JPH05203967A - 液晶表示装置の製造方法 - Google Patents

液晶表示装置の製造方法

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JPH05203967A
JPH05203967A JP3581492A JP3581492A JPH05203967A JP H05203967 A JPH05203967 A JP H05203967A JP 3581492 A JP3581492 A JP 3581492A JP 3581492 A JP3581492 A JP 3581492A JP H05203967 A JPH05203967 A JP H05203967A
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photoresist
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transparent substrate
spacer
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Kunpei Kobayashi
君平 小林
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 スペーサの分散密度を均一にし、かつスペー
サが移動しないようにする。 【構成】 透明基板1の透明電極2を含む全上面にフォ
トレジスト4を塗布すると共にスペーサ3を分散し、透
明基板1の上下に同一パターンのフォトマスクをそれぞ
れ配置して両面露光する。次に、現像を行うと、不要な
部分のフォトレジスト4が同部分のスペーサ3と共に除
去され、相隣接する透明電極2の各間における必要な部
分のフォトレジスト4が同部分のスペーサ3と共に残存
される。次に、フォトレジスト4を溶融すると、この溶
融したフォトレジスト4の表面張力により、スペーサ3
が移動して相隣接する透明電極2の各間の中央部に位置
する状態となる。この後、一旦溶融したフォトレジスト
4を冷却して固化させると、この固化したフォトレジス
ト4を介してスペーサ3が透明基板1の上面に固着され
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は液晶表示装置の製造方
法に関する。
【0002】
【従来の技術】ワードプロセッサ等の電子機器のディス
プレイとして用いられる液晶表示装置では、一般に、相
対向する面にそれぞれ透明電極が形成されたガラスや樹
脂等からなる2枚の透明基板をその間にガラスや樹脂等
の一定寸法の粒子からなるスペーサを介在させることに
より所定の間隔をおいて対向配置し、両透明基板間に液
晶を注入した構造となっている。この場合、両透明基板
間にスペーサを介在させるのは、両透明基板間の間隔を
精度良く一定に保ち、液晶の表示特性を均一とするため
である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
このような液晶表示装置では、透明基板に外力が加わっ
たとき、流動性を有する液晶と共にスペーサが移動して
しまい、この結果スペーサの分散密度の均一性が変化し
て両透明基板間の間隔が不均一となり、ひいては液晶の
表示特性が損なわれることがあるという問題があった。
なお、スペーサとして表面に接着剤が被膜されてなるも
のを使用し、その表面の接着剤によって透明基板上に接
着させることが試行されている。しかしながら、この場
合、スペーサをスプレー等を用いて透明基板上に散布し
て分散させるようにしているので、スペーサの分散密度
の均一性があまり良くなく、例えば透明基板上の中心部
と周辺部とにおけるスペーサの分散密度に差異が生じた
り、局部的に集中してしまうことがあり、この結果対向
配置した後の両透明基板間の間隔が不均一となり、液晶
の表示特性が損なわれるという問題があった。この発明
の目的は、スペーサの分散密度を均一にすることがで
き、かつ外力を受けてもスペーサが移動しないようにす
ることのできる液晶表示装置の製造方法を提供すること
にある。
【0004】
【課題を解決するための手段】この発明は、透明基板の
透明電極形成面にフォトレジストを塗布すると共にスペ
ーサを分散し、前記フォトレジストの所定部分を露光
