JPH05210009A - カラーフイルターの欠陥修正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 少数の欠落画素があるカラーフイルターを簡
便な方法で修正し、最終的に平坦性の優れた、欠陥のな
い安定なパターンを有するカラーフイルターを製造する
方法を提供する。 【構成】 カラーフイルターの欠陥修正方法が、（１）
基板上に赤、緑、青色及びブラックマトリックス画素を
形成する工程、（２）上記いずれかの画素の欠落部分を
含む領域に、該欠落画素と同一の色の着色感光性樹脂層
を有する着色感光性転写材料を密着させる工程、（３）
上記着色感光性転写材料が密着された領域に該基板を介
して露光を行い、該欠落部分の着色感光性樹脂層を硬化
する工程、（４）上記着色感光性樹脂層の未硬化部分を
除去する工程、を含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶を用いたカラーテ
レビ、カラー表示デバイス、カラー撮像デバイス等に使
用されるカラーフイルターの、製造時に発生する画素等
の欠落を修正する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示素子用のカラーフイルターを作
成する方法としては、印刷法、染色法、顔料分散法（特
開昭５７−１６４０７号公報）、電着法、着色感光性層
転写法（特願平２−４０００４７号）などが知られてい
る。液晶表示素子を用いたデバイスでは静止画像を見る
機会も多く、カラーフイルターを構成する各色の画素の
欠陥が零であることが望ましい。しかし、周囲の微小な
ゴミや基板の洗浄工程の不十分などに起因する画素の欠
落が全く無いカラーフイルターを多数製造するには多く
の困難を伴う。そこでさらに歩留まりを向上するため
に、少数の欠落画素を有するカラーフイルターの修正方
法が求められてきた。

【０００３】しかし、従来の、着色感光性樹脂塗布液を
用いた欠陥修正法では、塗布技術の限界から、欠陥部に
平坦性の良好な修正画素を形成することは非常に困難で
あった。また、複数の色の欠陥がある場合には、着色感
光性樹脂塗布液を塗布・露光・現像する工程を複数回繰
り返す必要があり、膨大な手間を要すると共に、新たな
欠陥が生じることもあった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる点に鑑
み、少数の欠落画素があるカラーフイルターを簡便な方
法で修正し、最終的に平坦性の優れた、欠陥のない安定
なパターンを有するカラーフイルターを製造する方法を
提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、（１）
基板上に赤、緑、青色及びブラックマトリックス画素を
形成する工程、（２）上記いずれかの画素の欠落部分を
含む領域に、該欠落画素と同一の色の着色感光性樹脂層
を有する着色感光性転写材料を密着させる工程、（３）
上記着色感光性転写材料が密着された領域に該基板を介
して露光を行い、該欠落部分の着色感光性樹脂層を硬化
する工程、（４）上記着色感光性樹脂層の未硬化部分を
除去する工程、を含むことを特徴とするカラーフイルタ
ーの欠陥修正方法により達成された。本発明の欠陥修正
方法によれば、修正部の画素の平坦性が良好で、多色の
欠陥が存在する場合でも、各欠陥部毎に選択した感光性
着色転写材料を必要箇所に密着させ、一度の露光と一度
の現像処理で一括修正することができる。以下、本発明
について詳細に説明する。

【０００６】本発明で使用する着色感光性転写材料とし
ては、特開平４−２０８９４０号明細書、特願平２−２
３８２８６号明細書、特願平３−９２９２号明細書、特
願平３−１２０２２３号明細書、特願平３−１５３２２
７号明細書等に記載されたものを使用することができ、
特に本願の方法において好ましいのは特願平３−１５３
２２７号明細書に記載のものである。

【０００７】修正すべきカラーフイルターは、本質的に
どのような公知の方法で作成したものでもよいが、好ま
しくは欠陥部において透明基板の表面が露出するもので
あって、例えば特開昭５７−１６４０７号公報に記載の
顔料分散した感光性樹脂を塗布、乾燥し、露光現像を繰
り返すことにより透明基板上に形成したもの、上記公報
に記載された着色感光性転写材料を用いて形成したも
の、一般の印刷法によるものが好ましい。しかし欠陥部
に透明基板の表面が露出していないタイプ、例えば、特
開平３−２８２４０４号、特願平２−２３８２８６号明
細書に記載の方法で形成したものでも良い。染色法であ
っても特開平１−２９３３０４公報に記載のような、非
染色部が現像により除去されるタイプであれば、本願方
法を適用することにより平坦性の優れたカラーフイルタ
ーを与える点で好ましい。

【０００８】本願の修正すべきカラーフイルターの欠陥
部が、透明基板の露出部であるときには、特願平３−８
４０３７号明細書に記載の基板処理法を適用すれば、本
願着色感光性転写材料の優れた密着性が実現できる。

【０００９】本発明の方法において使用する着色感光性
転写材料としては、仮支持体上にアルカリ可溶な熱可塑
性樹脂層、分離層、着色感光性樹脂層をこの順に設け、
該熱可塑性樹脂層と該仮支持体の間の接着力が最も小さ
いことを特徴とする着色感光性転写材料が特に好ましい
ので次に詳細に説明する。

【００１０】該感光性転写材料の仮支持体としては、熱
可塑性樹脂層と申分の無い剥離性を有し、化学的および
熱的に安定であって、また可撓性の物質で構成されるべ
きであり、具体的にはテフロン、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピ
レン等薄いシートもしくはこれらの積層物が好ましい。
仮支持体の厚みは５μｍ〜３００μｍが適当であり、好
ましくは２０μｍ〜１５０μｍである。

