JPH02239420A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH02239420A JPH02239420A JP5800589A JP5800589A JPH02239420A JP H02239420 A JPH02239420 A JP H02239420A JP 5800589 A JP5800589 A JP 5800589A JP 5800589 A JP5800589 A JP 5800589A JP H02239420 A JPH02239420 A JP H02239420A
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- Japan
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- thin film
- gimbal spring
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- magnetic head
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Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 29
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 15
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッド、特に薄膜磁
気ヘッドに関し、 スライダー保護膜面の帯電防止を目的とし、薄膜プロセ
スを用いてスライダーブロック上に磁気ヘッドを形成す
る薄膜磁気ヘッドにおいて、浮上面とは反対側のジンバ
ル取り付け面側の全面または一部に導電材料の薄膜を形
成し、該薄膜を磁気ヘッド支持ばねに接続するように構
成する。
気ヘッドに関し、 スライダー保護膜面の帯電防止を目的とし、薄膜プロセ
スを用いてスライダーブロック上に磁気ヘッドを形成す
る薄膜磁気ヘッドにおいて、浮上面とは反対側のジンバ
ル取り付け面側の全面または一部に導電材料の薄膜を形
成し、該薄膜を磁気ヘッド支持ばねに接続するように構
成する。
本発明は、磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドに
関し、特に薄膜磁気ヘッドに関する．近年、コンピュー
タの外部記憶装置としての磁気ディスク装置の小型化・
高性能化は著しい進歩をとげている。このような中で、
薄膜プロセスを用いた薄ＷＩ磁気ヘッドと薄膜媒体を用
いたハードディスク装置は上記要望を満たす組合せの一
つである． 〔従来の技術〕 従来の薄Ｍ磁気ヘッドは、第４図に示すようにスライダ
ー１を形成する八ｌ ，０，・ＴｉＣ ５体の上に薄膜
プロセスを用いてコイル２、磁極３等よりなる磁気ヘッ
ド４を形成し、その後ラフビング工程において該ヘッド
を保護する目的で＾１！０ユ保護膜５を形成する等の処
理を施してヘッド（スライダー》化していた． 〔発明が解決しようとする課題〕 上記従来の薄膜磁気ヘッドでは、記録媒体との接触や浮
上を繰返すと（コンタクトスタートストップ）、スライ
ダー１か保護膜５が絶縁物の場合＃記録媒体との摩擦に
より帯電する．このためスライダー１か保護膜５の浮上
面には塵埃が付着し、それに起因して例えばヘソドクラ
ソシュ等の悪影響が生じ易いという問題があった。
関し、特に薄膜磁気ヘッドに関する．近年、コンピュー
タの外部記憶装置としての磁気ディスク装置の小型化・
高性能化は著しい進歩をとげている。このような中で、
薄膜プロセスを用いた薄ＷＩ磁気ヘッドと薄膜媒体を用
いたハードディスク装置は上記要望を満たす組合せの一
つである． 〔従来の技術〕 従来の薄Ｍ磁気ヘッドは、第４図に示すようにスライダ
ー１を形成する八ｌ ，０，・ＴｉＣ ５体の上に薄膜
プロセスを用いてコイル２、磁極３等よりなる磁気ヘッ
ド４を形成し、その後ラフビング工程において該ヘッド
を保護する目的で＾１！０ユ保護膜５を形成する等の処
理を施してヘッド（スライダー》化していた． 〔発明が解決しようとする課題〕 上記従来の薄膜磁気ヘッドでは、記録媒体との接触や浮
上を繰返すと（コンタクトスタートストップ）、スライ
ダー１か保護膜５が絶縁物の場合＃記録媒体との摩擦に
より帯電する．このためスライダー１か保護膜５の浮上
面には塵埃が付着し、それに起因して例えばヘソドクラ
ソシュ等の悪影響が生じ易いという問題があった。
本発明は上記従来の問題点に鑑み、スライダーの帯電防
止を施した薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする
． （！ｉ！！！Ｉを解決するための手段〕上記目的を達成
するために、本発明の薄膜磁気ヘッドは、薄膜プロセス
を用いてスライダーブロック４上に磁気へッド８を形成
した薄膜磁気ヘッドにおいて、スライダーブロソク４の
浮上面とは反対側のジンバルばね取付面側の全面または
一部に導電材料の薄膜７を形成し、該薄膜７をジンバル
ばね６に電気的に接続したことを特徴とする。
止を施した薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする
． （！ｉ！！！Ｉを解決するための手段〕上記目的を達成
するために、本発明の薄膜磁気ヘッドは、薄膜プロセス
を用いてスライダーブロック４上に磁気へッド８を形成
した薄膜磁気ヘッドにおいて、スライダーブロソク４の
浮上面とは反対側のジンバルばね取付面側の全面または
一部に導電材料の薄膜７を形成し、該薄膜７をジンバル
ばね６に電気的に接続したことを特徴とする。
第２図（ａ）に示すように誘電体１０の片面１０ａをあ
