JPH05227710A - モータの偏心測定装置 - Google Patents
モータの偏心測定装置Info
- Publication number
- JPH05227710A JPH05227710A JP8907791A JP8907791A JPH05227710A JP H05227710 A JPH05227710 A JP H05227710A JP 8907791 A JP8907791 A JP 8907791A JP 8907791 A JP8907791 A JP 8907791A JP H05227710 A JPH05227710 A JP H05227710A
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- Japan
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- nrro
- rro
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 偏位計３の出力のピーク値を検出する第一ピ
ーク検出器４の他に第二ピーク検出器５を設け、両ピー
ク検出器４，５によるピーク値の差を取ることによりＮ
ＲＲＯの値を検出し、且つこの値を差動増幅器10で増幅
してＮＲＲＯの算出を行う。 【効果】 ＲＲＯの値に対して非常に小さいＮＲＲＯの
値を増幅することにより、ＮＲＲＯの最少分解能を良く
し、ＲＲＯの測定と同一ステーションＮＲＲＯの測定が
可能となる。
ーク検出器４の他に第二ピーク検出器５を設け、両ピー
ク検出器４，５によるピーク値の差を取ることによりＮ
ＲＲＯの値を検出し、且つこの値を差動増幅器10で増幅
してＮＲＲＯの算出を行う。 【効果】 ＲＲＯの値に対して非常に小さいＮＲＲＯの
値を増幅することにより、ＮＲＲＯの最少分解能を良く
し、ＲＲＯの測定と同一ステーションＮＲＲＯの測定が
可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置等の
駆動機構に用いられるモータの偏心を測定する装置に関
する。
駆動機構に用いられるモータの偏心を測定する装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置は、磁性体が塗布され
た記録部材である磁気ディスクをスピンドルモータを用
いて回転させ、これに磁気ヘッドを近接させて磁気ディ
スクにデータを書き込み或いは読み取る装置である。こ
の磁気ディスクは、ハブ部材等を介してスピンドルモー
タの回転軸に取り付けられるが、かかる装置に於いては
モータ軸の振れ、所謂モータの偏心を極力防止する必要
がある。それはモータの回転軸に偏心があると、回転時
に磁気ディスクが振れてしまい、データの書き込み時及
び読み取り時に磁気ヘッドが磁気ディスクに接触した
り、所定の位置をアクセス出来なくなるからである。
た記録部材である磁気ディスクをスピンドルモータを用
いて回転させ、これに磁気ヘッドを近接させて磁気ディ
スクにデータを書き込み或いは読み取る装置である。こ
の磁気ディスクは、ハブ部材等を介してスピンドルモー
タの回転軸に取り付けられるが、かかる装置に於いては
モータ軸の振れ、所謂モータの偏心を極力防止する必要
がある。それはモータの回転軸に偏心があると、回転時
に磁気ディスクが振れてしまい、データの書き込み時及
び読み取り時に磁気ヘッドが磁気ディスクに接触した
り、所定の位置をアクセス出来なくなるからである。
【０００３】図４は前記モータの偏心を検出した測定結
果の一例を示すものであり、横軸は時間、縦軸は回転軸
の偏位量を示す。図４からも分かるように、モータの偏
心には所謂繰り返し振れ（Repeatable RunOut 、以下
『ＲＲＯ』という）と、非繰り返し振れ（Non-Repeatab
le RunOut 、以下『ＮＲＲＯ』という）がある。ＲＲＯ
は、モータの１回転毎に繰り返し表れる所定量の振れで
あり、モータ軸の傾き等によって規則的に生ずる。磁気
ディスク装置等に使用するモータにあっては、このＲＲ
Ｏを数十μｍ程度に抑える必要がある。一方、ＮＲＲＯ
は前記ＲＲＯとは別に表れる振れであり、転がり軸受内
