aを介して固定されてい
る。この場合、突出部64A、64Aとブロック66
A、66Aとにはそれぞれピアノ線68の上端部と下端
部とが挟持されていて、これにより、ピアノ線68は張
設された状態に保持される。
1に対向する内面には一対の突出部64Aと一対の突出
部64Bが形成されていて(図4参照)、それぞれの突
出部64A、64A、64B、64Bの先端部はコラム
40の開口部41を経てコラム40内に位置決めされて
いる(図2、図3参照)。そして、突出部64A、64
Aの先端部にはそれぞれクランプ用のブロック66A、
66Aがボルト70A、70Aを介して固定されてい
る。この場合、突出部64A、64Aとブロック66
A、66Aとにはそれぞれピアノ線68の上端部と下端
部とが挟持されていて、これにより、ピアノ線68は張
設された状態に保持される。
【0017】張設された状態に保持されている一対のピ
アノ線68の中央部は送りナット72とクランプ材74
によって挟持されている。すなわち、クランプ材74は
ボルト76で送りナット72に固定される際に、一対の
ピアノ線68の中央部を挟持する。また、送りナット7
2はボールねじ78に螺合されていて、ボールねじ78
には回動力が伝達可能なようにモータ(図示せず。)が
連結されている。
アノ線68の中央部は送りナット72とクランプ材74
によって挟持されている。すなわち、クランプ材74は
ボルト76で送りナット72に固定される際に、一対の
ピアノ線68の中央部を挟持する。また、送りナット7
2はボールねじ78に螺合されていて、ボールねじ78
には回動力が伝達可能なようにモータ(図示せず。)が
連結されている。
【0018】従って、このモータが駆動するとボールね
じ78が回動するので、送りナット72等を介して突出
部64A、64A、64B、64Bがコラム40の開口
部41内を上下方向に移動する。この場合、上下台42
の摺動部56、56、56、56がコラム40の摺動面
41A、41Bに吸着状態に保持されると共に上下台4
2の摺動部60、60がコラム40の摺動面41Cに吸
着状態に保持されているので、上下台42はコラム40
の摺動面41A、41B、41Cに接触した状態で上下
方向に移動する。
じ78が回動するので、送りナット72等を介して突出
部64A、64A、64B、64Bがコラム40の開口
部41内を上下方向に移動する。この場合、上下台42
の摺動部56、56、56、56がコラム40の摺動面
41A、41Bに吸着状態に保持されると共に上下台4
2の摺動部60、60がコラム40の摺動面41Cに吸
着状態に保持されているので、上下台42はコラム40
の摺動面41A、41B、41Cに接触した状態で上下
方向に移動する。
【0019】前記の如く構成された本考案に係る真円度
測定装置の作用について説明する。先ず、図示しないモ
ータを駆動してボールねじ78を回動し、送りナット7
2を上下方向の所望の方向に移動する。送りナット72
が所望の方向に移動すると、一対のピアノ線68を介し
て上下台42が所望の方向に移動する。この場合、上下
台42の摺動部56、56、56、56はマグネット5
8、58の磁性力でコラム40の摺動面41A、41B
に吸着状態に保持されていて、また、上下台42の摺動
部60、60はマグネット62の磁性力でコラム40の
摺動面41Cに吸着状態に保持されている。従って、上
下台42はコラム40の摺動面41A、41B、41C
に接触した状態で上下方向に移動する。
測定装置の作用について説明する。先ず、図示しないモ
ータを駆動してボールねじ78を回動し、送りナット7
2を上下方向の所望の方向に移動する。送りナット72
が所望の方向に移動すると、一対のピアノ線68を介し
て上下台42が所望の方向に移動する。この場合、上下
台42の摺動部56、56、56、56はマグネット5
8、58の磁性力でコラム40の摺動面41A、41B
に吸着状態に保持されていて、また、上下台42の摺動
部60、60はマグネット62の磁性力でコラム40の
摺動面41Cに吸着状態に保持されている。従って、上
下台42はコラム40の摺動面41A、41B、41C
に接触した状態で上下方向に移動する。
【0020】このように、マグネット58、58、62
の磁性力で上下台42がコラム40の摺動面41A、4
1B、41Cに吸着された状態で保持され、ボールねじ
78の回動で所望の方向に移動するので、コラム40の
摺動面40B、40C、40Dに接触した状態で上下台
42を滑らかに、かつ正確に移動することができる。
の磁性力で上下台42がコラム40の摺動面41A、4
1B、41Cに吸着された状態で保持され、ボールねじ
78の回動で所望の方向に移動するので、コラム40の
摺動面40B、40C、40Dに接触した状態で上下台
42を滑らかに、かつ正確に移動することができる。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る真円度
測定装置によれば、本体に立設された支柱に沿って上下
方向に移動可能に昇降部材を設けて昇降部材に磁性部材
を設けた。そして、磁性部材の磁性力で昇降部材の摺動
面と支柱の摺動面との間に吸着力を付与した状態で昇降
部材を昇降させるので、支柱の摺動面に昇降部材の摺動
面を均一に押し付けることができる。
測定装置によれば、本体に立設された支柱に沿って上下
方向に移動可能に昇降部材を設けて昇降部材に磁性部材
を設けた。そして、磁性部材の磁性力で昇降部材の摺動
