JPH0522747Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、乱流式クリーンルームに用いる空気
吹出口に関するものであり、特に、限定されたエ
リアを重点的に清浄化する機能を持つ空気吹出口
に係るものである。

［従来の技術］ 一般に、クリーンルームの換気は、天井に設置
された空気吹出口から清浄な空気を送り出すこと
によつて行われている。

例えば、乱流式のクリーンルームの場合、空気
吹出口から清浄空気を吹出して室内に攪拌効果を
起こし、塵埃濃度のムラを防ぎつつ、この濃度を
希釈していく。このような乱流式のクリーンルー
ムの空気吹出口としては、単に垂直下方へのみ吹
き出す一般的なタイプではあまり攪拌性能が良く
ないので、第３図に示すような垂直吹出と共に天
井面に水平吹出する吹出口１や、第４図に示すよ
うな斜め方向に吹出す吹出口２が提案されてい
る。

ところで、このような従来技術において、吹出
気流に方向を与えるためには、次の二種類の方法
が知られている。一つは、吹出口に設置されるフ
エイスのパンチングプレートの抵抗を大きくする
ことにより、チヤンバ内部の静圧を高め、その圧
力で空気をフエイスの法線方向へ押し出す方法で
あり、もう一つは、気流の勢いを殺さずにガイド
ベーンなどで曲げる方法である。ここでは前者を
静圧型と呼び、後者を動圧型と呼ぶ。

［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、以上のような空気吹出口には、
次のような課題が指摘されている。すなわち、ク
リーンルーム内全体を攪拌、希釈するためには前
記の従来技術が用いられていたが、室内の限定さ
れたエリアを重点的に清浄するという用途には応
えていないという課題であつた。

例えば、第５図に示すように、動圧型の吹出口
８は、吹出面に同心円ベーン７を取付け、気流を
円錐状に広げようとするものであるが、清浄空気
を吹出す際、一定の方向を与えられた数本の冠状
の噴流と、それらに挟まれた逆流ぎみのデツドゾ
ーンとが生じる。このようなデツドゾーンの中へ
入つた塵埃は排出されるのに時間がかかるので、
気流を広げた意味が無くなつてしまう。そこで、
この噴流自体を拡散するため、同心円ベーン７下
の吹出面にパンチングプレート９を取付ける工夫
がなされることが多いが、この場合、パンチング
プレート９の開口率が大き過ぎると拡散効果が生
ぜず、逆に開口率が小さ過ぎると広がらずに真下
にしかでないという現象が起こる。

一方、静圧型の吹出口の場合は、気流が真下に
しか出ず拡散効果が低く、特に清浄度を要する製
造ラインなどがあつた場合は、その頭上に吹出口
を密に並べる必要があり、コスト高となつてい
た。

また、動圧型と静圧型の折衷的な気流の広がり
状態を作つたとしても、方向による速度差がかな
り残つているので、逆流ぎみのデツドゾーンを無
くすことにはならない。一方、パンチングプレー
トの開口率の選定によつて気流の速度差を小さく
すれば、気流は垂直一方向にしか出ず、また、速
度差を大きくすれば、気流のデツドゾーンが生ま
れるという矛盾があつた。

このように、従来の吹出口では、円錐内に均等
に吹出すことは出来なかつた。

ところで、実開昭62−105449号記載の考案は、
吹出面を曲面として改善を図つているものの、速
度の均一性についてはそれほど重視されていなか
つた。この考案は、吹出口内部を内周と外周に分
割している円錐状のバツフル板を備え、このバツ
フル板に案内されて斜め方向に速い気流が出るた
め、巨視的には円錐状に気流が広がつていること
になるが、円錐内部での気流分布は均一ではな
い。速い気流が存在すれば、その両側には誘引ぎ
みのデツドゾーンが生じ、静圧型と動圧型の折衷
の矛盾から抜け出るには至つていなかつた。

以上のように、従来からの空気吹出口によれ
ば、吹出気流速度の均一性が十分でないため、所
定エリアを速やかに清浄空気で覆うことが困難だ
つた。

本考案の限定エリア均一型空気吹出口は、この
ような従来技術の課題を解決するために提案され
たものであり、その目的は、限定エリアを清浄空
気で均一に覆うことができる優れた限定エリア均
一型空気吹出口を提供することである。

