JPH05199484A - 光学装置の動作を制御する方法および回路 - Google Patents

光学装置の動作を制御する方法および回路

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JPH05199484A
JPH05199484A JP4184091A JP18409192A JPH05199484A JP H05199484 A JPH05199484 A JP H05199484A JP 4184091 A JP4184091 A JP 4184091A JP 18409192 A JP18409192 A JP 18409192A JP H05199484 A JPH05199484 A JP H05199484A
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ビー．サンプセル ジェフリー
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    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03K—PULSE TECHNIQUE
    • H03K19/00—Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits
    • H03K19/02—Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 光学デバイスまたは装置における照明の作用
ウィンドウの制御方法を提供する。 【構成】 一方の感光デバイス４６ａが光に対して極め
て高い感度を有し、他方の感光デバイス４６ｂが光に対
して穏やかな感度を有する、２つの感光デバイス４６ａ
および４６ｂを接続することにより、動作に対して本質
的な信号３８が何時光学デバイスまたは装置へ通過せし
められるべきかを指示することができる。２つの感光デ
バイスの出力は論理回路５２および５４を経て供給さ
れ、それが出力を決定する。論理回路はどのような作用
ウィンドウが選択されるかに依存する。論理回路の出力
は、次に制御信号に結合せしめられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学装置に関し、特
に、光学装置、またはその内部のデバイスの動作を制御
する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光学装置が動作するいかなる光レベルで
もこれを制御しうることは、多くの理由から所望され
る。これらの理由の２つをあげると、デバイスの剽窃、
即ち不当な転用の防止と、装置の摩耗および破壊の減少
とである。
【０００３】製造業者は、光学装置を、装置の大きさに
よって３つの異なる市場に対して生産する。例えば、デ
ィスプレイの場合の３つの可能な市場は、商業映写装置
と、大形スクリーンテレビジョン（７６．２ｃｍ（３０
インチ）より大）と、小形スクリーンテレビジョンと、
に対するものでありうる。それぞれにおいて、同じデバ
イス、光メモリ、空間的光変調器または他の感光デバイ
スが用いられうる。人が小形の、経済的なテレビジョン
を購入して、大形スクリーンテレビジョン、または映写
装置を作るための部品を転用することを何者も阻止する
ことはできない。
【０００４】諸装置に共通する要素は、光の使用であ
る。しかし、大きさまたは複雑性のいずれかにおける、
装置のそれぞれのレベルは、異なる光レベルを必要とす
る。大形映写装置は高レベルの照明を必要とし、テレビ
ジョンは遙かに低レベルのものでよい。製造業者にとっ
ては、それぞれの装置内の諸デバイスを、その装置が動
作しうる照明ウィンドウに限定できれば有利である。
【０００５】動作制御のもう１つの重要な理由は、装置
の部品に対する損傷を防止するためである。もし装置
が、ある照明レベルで効率的に働けば、その装置を非効
率的な動作レベルで動作させるときに限って不必要な摩
耗が起こることになる。さらに、個々のデバイスは、極
めて高レベルの照明において損傷されうる。デバイスに
対して多すぎる光が入射する場合に、もし装置に問題が
起こるものとすれば、そのデバイスは損傷防止のために
動作停止しえなくてはならない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】目的および利点は明ら
かであり、一部は以下に現われ、また本発明によって達