の玉の傷や非真円性、或いはベアリングハウジングの形
状誤差等によってランダムに生ずる。このＮＲＲＯがあ
るとデータの書き込み位置と読み出し位置が異なってし
まい、誤ったデータが読み出されてしまう等の不都合が
ある。従って、ＮＲＲＯの発生は極力防止しなければな
らず、発生しても数／10μｍ程度に抑える必要がある。
果の一例を示すものであり、横軸は時間、縦軸は回転軸
の偏位量を示す。図４からも分かるように、モータの偏
心には所謂繰り返し振れ（Repeatable RunOut 、以下
『ＲＲＯ』という）と、非繰り返し振れ（Non-Repeatab
le RunOut 、以下『ＮＲＲＯ』という）がある。ＲＲＯ
は、モータの１回転毎に繰り返し表れる所定量の振れで
あり、モータ軸の傾き等によって規則的に生ずる。磁気
ディスク装置等に使用するモータにあっては、このＲＲ
Ｏを数十μｍ程度に抑える必要がある。一方、ＮＲＲＯ
は前記ＲＲＯとは別に表れる振れであり、転がり軸受内
の玉の傷や非真円性、或いはベアリングハウジングの形
状誤差等によってランダムに生ずる。このＮＲＲＯがあ
るとデータの書き込み位置と読み出し位置が異なってし
まい、誤ったデータが読み出されてしまう等の不都合が
ある。従って、ＮＲＲＯの発生は極力防止しなければな
らず、発生しても数／10μｍ程度に抑える必要がある。
【０００４】従来のＲＲＯの検出は、図４に於ける偏位
量のうち、ピーク値検出回路でピーク値を検出すると共
に、ボトム値検出回路でボトム値を検出し、それぞれの
値をＡ／Ｄ変換して両者の値の差をとることによってＲ
ＲＯの測定を行っている。一方、ＮＲＲＯの検出は、図
４に示す各周期の波形をピークホールドし、これらのデ
ータをＡ／Ｄ変換して処理することによりＮＲＲＯを測
定していた。
量のうち、ピーク値検出回路でピーク値を検出すると共
に、ボトム値検出回路でボトム値を検出し、それぞれの
値をＡ／Ｄ変換して両者の値の差をとることによってＲ
ＲＯの測定を行っている。一方、ＮＲＲＯの検出は、図
４に示す各周期の波形をピークホールドし、これらのデ
ータをＡ／Ｄ変換して処理することによりＮＲＲＯを測
定していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記測定に於いてＲＲ
ＯとＮＲＲＯの測定を同時に行えれば測定ステーション
が１箇所で済むと共に、測定工程を減少させることが出
来るためにコスト的にもメリットがある。しかしＲＲＯ
の値に対してＮＲＲＯの値は非常に小さいために（例え
ば１/100以下）、Ａ／Ｄ変換器の入力をＲＲＯの値に適
合させようとするとＮＲＲＯの値の最少分解能が悪くな
ってしまう。一方、前記Ａ／Ｄ変換器の入力をＮＲＲＯ
の値に適合させると、ＲＲＯの値が大きくなり過ぎてし
まう。このため従来はＲＲＯの測定と、ＮＲＲＯの測定
を別個に行わざるを得なかった。本発明は従来の前記課
題を解決するものであり、その目的とするところは、Ｎ
ＲＲＯの測定をＲＲＯの測定と同時に行うことを可能と
したモータの偏心測定装置を提供することにある。
ＯとＮＲＲＯの測定を同時に行えれば測定ステーション
が１箇所で済むと共に、測定工程を減少させることが出
来るためにコスト的にもメリットがある。しかしＲＲＯ
の値に対してＮＲＲＯの値は非常に小さいために（例え
ば１/100以下）、Ａ／Ｄ変換器の入力をＲＲＯの値に適
合させようとするとＮＲＲＯの値の最少分解能が悪くな
ってしまう。一方、前記Ａ／Ｄ変換器の入力をＮＲＲＯ
の値に適合させると、ＲＲＯの値が大きくなり過ぎてし
まう。このため従来はＲＲＯの測定と、ＮＲＲＯの測定
を別個に行わざるを得なかった。本発明は従来の前記課
題を解決するものであり、その目的とするところは、Ｎ
ＲＲＯの測定をＲＲＯの測定と同時に行うことを可能と
したモータの偏心測定装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の本発明に係る代表的な手段は、モータの軸振れ量を検
出する手段と、前記軸振れ量の基本ピーク値を検出する
第一検出手段と、一定のタイミングで前記軸振れ量のピ
ーク値を検出する第二検出手段と、前記第一検出手段と
第二検出手段の検出結果を差動増幅する増幅手段とを設
けたことを特徴としてなる。