【００１１】熱可塑性樹脂層として用いる有機高分子物
質としてはヴイカーＶｉｃａｔ法（具体的にはアメリカ
材料試験法エーエステーエムデーＡＳＴＭＤ１２３５に
よるポリマー軟化点測定法）による軟化点が約８０℃以
下の有機高分子物質より選ばれることが好ましい。この
理由は軟化点の低いポリマーを用いることにより、転写
シートを凹凸のある基板上に熱と圧で転写する際に下地
の凹凸を完全に吸収し、気泡残りが全く無い状態で転写
するためである。軟化点が高いポリマーを用いた場合
は、高い温度で転写する必要が有り、作業実質上不利で
ある。この様な点で熱可塑性樹脂層に用いられる有機高
分子物質としてはＶｉｃａｔ法による軟化点が約８０℃
以下のもの、好ましくは６０℃以下、特に好ましくは５
０℃以下のものである。軟化点が８０℃以下のものとし
ては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化
物、スチレンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体の
ケン化物、ビニルトルエンと（メタ）アクリル酸エステ
ル共重合体のケン化物、ポリ（メタ）アクリル酸エステ
ル、（メタ）アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の（メ
タ）アクリル酸エステル共重合体などのケン化物、から
少なくとも１つ選ばれるのが好ましいが、さらに「プラ
スチック性能便覧」（日本プラスチック工業連盟、全日
本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、
１９６８年１０月２５日発行）による軟化点が約８０℃
以下の有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを
使用することができる。またアルカリ水溶液に可溶な樹
脂の例としては、アルカリ可溶性光重合性樹脂に用いら
れる、公知の高分子結合剤を挙げる事ができる。（メ
タ）アクリル酸と（メタ）アクリル酸アルキルエステル
（アルキル基としては、メチル基、エチル基、ブチル基
など）との共重合物、ポリ（メタ）アクリル酸、スチレ
ンと無水マレイン酸などの不飽和二塩基酸無水物との共
重合物、および該ポリマーとアルコール類との反応物、
セルロースの多塩基酸無水物との反応物などがある。
上記のポリマーのうち、本発明の結合剤として特に好適
に用いられるものは、スチレン／無水マレイン酸共重合
体、特開昭６０−２５８５３９号明細書記載のメタクリ
ル酸メチル／メタクリル酸／メタクリル酸２−エチルヘ
キシル／メタクリル酸ベンジル四元共重合体、特公昭５
５−３８９６１号明細書記載のスチレン／マレイン酸モ
ノ−ｎ−ブチルエステル共重合体、特公昭５４−２５９
５７号明細書記載のスチレン／メタクリル酸メチル／ア
クリル酸エチル／メタクリル酸の四元共重合体、特開昭
５２−９９８１０号明細書記載のメタクリル酸ベンジル
／メタクリル酸共重合体、特公昭５８−１２５７７号明
細書記載のアクリロニトリル／メタクリル酸２−エチル
ヘキシル／メタクリル酸の三元共重合体、および特公昭
５５−６２１０号明細書記載のメタクリル酸メチル／ア
クリル酸エチル／アクリル酸の三元共重合体とイソプロ
パノールで一部分エステル化したスチレン／無水マレイ
ン酸共重合体の２種などである。

【００１２】軟化点が８０℃以上の有機高分子物質にお
いてもその有機高分子物質中に該高分子物質と相溶性の
ある各種の可塑剤を添加して実質的な軟化点を８０℃以
下に下げることも可能である。またこれらの有機高分子
物質中に仮支持体との接着力を調節するために実質的な
軟化点が８０℃を越えない範囲で各種のポリマーや過冷
却物質、密着改良剤あるいは界面活性剤、離型剤、等を
加えることが可能である。好ましい可塑剤の具体例とし
ては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコ
ール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、
ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、ク
レジルジフェニルフォスフェートビフェニルジフェニル
フォスフェートを挙げることができる。

【００１３】熱可塑性樹脂層の厚みは６μｍ以上が好ま
しい。この理由としては熱可塑性樹脂層の厚みが５μｍ
以下であると１μｍ以上の下地の凹凸を完全に吸収する
ことが不可能であるためである。上限については、現像
性、製造適性から約１００μｍ以下、好ましくは約５０
μｍ以下である。

【００１４】感光性転写材料の転写条件によつては、転
写中に熱可塑性樹脂が周囲にはみ出して永久支持体を汚
染することがある。この汚染を防止するためには、上述
の熱可塑性樹脂との中から、アルカリ水溶液に溶解する
ものが好ましい。アルカリ水溶液に溶解するものであれ
ば、後の処理により容易に除去することが可能だからで
ある。

【００１５】本発明においてアルカリ水溶液とは、アル
カリ性物質の希薄水溶液であるが、さらに水と混和性の
有機溶剤を少量添加したものも含む。適当なアルカリ性
物質はアルカリ金属水酸化物類（例えば水酸化ナトリウ
ム、水酸化カリウム）、アルカリ金属炭酸塩類（例えば
炭酸ナトリウム、炭酸カリウム）、アルカリ金属重炭酸
塩類（炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム）、アル
カリ金属ケイ酸塩類（ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウ
ム）アルカリ金属メタケイ酸塩類（メタケイ酸ナトリウ
ム、メタケイ酸カリウム）、トリエタノールアミン、ジ
エタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリ
ン、テトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類（例
えばテトラメチルアンモニウムヒドロキシド）または燐
酸三ナトリウムである。アルカリ性物質の濃度は、０．
０１重量％〜３０重量％であり、ｐＨは８〜１４が好ま
しい。

【００１６】水と混和性の適当な有機溶剤は、メタノー
ル、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノー
ル、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリ
コールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエ
チルエーテル、エチレングリコールモノｎ−ブチルエー
テル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケ
トン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブ
チロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセト
アミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳
酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドン
である。水と混和性の有機溶剤の濃度は０．１重量％〜
３０重量％である。さらに公知の界面活性剤を添加する
ことができる。界面活性剤の濃度は０．０１重量％〜１
０重量％が好ましい。

