JPH05218173A - 半導体ウエハーの搬送方法 - Google Patents
半導体ウエハーの搬送方法Info
- Publication number
- JPH05218173A JPH05218173A JP1569492A JP1569492A JPH05218173A JP H05218173 A JPH05218173 A JP H05218173A JP 1569492 A JP1569492 A JP 1569492A JP 1569492 A JP1569492 A JP 1569492A JP H05218173 A JPH05218173 A JP H05218173A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- belts
- pulley
- belt
- pulleys
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- Pending
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- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明方法は、半導体ウエハを円滑にかつ安
定した状態搬送する点。 【構成】 半導体ウエハのコーナ搬送を行うに際して、
コーナ部のベルトをつなぎめのない状態とした２本上を
通過させることにより、各種のトラブルを解消すると共
に、単一の駆動源により搬送するので、コストの削減も
達成できる。
定した状態搬送する点。 【構成】 半導体ウエハのコーナ搬送を行うに際して、
コーナ部のベルトをつなぎめのない状態とした２本上を
通過させることにより、各種のトラブルを解消すると共
に、単一の駆動源により搬送するので、コストの削減も
達成できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハーの枚用
搬送方法に係わり、特に、ベルトで搬送するのに好適な
ものである。
搬送方法に係わり、特に、ベルトで搬送するのに好適な
ものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子の製造に当たっては、不純物
を導入拡散してから、半導体ウエハを搬送する場合が多
々あり、その搬送機構を図１及び図１を切断した図２の
断面図により説明すると、直線方向Ａに搬送する半導体
ウエハ１をコーナ部Ｂで向きを９０°変換後、再び直線
方向Ｃに搬送するのに利用するものである。
を導入拡散してから、半導体ウエハを搬送する場合が多
々あり、その搬送機構を図１及び図１を切断した図２の
断面図により説明すると、直線方向Ａに搬送する半導体
ウエハ１をコーナ部Ｂで向きを９０°変換後、再び直線
方向Ｃに搬送するのに利用するものである。
【０００３】直線方向Ａならびに直線方向Ｃに使用する
搬送機構は、夫々別の駆動源であるモータ２、３により
駆動するベルト連結軸４、５にプーリ６、７を取付け、
プーリ６、７には、ベルト８、９を接続し、ここに半導
体ウエハ１を乗せて、直線方向Ａ、コーナ部Ｂ及び直線
部Ｃへベルト９により搬送する方式が良く利用されてい
る。
搬送機構は、夫々別の駆動源であるモータ２、３により
駆動するベルト連結軸４、５にプーリ６、７を取付け、
プーリ６、７には、ベルト８、９を接続し、ここに半導
体ウエハ１を乗せて、直線方向Ａ、コーナ部Ｂ及び直線
部Ｃへベルト９により搬送する方式が良く利用されてい
る。
【０００４】図１に示すように、直線部Ａと直線部Ｃの
端には、プーリ６、７が夫々設置してあり、両者の中間
に位置するコーナ部Ｂでは、直線方向Ａ用の端のプーリ
６に対して、直線方向Ｃ用の端のプーリ７が向きを９０
°変えて配置してある。このために、直線方向Ａ端のプ
ーリ６に到達した半導体ウエハ１は、直線方向Ｃ用の端
のプーリ７に接続したベルト９に受渡して直線方向Ｃに
向けて搬送する。
端には、プーリ６、７が夫々設置してあり、両者の中間
に位置するコーナ部Ｂでは、直線方向Ａ用の端のプーリ
６に対して、直線方向Ｃ用の端のプーリ７が向きを９０
°変えて配置してある。このために、直線方向Ａ端のプ
ーリ６に到達した半導体ウエハ１は、直線方向Ｃ用の端
のプーリ７に接続したベルト９に受渡して直線方向Ｃに
向けて搬送する。
【０００５】従って、２個の駆動ユニットの駆動・停止
を同時に行うと共に繰返すことにより、半導体ウエハ１
を直線方向Ａ、コーナ部Ｂ更に直線方向Ｃに搬送し、多
くの場合ロット単位のもの即ち複数個が搬送される。
を同時に行うと共に繰返すことにより、半導体ウエハ１
を直線方向Ａ、コーナ部Ｂ更に直線方向Ｃに搬送し、多
くの場合ロット単位のもの即ち複数個が搬送される。
【０００６】
(1) 図２に明らかにするように、ベルト８により直線方
向Ａを搬送する半導体ウエハ１は、コーナ部Ｂでベルト
９に受渡して進行方向Ｃに搬送する際、受渡しがうまく
いかず、コーナ部Ｂで回転を起こして進行しない場合が
ある。
向Ａを搬送する半導体ウエハ１は、コーナ部Ｂでベルト
