JPH05225938A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH05225938A JPH05225938A JP4056871A JP5687192A JPH05225938A JP H05225938 A JPH05225938 A JP H05225938A JP 4056871 A JP4056871 A JP 4056871A JP 5687192 A JP5687192 A JP 5687192A JP H05225938 A JPH05225938 A JP H05225938A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- electron beam
- shutter plate
- shutter
- piezo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 構造が簡単で小形であり、シャッタ板を駆動
しても振動の発生を防ぎ得るシャッタ装置を備えた電子
顕微鏡を提供する。 【構成】 制御回路９よりの制御信号に基づいて圧電素
子駆動回路８より圧電素子６に電圧を印加し、圧電素子
６を曲げると、テコ体３は右向きに微小量移動する。こ
の移動はテコ体３のピン４の回りの回転により拡大して
シャッタ板５に伝達され、シャッタ板５は電子線通過孔
２を閉じる動作を行う。圧電素子６の逆向きの電圧を印
加すると、素子６は逆向きに変形して電子線通過孔２は
開放され、写真撮影が行われるが、小型でシャッタ板５
の開閉動作に振動を伴わないため、良質の撮影像が得ら
れる。
しても振動の発生を防ぎ得るシャッタ装置を備えた電子
顕微鏡を提供する。 【構成】 制御回路９よりの制御信号に基づいて圧電素
子駆動回路８より圧電素子６に電圧を印加し、圧電素子
６を曲げると、テコ体３は右向きに微小量移動する。こ
の移動はテコ体３のピン４の回りの回転により拡大して
シャッタ板５に伝達され、シャッタ板５は電子線通過孔
２を閉じる動作を行う。圧電素子６の逆向きの電圧を印
加すると、素子６は逆向きに変形して電子線通過孔２は
開放され、写真撮影が行われるが、小型でシャッタ板５
の開閉動作に振動を伴わないため、良質の撮影像が得ら
れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子顕微鏡に関し、特に
電子線の通過を機械的なシャッタにより制御するように
した電子顕微鏡に関する。
電子線の通過を機械的なシャッタにより制御するように
した電子顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子顕微鏡により試料を観察して所望の
撮影視野を選択した後、その視野の写真撮影を行うこと
が行われている。この写真撮影において、フィルムを所
望時間露光するためシャッタ装置が備えられている。
撮影視野を選択した後、その視野の写真撮影を行うこと
が行われている。この写真撮影において、フィルムを所
望時間露光するためシャッタ装置が備えられている。
【０００３】従来のこのようなシャッタ装置として、電
磁石によってシャッタ板の開閉動作を行うようにしたも
のや、ガス圧で駆動されるアクチュエータによってシャ
ッタ板の開閉動作を行うようにしたものがある。
磁石によってシャッタ板の開閉動作を行うようにしたも
のや、ガス圧で駆動されるアクチュエータによってシャ
ッタ板の開閉動作を行うようにしたものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したように従来装
置においては、装置が複雑で且つ大形となり、そのた
め、シャッタ板を駆動すると振動が発生し、撮影された
電子顕微鏡像の像質がこの振動の影響を受けて不充分と
なる場合があった。
置においては、装置が複雑で且つ大形となり、そのた
め、シャッタ板を駆動すると振動が発生し、撮影された
電子顕微鏡像の像質がこの振動の影響を受けて不充分と
なる場合があった。
【０００５】本発明はこのような従来の問題を解決し、
構造が簡単で小形であり、シャッタ板を駆動しても振動
の発生を防ぎ得るシャッタ装置を備えた電子顕微鏡を提
供することを目的としている。
構造が簡単で小形であり、シャッタ板を駆動しても振動
の発生を防ぎ得るシャッタ装置を備えた電子顕微鏡を提
供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そのため本発明は、電子
線通過孔を有するアパーチャ板と、該電子線通過孔を開
閉するためのシャッタ板と、該シャッタ板を支点の回り
に回転させるためのテコ体と、該テコ体の力点に接続さ
れた圧電素子と、該圧電素子への電圧の印加を制御して
前記シャッタ板による前記開閉動作を行うための制御電
源とを備え、前記圧電素子の変形に基づく前記力点の微
小移動を前記テコ体により拡大して前記シャッタ板に伝
達させるようにした電子顕微鏡を特徴としている。
線通過孔を有するアパーチャ板と、該電子線通過孔を開
閉するためのシャッタ板と、該シャッタ板を支点の回り
に回転させるためのテコ体と、該テコ体の力点に接続さ
れた圧電素子と、該圧電素子への電圧の印加を制御して
前記シャッタ板による前記開閉動作を行うための制御電
源とを備え、前記圧電素子の変形に基づく前記力点の微
小移動を前記テコ体により拡大して前記シャッタ板に伝
達させるようにした電子顕微鏡を特徴としている。
【０００７】
【作用】テコ体に接続された圧電素子を駆動すると、圧