【００１７】分離層としては水またはアルカリ水溶液に
分散または溶解し、低い酸素透過性を示すものであれば
良く、公知のものが使用できる。例えば、特開昭４６−
２１２１号や特公昭５６−４０８２４号の各明細書に記
載のポリビニルエーテル／無水マレイン酸重合体、カル
ボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロー
スエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポ
リビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、各種のポ
リアクリルアミド類、各種の水溶性ポリアミド、ポリア
クリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重
合体、各種の澱粉およびその類似物からなる群の水溶性
塩、スチレン／マレイン酸の共重合体、およびマレイネ
ート樹脂さらにこれらの２種以上の組み合わせが挙げら
れる。

【００１８】特に好ましいのは、ポリビニルアルコール
とポリビニルピロリドンの組み合わせである。ポリビニ
ルアルコールは鹸化率が８０％以上であるものが好まし
く、ポリビニルピロリドンの含有量は分離層固形分の１
重量％〜７５重量％が好ましく、より好ましくは１重量
％〜６０重量％、更に好ましくは１０重量％〜５０重量
％である。１重量％未満では、感光性樹脂層との十分な
密着が得られず、７５重量％を越えると、酸素遮断能が
低下する。分離層の厚みは非常に薄く、約０．１〜５μ
ｍ、特に０．５〜２μｍである。約０．１μｍ未満だと
酸素の透過性が高すぎ、約５μｍを越えると、現像時ま
たは分離層除去時に時間がかかりすぎる。

【００１９】着色感光性樹脂層は少なくとも１５０℃以
下の温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましく、
熱可塑性であることが好ましい。公知の光重合性組成物
を用いた層の大部分はこの性質を有するが、公知層の一
部は、熱可塑性結合剤の添加あるいは相溶性の可塑剤の
添加によって更に改質することができる。本発明におい
て、感光性樹脂層の素材としては公知の、例えば特開平
３−２８２４０４に記載されている感光性樹脂がすべて
使用できる。具体的には、ネガ型ジアゾ樹脂とバインダ
ーからなる感光性樹脂層、光重合性組成物、アジド化合
物とバインダーとからなる感光性樹脂組成物、桂皮酸型
感光性樹脂組成物等が挙げられる。その中でも特に好ま
しいのは光重合性樹脂である。その光重合性樹脂は光重
合開始剤、光重合性モノマーおよびバインダーを基本構
成要素として含む。

【００２０】感光性樹脂としてはアルカリ水溶液により
現像可能なものと、有機溶剤により現像可能なものが知
られているが、公害防止、労働安全性の確保の観点から
アルカリ水溶液現像可能なものが好ましい。感光性樹脂
層のアルカリ現像液としては、アルカリ性物質の希薄水
溶液であるが、さらに水と混和性の有機溶剤を少量添加
したものも含まれる。適当なアルカリ性物質、水と混和
性の適当な有機溶剤、界面活性剤の種類、濃度等は、上
述したものと同一である。但し、熱可塑性樹脂層の処理
液と感光性樹脂層の現像液が同一である必要はなく、処
方が異なっていても良い。

【００２１】現像液は、浴液としても、あるいは噴霧液
としても用いることができる。光重合性遮光材料層の未
硬化部分を除去するには現像液中で回転ブラシで擦るか
湿潤スポンジで擦る、超音波を照射するなどの方法を組
み合わせることができる。現像液の液温度は通常室温付
近から４０℃が好ましい。現像処理の後に水洗工程を入
れることも可能でる。

【００２２】該感光性樹脂層には顔料もしくは染料等の
着色材料を添加する。すべての着色材料は感光性樹脂層
中に実質的に均一に分散されており、５μｍ以下の粒
径、好ましくは１μｍ以下の粒径を有していなければな
らない。カラーフイルターの作成に当たっては、０．５
μｍ以下の粒径のものが特に好ましい。

【００２３】適当な顔料もしくは染料の例は次の通りで
ある。ビクトリア・ピュアーブルーＢＯ（Ｃ．Ｉ．４２
５９５）、オーラミン（Ｃ．Ｉ．４１０００）、ファッ
ト・ブラックＨＢ（Ｃ．Ｉ．２６１５０）、モノライト
・エローＧＴ（Ｃ．Ｉ．ピグメントエロー１２）、パー
マネント・エローＧＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー１
７）、パーマネント・エローＨＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント
・エロー８３）、パーマネント・カーミンＦＢＢ（Ｃ．
Ｉ．ピグメント・レッド１４６）、ホスターバームレッ
ドＥＳＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット１９）、
パーマネント・ルビーＦＢＨ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レ
ッド１１）ファステル・ピンクＢスプラ（Ｃ．Ｉ．ピグ
メント・レッド８１）モナストラル・ファースト・ブル
ー（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５）、モノライト・
ファースト・ブラックＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラッ
ク１）及びカーボン。さらにカラーフイルターを形成す
るのに適当な顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッ
ド９７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１２２、Ｃ．Ｉ．
ピグメント・レッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッ
ド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７、Ｃ．
Ｉ．ピグメント・レッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・
レッド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２１５、
Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメント
・グリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：
１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピ
グメント・ブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブル
ー２２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー６０、Ｃ．Ｉ．ピ
グメント・ブルー６４を挙げることができる。

【００２４】該感光性樹脂層は、貯蔵の際汚染や損傷に
対して保護するために、支持体に相対する側に薄い被覆
シートを有する。被覆シートは仮支持体と同じかまたは
類似の材料からなっても良いが、感光性樹脂層から容易
に分離されねばならない。被覆シート材料としては例え
ばシリコーン紙、ポリオレフィンもしくはポリテトラフ
ルオルエチレンシートが適当である。被覆シートの厚み
は約５から１００μｍであるのが好ましい。特に好まし
くは１０〜３０μｍ厚のポリエチレンまたはポリプロピ
レンフィルムである。