成される。本発明は、光学回路の作用照明ウィンドウを
制御する方法および回路を提供する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本方法は、一方は光に対
して極めて高い感度を有し、他方は光に対して穏やかな
感度を有する２つの感光素子を互いに接続する工程を含
む。次に、これら２つのデバイスの出力は論理回路に送
られ、この論理回路は、選択された作用ウィンドウに対
する適切な決定をする。次に、この出力は、装置制御信
号に結合せしめられ、動作が所望される時にはその信号
を装置へ通過せしめ、また動作が所望されない時には通
過せしめない。
【０００８】
【実施例】本発明およびその利点のさらに完全な理解の
ために、以下添付図面を参照しつつ詳細な説明を行な
う。図１は、光学装置の動作を制御する方法の１例を示
す。このデバイスが製造された時には、光が基板内へ通
過しうるように、最上部層および次の下部諸層内にギャ
ップが残されうる。図示されている例は、変形可能ミラ
ーデバイス（ＤＭＤ）であるが、この方法は任意の感光
デバイスに用いられうることを理解すべきである。
【０００９】１実施例においては、デバイスは基板１０
内にトランジスタを有し、その１つが示されている。ド
レイン１２およびソース１４は基板内に形成されてい
る。ゲート酸化物１６の層は、その後それらの上に配置
される。ゲート２０は、通常はポリシリコンから形成さ
れる。接点金属１８ａおよび１８ｂは、ゲート酸化物上
に形成されている。もし平坦化が所望されるならば、層
２２をデポジションし、エッチングして平坦な層を形成
することができる。バイア２４は、通常はＢＰＳＧのよ
うなある種のガラスである平坦化層２２内にエッチング
されている。次に、金属層がデポジションされ、エッチ
ングされる。この金属はバイア２４を満たす。この金属
は次にパターン形成され、エッチングされて電極を形成
し、その１つは２６である。
【００１０】ＤＭＤ内のミラー素子を形成するために、
電極２６上に層２８がデポジションされ、スペーサとし
て用いられる。バイア３０ａおよび３０ｂは、柱用とし
てスペーサ内にパターン形成される。ヒンジ金属３２が
スペーサ上にデポジションされ、これは上記バイアを満
たして支柱およびヒンジを形成する。次に、金属層３４
がデポジションされ、ミラー素子の所望される場所以外
のあらゆる場所でエッチングされる。次に、上記スペー
サがミラーの下部からエッチング除去されて、ギャップ
が残される。出来上がったデバイスは、エアギャップ上
の薄いヒンジによって支持された広いミラー素子から成
り、その底部には電極が配置されている。
【００１１】もしこのデバイスが製造中に注意深くアラ
インメントされれば、径路３６ａおよび３６ｂがデバイ
ス内に残される。その場合は、光は薄いヒンジの周囲を
通過し、エアギャップおよび平坦化層を通過して基板内
へ入りうる。光が基板と接触した時は、ホトキャリアを
発生せしめ、それがトランジスタ内に高レベルの漏れ電
流を生ぜしめるので、デバイスは動作を停止する。従っ
て、多過ぎる光に対するデバイスの感度が、高レベルの
照明における動作停止のために使用されうる。
【００１２】この方法には付随する問題がある。１つの
ありうる問題は、デバイスが、ある光路アラインメント
を有するように製造されなくてはならないことである。
もしデバイスを取り去って、それを異なる光路配置内に
おいて用いれば、この影響を避けることは可能である。
さらに、この方法は、高レベルの照明におけるデバイス
の使用のみを制限する。
【００１３】図２には、別の方法が示されている。懸案
のデバイスの側部に製造されうる回路が示されている。
システムクロック３８は、デバイスを駆動するクロック
であるものと仮定されるが、装置またはデバイスの動作
に対して本質的である任意の信号を使用することもでき
る。電圧源４０は、負荷トランジスタ４２を経てホトト
ランジスタ４４に接続されている。装置が低レベルの照
明において動作している時は、ホトトランジスタ４４は
オフ状態にあり、そのため負荷トランジスタから出てい
る線４６は高レベルにある。線４６が高レベルにある
と、これがトランジスタ４８へ供給され、トランジスタ
４８はオン状態にある。これは、３８からのクロック信
号が線５０を経て装置へ通過しうることを意味する。過
剰レベルの照明が生じた時は、ホトトランジスタ４４は
ターンオンされ、線４６を低レベルに引き下げる。線４
６が低レベルになると、トランジスタ４８はオフ状態に
され、クロック信号３８は線５０へ通過しなくなり、懸