の本発明に係る代表的な手段は、モータの軸振れ量を検
出する手段と、前記軸振れ量の基本ピーク値を検出する
第一検出手段と、一定のタイミングで前記軸振れ量のピ
ーク値を検出する第二検出手段と、前記第一検出手段と
第二検出手段の検出結果を差動増幅する増幅手段とを設
けたことを特徴としてなる。
【０００７】
【作用】前記手段にあっては、モータの軸振れ量を検出
するに際し、軸振れ量の基本ピーク値を検出し、このピ
ーク値と一定のタイミングで検出したピークとを差動増
幅することにより、同一のＡ／Ｄ変換器でＮＲＲＯの最
少分解能をＲＲＯの最少分解能と同等にすることが出来
る。これにより、ＲＲＯの測定と同一ステーションによ
ってＮＲＲＯの測定を精度良く行うことが可能となるも
のである。
するに際し、軸振れ量の基本ピーク値を検出し、このピ
ーク値と一定のタイミングで検出したピークとを差動増
幅することにより、同一のＡ／Ｄ変換器でＮＲＲＯの最
少分解能をＲＲＯの最少分解能と同等にすることが出来
る。これにより、ＲＲＯの測定と同一ステーションによ
ってＮＲＲＯの測定を精度良く行うことが可能となるも
のである。
【０００８】
【実施例】次に前記手段を適用した本発明の実施例につ
いて図１及び図２を参照して説明する。尚、図１は本発
明の一実施例に係るモータの偏心測定装置の概略構成を
示すブロック図であり、図２はモータ軸の偏心量を検出
する各出力波形を示す。図１に於いて、１はハブ部材を
取り付けたスピンドルモータの回転軸であり、この回転
軸１の近傍には該軸１の表面までの距離を測定する静電
容量センサ２が配設されている。このセンサ２は回転軸
１までの距離変化を静電容量変化として電圧値で検出す
るものであり、その検出値を偏位計３へ出力する。
いて図１及び図２を参照して説明する。尚、図１は本発
明の一実施例に係るモータの偏心測定装置の概略構成を
示すブロック図であり、図２はモータ軸の偏心量を検出
する各出力波形を示す。図１に於いて、１はハブ部材を
取り付けたスピンドルモータの回転軸であり、この回転
軸１の近傍には該軸１の表面までの距離を測定する静電
容量センサ２が配設されている。このセンサ２は回転軸
１までの距離変化を静電容量変化として電圧値で検出す
るものであり、その検出値を偏位計３へ出力する。
【０００９】偏位計３は前記静電センサ２からモータの
軸振れ量を測定し、その測定値を２個のピーク検出器、
即ち第一ピーク検出器４と第二ピーク検出器５、及び１
個のボトム検出器６に出力する。比較器７は前記偏位計
３の偏位方向に対応してＣＰＵ８へ矩形波を出力するも
のであり、この出力に応じてＣＰＵ８がピーク検出器
４，５及びボトム検出器６への検出・リセット信号を出
力する。ピーク検出器４，５は前記検出・リセット信号
に応じて偏位計３のピーク値をホールドし、ボトム検出
器６はボトム値をホールドする。差動増幅器９は第二ピ
ーク検出器５のピーク値から第一ピーク検出器４のピー
ク値を差動増幅し、そのアナログ値をＡ／Ｄ変換器10へ
出力する。Ａ／Ｄ変換器10は第一ピーク検出器４、ボト
ム検出器６及び差動増幅器９からのアナログ入力をデジ
タル変換してＣＰＵ８へ出力する。そしてＣＰＵ８は前
記の如く比較器７から出力されるタイミングにより偏位
量をサンプリングし、ＲＲＯ及びＮＲＲＯを算出するも
のである。
軸振れ量を測定し、その測定値を２個のピーク検出器、
即ち第一ピーク検出器４と第二ピーク検出器５、及び１
個のボトム検出器６に出力する。比較器７は前記偏位計
３の偏位方向に対応してＣＰＵ８へ矩形波を出力するも
のであり、この出力に応じてＣＰＵ８がピーク検出器
４，５及びボトム検出器６への検出・リセット信号を出
力する。ピーク検出器４，５は前記検出・リセット信号
に応じて偏位計３のピーク値をホールドし、ボトム検出
器６はボトム値をホールドする。差動増幅器９は第二ピ
ーク検出器５のピーク値から第一ピーク検出器４のピー
ク値を差動増幅し、そのアナログ値をＡ／Ｄ変換器10へ
出力する。Ａ／Ｄ変換器10は第一ピーク検出器４、ボト
ム検出器６及び差動増幅器９からのアナログ入力をデジ
タル変換してＣＰＵ８へ出力する。そしてＣＰＵ８は前
記の如く比較器７から出力されるタイミングにより偏位
量をサンプリングし、ＲＲＯ及びＮＲＲＯを算出するも