面と支柱の摺動面との間に吸着力を付与した状態で昇降
部材を昇降させるので、支柱の摺動面に昇降部材の摺動
面を均一に押し付けることができる。
【0022】従って、支柱の摺動面に沿って昇降部材を
滑らかに、かつ正確に移動することができるので、測定
精度の向上を図ることができる。また、従来の真円度測
定装置に不可欠な与圧装置を除去することができるの
で、コラムは上下台の摺動面以外に精度が要求されな
い。
滑らかに、かつ正確に移動することができるので、測定
精度の向上を図ることができる。また、従来の真円度測
定装置に不可欠な与圧装置を除去することができるの
で、コラムは上下台の摺動面以外に精度が要求されな
い。
【図1】本発明に係る真円度測定装置の側面図
【図2】図1のA−A矢視図
【図3】図2のA−A断面図
【図4】図2のB−B断面図
【図5】従来の真円度測定装置の側面図
【図6】図6のA−A矢視図
30…真円度測定装置 32…本体 34…テーブル 40…コラム 41A、41B、41C…摺動面 42…上下台 46…検出器 48…先端子 50…ワーク 56、60…摺動部 58、62…マグネット
Claims (1)
- 【請求項1】 本体に立設された支柱の摺動面に昇降部
材の摺動面を接触させた状態で昇降部材を支柱に沿って
上下方向に移動させて、昇降部材に設けられた検出器の
先端子をテーブルに載置された被測定物の測定位置に接
触させると共にテーブル又は先端子を回転して先端子の
変位に基づいて被測定物の真円度等を測定する真円度測
定装置において、 前記昇降部材に磁性部材を設け、前記昇降部材の摺動面
と前記支柱の摺動面との間に吸着力を付与した状態で前
記昇降部材を昇降させることを特徴とする真円度測定装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3638192A JPH05231806A (ja) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | 真円度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3638192A JPH05231806A (ja) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | 真円度測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05231806A true JPH05231806A (ja) | 1993-09-07 |
Family
ID=12468271
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3638192A Pending JPH05231806A (ja) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | 真円度測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05231806A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1655567A1 (en) | 2004-10-27 | 2006-05-10 | Tokyo Seimitsu Co.,Ltd. | Device for measuring circularity and cylindrical shape |
WO2009004872A1 (ja) | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 |
-
1992
- 1992-02-24 JP JP3638192A patent/JPH05231806A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1655567A1 (en) | 2004-10-27 | 2006-05-10 | Tokyo Seimitsu Co.,Ltd. | Device for measuring circularity and cylindrical shape |
US7290348B2 (en) | 2004-10-27 | 2007-11-06 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd | Device for measuring circularity and cylindrical shape |
CN100350212C (zh) * | 2004-10-27 | 2007-11-21 | 株式会社东京精密 | 用于测量圆度和圆柱形状的装置 |
WO2009004872A1 (ja) | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 |
US7918036B2 (en) | 2007-06-29 | 2011-04-05 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Surface shape measuring apparatus and surface shape measuring method |
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