る種の物質で摩擦した場合、該誘電体１０の摩擦面１０
ａがーに帯電した場合、該誘電体の裏面１０ｂは反対の
電荷十に帯電する．そして、（ｂ）図の如く該摩擦面１
０ａの反対面に帯電した＋電荷１２を何等かの手段（例
えばアルコールで拭く等）で放電させると、摩擦で帯電
した面１０ａの一電荷１１も同時に放電する。
る種の物質で摩擦した場合、該誘電体１０の摩擦面１０
ａがーに帯電した場合、該誘電体の裏面１０ｂは反対の
電荷十に帯電する．そして、（ｂ）図の如く該摩擦面１
０ａの反対面に帯電した＋電荷１２を何等かの手段（例
えばアルコールで拭く等）で放電させると、摩擦で帯電
した面１０ａの一電荷１１も同時に放電する。
したがって、従来の場合浮上面の摩擦による帯電電荷（
例えばＡｊ！ｇ（ｈの場合一）とは反対の電荷（Ａ ｊ
！ ｚＯｉの場合＋）がジンバルばね取り付け面側に形
成されるが、本発明によれば該面に導電性薄膜を形成す
ることにより該＋電荷はジンバルばねを通して即放電し
これに呼応して該スライダー面側の一電荷も即放電する
ので、その結果上記の塵埃の付着を容易に防止できる． ？実施例〕 第１図は本発明の実施例を示す図である．同図において
、４はＡｌ■０，・Ｔ１Ｃで形成されたスライダーブロ
ックであり、下面が浮上面となっている．また該スライ
ダーブロック４の後部には薄膜プロセスを用いて磁気ヘ
ッド８が形成され、さらに該磁気ヘッドを保護する目的
でＡ ｊ！ １０３の保護１１！５が設けられているこ
とは第４図で説明した従来例と同様であり、本実施例の
要点は、スライダーブロック４の浮上面とは反対側の面
の全面に厚さ１０００人のＡＩ膜（導電材料の薄膜）７
をスパッタリングにより形成し、該Ａ Ｉ！膜７をスラ
イダーブロック４を支持しているジンバルばね６に電気
的に接続したことである． このように構成された本実施例の作用を次に説明する． 例えば、第２図（ａ）に示すように、誘導体１０の片面
１０ａをある種の物質で摩擦して該面１０ａが一に帯電
した場合、反対面１０ｂは十に帯電する．このとき（ｂ
）図に示すように反対面ｌＯｂに帯電した十電荷Ｉ２を
何らかの手段（例えばアルコールで拭く等）で放電させ
ると摩擦で帯電した面１０ａの一電荷ｌ１も同時に放電
する．これと同様に、本実施例は、磁気ディスク面上を
摩擦しながら移動したとき、その浮上面は帯電するが、
その電荷に対応してジンバルばね取付面にも反対の電荷
が帯電する．このジンバルばね取付面に生じた電荷は該
面に形成されたＡｌ膜７からジンバルばね６を通して放
電される。これに呼応して浮上面側の電荷も放電する．
その結果静電気による塵埃の付着は防止される。
例えばＡｊ！ｇ（ｈの場合一）とは反対の電荷（Ａ ｊ
！ ｚＯｉの場合＋）がジンバルばね取り付け面側に形
成されるが、本発明によれば該面に導電性薄膜を形成す
ることにより該＋電荷はジンバルばねを通して即放電し
これに呼応して該スライダー面側の一電荷も即放電する
ので、その結果上記の塵埃の付着を容易に防止できる． ？実施例〕 第１図は本発明の実施例を示す図である．同図において
、４はＡｌ■０，・Ｔ１Ｃで形成されたスライダーブロ
ックであり、下面が浮上面となっている．また該スライ
ダーブロック４の後部には薄膜プロセスを用いて磁気ヘ
ッド８が形成され、さらに該磁気ヘッドを保護する目的
でＡ ｊ！ １０３の保護１１！５が設けられているこ
とは第４図で説明した従来例と同様であり、本実施例の
要点は、スライダーブロック４の浮上面とは反対側の面
の全面に厚さ１０００人のＡＩ膜（導電材料の薄膜）７
をスパッタリングにより形成し、該Ａ Ｉ！膜７をスラ
イダーブロック４を支持しているジンバルばね６に電気
的に接続したことである． このように構成された本実施例の作用を次に説明する． 例えば、第２図（ａ）に示すように、誘導体１０の片面
１０ａをある種の物質で摩擦して該面１０ａが一に帯電
した場合、反対面１０ｂは十に帯電する．このとき（ｂ
）図に示すように反対面ｌＯｂに帯電した十電荷Ｉ２を
何らかの手段（例えばアルコールで拭く等）で放電させ
ると摩擦で帯電した面１０ａの一電荷ｌ１も同時に放電
する．これと同様に、本実施例は、磁気ディスク面上を
摩擦しながら移動したとき、その浮上面は帯電するが、
その電荷に対応してジンバルばね取付面にも反対の電荷
が帯電する．このジンバルばね取付面に生じた電荷は該
面に形成されたＡｌ膜７からジンバルばね６を通して放
電される。これに呼応して浮上面側の電荷も放電する．
その結果静電気による塵埃の付着は防止される。
第３図は本発明の他の実施例を示す図である。
同図において第１図と同一部分は同一符号を付して示し
た． 本実施例が前実施例と異なるところは、前実施例がＡｌ
膜７を浮上面の反対側の面の全面に設けたのに対し、本
実施例はＡｌ膜７を保護膜５を含んだ一部の面に設けた
ことである．このように構成された本実施例ではスライ
ダ材が導電性を有するＡ １ ，０，・ＴｉＣのような
材料の場合は、前実施例と同等な効果が得られる． 〔発明の効果〕 以上説明した様に、本発明によればスライダーブロック
の浮上面の反対側の面に導電膜を形成し、該膜をアース
しておくことにより、浮上面に生じた帯電電荷を放電し
除去することができ、塵埃の付着及びそれによるクラッ
シュ等の悪影響を防止することができる．
た． 本実施例が前実施例と異なるところは、前実施例がＡｌ
膜７を浮上面の反対側の面の全面に設けたのに対し、本
実施例はＡｌ膜７を保護膜５を含んだ一部の面に設けた
ことである．このように構成された本実施例ではスライ
ダ材が導電性を有するＡ １ ，０，・ＴｉＣのような
材料の場合は、前実施例と同等な効果が得られる． 〔発明の効果〕 以上説明した様に、本発明によればスライダーブロック
の浮上面の反対側の面に導電膜を形成し、該膜をアース
しておくことにより、浮上面に生じた帯電電荷を放電し