９に受渡して進行方向Ｃに搬送する際、受渡しがうまく
いかず、コーナ部Ｂで回転を起こして進行しない場合が
ある。
【０００７】(2) 搬送する半導体ウエハ１は、拡散工程
後なので、下向きに反ったものもあるためにベルト８の
下にもぐり込んで搬送不可能の状態になるか、半導体ウ
エハ１の端面がベルト８かベルト９につっかえて進行し
ない状態になることがある。 (3) 更に、コーナ部Ｂに搬送した半導体ウエハ１は、直
角に曲がり切れず、直進して半導体ウエハがベルト８、
９よりはみだして、落下して破損する事故もある。
後なので、下向きに反ったものもあるためにベルト８の
下にもぐり込んで搬送不可能の状態になるか、半導体ウ
エハ１の端面がベルト８かベルト９につっかえて進行し
ない状態になることがある。 (3) 更に、コーナ部Ｂに搬送した半導体ウエハ１は、直
角に曲がり切れず、直進して半導体ウエハがベルト８、
９よりはみだして、落下して破損する事故もある。
【０００８】(4) 駆動源として２個のモータが不可欠で
ある。
ある。
【０００９】本発明は、このような事情により成された
もので、特に、半導体ウエハのコーナ部での搬送を、安
定かつ円滑に行なえる半導体ウエハの搬送方法を提供す
ることを目的とするものである。
もので、特に、半導体ウエハのコーナ部での搬送を、安
定かつ円滑に行なえる半導体ウエハの搬送方法を提供す
ることを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】拡散工程を終えた半導体
ウエハを乗せる一対のベルトを稼働して搬送するに当
り，コーナ部における前記ベルトをつなぎめのない状態
とすることに本発明に係わる半導体ウエハ−の搬送方法
の特徴がある。
ウエハを乗せる一対のベルトを稼働して搬送するに当
り，コーナ部における前記ベルトをつなぎめのない状態
とすることに本発明に係わる半導体ウエハ−の搬送方法
の特徴がある。
【００１１】更に、前記コーナ部においてつなぎめのな
い状態を維持する一対のベルトを単一の駆動源により稼
働する点にも本発明に係わる半導体ウエハーの搬送方法
の特徴がある。
い状態を維持する一対のベルトを単一の駆動源により稼
働する点にも本発明に係わる半導体ウエハーの搬送方法
の特徴がある。
【００１２】
【作用】拡散工程を終えた半導体ウエハを一本化したベ
ルト２本により支持して、直線部、コーナ部及び直線部
などの経路をトラブルなく搬送する外に、ドライブユニ
ットの構造を簡略化する。
ルト２本により支持して、直線部、コーナ部及び直線部
などの経路をトラブルなく搬送する外に、ドライブユニ
ットの構造を簡略化する。
【００１３】
【実施例】本発明に係わる一実施例を図３乃至図５を参
照して説明する。図３は、本発明方法に利用する搬送装
置を明らかにする上面図であり、図４に図３を切断した
断面図を、図５には搬送装置に利用するプーリの断面図
を示す。
照して説明する。図３は、本発明方法に利用する搬送装
置を明らかにする上面図であり、図４に図３を切断した
断面図を、図５には搬送装置に利用するプーリの断面図
を示す。
【００１４】即ち図４のように本発明方法で利用する搬
送装置は、駆動源として単一のモータ３に接続するベル
ト連結軸４には、つなぎのないベルト８、９をプーリ
６、７を介して接続するので、モータ３及びプーリ６、
７を駆動することにより矢印方向に進行する。この結果
つなぎのないベルト８、９により半導体ウエハ１を搬送
され、プーリ６、７の両端に配置する。
送装置は、駆動源として単一のモータ３に接続するベル
ト連結軸４には、つなぎのないベルト８、９をプーリ
６、７を介して接続するので、モータ３及びプーリ６、
７を駆動することにより矢印方向に進行する。この結果
つなぎのないベルト８、９により半導体ウエハ１を搬送
され、プーリ６、７の両端に配置する。
【００１５】図３に明らかなように、駆動源を単一のモ
ータ３を使用してプーリ６、７とベルト８、９を連動す
るのには、平面プーリを使用するからであり、その上を
半導体ウエハがコーナリング（Ｃｏｒｎｅｒｉｎｇ）し
ながら通過する。この平面プーリ６、７について、詳細
を図５により説明するが、図４の断面図にも一部を示し
た。
ータ３を使用してプーリ６、７とベルト８、９を連動す
るのには、平面プーリを使用するからであり、その上を
半導体ウエハがコーナリング（Ｃｏｒｎｅｒｉｎｇ）し
ながら通過する。この平面プーリ６、７について、詳細
を図５により説明するが、図４の断面図にも一部を示し
た。
【００１６】平面プーリ６、７は、上側平面プーリ６−
１と下側平面プーリ６−２から成り立っており、プーリ
固定ブロック１０に差込まれたプーリ固定ピン１１は、
固定ビス１２により固定する。上側平面プーリ６−１と
下側平面プーリ６−２一体化には、ベアリング１３を用
い更に、プーリ固定ピン１１を軸として回転できる構造
となっている。
１と下側平面プーリ６−２から成り立っており、プーリ
固定ブロック１０に差込まれたプーリ固定ピン１１は、
固定ビス１２により固定する。上側平面プーリ６−１と
