JPH0521461U - ガスレーザ発振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案の目的は、光共振器を構成する鏡の位
置決めを行なう鏡保持器の振動を減少させることができ
るガスレーザ発振装置を提供する。 【構成】 前記鏡保持器５ｃ、５ｄ又は５ｅ、５ｆに重
り１００が弾性体１０１を介して取付けられ、又は前記
鏡保持器５ｃ、５ｄ又は５ｅ、５ｆの内部に重り１００
が弾性体１０１を介して埋込まれている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ガスレーザ発振装置に関し、特にその鏡保持器の構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】

図４は従来のガスレーザ発振装置の一例を示す概略図であり、同図（ａ）は正 面図、同図（ｂ）は側面図、同図（ｃ）は背面図である。真空容器となるシェル １内には、レーザ媒質ガス流９を作る為のブロワー２と、レーザ媒質ガス流９を 所定の空隙を開けて平行に配設される電極ユニット３ａ及び３ｂに導き再びブロ ワー２に戻すダクト１０とが配設されている。電極ユニット３ａ及び３ｂには、 所定の空隙に対向するように複数個配列され、高電圧が印加されて対向する２者 間でグロー放電を生じさせる電極ピン４ａ及び４ｂが設けられている。さらに、 シェル１内には、グロー放電によって加熱したレーザ媒質ガス流９を冷却する熱 交換器８が配設されている。そして、レーザ媒質ガス流９の方向とグロー放電の 方向とに直交する方向にレーザ光１１を出力するように、部分透過鏡６ａ及び全 反射鏡６ｂがそれぞれ図５に示すようなＬ字形の鏡保持器５ａ及び５ｂに取付け られ、さらに鏡保持器５ａ及び５ｂが支点７ａ及び７ｂによりシェル１の両端に 取付けられて光共振器を構成している。なお、同図（ａ）は鏡保持器５ａ及び５ ｂの平面図、同図（ｂ）はその側面図である。シェル１は内部が水冷構造となっ ていて一定温度に保たれるので熱変形が無く、鏡保持器５ａ及び５ｂの間隔を一 定に保つことができる。

【０００３】 このような構成において、その動作例を説明すると、電極ユニット３ａ及び３ ｂに高電圧が印加され、複数の電極ピン４ａ及び４ｂ間にグロー放電が生じると 、光共振器内でレーザ発振が起こり、部分透過鏡６ａからレーザ光１１が出力さ れる。この時、グロー放電によって加熱された電極ユニット３ａ及び３ｂ間のレ ーザ媒質ガスを冷却してレーザ発振を持続させる為に、ダクト１０によって形成 される流路にブロワー２でレーザ媒質ガス流９を起こし、熱交換器８によりレー ザ媒質ガスを冷却している。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

上述した従来のガスレーザ発振装置では、シェル１の端面外周を鏡保持器５ａ 及び５ｂの各支点７ａ及び７ｂの受けとしている為、各鏡保持器５ａ及び５ｂの 支点間の距離が長くなり、鏡保持器５ａ及び５ｂの強度が低下してしまう。従っ て、ブロワー２等の回転体の振動で鏡保持器５ａ及び５ｂが共振し易くなり、光 共振器のアライメントが狂い、レーザ光１１の出力がＣＷ発振指令でもパルス状 となる問題があった。この場合、鏡保持器５ａ及び５ｂを厚くして強度アップす るか、シェル１端に板を取付けて支点間距離を短くする等の対策が考えられる。 しかしながら、前者は鏡保持器５ａ及び５ｂが重くなり、自重で支点７ａ及び７ ｂがシェル１端からはずれる問題があり、後者は取付け板の強度と重畳の関係で カズレーザ発振装置自体を重くしてしまうという問題があった。

【０００５】 本考案は上述したような事情から成されたものであり、本考案の目的は、光共 振器を構成する鏡の位置決めを行なう鏡保持器の振動を減少させることができる ガスレーザ発振装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案は、光共振器を構成する鏡の位置決めを行なう鏡保持器を備えたガスレ ーザ発振装置に関するものであり、本考案の上記目的は、前記鏡保持器に弾性体 を介して重りを取付け、又は前記重りを弾性体を介して前記鏡保持器内部に埋込 むことによって達成される。

【０００７】

【作用】

本考案にあっては、鏡保持器に弾性体を介して重りを取付けるようにしている ので、ブロワー等の振動源により発生する鏡保持器の振動を重りの慣性と弾性体 の振動減衰性により抑えることができる。

【０００８】

【実施例】

図１は本考案のガスレーザ発振装置の一例を図４に対応させて示す概略図であ り、同一構成箇所は同符号を付して説明を省略する。このガスレーザ発振装置は 、鏡保持器５ｃ、５ｄ又は５ｅ、５ｆの構造が例えば図２又は図３に示すように 従来のものとは異なっている。なお、図２（ａ）は鏡保持器５ｃ及び５ｄの平面 図、同図（ｂ）はその側面図、図３（ａ）は鏡保持器５ｅ及び５ｆの平面図、同 図（ｂ）はそのＡＢＣＤ断面図である。

【０００９】 図２の鏡保持器５ｃ、（５ｄ）は支点７ａ、（７ｂ）間に重り１００が弾性体 １０１を介して取付けられており、鏡保持器５ｃ、（５ｄ）の振動を重り１００ と弾性体１０１で減衰させることができる。そして、弾性体１０１及び重り１０ ０は従来技術の鏡保持器５ａ、（５ｂ）に容易に追加することができる。図３の 鏡保持器５ｅ、（５ｆ）は重り１００が弾性体１０１を介して鏡保持器５ｅ、（ ５ｆ）内に埋込まれており、図２の鏡保持器５ｃ、（５ｄ）と同様の効果が得ら れると共に、従来技術の鏡保持器５ａ、（５ｂ）と同一の厚さで構成することが できる。この場合、弾性体１０１の代わりに金属や非金属の微小粒を使用しても 同一の効果が得られる。

【００１０】

【考案の効果】

以上のように本考案のガスレーザ発振装置によれば、支点間の長い鏡保持器の 振動を抑制することが可能となるので、光共振器のアライメントのズレが無くな り、出力変動の無い安定したレーザ光を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のガスレーザ発振装置の一例を示す概略
図である。

【図２】本考案装置に用いられる鏡保持器の第１の例を
示す図である。

【図３】本考案装置に用いられる鏡保持器の第２の例を
示す図である。

【図４】従来のガスレーザ発振装置の一例を示す概略図
である。

【図５】従来装置に用いられる鏡保持器の一例を示す図
である。

【符号の説明】

５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ、５ｆ 鏡保持器 １００ 重り １０１ 弾性体

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 光共振器を構成する鏡の位置決めを行な
   う鏡保持器を備えたガスレーザ発振装置において、前記
   鏡保持器に弾性体を介して重りが取付けられていること
   を特徴とするガスレーザ発振装置。
2. 【請求項２】 前記重りは弾性体を介して前記鏡保持器
   の内部に埋込まれている請求頁１に記載のガスレーザ発
   振装置。
3. 【請求項３】 前記重りは金属又は非金属の微小粒を介
   して前記鏡保持器の内部に埋込まれている請求項１に記
   載のガスレーザ発振装置。