電素子の変形によりテコ体の力点が微小移動する。この
力点の微小移動をテコ体により拡大して前記シャッタ板
に伝達するため、制御電源により圧電素子を駆動すると
電子線通過孔を開閉するための両位置間をシャッタ板が
移動し、シャッタの開閉がなされる。
電素子の変形によりテコ体の力点が微小移動する。この
力点の微小移動をテコ体により拡大して前記シャッタ板
に伝達するため、制御電源により圧電素子を駆動すると
電子線通過孔を開閉するための両位置間をシャッタ板が
移動し、シャッタの開閉がなされる。
【０００８】
【実施例】以下、図面に基づき本発明の一実施例を詳述
する。
する。
【０００９】図１において、１はアパーチャ板であり、
アパーチャ板１には電子線通過孔２が設けられている。
アパーチャ板１にはテコ体３が支点となるピン４の回り
に回転可能に取り付けられている。テコ体３の一端には
シャッタ板５が取り付けられている。テコ体３の力点と
なる他端はバイモルフ型圧電素子６の一端に接続されて
いる。圧電素子６の他端は前記アパーチャ板１の一端に
固定部材７によって取り付けられている。圧電素子６を
駆動するため圧電素子駆動回路８が設けられている。圧
電素子駆動回路８による駆動を制御するため制御回路９
が設けられている。バイモルフ型圧電素子６の曲がりに
よる微小なテコ体の力点の移動を拡大して前記シャッタ
板の移動に伝達するため、前記力点と前記ピン４（支
点）間の距離はピン４とシャッタ板５間の距離の１／１
０程度に設定されている。
アパーチャ板１には電子線通過孔２が設けられている。
アパーチャ板１にはテコ体３が支点となるピン４の回り
に回転可能に取り付けられている。テコ体３の一端には
シャッタ板５が取り付けられている。テコ体３の力点と
なる他端はバイモルフ型圧電素子６の一端に接続されて
いる。圧電素子６の他端は前記アパーチャ板１の一端に
固定部材７によって取り付けられている。圧電素子６を
駆動するため圧電素子駆動回路８が設けられている。圧
電素子駆動回路８による駆動を制御するため制御回路９
が設けられている。バイモルフ型圧電素子６の曲がりに
よる微小なテコ体の力点の移動を拡大して前記シャッタ
板の移動に伝達するため、前記力点と前記ピン４（支
点）間の距離はピン４とシャッタ板５間の距離の１／１
０程度に設定されている。
【００１０】このような構成において、最初の状態にお
いては、図２に示すように圧電素子６には電圧が印加さ
れていない。この状態では、圧電素子６は図３（ａ）に
示すように変形していず、電子線通過孔２は開かれてい
る。次に写真撮影を行うため、制御回路９より圧電素子
駆動回路８に駆動信号を送ると、圧電素子６に正の電圧
が印加され、圧電素子６は図３（ｂ）に示すように図中
右側に曲がる。この曲がりによってテコ体３の力点は右
向きに微小量（例えば、数100 μｍ）移動するが、この
移動はテコ体３により拡大してシャッタ板５に伝達され
るため、シャッタ板５は左向きに数ｍｍ移動し、電子線
通過孔２を覆う。その結果、電子線通過孔２は閉じら
れ、この閉じられている期間にフィルムへの露光が行い
得るように準備が行われる。次に、制御回路９よりの制
御信号が圧電素子駆動回路８に送られ、圧電素子駆動回
路８より圧電素子６に図２に示すように負電圧が印加さ
れる。その結果、圧電素子６は図１において左向きに曲
がり、シャッタ板５は電子線通過孔２を開く位置に移動
する。その結果、電子線通過孔２を通過した電子線がフ
ィルムに照射され、電子顕微鏡像の露光が行われる。次
に、制御回路９よりの制御信号に基づいて圧電素子６に
正の電圧が印加され、その結果、シャッタ板５は図３
（ｂ）に示すように再び電子線通過孔２を閉じる。この
閉じた期間に電子顕微鏡像が露光されたフィルムは非露
光位置に移送される。この後、圧電素子６に一旦負電圧
が印加された後、圧電素子６に印加された電圧は解除さ
れる。その結果、図３（ａ）の状態に戻り、電子線通過
孔２が開かれる。
いては、図２に示すように圧電素子６には電圧が印加さ
れていない。この状態では、圧電素子６は図３（ａ）に
示すように変形していず、電子線通過孔２は開かれてい
る。次に写真撮影を行うため、制御回路９より圧電素子
駆動回路８に駆動信号を送ると、圧電素子６に正の電圧
が印加され、圧電素子６は図３（ｂ）に示すように図中
右側に曲がる。この曲がりによってテコ体３の力点は右
向きに微小量（例えば、数100 μｍ）移動するが、この
移動はテコ体３により拡大してシャッタ板５に伝達され
るため、シャッタ板５は左向きに数ｍｍ移動し、電子線
通過孔２を覆う。その結果、電子線通過孔２は閉じら
れ、この閉じられている期間にフィルムへの露光が行い
得るように準備が行われる。次に、制御回路９よりの制
御信号が圧電素子駆動回路８に送られ、圧電素子駆動回
路８より圧電素子６に図２に示すように負電圧が印加さ
れる。その結果、圧電素子６は図１において左向きに曲
がり、シャッタ板５は電子線通過孔２を開く位置に移動
する。その結果、電子線通過孔２を通過した電子線がフ
ィルムに照射され、電子顕微鏡像の露光が行われる。次
に、制御回路９よりの制御信号に基づいて圧電素子６に
正の電圧が印加され、その結果、シャッタ板５は図３
（ｂ）に示すように再び電子線通過孔２を閉じる。この
閉じた期間に電子顕微鏡像が露光されたフィルムは非露
光位置に移送される。この後、圧電素子６に一旦負電圧
が印加された後、圧電素子６に印加された電圧は解除さ
れる。その結果、図３（ａ）の状態に戻り、電子線通過
孔２が開かれる。
【００１１】このようにすれば、シャッタ装置部分の構