し、現像して不要な部分の前記フォトレジストを同部分
の前記スペーサと共に除去することにより、必要な部分
の前記フォトレジストを同部分の前記スペーサと共に前
記透明基板の透明電極形成面に残存させ、残存した前記
フォトレジストを溶融し、この溶融したフォトレジスト
の表面張力により、残存した前記スペーサを残存した前
記フォトレジストの中心部に移動させ、一旦溶融した前
記フォトレジストを冷却して固化させ、この固化したフ
ォトレジストを介して残存した前記スペーサを前記透明
基板の透明電極形成面に固着させるようにしたものであ
る。
【0005】
【作用】この発明によれば、残存したフォトレジストを
溶融し、この溶融したフォトレジストの表面張力によ
り、残存したスペーサを残存したフォトレジストの中心
部に移動させているので、スペーサが任意の位置つまり
残存したフォトレジストの中心部に分散されることにな
り、したがってスペーサの分散密度を均一にすることが
でき、また一旦溶融したフォトレジストを冷却して固化
させ、この固化したフォトレジストを介してスペーサを
透明基板の透明電極形成面に固着させているので、外力
を受けてもスペーサが移動しないようにすることができ
る。
【0006】
【実施例】図1〜図6はそれぞれこの発明の一実施例に
おける液晶表示装置の各製造工程を示したものである。
そこで、これらの図を順に参照しながら、液晶表示装置
の製造方法について説明する。
【0007】まず、図1に示すように、ガラスや樹脂等
からなる透明基板1の上面にITO等からなる透明電極
2をパターン形成する。次に、図2に示すように、透明
基板1の透明電極2を含む全上面に、ガラスや樹脂等の
一定寸法の粒子からなるスペーサ3が所定の割合で混合
されたノボラック樹脂からなるポジ型のフォトレジスト
4をスピンコータやロールコータ等を用いて塗布し、あ
るいはポジ型のフォトレジスト4を塗布した後この塗布
したフォトレジスト4にスペーサ3をスプレー等を用い
て吹き付ける。この場合、スペーサ3の分散密度は、後
で説明するように不要な部分のフォトレジスト4を同部
分のスペーサ3と共に除去する関係から、目的とする分
散密度よりも高い分散密度としておく。
【0008】次に、図3に示すように、透明基板1の上
下に、例えば透明電極2に対応する部分に開口部を有し
た同一パターンのフォトマスク5、6をそれぞれ配置
し、紫外線等の光を用いてフォトレジスト4の所定部分
を両面から露光する。次に、現像を行うと、図4に示す
ように、透明電極2の近傍における不要な部分のフォト
レジスト4が同部分のスペーサ3と共に除去され、相隣
接する透明電極2の各間における必要な部分のフォトレ
ジスト4が同部分のスペーサ3と共に透明基板1の上面
に残存される。この状態では、フォトレジスト4は相隣
接する透明電極2の各間の中央部にほぼ均一に残存され
るが、スペーサ3は不均一に残存される。
【0009】次に、フォトレジスト4の溶融温度以上の
加熱温度で例えば180℃程度の加熱温度で1時間程度
加熱する。すると、フォトレジスト4が溶融し、この溶
融したフォトレジスト4の表面張力により、図5に示す
ように、スペーサ3が移動して相隣接する透明電極2の
各間の中央部(残存したフォトレジスト4の中心部)に
位置する状態となる。この後、一旦溶融したフォトレジ
スト4を冷却して固化させると、この固化したフォトレ
ジスト4を介してスペーサ3が相隣接する透明電極2の
各間の中央部における透明基板1の上面に固着される。
【0010】次に、図6に示すように、透明基板1の上
面に配向膜7を塗布により形成する。次に、透明基板1
の上面の液晶注入口(図示せず)の形成領域を除いた周
囲にシール材8を印刷によって形成する。次に、下面に
透明電極12および配向膜13を備えた対向側の透明基
板11の下面周囲をシール材8の上面に張り付け、透明
基板11を透明基板1に対向して配置するとともに液晶
注入口を形成し、次いで液晶注入口を介して液晶14を
注入し、次いで液晶注入口を封止する。かくして、液晶
表示装置が製造される。
【0011】このようにして製造された液晶表示装置で
は、残存したフォトレジスト4を溶融し、この溶融した
フォトレジスト4の表面張力により、残存したスペーサ
3を相隣接する透明電極2の各間の中央部に移動させて
いるので、スペーサ3を任意の位置つまり相隣接する透
明電極2の各間の中央部に分散させることができ、した