【００２５】本発明に用いる感光性転写材料は、仮支持
体上に熱可塑性樹脂層溶液を施し、乾燥することにより
熱可塑性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に熱可
塑性樹脂層を溶解しない溶剤からなる分離層材料の溶液
を塗布し、乾燥し、その後感光性樹脂層を分離層を溶解
しない溶剤で塗布、乾燥して設ける。または別の被覆シ
ート上に感光性樹脂層を設けて、前記の仮支持体上に熱
可塑性樹脂層及び分離層を有するシートの両方のシート
を分離層と感光性樹脂層が接するように相互に貼り合わ
せることまたは、別の被覆シートとして、熱可塑性樹脂
層を有する仮支持体を用意し、この熱可塑性樹脂層を、
被覆シート上の感光性樹脂層及び分離層からなるシート
の分離層とを貼り合わせることにより有利に製造され
る。

【００２６】塗布により熱可塑性樹脂層を設けた仮支持
体の代わりに、熱可塑性樹脂のシートと仮支持体シート
の接着した２層または多層シートを用いることもでき
る。熱可塑性樹脂のシートとしては前記の熱可塑性樹脂
層用の材料が使用できるが、この場合はポリエチレンフ
ィルムやポリプロピレンフィルムが特に好ましい。仮支
持体上にポリエチレンやポリプロピレンフィルムシート
を設ける方法としては、仮支持体上にポリ酢酸ビニル、
ポリ塩化ビニル、エポキシ樹脂、ポリウレタン、天然ゴ
ム、合成ゴム等の溶液を塗布乾燥することにより接着剤
層を設け、この上にポリエチレン、ポリプロピレンフィ
ルム等を加圧加熱下に張り合わせる方法、エチレン／酢
酸ビニル共重合体、エチレン／アクリル酸エステル共重
合体、ポリアミド樹脂、石油樹脂、ロジン類、ワックス
類の混合物からなる接着剤を加熱溶融して仮支持体上に
塗布した後で直ちにポリエチレン、ポリプロピレンフィ
ルム等を貼り合わせる方法、ポリエチレン、ポリプロピ
レン等を溶融状態にし、押出し機によりフィルム状に押
出し、溶融状態のまま、仮支持体を圧着してラミネート
する方法等が挙げられる。

【００２７】永久支持体上に感光性転写材料の感光性樹
脂層を張り合わせた後で仮支持体を剥そうとすると、フ
イルムと人体が帯電して不快な電撃シヨツクを受けるこ
とがあり、更に、この帯電のために周囲からゴミを吸い
寄せて引き続く露光工程で未露光部が生じ、ピンホール
の原因となることがある。そこで、本発明に使用する感
光性転写材料においては、帯電を防止するため、仮支持
体の少なくとも一方の面に導電性層を設けてその表面電
気抵抗を１０¹³Ω以下としたか、あるいは仮支持体自体
に導電性を付与してその表面電気抵抗を１０¹³Ω以下と
したものを用いることが好ましい。

【００２８】仮支持体に導電性を付与するには、仮支持
体中に導電性物質を含有させれば良い。例えば、金属酸
化物の微粒子や帯電防止剤を練り込んでおく方法が好適
である。金属酸化物としては、酸化亜鉛、酸化チタン、
酸化錫、酸化アルミニウム、酸化インジウム、酸化珪
素、酸化マグネシウム、酸化バリウム、酸化モリブデン
の中から選ばれた少なくとも１種の結晶性金属酸化物、
及び／またはその複合酸化物の微粒子である。帯電防止
剤としては例えば、アニオン界面活性剤としてアルキル
燐酸塩系（例えば、花押石鹸（株）のエレクトロストリ
ッパーＡ、第一工業製薬（株）のエレノンＮｏ１９等
が、両性界面活性剤としてベタイン系（例えば、第一工
業製薬（株）のアモーゲンＫ、等）が、非イオン界面活
性剤としてポリオキシエチレン脂肪酸エステル系（例え
ば、日本油脂（株）のニツサンノニオンＬ、等）、ポリ
オキシエチレンアルキルエーテル系（例えば、花王石鹸
（株）のエマルゲン１０６、１２０、１４７、４２０、
２２０、９０５、９１０、日本油脂（株）のニツサンノ
ニオンＥ、等）が有用である。その他、非イオン界面活
性剤としてポリオキシエチレンアルキルフェノールエー
テル系、多価アルコール脂肪酸エステル系、ポリオキシ
エチレンソルビタン脂肪酸エステル系、ポリオキシエチ
レンアルキルアミン系等のものが用いられる。

【００２９】仮支持体上に導電性層を設ける場合には、
導電性層としては公知のものの中から適宜選択して用い
る事ができ、特に導電性物質として、ＺｎＯ、ＴｉＯ2
、ＳｎＯ2、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｉｎ2Ｏ3 、ＳｉＯ2 、Ｍｇ
Ｏ、ＢａＯ、ＭｏＯ3 の中から選ばれた少なくとも１種
の結晶性金属酸化物、及び／またはその複合酸化物の微
粒子を含有させる方法が、湿度に影響されない導電性を
示すので好ましい。結晶性金属酸化物またはその複合酸
化物の微粒子は、その体積抵抗が１０⁷ Ω・ｃｍ以下で
ある事が好ましく、特に１０⁵Ω・ｃｍ以下である事が
好ましい。

