JPH05200375A - 洗浄シート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体製造装置当で発生する特殊ガス，薬品
などによる汚れを安全かつ効率よく除去する洗浄シート
を提供する。 【構成】 この洗浄シートは、布またはスポンジを材料
とする洗浄シート主部１２と、洗浄シート主部１２を貼
付け固定する。台シート１１表面を覆う保管用シート１
３から構成されており、各々洗浄薬品により分解（溶
融）されない材質のもので、洗浄シート主部１２に洗浄
薬品が浸してある。 【効果】 使用時に保管用シート１３を剥ぎ、洗浄シー
ト主部１２を汚れた部品に貼付けておくと、汚れが洗浄
薬品により分解，除去され、台シート１１を持って取り
扱うので、直接洗浄薬品に触れることはない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は半導体製造装置内で発
生する特殊ガス，薬品などによる汚れを除去する洗浄治
具に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の洗浄作業の例は図５に示すよう
に、例えば汚れたウェーハステージ２１に付着した汚れ
ａを除去するにはクリーンルーム用綿布２２に洗浄薬品
２３を浸したものでこすり除去していた。また半導体製
造装置では数１０種〜数１００種におよぶ部品で構成さ
れており、それらを一個ずつ洗浄する必要がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで従来、洗浄作
業では、洗浄薬品に有機系溶剤を使用しなければならな
いことで、安全性確保のため保護具（マスク，手袋）を
着用しており、動きにくい，熟練を要するという問題が
ある。

【０００４】また、前述のように多種，多数の部品を一
個ずつ洗浄するため、数時間〜１０時間以上を要し、効
率の面からも大きなロスとなる。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明の洗浄シート
は、例えば布やスポンジのような保液性のシートに洗浄
薬品を含ませてなる洗浄シート主部と、これの裏面に貼
付けて固定した気密な台シートと、前記洗浄シート主部
表面を覆う気密な保管用シートとを有する。

【０００６】洗浄薬品は対象となる汚れに応じて、有機
溶剤，洗剤，酸性液，アルカリ液当選択すればよい。

【０００７】

【作用】上記の構成によると、 (1) 保管用シートは、保管時に洗浄薬品が気化したり、
他の物や人に触れるのを防ぐ。 (2) 洗浄シート主部は、汚れた部分に貼付けておくこと
で洗浄薬品が汚れに作用し、汚れを除去しやすくする。 (3) 台シートは、洗浄シート主部を貼付け固定している
ので、この部分を持ち作業することで洗浄薬品に直接触
れることがない。

【０００８】

【実施例】以下、この発明について図面を参照して説明
する。

【０００９】図１はこの発明の一例の洗浄シートの断面
図である。１１は台シートであり、例えばポリエチレン
フィルム製であって、気密（非通気性かつ非通液性）で
かつ洗浄薬品に対し耐性を有するものである。１２は洗
浄シート主部であり、例えば不織布であって保液性に優
れ台シート１１に固着され、洗浄薬品としての有機溶剤
を含ませてある。１３は保管用シートであり、洗浄シー
ト主部１２の表面を覆い保管中に洗浄薬品が乾燥した
り、他に付着したりするのを防止する。

【００１０】上記構成の洗浄シートを対象とする部品に
応じて切断し、保管用シート１３を剥がして対象物に貼
付ける。その状態でしばらく放置しておくと、例えば汚
れが油分を含む固形物の付着したものであれば、洗浄薬
品が油分を溶かしつつ染みこみ、固形物汚れを浮き上が
らせる。台シート１１は放置中、洗浄薬品が乾燥するの
を防止する。

【００１１】図２は本発明の第２の実施例の使用方法を
示す断面図である。図２（Ａ）は洗浄対象物であるウェ
ーハステージ２１の断面図である。図２（Ｂ）は洗浄シ
ートの断面図である。図２（Ｃ）は上記ウェーハステー
ジ２１に洗浄シートを適用した状態を示す断面図であ
る。

【００１２】洗浄シートは、台シート１１，洗浄シート
主部３２，保管用シート１３から構成されており、洗浄
シート主部３２は洗浄薬品に分解されない材質の布また
はスポンジであり、洗浄薬品（メタノール，ブタノンな
ど）が浸してあり、またウェーハステージ２１の形状に
あわせ内側をくり抜き加工して凹部３２ａが形成してあ
る。使用時には保管用シート１３を剥ぎ、汚れたウェー
ハステージ２１にかぶせ、放置しておくと、付着した汚
れは洗浄薬品により溶解される。

【００１３】図３は第３の実施例を示す斜視図である。
洗浄シート４２の構成は図１の通りであり、大きさは対
象とする部品に合わせてある。ここでは汚れた電極板４
１に体する使用例で、直径約８０cmの部品なので作業性
を考え４枚に分割した洗浄シート４２を貼付け、放置し
ておくと、付着した汚れは溶解され除去できる。ここで
も洗浄シート主部４２は洗浄薬品により分解されない材
質の布である。

【００１４】

【実施例２】図４はこの発明の第４の実施例である。こ
の例では第１の洗浄シート５１と第２の洗浄シート５２
を使用する。第１の洗浄シート５１は台シート１１と洗
浄シート主部６２と保管用シート１３よりなり、洗浄シ
ート主部６２には洗浄対象物であるネジ５３の形状に凹
部６２ａを形成している。第２の洗浄シート５２は第１
の実施例（図１）と類似の構成となっている。使用時に
は凹部６２ａに汚れたネジ５３を入れ、第２の洗浄シー
ト５２で覆っておくと汚れは洗浄薬品により溶解除去で
きる。

【００１５】

【発明の効果】以上説明したように、この発明は半導体
製造装置において、洗浄作業に使用する洗浄治具を改善
することで、安全性の向上，作業効率の向上が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の一実施例の洗浄シートの断面図

【図２】 この発明の第２の実施例の洗浄シートとその
使用法を説明する断面図

【図３】 この発明の第３の実施例の洗浄シートとその
使用法を説明する斜視図および平面図

【図４】 この発明の第４の実施例の洗浄シートおよび
その使用法を説明する断面図

【図５】 従来の洗浄方法を示す図

【符号の説明】

１１ 台シート １２，３２，６２ 洗浄シート主部 １３ 保管用シート ３２ａ，６２ａ 凹部 ４２ 洗浄シート ５１ 第１の洗浄シート ５２ 第２の洗浄シート

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】洗浄薬品を含ませた保液性の洗浄シート部
   を台シートに貼付け固定したことを特徴とする洗浄シー
   ト。
2. 【請求項２】洗浄シート主部の表面を保管用シートで被
   覆したことを特徴とする請求項１記載の洗浄シート。
3. 【請求項３】洗浄シート主部に洗浄対象ワークに対応す
   る形状の凹部を設けたことを特徴とする請求項１または
   ２記載の洗浄シート。