がってスペーサ3の分散密度を均一にすることができ
る。また、一旦溶融したフォトレジスト4を冷却して固
化させ、この固化したフォトレジスト4を介してスペー
サ3を透明基板1の上面に固着させているので、外力を
受けてもスペーサ3が移動しないようにすることができ
る。
【0012】なお、上記実施例では、スペーサ3をフォ
トレジスト4を介して透明基板1の上面に固着した後、
配向膜7を形成しているが、この理由は、フォトレジス
ト4をその溶融する温度にまで加熱することにより、フ
ォトレジスト4が配向膜7を形成する配向剤の成分に侵
されにくくなるようにするためである。したがって、フ
ォトレジスト4が配向膜7によって侵されることがあっ
ても、あまり問題ない場合には、配向膜7を形成した
後、その上面にスペーサ3をフォトレジスト4を介して
固着するようにしてもよい。また、上記実施例では、相
隣接する透明電極2の各間における透明基板1の上面の
みにフォトレジスト4およびスペーサ3を残存させてい
るが、透明電極2上に残存するようにしてもよい。さら
に、上記実施例ではポジ型のフォトレジストを用いてい
るが、上記実施例と逆パターンのフォトマスクを使用し
て、ネガ型のフォトレジストを用いてもよい。
【0013】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、残存したフォトレジストを溶融し、この溶融したフ
ォトレジストの表面張力により、残存したスペーサを残
存したフォトレジストの中心部に移動させているので、
スペーサを任意の位置つまり残存したフォトレジストの
中心部に分散させることができ、したがってスペーサの
分散密度を均一にすることができ、また一旦溶融したフ
ォトレジストを冷却して固化させ、この固化したフォト
レジストを介してスペーサを透明基板の透明電極形成面
に固着させているので、外力を受けてもスペーサが移動
しないようにすることができ、ひいては液晶の表示特性
を均一にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例における液晶表示装置の製
造に際し、透明基板の上面に透明電極をパターン形成し
た状態の断面図。
【図2】同液晶表示装置の製造に際し、フォトレジスト
を塗布すると共にスペーサを分散した状態の断面図。
【図3】同液晶表示装置の製造に際し、透明基板の上下
に同一パターンのフォトマスクをそれぞれ配置して両面
露光した状態の断面図。
【図4】同液晶表示装置の製造に際し、現像した状態の
断面図。
【図5】同液晶表示装置の製造に際し、残存したフォト
レジストを溶融した状態の断面図。
【図6】同液晶表示装置の製造に際し、透明基板の上方
に対向側の透明基板を配置した後その間に液晶を注入し
た状態の断面図。
【符号の説明】
1 透明基板 2 透明電極 3 スペーサ 4 フォトレジスト 5、6 フォトマスク

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 相対向する面にそれぞれ透明電極が形成
    された2枚の透明基板をその間に一定寸法の粒子からな
    るスペーサを介在させることにより所定の間隔をおいて
    対向配置し、前記両透明基板間に液晶を注入してなる液
    晶表示装置を製造するに際し、 前記透明基板の透明電極形成面にフォトレジストを塗布
    すると共に前記スペーサを分散し、 前記フォトレジストの所定部分を露光し、 現像して不要な部分の前記フォトレジストを同部分の前
    記スペーサと共に除去することにより、必要な部分の前
    記フォトレジストを同部分の前記スペーサと共に前記透
    明基板の透明電極形成面に残存させ、 残存した前記フォトレジストを溶融し、この溶融したフ
    ォトレジストの表面張力により、残存した前記スペーサ
    を残存した前記フォトレジストの中心部に移動させ、 一旦溶融した前記フォトレジストを冷却して固化させ、
    この固化したフォトレジストを介して残存した前記スペ
    ーサを前記透明基板の透明電極形成面に固着させる、 ことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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