【００３０】その粒子サイズは、０．０１〜０．７μ
ｍ、特に０．０２〜０．５μｍである事が好ましい。導
電性の結晶性金属酸化物及びその複合酸化物の微粒子の
製造方法については、特開昭５６−１４３４３０号に詳
細に記載されているが、それらについて略述すれば、第
１に金属酸化物微粒子を焼成により作製し、導電性を向
上させる異種原子の存在下で熱処理する方法、第２に焼
成により金属酸化物微粒子を製造するときに導電性を向
上させる為の異種原子を共存させる方法、第３に焼成に
より金属微粒子を製造する際に雰囲気中の酸素濃度を下
げて、酸素欠陥を導入する方法等である。異種原子を含
む例としてはＺｎＯに対してＡｌ、Ｉｎ等、ＴｉＯ2に
対してはＮｂ、Ｔａ等、ＳｎＯ2に対しては、Ｓｂ、Ｎ
ｂ、ハロゲン元素等が挙げられる。異種原子の添加量は
０．０１〜３０ｍｏｌ％の範囲が好ましく、０．１〜１
０ｍｏｌ％が特に好ましい。導電性粒子の使用量は０．
０５ｇ／ｍ²〜２０ｇ／ｍ²がよく、０．１ｇ／ｍ²〜１
０ｇ／ｍ²が特に好ましい。

【００３１】これら導電性層には、バインダーとして、
ゼラチン、セルロースナイトレート、セルローストリア
セテート、セルロースジアセテート、セルロースアセテ
ートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート
等のようなセルロースエステル、塩化ビニリデン、塩化
ビニル、スチレン、アクリロニトリル、酢酸ビニル、ア
ルキル（アルキル基Ｃ1〜Ｃ4）アクリレート、ビニルピ
ロリドン等を含むホモポリマーまたは、共重合体、可溶
性ポリエステル、ポリカーボネート、可溶性ポリアミド
等を使用することができる。これらのバインダー中への
導電性粒子の分散に際しては、チタン系分散剤或いはシ
ラン系分散剤のような分散液を添加してもよい。またバ
インダー架橋剤等を加えても何らさしつかえはない。

【００３２】チタン系分散剤としては、米国特許４，０
６９，１９２号、同４，０８０，３５３号等に記載され
ているチタネート系カップリング剤、及びプレンアクト
（商品名：味の素（株）製）等を挙げる事ができる。シ
ラン系分散剤としては、例えばビニルトリクロルシラ
ン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（β−メ
トキシエトキシ）シラン、γ−グリシドキシプロピルト
リメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメ
トキシシラン等が知られており「シランカップリング
剤」として信越化学（株）等から市販されている。バイ
ンダー架橋剤としては、例えば、エポキシ系架橋剤、イ
ソシアネート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、エポキシ
系架橋剤等を挙げる事ができる。

【００３３】本発明における好ましい導電性層は、導電
性微粒子をバインダーに分散させ支持体上に設けること
により、または支持体に下引処理をほどこし、その上に
伝導性微粒子を被着させることにより設けることができ
る。本発明において導電性層が支持体の感光性樹脂層と
は反対側の面に設けられる場合には、耐傷性を良好なも
のとするために、導電性層の上に更に疎水性重合体層を
設ける事が好ましい。この場合、疎水性重合体層は、有
機溶剤に溶解した溶液または水性ラテックスの状態で塗
布すればよく、塗布量は乾燥重量にして０．０５ｇ／ｍ
²〜１ｇ／ｍ²程度がよい。

【００３４】疎水性重合体としては、セルロースエステ
ル（例えばニトロセルロース、セルロースアセテー
ト）、塩化ビニル、塩化ビニリデン、ビニルアクリレー
ト等を含むビニル系ポリマーや有機溶剤可溶性ポリアミ
ド、ポリエステル等のポリマーを挙げる事ができる。こ
の層には、すべり性を付与するためのすべり剤、例えば
特開昭５５−７９４３５号に記載があるような有機カル
ボン酸アミド等を使用しても差しつかえないし、またマ
ット剤等を加えることも何ら支障はない。このような疎
水性重合体層を設けても本発明の導電性層の効果は実質
的に影響を受けない。

【００３５】下塗層を設ける場合には、特開昭５１−１
３５５２６号、米国特許３，１４３，４２１号、同３，
５８６，５０８号、同２，６９８，２３５号、同３，５
６７，４５２号等に記載されているような塩化ビニリデ
ン系共重合体、特開昭５１−１１４１２０号、米国特許
３，６１５，５５６号等に記載されているようなブタジ
エン等のジオレフイン系共重合体、特開昭５１−５８４
６９号等に記載されているようなグリシジルアクリレー
トまたはグリシジルメタアクリレート含有共重合体、特
開昭４８−２４９２３号等に記載されているようなポリ
アミド・エピクロルヒドリン樹脂、特開昭５０−３９５
３６号に記載されているような無水マレイン酸含有共重
合体等を用いる事ができる。

【００３６】更に、特開昭５６−８２５０４号、特開昭
５６−１４３４４３号、特開昭５７−１０４９３１号、
特開昭５７−１１８２４２号、特開昭５８−６２６４７
号、特開昭６０−２５８５４１号等に示されている導電
性層も適宜用いる事ができる。

【００３７】導電性層を、仮支持体フィルムと同一また
は異なったプラスチック原料に含有せしめ、仮支持体用
フィルムを押し出す際に同時に共押し出しした場合に
は、接着性、耐傷性に優れた導電性層を容易に得る事が
できるので、この場合には前記の疎水性重合体層や下塗
層を設ける必要がなく、本発明における導電性層の特に
好ましい実施態様である。導電性層を塗布する場合に
は、ローラーコート、エアナイフコート、グラビアコー
ト、バーコート、カーテンコート等、通常の方法が採用
できる。