除去することができ、塵埃の付着及びそれによるクラッ
シュ等の悪影響を防止することができる．
第１図は本発明の実施例を示す図、
第２図は本発明の実施例の作用を説明するための図、
第３図は本発明の他の実施例を示す図、第４図は従来の
薄膜磁気ヘッドを説明するための図である． 図において、 ４はスライダーブロック、 ５は保護膜、 ６はジンバルばね、 ７はＡＩ膜（導電材料の薄膜） を示す。
薄膜磁気ヘッドを説明するための図である． 図において、 ４はスライダーブロック、 ５は保護膜、 ６はジンバルばね、 ７はＡＩ膜（導電材料の薄膜） を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、薄膜プロセスを用いてスライダーブロック（４）上
に磁気ヘッド（８）を形成した薄膜磁気ヘッドにおいて
、 スライダーブロック（４）の浮上面とは反対側のジンバ
ルばね取付面側の全面または一部に導電材料の薄膜（７
）を形成し、該薄膜（７）をジンバルばね（６）に電気
的に接続したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5800589A JPH02239420A (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5800589A JPH02239420A (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02239420A true JPH02239420A (ja) | 1990-09-21 |
Family
ID=13071861
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5800589A Pending JPH02239420A (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02239420A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5781377A (en) * | 1996-02-20 | 1998-07-14 | Seagate Technology, Inc. | Slider with protective DLC or nonhygroscopic coating on the trailing edge face |
| US5986851A (en) * | 1997-08-15 | 1999-11-16 | Seagate Technology, Inc. | Selective carbon overcoat of the trailing edge of MR sliders |
| US6084743A (en) * | 1992-12-14 | 2000-07-04 | Maxtor Corporation | Magnetic recorder apparatus with reduced debris accumlation on the recorder head and slider |
| US7289302B1 (en) | 2001-10-04 | 2007-10-30 | Maxtor Corporation | On slider inductors and capacitors to reduce electrostatic discharge damage |
-
1989
- 1989-03-13 JP JP5800589A patent/JPH02239420A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6084743A (en) * | 1992-12-14 | 2000-07-04 | Maxtor Corporation | Magnetic recorder apparatus with reduced debris accumlation on the recorder head and slider |
| US6324031B1 (en) | 1992-12-14 | 2001-11-27 | Maxtor Corporation | Disk drive with reduced electrostatic charge on slider-head assembly |
| US6922313B1 (en) | 1992-12-14 | 2005-07-26 | Maxtor Corporation | Magnetic head slider with resistance to debris accumulation |
| US5781377A (en) * | 1996-02-20 | 1998-07-14 | Seagate Technology, Inc. | Slider with protective DLC or nonhygroscopic coating on the trailing edge face |
| US5986851A (en) * | 1997-08-15 | 1999-11-16 | Seagate Technology, Inc. | Selective carbon overcoat of the trailing edge of MR sliders |
| US7289302B1 (en) | 2001-10-04 | 2007-10-30 | Maxtor Corporation | On slider inductors and capacitors to reduce electrostatic discharge damage |
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