JP5043526B2 - 電子顕微鏡のシャッタ装置 - Google Patents
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- H01J2237/04—Means for controlling the discharge
- H01J2237/043—Beam blanking
Description
電子顕微鏡の電子線通路に設けられ、電子線の通過を機械的に制御するシャッタ装置であって、
電子線通過孔を有するアパーチャ板と、該電子線通過孔を開閉するためのシャッタ板と、該シャッタ板を支点の周りに回転させるためのテコ体と、該テコ体の力点に接続された第1の圧電素子と、該第1の圧電素子を保持するための固定部材と、第1の圧電素子への電圧の印加を制御して前記シャッタ板による前記開閉動作を行うための制御電源とを備えたシャッタ装置において、
該第1の圧電素子と対称の位置に配置されて且つ電圧が印加されたとき該第1の圧電素子が変形する方向と反対方向に変形するように該固定部材に保持された第2の圧電素子と、該第2の圧電素子の先端に取り付けられた前記シャッタ板と同等の慣性質量を有する重りとを備え、
前記シャッタ板による前記電子線通過孔の開閉動作を行う時、前記第1の圧電素子と前記第2の圧電素子に同時に電圧を印加して、前記第1の圧電素子と前記第2の圧電素子が常に逆方向に動くよう駆動し、前記シャッタ板の駆動時に発生する振動を前記重りの振動で打ち消すようにしたことを特徴とする。
電子線通過孔を有するアパーチャ板と、該電子線通過孔を開閉するためのシャッタ板と、該シャッタ板を支持する第1の圧電素子と、該第1の圧電素子を保持するための固定部材と、第1の圧電素子への電圧の印加を制御して前記シャッタ板による前記開閉動作を行うための制御電源とを備えたシャッタ装置において、
該第1の圧電素子と対称の位置に配置されて且つ電圧が印加されたとき該第1の圧電素子が変形する方向と反対方向に変形するように該固定部材に保持された第2の圧電素子と、該第2の圧電素子の先端に取り付けられた前記シャッタ板と同等の慣性質量を有する重りとを備え、
前記シャッタ板による前記電子線通過孔の開閉動作を行う時、前記第1の圧電素子と前記第2の圧電素子に同時に電圧を印加して、前記第1の圧電素子と前記第2の圧電素子が常に逆方向に動くよう駆動し、前記シャッタ板の駆動時に発生する振動を前記重りの振動で打ち消すようにしたことを特徴とする。
21、41 アパーチャ板
22、42 電子線通過孔
23、43 テコ体
3a、23a 力点
24 ピン
25、45 シャッタ板
6、26a、26b、46a、46b 圧電素子
7、27、47 固定部材
8、28、48 圧電素子駆動回路
9、29,49 制御回路
27a、27b、47a、47b 取付け部
100、200、300 シャッタ装置
Claims (2)
- 電子顕微鏡の電子線通路に設けられ、電子線の通過を機械的に制御するシャッタ装置であって、
電子線通過孔を有するアパーチャ板と、該電子線通過孔を開閉するためのシャッタ板と、該シャッタ板を支点の周りに回転させるためのテコ体と、該テコ体の力点に接続された第1の圧電素子と、該第1の圧電素子を保持するための固定部材と、第1の圧電素子への電圧の印加を制御して前記シャッタ板による前記開閉動作を行うための制御電源とを備えたシャッタ装置において、
該第1の圧電素子と対称の位置に配置されて且つ電圧が印加されたとき該第1の圧電素子が変形する方向と反対方向に変形するように該固定部材に保持された第2の圧電素子と、該第2の圧電素子の先端に取り付けられた前記シャッタ板と同等の慣性質量を有する重りとを備え、
前記シャッタ板による前記電子線通過孔の開閉動作を行う時、前記第1の圧電素子と前記第2の圧電素子に同時に電圧を印加して、前記第1の圧電素子と前記第2の圧電素子が常に逆方向に動くよう駆動し、前記シャッタ板の駆動時に発生する振動を前記重りの振動で打ち消すようにしたことを特徴とするシャッタ装置。 - 電子顕微鏡の電子線通路に設けられ、電子線の通過を機械的に制御するシャッタ装置であって、
電子線通過孔を有するアパーチャ板と、該電子線通過孔を開閉するためのシャッタ板と、該シャッタ板を支持する第1の圧電素子と、該第1の圧電素子を保持するための固定部材と、第1の圧電素子への電圧の印加を制御して前記シャッタ板による前記開閉動作を行うための制御電源とを備えたシャッタ装置において、
該第1の圧電素子と対称の位置に配置されて且つ電圧が印加されたとき該第1の圧電素子が変形する方向と反対方向に変形するように該固定部材に保持された第2の圧電素子と、該第2の圧電素子の先端に取り付けられた前記シャッタ板と同等の慣性質量を有する重りとを備え、
前記シャッタ板による前記電子線通過孔の開閉動作を行う時、前記第1の圧電素子と前記第2の圧電素子に同時に電圧を印加して、前記第1の圧電素子と前記第2の圧電素子が常に逆方向に動くよう駆動し、前記シャッタ板の駆動時に発生する振動を前記重りの振動で打ち消すようにしたことを特徴とするシャッタ装置。
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JP2007159058A JP5043526B2 (ja) | 2007-06-15 | 2007-06-15 | 電子顕微鏡のシャッタ装置 |
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