【００３８】仮支持体の、熱可塑性樹脂層を設けない側
の面に導電性層を設ける場合には、該熱可塑性樹脂層と
支持体の接着力を上げるため、仮支持体に、例えばグロ
ー放電処理、コロナ処理、紫外線照射処理などの表面処
理を行ったり、熱可塑性樹脂層中にクレゾールノボラッ
ク樹脂やレゾルシン等のフェノール性物質を添加した
り、仮支持体にポリ塩化ビニリデン樹脂、スチレンブタ
ジエンゴム、ゼラチン等の下塗り処理を行ったり、さら
にこれらの処理を組み合わせた処理を行うことができ
る。仮支持体の熱可塑性樹脂層の面は特別な処理を行う
必要なく、適当な密着性と、剥離性が実現できる。ま
た、滑り性を良化するため、もしくは該感光性樹脂層の
仮支持体裏面との不都合な接着を防止するため、仮支持
体の裏面に公知の微粒子含有滑り性組成物、シリコーン
化合物を含有する離型剤組成物等を塗布することも有用
である。

【００３９】本発明のカラーフイルターの欠陥修正法の
工程は、概略下記の通りである。先ず、感光性転写材料
の被覆シートを取除き、加圧、好ましくは加温下で、着
色感光性樹脂層を修正すべき欠陥を有するカラーフイル
ター層上に貼り合わせる。この時の感光性転写材料は、
欠陥部を修正すべき色の着色感光性転写材料が選ばれ
る。そして欠陥部を完全に覆うサイズであればよい。貼
り合わせには、公知のラミネーター、真空ラミネータ
ー、例えばアイロンなどの部分的に加熱加圧のできる工
具等が使用でき、更に生産性を高めるためにオートカッ
トラミネーターの使用も可能である。その後仮支持体を
剥がし、もしくは仮支持体を付けたまま、カラーフイル
ター層の基板を介して、欠陥部分を完全に含む範囲を露
光する。この際、基板上にある各画素により光が吸収さ
れるので、特別なマスクを使用しなくても実質的に欠陥
部分の着色感光層のみが硬化する。レーザー等のビーム
光源を用いて欠陥部分だけを照射しても良いし、所定の
マスクを介して着色感光性樹脂層側から露光しても良
い。

【００４０】マスクを介さないで露光しても、欠陥部以
外の画素もしくはブラックマトリクス上に存在する着色
感光性転写材料に対しては、赤、緑、青、ブラックマト
リックスなどに遮蔽され露光量が減少する。このため欠
陥部での十分な硬化を行うに必要な露光量を与えても、
欠陥部以外の着色感光性転写材料の硬化度は低く、現像
処理により除去することができる。しかし必要以上に露
光量を増加すると、画素により遮蔽された部分において
も硬化して現像できない状態になるので、露光量を適当
な範囲に調節しなければならない。この露光量の範囲
は、当業者が適宜決定することができるが、以下の方法
を用いることがより好ましい。

【００４１】実質的に欠陥部に対応する着色感光性樹脂
層のみを硬化させるには、修正に用いる着色感光性樹脂
層の感光波長域において、基板上に形成されている赤、
緑、青及びブラックマトリックス各画素の光透過率が２
％以下になるようにする。この場合には、画素の上にあ
る着色感光性樹脂層は実質的に硬化せず、一方欠陥部分
の着色感光性樹脂層は充分に硬化するので、引き続く処
理、例えば現像処理により、前者のみ容易に除去するこ
とができる。光透過率が２％を越えると、画素の上にあ
る着色感光性樹脂層も部分的に硬化して除去することが
困難となる場合がある。

【００４２】上述した、各画素の光透過率を２％以下と
するには、例えば次の方法が挙げられる。第一は、各画
素を構成する組成物の中に予め光吸収剤を添加しておく
方法である。光吸収剤としては、公知の化合物が使用可
能であり、ベンゾフェノン誘導体（ミヒラーズケトン
等）、メロシアニン系化合物、金属酸化物等が好まし
い。具体的には、上記ミヒラーズケトンの他、２−ベン
ゾイルメチレン−３−メチル−β−ナフトチアゾリン、
酸化チタン、酸化亜鉛等が挙げられる。

【００４３】第二は、欠陥修正時の露光波長を選択する
方法である。即ち、欠陥部分に密着させた着色感光性樹
脂層の感光波長域において、基板上に形成されている各
色の画素の光透過率が２％以下である波長を有する光を
照射する。具体的には、４００ｎｍ以上の波長領域をカ
ットする光学フイルターを介して露光することにより、
赤、緑、青、ブラツクマトリツクス画素による、特に青
色画素による光遮蔽の程度が増加するので、露光量を増
加させることができ、欠陥部分を十分硬化させることが
できる。

【００４４】第三は、予め基板の裏面にこのような特性
を有する遮光層（例えば、上記光吸収剤を含有する層）
を設けておき、露光後にこれを除去する方法である。

【００４５】次いで、感光性樹脂層の被露光量が少ない
未硬化部を除去する。通常の方法により現像液を用いて
現像することが好ましいが、機械的に除去することも可
能である。以下、本発明を実施例により更に詳細に説明
するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではな
い。「部」は重量部を表す。

【００４６】

【実施例】

実施例１ 厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム
仮支持体の上に下記の処方Ｈ１からなる塗布液を塗布、
乾燥させ、乾燥膜厚が２０μｍの熱可塑性樹脂層を設け
た。

【００４７】 熱可塑性樹脂層処方Ｈ１： メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジル メタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比） ＝５５／２８．８／１１．７／４．５、重量平均分子量＝９００００） １５重量部 ポリプロピレングリコールジアクリレート（平均分子量＝８２２） ６．５重量部 テトレエチレングリコールジメタクリレート １．５重量部 ｐ−トルエンスルホンアミド ０．５重量部 ベンゾフェノン １．０重量部 メチルエチルケトン ３０重量部

【００４８】次に上記熱可塑性樹脂層上に下記処方Ｂ１
から成る塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚が１．６μ
ｍ厚の分離層を設けた。