のである。
【００１０】次に図２を参照してＲＲＯ及びＮＲＲＯの
測定動作について説明する。尚、この実施例では偏位計
出力の最初の１周期でＲＲＯを測定し、２周期以後の出
力でＮＲＲＯを測定する例を示している。先ずＲＲＯの
測定動作について説明する。比較器７は偏位計出力が
「正」のとき「ハイ」信号を生成し、偏位計出力が
「負」のとき「ロウ」信号を生成する。この比較器出力
が最初に立ち上がるとき、第一ピーク検出器４の値をリ
セットし、該ピーク検出器４によって偏位計３のピーク
値をホールドする。また比較器出力が最初に立ち下がる
とき、ボトム検出器６の値をリセットし、該ボトム検出
器６によって偏位計３のボトム値をホールドする。これ
らピーク値及びボトム値はＡ／Ｄ変換器10へ出力され、
ピーク値は比較器出力が最初に立ち下がるときにデジタ
ル値に変換され、ボトム値は比較器出力が２回目に立ち
上がるときにデジタル値に変換される。これらデジタル
値はＣＰＵ８へ出力され、ＣＰＵ８がピーク値とボトム
値の差を算出してＲＲＯの値を算出する。尚、前記ピー
ク値とボトム値は測定終了までホールドされ、前記ピー
ク値は基本ピーク値として後述するＮＲＲＯの測定に使
用される。
測定動作について説明する。尚、この実施例では偏位計
出力の最初の１周期でＲＲＯを測定し、２周期以後の出
力でＮＲＲＯを測定する例を示している。先ずＲＲＯの
測定動作について説明する。比較器７は偏位計出力が
「正」のとき「ハイ」信号を生成し、偏位計出力が
「負」のとき「ロウ」信号を生成する。この比較器出力
が最初に立ち上がるとき、第一ピーク検出器４の値をリ
セットし、該ピーク検出器４によって偏位計３のピーク
値をホールドする。また比較器出力が最初に立ち下がる
とき、ボトム検出器６の値をリセットし、該ボトム検出
器６によって偏位計３のボトム値をホールドする。これ
らピーク値及びボトム値はＡ／Ｄ変換器10へ出力され、
ピーク値は比較器出力が最初に立ち下がるときにデジタ
ル値に変換され、ボトム値は比較器出力が２回目に立ち
上がるときにデジタル値に変換される。これらデジタル
値はＣＰＵ８へ出力され、ＣＰＵ８がピーク値とボトム
値の差を算出してＲＲＯの値を算出する。尚、前記ピー
ク値とボトム値は測定終了までホールドされ、前記ピー
ク値は基本ピーク値として後述するＮＲＲＯの測定に使
用される。
【００１１】次にＮＲＲＯの測定動作について説明す
る。比較器出力が２回目以降に立ち上がる毎に、第二ピ
ーク検出器４の値をリセットし、それ以後の各偏位計周
期のピーク値を第二ピーク検出器５によってホールドす
る。この検出値は差動増幅器９へ出力され、差動増幅器
９が前記ピーク値とＲＲＯ測定時に差動増幅器９へ出力
された第一検出器４の基本ピーク値の差を取ると共に、
その値（アナログ値）を増幅してＡ／Ｄ変換器10へ出力
する。この差動増幅器９の出力が偏位計出力におけるピ
ークのＮＲＲＯの値である。Ａ／Ｄ変換器10は比較器出
力が２回目以降に立ち下がる毎に、前記入力値をデジタ
ル値に変換してＣＰＵ８へ出力する。ＣＰＵ８は前記の
如くして入力した値の平均値を算出してＮＲＲＯの値を
算出する。
る。比較器出力が２回目以降に立ち上がる毎に、第二ピ
ーク検出器４の値をリセットし、それ以後の各偏位計周
期のピーク値を第二ピーク検出器５によってホールドす
る。この検出値は差動増幅器９へ出力され、差動増幅器
９が前記ピーク値とＲＲＯ測定時に差動増幅器９へ出力
された第一検出器４の基本ピーク値の差を取ると共に、
その値（アナログ値）を増幅してＡ／Ｄ変換器10へ出力
する。この差動増幅器９の出力が偏位計出力におけるピ
ークのＮＲＲＯの値である。Ａ／Ｄ変換器10は比較器出
力が２回目以降に立ち下がる毎に、前記入力値をデジタ
ル値に変換してＣＰＵ８へ出力する。ＣＰＵ８は前記の
如くして入力した値の平均値を算出してＮＲＲＯの値を
算出する。
【００１２】前記第二検出器５と第一検出器４とで検出
されるＮＲＲＯの値はＲＲＯの値に対して非常に小さ
い。本実施例ではこのＮＲＲＯの値を増幅することによ
り（例えばＲＲＯ値／ＮＲＲＯ値として約 100倍程
度）、Ａ／Ｄ変換器10によるＮＲＲＯの最少分解能をＲ
ＲＯの最少分解能と同等にする。これによってＲＲＯを