下側平面プーリ６−２一体化には、ベアリング１３を用
い更に、プーリ固定ピン１１を軸として回転できる構造
となっている。
【００１７】更に上側平面プーリ６−１ならびに下側平
面プーリ６−２は、スペーサ１４面でスラスト回転を行
うことができ、夫々がフリ（Ｆｒｅｅ）な回転をする。
従って、図３に明らかにした半導体ウエハ１をコーナ部
Ｂで搬送するには、上側平面プーリ６−１を反時計方向
（図５ｃ−１参照）に回転させるのに対して、下側平面
プーリ６−２を時計方向（図５ｃ−２参照）に回転する
ことにより、プーリ６とベルト８が連動可能になる。
面プーリ６−２は、スペーサ１４面でスラスト回転を行
うことができ、夫々がフリ（Ｆｒｅｅ）な回転をする。
従って、図３に明らかにした半導体ウエハ１をコーナ部
Ｂで搬送するには、上側平面プーリ６−１を反時計方向
（図５ｃ−１参照）に回転させるのに対して、下側平面
プーリ６−２を時計方向（図５ｃ−２参照）に回転する
ことにより、プーリ６とベルト８が連動可能になる。
【００１８】この結果ベルト８、９に乗せた半導体ウエ
ハは、コーナ部Ｂをコーナリングしながら通過して搬送
できる。
ハは、コーナ部Ｂをコーナリングしながら通過して搬送
できる。
【００１９】
（１） ベルト連結軸によってつながった一対のベルト
は、搬送速度が同期化されているので、乗る半導体ウエ
ハのコーナリング搬送が円滑に行なえて、従来のように
回転して進行が停止するなどの難点が解消できる。
は、搬送速度が同期化されているので、乗る半導体ウエ
ハのコーナリング搬送が円滑に行なえて、従来のように
回転して進行が停止するなどの難点が解消できる。
【００２０】（２） ベルトがコーナ部で切離されてい
ないので、ベルトの下に半導体ウエハがもぐり込んだ
り、ベルトにつかえるような事故がなくなる。
ないので、ベルトの下に半導体ウエハがもぐり込んだ
り、ベルトにつかえるような事故がなくなる。
【００２１】（３） つなぎのないベルトを使っている
ので、コーナ部で曲り切れずまたはベルトから飛出して
落下・破損などの事故もなくなる。
ので、コーナ部で曲り切れずまたはベルトから飛出して
落下・破損などの事故もなくなる。
【００２２】（４） ベルト駆動源として機能するモー
タは、一個ですむので、搬送装置構造が簡単になる上
に、コストの低減の利点もある。
タは、一個ですむので、搬送装置構造が簡単になる上
に、コストの低減の利点もある。
【図１】従来の搬送装置の要部を示す上面図である。
【図２】図１の一部の断面図である。
【図３】本発明方法に利用する搬送装置の概略を示す上
面図である。
面図である。
【図４】図３の一部の断面図である。
【図５】図３及び図４に明らかにするプーリの断面図で
ある。
ある。
１：半導体ウエハ、 ２、３：モータ、 ４、５：連結軸、 ６、７：プーリ、 ６−１：上側平面プーリ、 ６−２：下側平面プーリ、 ８、９：ベルト、 １０：固定ブロック、 １１：固定ピン、 １２：固定ビス、 １３：ベアリング、 １４：スペーサ。
Claims (2)
- 【請求項１】 拡散工程を終えた半導体ウエハを乗せる
一対のベルトを稼働して搬送するに当り，コーナ部にお
ける前記ベルトをつなぎめのない状態とすることを特徴
とする半導体ウエハ−の搬送方法 - 【請求項２】 前記コーナ部においてつなぎめのない状
態を維持する一対のベルトを単一の駆動源により稼働す
ることを特徴とする半導体ウエハーの搬送方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1569492A JPH05218173A (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 半導体ウエハーの搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1569492A JPH05218173A (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 半導体ウエハーの搬送方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05218173A true JPH05218173A (ja) | 1993-08-27 |
Family
ID=11895881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1569492A Pending JPH05218173A (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 半導体ウエハーの搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05218173A (ja) |
-
1992
- 1992-01-31 JP JP1569492A patent/JPH05218173A/ja active Pending
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