【００４９】 分離層処方Ｂ１： ポリビニルアルコール（クラレ（株）製ＰＶＡ２０５、鹸化率＝８０％） １３０重量部 ポリビニルピロリドン（ＧＡＦコーポレーション社製ＰＶＰ、Ｋ−９０） ６０重量部 弗素系界面活性剤（旭硝子（株）社製サーフロンＳ−１３１） １０重量部 蒸留水 ３３５０重量部

【００５０】上記熱可塑性樹脂層及び分離層を有する４
枚の仮支持体の上に、それぞれ表１の処方を有する、黒
色（Ｂｌ層用）、赤色（Ｒ層用）、緑色（Ｇ層用）及び
青色（Ｂ層用）の４色の感光性溶液を塗布、乾燥させ、
乾燥膜厚が２μｍの着色感光性樹脂層を形成した。

【００５１】 表１：感光層の処方 Ｒ層 Ｇ層 Ｂ層 Ｋ層 ────────────────────────────────── ヘ゛ンシ゛ルメタクリレート／ 60.0 60.0 60.0 60.0 メタクリル酸共重合体 （モル比＝７３／２７、 粘度＝０．１２） ペンタエリスリトール 43.2 43.2 43.2 43.2 テトラアクリレート ミヒラーズケトン 2.4 2.4 2.4 2.4 ２−（ｏ−クロロフェニル 2.5 2.5 2.5 2.5 ジフェニルイミダゾール２量体 イルガシンレッドＢＰＴ(赤色) 5.4 --- --- --- スーダンブルー(青色) --- 5.2 --- --- 銅フタロシアニン(緑色) --- --- 5.6 --- カーボンブラック(黒色) --- --- --- 5.6 メチルセロソルブアセテート 560 560 560 560 メチルエチルケトン 280 280 280 280

【００５２】さらに上記感光性樹脂層の上にポリプロピ
レン（厚さ１２μｍ）の被覆シートを圧着し、赤色、緑
色、青色および黒色感光性転写材料を作成した。各感光
性樹脂層の感光波長は３５０ｎｍ〜４２０ｎｍであり、
露光光源として超高圧水銀灯を用いた場合の主感光波長
は３６５ｎｍ（ｉ線）と４０５ｎｍ（ｈ線）であり、
赤、緑、青各画素の光透過率は下表の通りであった。

【００５３】

【００５４】この感光性転写材料を用いて、以下の方法
でカラーフイルターを作成した。表面に２０００オング
ストローム厚の酸化珪素の被膜を有するソーダガラス基
板（厚さ１．１ｍｍ、３０ｃｍ×４０ｃｍ）を、アミノ
基含有シランカップリング剤（信越化学製ＫＢＭ６０
３）の１％水溶液中に１分間浸漬し、水洗乾燥した。こ
のガラス基板上に、赤色感光性転写材料の被覆シートを
剥離し、感光性樹脂層面をラミネーター（大成ラミネー
タ（株）製ＶＰ−ＩＩ）を用いて加圧（０．８ｋｇ／ｃ
ｍ²）、加熱（１３０℃）して貼り合わせ、続いて仮支
持体と熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除
去した。次に所定のフォトマスク（画素の大きさが４０
μｍ×２００μｍ）を介して、２ＫＷ超高圧水銀灯を有
するアライナーを用いて、５０ｍｊ／ｃｍ²の露光量で
露光し、ＣＤ（フジハントエレクトロニクステクノロジ
ー社製現像液の商品名）と水の１：１０混合水溶液でス
プレー現像して不要部を除去し、ガラス基板上に赤色画
素パターンを形成した。次いで、赤色画素パターンが形
成されたガラス基板上に、緑色感光性転写材料を上記と
同様にして貼り合わせ、剥離、マスクを通した露光、現
像を行ない、緑色画素パターンを形成した。同様な工程
を青色、黒色感光性転写材料で繰り返し、透明ガラス基
板上にカラーフイルターを形成した。ただし黒色感光性
転写材料の露光時にはブラックマトリックスのマスクを
使用した。得られたブラックマトリックスを有するカラ
ーフイルターは画素の欠落もなく、下地との密着性も良
好であった。

【００５５】同様にして、１００枚のカラーフイルター
を作成したところ、このうち３枚には赤色、緑色、青色
ブラックマトリックスの各画素にそれぞれ１箇所ずつの
欠落が見いだされた。上記欠落部を含む領域に３ｃｍ×
１０ｃｍのサイズのそれら欠落部と同色の感光性転写材
料を用い、感光性樹脂層をカラーフイルター層上に置
き、前記のラミネータを用いてそれぞれの欠落部に貼り
合わせ、仮支持体を剥離し、基板の裏面からマスクを通
さず露光した。但し、この場合に表２に示した通り青色
画素のｈ線の透過率が２％を越えているので、超高圧水
銀灯光源と基板の間に東芝ガラスフィルターＵＶＤ３６
ｃを設置して１００ｍｊ／ｃｍ² の露光を与え、続いて
現像を行った。画素の欠落部には赤色、緑色、青色、ブ
ラックマトリクスのそれぞれの画素が形成され、透過
率、ヘイズ等のフィルター特性や平坦性、密着性も元の
非欠陥部分の画素と実質的に同等であり、満足に修正で
きたことが確認された。

【００５６】実施例２ 実施例１の表１の処方の代りに下記の表３の処方で各色
の感光性転写シートを作成した以外は、実施例１と同様
に行った。作成された感光性転写シートの各画素の光透
過率は表４の通りであった。