検出するＡ／Ｄ変換器10によってＮＲＲＯの最少分解能
を高めた状態で検出することが可能となるものである。
されるＮＲＲＯの値はＲＲＯの値に対して非常に小さ
い。本実施例ではこのＮＲＲＯの値を増幅することによ
り（例えばＲＲＯ値／ＮＲＲＯ値として約 100倍程
度）、Ａ／Ｄ変換器10によるＮＲＲＯの最少分解能をＲ
ＲＯの最少分解能と同等にする。これによってＲＲＯを
検出するＡ／Ｄ変換器10によってＮＲＲＯの最少分解能
を高めた状態で検出することが可能となるものである。
【００１３】尚、前述した実施例ではＲＲＯの測定を偏
位計出力の最初の１周期で１回測定するようにしたが、
複数回測定してその平均値を取るようにしても良い。例
えば図３のタイミングチャートに示すように比較器出力
の立ち上がりのとき、第一ピーク検出器４の値をリセッ
トし、該ピーク検出器４によって偏位計３のピーク値を
ホールドする。また比較器出力が立ち下がるとき、ボト
ム検出器６の値をリセットし、該ボトム検出器６によっ
て偏位計３のボトム値をホールドする。これらピーク値
及びボトム値をＡ／Ｄ変換器10へ出力し、ピーク値は比
較器出力の立ち下がるときにデジタル値に変換し、ボト
ム値は比較器出力が立ち上がるときにデジタル値に変換
する。これらデジタル値をＣＰＵ８へ出力し、ＣＰＵ８
が各周期のピーク値とボトム値の差を算出すると共に、
その平均値を算出するようにしても良い。このようにす
ると、ＲＲＯの値がより正確に算出し得る。
位計出力の最初の１周期で１回測定するようにしたが、
複数回測定してその平均値を取るようにしても良い。例
えば図３のタイミングチャートに示すように比較器出力
の立ち上がりのとき、第一ピーク検出器４の値をリセッ
トし、該ピーク検出器４によって偏位計３のピーク値を
ホールドする。また比較器出力が立ち下がるとき、ボト
ム検出器６の値をリセットし、該ボトム検出器６によっ
て偏位計３のボトム値をホールドする。これらピーク値
及びボトム値をＡ／Ｄ変換器10へ出力し、ピーク値は比
較器出力の立ち下がるときにデジタル値に変換し、ボト
ム値は比較器出力が立ち上がるときにデジタル値に変換
する。これらデジタル値をＣＰＵ８へ出力し、ＣＰＵ８
が各周期のピーク値とボトム値の差を算出すると共に、
その平均値を算出するようにしても良い。このようにす
ると、ＲＲＯの値がより正確に算出し得る。
【００１４】また前述した如くＲＲＯの測定を偏位計出
力周波数で区別するのではなく、ＲＲＯの測定とＮＲＲ
Ｏの測定とを時間的に区別し、例えば最初の１秒間はＲ
ＲＯの算出を行い、次の１秒間はＮＲＲＯの算出をする
ようにしても良い。
力周波数で区別するのではなく、ＲＲＯの測定とＮＲＲ
Ｏの測定とを時間的に区別し、例えば最初の１秒間はＲ
ＲＯの算出を行い、次の１秒間はＮＲＲＯの算出をする
ようにしても良い。
【００１５】
【発明の効果】本発明は前述した如く、ＮＲＲＯの算出
に際し、モータの軸振れ量を検出するに際し、軸振れ量
の基本ピーク値を検出し、このピーク値と一定のタイミ
ングで検出したピークとを差動増幅することにより、同
一のＡ／Ｄ変換器でＮＲＲＯの最少分解能をＲＲＯの最
少分解能と同等にすることが出来る。従って、ＲＲＯの
測定と同一ステーションによってＮＲＲＯの算出を精度
良く行うことが出来る。また本発明の測定装置によれば
ＲＲＯの測定とＮＲＲＯの測定とを略同時に出来るため
に検出工程を減少させ、コストダウンを図ることが出来
るものである。
に際し、モータの軸振れ量を検出するに際し、軸振れ量
の基本ピーク値を検出し、このピーク値と一定のタイミ
ングで検出したピークとを差動増幅することにより、同
一のＡ／Ｄ変換器でＮＲＲＯの最少分解能をＲＲＯの最
少分解能と同等にすることが出来る。従って、ＲＲＯの
測定と同一ステーションによってＮＲＲＯの算出を精度
良く行うことが出来る。また本発明の測定装置によれば
ＲＲＯの測定とＮＲＲＯの測定とを略同時に出来るため
に検出工程を減少させ、コストダウンを図ることが出来
るものである。
【図１】本発明の一実施例に係るモータの偏心測定装置
の概略説明図である。
の概略説明図である。
【図２】本発明の一実施例に係るモータの偏心測定装置
によってＲＲＯ及びＮＲＲＯの測定を行うタイミングチ