［課題を解決するための手段］ 以上のような課題を解決するために、本考案の
限定エリア均一型空気吹出口は、 空気清浄用のフイルタが内蔵された吹出口本体
の下端に取付けられるチヤンバが天井面に埋設さ
れ、 このチヤンバ内に、吹出孔が設置された略半球
状の吹出面が、天井面から大きく突き出ない程度
に下方に突出して設けられ、 この吹出面の内部に、気流を大まかに拡散する
よう吹出面から一定の距離を保つて前段拡散部材
が設置されることを特徴とする。

［作用］ 上記のような構成を有する本考案の作用は次の
とおりである。

すなわち、清浄空気は、まず前段拡散部材に当
たり、大まかに拡散される。この拡散された空気
は、略半球状の吹出面に当たり、吹出孔から均一
に吹出されていく。この時、この空気は吹出面の
法線方向へ放散していく。

そして、この空気は、吹出面から円周方向の特
性差が出ない様吹出し、上から下へ所定の拡散角
度を持ちつつ微風速で一様に流れ、所定エリアを
清浄空気で覆う。このとき、クリーンルーム内に
おいて作業員等の動きが少ない場合、発塵はその
まま下方へ排出されるので、このエリアは汚染さ
れにくい。また、作業員等の動きが激しい場合で
も、このエリアの中では希釈度が比較的高い。

さらに、本考案は、吹出面が天井面から突き出
ないように設置されているため、クリーンルーム
内での作業に支障がなく、デザイン的にも優美で
ある。また、本考案は従来例と比べて広いエリア
をカバーすることができ、吹出口の間隔を大きく
とり、設置数及び総風量を削減させコストダウン
を図ることが可能である。

［実施例］ 以上説明したような本考案の一実施例を図面に
基いて具体的に説明する。

〓実施例の構成〓 第１図に示すように、限定エリア均一型空気吹
出口３は、クリーンルームの天井面ｃにチヤンバ
４が埋設されている。このチヤンバ４は、空気清
浄用のフイルタが内蔵された吹出口の本体下端部
に取付けられ、円錐台形の開口部を有しており、
外縁部４ａが天井面ｃに固定されている。

チヤンバ４の開口部には真球の一部の形状とな
る吹出面５が、下向きに設置されており、その上
方には、吹出面５と同心状の前段拡散板６が設け
られている。吹出面５は、抵抗の大きいパンチン
グメタルから構成され、一方、前段拡散板６は比
較的開口率の大きなパンチングメタルから構成さ
れる。

〓実施例の作用〓 以上のような構成を有する本実施例の作用は次
のとおりである。

すなわち、空気清浄用のフイルタを通過した空
気は、チヤンバ４の開口部に吹出される。そし
て、前段拡散板６に当たり、比較的小さな抵抗を
受けて大まかに拡散される。さらにこの空気は吹
出面５に供給され、パンチングメタルの吹出孔か
ら均一な風速で放散していく。この放散整流はフ
エイスの法線方向の開き角度θに沿つて所定のエ
リアに微風速で放散していく。

この放散整流に乗せて塵埃を下方に押し流し、
限定エリアの清浄度を急速に回復させる。

〓他の実施例〓 本考案は上記のような実施例に限定されるもの
ではなく、吹出面を構成するものとして、抵抗が
大きければ、網で受けた布や或いは布のみで構成
されてもよく、また、前段拡散板にしても、第２
図に示すような同心円ベーン７を使用してもよ
い。

［考案の効果］ 以上述べたように、本考案の限定エリア均一型
空気吹出孔は、天井面にチヤンバを埋め、このチ
ヤンバ内に略半球状の吹出面及び前段拡散部材を
備えるという簡単な構成により、限定されたエリ
アに清浄空気の放散整流を吹出して急速に塵埃を
排除する優れた限定エリア均一型空気吹出口を提
供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａ〜Ｃは、本実施例の斜視図、断面図及
び平面図であり、第２図は他の実施例の断面図、
第３図、第４図は従来例を示す側面図、第５図は
従来例の側面断面図である。 １，２……吹出口、３……限定エリア均一型空
気吹出口、４……チヤンバ、５……吹出面、６…
…均一拡散板、７……同心円ベーン、８……吹出
口、９……パンチングプレート。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 空気清浄用のフイルタが内蔵された吹出口本体
   の下端又は清浄空気が送られてくるダクトの末端
   に取付けられるチヤンバが天井面に埋設され、 このチヤンバ内に、吹出孔が設置された略半球
   状の吹出面が、天井面から大きく突き出ないよう
   に設けられ、 この吹出面の内部に、吹出面全面に大まかに気
   流を拡散するよう吹出面から一定の距離を保つて
   均一拡散部材が設置されることを特徴とする限定
   エリア均一型空気吹出口。