【００５７】 表３：感光層の処方 Ｒ層 Ｇ層 Ｂ層 Ｋ層 ────────────────────────────────── ヘ゛ンシ゛ルメタクリレート／ 60.0 60.0 60.0 60.0 メタクリル酸共重合体 （モル比＝７３／２７、 粘度＝０．１２） ペンタエリスリトール 43.2 43.2 43.2 43.2 テトラアクリレート ２−（ｐ−メトキシフェニル）− 2.0 2.0 2.0 2.0 ４，６−ビス（トリスクロルメチル） −ｓ−トリアジン イルガシンレッドＢＰＴ 5.4 --- --- --- スーダンブルー --- 5.2 --- --- 銅フタロシアニン --- --- 5.6 --- カーボンブラック --- --- --- 5.6 酸化亜鉛 2.0 2.0 --- --- メチルセロソルブアセテート 560 560 560 560 メチルエチルケトン 280 280 280 280

【００５８】

【００５９】実施例１と同様に発生した欠落部を修正し
たところ、実施例１と同様な良好な結果が得られた。

【００６０】比較例１ 露光時に東芝ガラスフィルター（ＵＶＤ３６ｃ）を設置
しなかった以外は、実施例１と同じ方法で欠陥の修正を
行ったところ、Ｂの画素上に修正に用いた各色の感光性
樹脂層が残留し、カラーフイルターとしての使用は困難
であった。

【００６１】比較例２ 実施例１の表１の処方の代りに下記の表５の処方で各色
の感光性転写シートを作成した以外は、実施例１と同様
に行った。作成された感光性転写シートの各画素の光透
過率は表６の通りであった。

【００６２】 表５：感光層の処方 Ｒ層 Ｇ層 Ｂ層 Ｋ層 ────────────────────────────────── ヘ゛ンシ゛ルメタクリレート／ 60.0 60.0 60.0 60.0 メタクリル酸共重合体 （モル比＝７３／２７、 粘度＝０．１２） ペンタエリスリトール 43.2 43.2 43.2 43.2 テトラアクリレート ミヒラーズケトン 1.5 1.5 1.5 1.5 ２−（ｏ−クロロフェニル 2.5 2.5 2.5 2.5 ジフェニルイミダゾール２量体 イルガシンレッドＢＰＴ 5.4 --- --- --- スーダンブルー --- 5.2 --- --- 銅フタロシアニン --- --- 5.6 --- カーボンブラック --- --- --- 5.6 メチルセロソルブアセテート 560 560 560 560 メチルエチルケトン 280 280 280 280

【００６３】

【００６４】実施例１と同様に発生した欠落部を修正し
たが、実施例１と同じ露光量で行ったところ、赤色画素
のｉ線透過率が２％を超えているので、赤色画素上に現
像不良が発生した。また、露光量を半分にして行ったと
ころ、赤色画像上の現像不良は発生しなかったが、露光
量が少ないために、修正部が十分に硬化せず、非欠陥部
との間に段差が発生してしまった。

【００６５】比較例３ 実施例２の表３の処方の代りに下記の表７の処方（酸化
亜鉛を除去した処方）で各色の感光性転写シートを作成
した以外は、実施例２と同様に行った。作成された感光
性転写シートの各画素の光透過率は表８の通りであっ
た。

【００６６】 表７：感光層の処方 Ｒ層 Ｇ層 Ｂ層 Ｋ層 ────────────────────────────────── ヘ゛ンシ゛ルメタクリレート／ 60.0 60.0 60.0 60.0 メタクリル酸共重合体 （モル比＝７３／２７、 粘度＝０．１２） ペンタエリスリトール 43.2 43.2 43.2 43.2 テトラアクリレート ２−（ｐ−メトキシフェニル）− 2.0 2.0 2.0 2.0 ４，６−ビス（トリスクロルメチル） −ｓ−トリアジン イルガシンレッドＢＰＴ 5.4 --- --- --- スーダンブルー --- 5.2 --- --- 銅フタロシアニン --- --- 5.6 --- カーボンブラック --- --- --- 5.6 メチルセロソルブアセテート 560 560 560 560 メチルエチルケトン 280 280 280 280

【００６７】

【００６８】実施例１と同様に発生した欠落部を修正し
たが、実施例１と同じ露光量で行ったところ、赤色画素
のｉ線透過率が２％を超えているので、赤色画素上に現
像不良が発生した。また、露光量を半分にして行ったと
ころ、赤色画像上の現像不良は発生しなかったが、露光
量が少ないために、修正部が十分に硬化せず、非欠陥部
との間に段差が発生してしまった。

【００６９】

【発明の効果】本発明の、転写法及び裏露光によるカラ
ーフイルターの欠陥修正方法は、簡単な操作で、容易に
欠陥の修正が可能であり、修正後の平坦性に優れ画素の
品質が高いので、カラーフイルター作成の歩留まりを大
幅に向上させることができる。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （１）基板上に赤、緑、青色及びブラッ
   クマトリックス画素を形成する工程、（２）上記いずれ
   かの画素の欠落部分を含む領域に、該欠落画素と同一の
   色の着色感光性樹脂層を有する着色感光性転写材料を密
   着させる工程、（３）上記着色感光性転写材料が密着さ
   れた領域に該基板を介して露光を行い、該欠落部分の着
   色感光性樹脂層を硬化する工程、（４）上記着色感光性
   樹脂層の未硬化部分を除去する工程、を含むことを特徴
   とするカラーフイルターの欠陥修正方法。
2. 【請求項２】 請求項１において、該着色感光性転写材
   料が、仮支持体上にアルカリ可溶な熱可塑性樹脂層、分
   離層、着色感光性樹脂層をこの順に設け、該熱可塑性樹
   脂層と該仮支持体の間の接着力が最も小さいことを特徴
   とする着色感光性転写材料であることを特徴とするカラ
   ーフイルターの欠陥修正方法。
3. 【請求項３】 請求項１において、該着色感光性樹脂層
   の感光波長域における該赤、緑、青色及びブラックマト
   リックス画素の光透過率が２％以下であることを特徴と
   するカラーフイルターの欠陥修正方法。