ャートである。
によってＲＲＯ及びＮＲＲＯの測定を行うタイミングチ
ャートである。
【図３】ＲＲＯの値を複数回検出する場合のタイミング
チャートである。
チャートである。
【図４】従来技術の説明図である。
１…回転軸 ２…静電センサ ３…偏位計 ４…第一ピーク検出器 ５…第二ピーク検出器 ６…ボトム検出器 ７…比較器 ８…ＣＰＵ ９…差動増幅器 10…Ａ／Ｄ変換器
Claims (1)
- 【請求項１】 モータの軸振れ量を検出する手段と、前
記軸振れ量の基本ピーク値を検出する第一検出手段と、
一定のタイミングで前記軸振れ量のピーク値を検出する
第二検出手段と、前記第一検出手段と第二検出手段の検
出結果を差動増幅する増幅手段と、を具備することを特
徴としたモータの偏心測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8907791A JPH05227710A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | モータの偏心測定装置 |
| US07/856,258 US5365458A (en) | 1991-03-29 | 1992-03-25 | Motor eccentricity measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8907791A JPH05227710A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | モータの偏心測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05227710A true JPH05227710A (ja) | 1993-09-03 |
Family
ID=13960800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8907791A Withdrawn JPH05227710A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | モータの偏心測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05227710A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7193730B2 (en) | 2004-09-16 | 2007-03-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Eccentricity measuring instrument of polygon-mirror motor |
| US7460249B2 (en) | 2004-11-02 | 2008-12-02 | Panasonic Corporation | Measuring instrument of polygon-mirror motor |
| DE102016005889A1 (de) | 2015-05-19 | 2016-11-24 | Fanuc Corporation | Wellengenauigkeitsmessvorrichtung zum Messen der Genauigkeit einer Abtriebswelle eines Motors |
| DE102017203818A1 (de) | 2016-03-11 | 2017-09-14 | Fanuc Corporation | Einrichtung zur automatischen messung der präzision einer welle für einen motor |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP8907791A patent/JPH05227710A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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