造を簡単で小形なものとすることができ、その結果、シ
ャッタ板を駆動に伴う振動の発生を防ぐことができる。
従って、撮影された電子顕微鏡像への振動の影響を抑え
ることができ、撮影像の像質を向上させることができ
る。
造を簡単で小形なものとすることができ、その結果、シ
ャッタ板を駆動に伴う振動の発生を防ぐことができる。
従って、撮影された電子顕微鏡像への振動の影響を抑え
ることができ、撮影像の像質を向上させることができ
る。
【００１２】上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎ
ず、変形して実施することができる。 例えば、上述し
た実施例においては、撮影の終了後、電子線通過孔２を
開放するため、正電圧を印加した状態から一旦負電圧を
圧電素子に印加する状態を経由した後、圧電素子への電
圧の印加を解除するようにしたが、正電圧を印加した状
態から直ちに電圧解除状態に移行するようにしても良
い。
ず、変形して実施することができる。 例えば、上述し
た実施例においては、撮影の終了後、電子線通過孔２を
開放するため、正電圧を印加した状態から一旦負電圧を
圧電素子に印加する状態を経由した後、圧電素子への電
圧の印加を解除するようにしたが、正電圧を印加した状
態から直ちに電圧解除状態に移行するようにしても良
い。
【００１３】また、上述した実施例においては、圧電素
子としてバイモルフ型の圧電素子を使用したが、剪断変
形型の圧電素子を使用するようにしても良い。
子としてバイモルフ型の圧電素子を使用したが、剪断変
形型の圧電素子を使用するようにしても良い。
【００１４】
【発明の効果】本発明に基づく電子顕微鏡によれば、シ
ャッタ装置部分の構造を簡単で小形なものとすることが
でき、その結果、シャッタ板の駆動に伴う振動の発生を
防ぐことができる。従って、本発明により撮影時に振動
の影響を受けない良質な撮影像を得ることができる電子
顕微鏡が提供できる。
ャッタ装置部分の構造を簡単で小形なものとすることが
でき、その結果、シャッタ板の駆動に伴う振動の発生を
防ぐことができる。従って、本発明により撮影時に振動
の影響を受けない良質な撮影像を得ることができる電子
顕微鏡が提供できる。
【図１】本発明の一実施例を示すためのものである。
【図２】圧電素子への印加電圧と電子線通過孔の開閉を
示すタイミング図である。
示すタイミング図である。
【図３】本発明の一実施例の動作を説明するための図で
ある。
ある。
１ アパーチャ板 ２ 電子線通過孔 ３ テコ体 ４ ピン ５ シャッタ板 ６ 圧電素子 ７ 固定部材 ８ 圧電素子駆動回路 ９ 制御回路
Claims (1)
- 【請求項１】 電子線通過孔を有するアパーチャ板と、
該電子線通過孔を開閉するためのシャッタ板と、該シャ
ッタ板を支点の回りに回転させるためのテコ体と、該テ
コ体の力点に接続された圧電素子と、該圧電素子への電
圧の印加を制御して前記シャッタ板による前記開閉動作
を行うための制御電源とを備え、前記圧電素子の変形に
基づく前記力点の微小移動を前記テコ体により拡大して
前記シャッタ板に伝達させるようにした電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4056871A JPH05225938A (ja) | 1992-02-07 | 1992-02-07 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4056871A JPH05225938A (ja) | 1992-02-07 | 1992-02-07 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05225938A true JPH05225938A (ja) | 1993-09-03 |
Family
ID=13039492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4056871A Withdrawn JPH05225938A (ja) | 1992-02-07 | 1992-02-07 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05225938A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008311136A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡のシャッタ装置 |
| WO2018092946A1 (ko) * | 2016-11-18 | 2018-05-24 | 한국표준과학연구원 | 벤딩 피에조 액추에이터를 이용한 원자빔 셔터 |
-
1992
- 1992-02-07 JP JP4056871A patent/JPH05225938A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008311136A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡のシャッタ装置 |
| WO2018092946A1 (ko) * | 2016-11-18 | 2018-05-24 | 한국표준과학연구원 | 벤딩 피에조 액추에이터를 이용한 원자빔 셔터 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |