JPH05215064A - イオンエンジン - Google Patents

イオンエンジン

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Publication number
JPH05215064A
JPH05215064A JP1805992A JP1805992A JPH05215064A JP H05215064 A JPH05215064 A JP H05215064A JP 1805992 A JP1805992 A JP 1805992A JP 1805992 A JP1805992 A JP 1805992A JP H05215064 A JPH05215064 A JP H05215064A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ion engine
grid
ion
acceleration
grids
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP1805992A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuo Horiuchi
康男 堀内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】イオンエンジン用加速グリッドの熱歪を抑え、
グリッド間隔を一定に保つことができるイオンエンジン
の加速グリッドシステムを提供する。 【構成】イオン加速用の2枚の金属グリッド1A,1B
とグリッド間隔を固定するための石英ガラス2とスペー
サ4、およびシステム全体をイオンエンジンに固定する
グリッド支持部3から成るイオンエンジン用加速グリッ
ドシステムをイオンエンジン本体5に取り付ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、宇宙空間を飛翔する宇
宙機の姿勢制御のために搭載されるイオンエンジンに関
し、特に荷電粒子を静電的に加速するための加速用グリ
ッドを改良したイオンエンジンに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のイオンエンジンのイオン加速用に
用いられる加速グリッドシステムは、図2に示すよう
に、互いに1〜2mm間隔に固定された2枚ないし3枚
の金属グリッド8A,8Bにより構成され、各グリッド
間に電位差を与えることによりイオン6の加速を行な
う。各グリッドの固定及びグリッド間隔の維持はグリッ
ド端部の加速グリッドシステム支持部3Aで行なわれ、
各グリッド8A,8B間にスペーサ9と呼ばれる薄い絶
縁材をはさみ、金属グリッド8A,8Bとスペーサ9と
を機械的にイオンエンジン本体5に固定する方式をとっ
ている。なおイオンエンジン本体5内にてプラズマ7を
発生させてイオン6を発生している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のイオン
エンジンは、長時間の連続作動によって加速グリッドの
温度が上昇し、熱歪を生じて変形することがあるので、
グリッド間隔が変化して推進性能に影響を及ぼし、最悪
の場合にはとなりあったグリッド同士が接触して電気的
に短絡してイオンの加速が不可能になる。したがってイ
オンエンジンの作動中加速グリッドの熱歪によりグリッ
ド間隔が変化して結果的に推進性能の低下を招く欠点を
有している。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明のイオンエンジン
は加速用に備えられた2枚ないし3枚の金属グリッド間
に石英ガラスをはさんだ多重構造とし、かつ前記金属グ
リッドの間隔を一定に保持することを特徴とする。
【0005】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
【0006】図1は本発明の一実施例の構造図である。
図1の実施例はイオン加速用の2枚の金属グリッド1
A,1Bと、グリッド間隔を固定するためグリッドの各
素子をコーティングする石英ガラス2と、グリッド端部
のスペーサ4、およびシステム全体をイオンエンジン本
体5に固定する加速グリッドシステム支持部3から構成
される。石英ガラス2は2枚のグリッド1A,1Bの表
面を覆い、かつグリッド間の隙間に充填されている。こ
れによりイオンエンジン作動中において、金属グリッド
1A,1Bの熱歪を抑え、グリッド間隔を一定に保ち、
推進性能の低下を防ぐことができる。
【0007】
【発明の効果】上述したように本発明は、石英ガラスの
コーティングによりグリッド間隔を固定したイオンエン
ジン用加速グリッドシステムとなっているので、イオン
エンジン作動中の金属グリッドの熱歪を抑え、金属グリ
ッド間隔を一定に保つことができる。したがってイオン
エンジンの推進性能の低下を防ぐことができる効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例のイオンエンジンの構造図で
ある。
【図2】従来のイオンエンジンの構造図である。
【符号の説明】
1A,1B,8A,8B 金属グリッド 2 石英ガラス 3,3A 加速グリッドシステム支持部 4 グリッド間隔固定用のスペーサ 5 イオンエンジン本体 6 イオン 7 プラズマ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 加速用に備えられた2枚ないし3枚の金
    属グリッド間に石英ガラスをはさんだ多重構造とし、か
    つ前記金属グリッドの間隔を一定に保持することを特徴
    とするイオンエンジン。
  2. 【請求項2】 前記石英ガラスが前記金属グリッドの間
    隔を埋めてコーティングされていることを特徴とする請
    求項1記載のイオンエンジン。
JP1805992A 1992-02-04 1992-02-04 イオンエンジン Withdrawn JPH05215064A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006523015A (ja) * 2003-02-14 2006-10-05 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 水素含有ラジカルによる未変性酸化物の洗浄
JP2013137024A (ja) * 2013-01-30 2013-07-11 Elwing Llc スラスタ及びそのシステム、そして推進発生方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006523015A (ja) * 2003-02-14 2006-10-05 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 水素含有ラジカルによる未変性酸化物の洗浄
US7604708B2 (en) 2003-02-14 2009-10-20 Applied Materials, Inc. Cleaning of native oxide with hydrogen-containing radicals
JP2013137024A (ja) * 2013-01-30 2013-07-11 Elwing Llc スラスタ及びそのシステム、そして推進発生方法

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