案のデバイスはクロックを失って動作を停止する。この
方法は、光学装置が独立する利点を有するが、この場合
にも、過剰レベルの照明より高い任意のレベルにおける
制御は不可能である。この技術を回避することはまた極
めて容易である。ホトトランジスタは暗状態にある時に
は、オフ状態にあるのでなんら効果をもたず、光内にあ
ることを可能にするウィンドウ下のデバイスのこの部分
は、これを照明されないようにする何かによってちょう
ど覆われうるからである。
【００１４】図３ａには、もう１つの方法が示されてい
る。この装置には、２つのホトトランジスタが使用され
ている。論理ゲートに至る信号線に影響を及ぼしうる、
ホトダイオードのような、いかなる感光素子でも使用さ
れうる。一方のトランジスタ４４ａは、低レベルの光に
よって起動され、弱トランジスタと呼ばれる。他方のト
ランジスタ４４ｂは、高レベルの光によって起動され、
強トランジスタと呼ばれる。これらは、電圧源４０か
ら、負荷トランジスタ４２ａおよび４２ｂを経て電力を
供給される。装置が暗状態にある時は、双方のホトトラ
ンジスタはオフ状態にある。弱トランジスタからの出力
線４６ａは、この実施例においてはＮＯＲゲート５４で
ある論理ゲートへ直接導かれる。強トランジスタからの
出力線４６ｂは、５２において反転された後に、ＮＯＲ
ゲート５４へ導かれる。このゲートの出力は、トランジ
スタ４８を経てクロック線３８に接続されている。
【００１５】図３ｂの論理表からわかるように、装置が
暗状態にある時は、双方のホトトランジスタはオフ状態
にあり、線４６ａおよび４６ｂは高レベルにある。しか
し、線４６ｂは反転されているので、ＮＯＲゲートに対
する２つの入力はそれぞれ高レベルと低レベルとにな
る。その時、ＮＯＲゲートとトランジスタ４８との間の
線は低レベルになり、クロック信号は通過せず、デバイ
スは動作しない。
【００１６】低レベルの照明の場合には、弱トランジス
タはオン状態になる。これにより、線４６ａは低レベル
に引き下げられる。光はトランジスタ４４ｂをターンオ
ンせしめる強さをもたないので、線４６ｂは影響を受け
ない。ＮＯＲゲートへの２つの低レベル入力は、トラン
ジスタ４８への高レベル信号を生じる。この信号は、ク
ロック信号を線５０上へ通過せしめ装置へ出力せしめ
る。
【００１７】高レベルの照明の場合は、双方のホトトラ
ンジスタがオン状態になる。双方の線４６ａおよび４６
ｂは、低レベルになる。この結果高レベルと低レベルと
がＮＯＲゲート５４に入り、低レベル信号を生じる。ト
ランジスタ４８はオフ状態となり、クロックは装置に達
しない。
【００１８】論理ゲートは、任意のウィンドウでの動作
を制御するように選択されうる。例えば、インバータを
使用しなければ、装置を高レベルの照明においてのみ動
作させることができる。動作のウィンドウは、どのよう
な論理ゲートが使用されるかによって固定されうる。諸
入力および可能な諸出力の組合せは、回路に対する設計
者の意向によってのみ制約される。ゲートは、２つの入
力が異なる時にのみ動作する、すなわちＸＯＲ機能を行
なうようにも構成されうる。あるいは、ＮＯＲゲートを
用いて、装置が、弱トランジスタからの線が高レベル
で、かつ強トランジスタからの線が低レベルである時に
のみ動作するように固定することもできる。もし、例え
ば、弱トランジスタが故障して弱トランジスタがオフ状
態になり、かつ強トランジスタがターンオンされても、
装置は動作しない。
【００１９】トランジスタ４８は、安全回路の制御信号
からの切断を防止する。レーザによってトレースを焼く
ことにより安全回路への任意の接続を解消することも可
能である。トランジスタ４８は、その入力線が高レベル
である時にのみ動作するので、この場合にはこれは行な
われえない。もし、この線が焼かれてしまえば、制御信
号はこのトランジスタを経て装置へ通過しえなくなる。
切断点からのフローティングラインに付随する問題のた
めに、単一トランジスタの代わりに、ＡＮＤゲートなど
の論理ゲートを使用することもできる。これは、クロッ
クが装置へ通過するために、安全回路からの線とクロッ
ク信号とが高レベルであることを要求する。
【００２０】以上においては光学装置の動作の制御方法
に関する特定の実施例を説明したが、この特定の内容
は、特許請求の範囲の記載以外に本発明の範囲を限定す
るものではない。
【００２１】以上の説明に関して更に以下の項を開示す
る。 （１）ａ．出力を有する少なくとも２つの感光デバイス
であって、少なくとも１つの上記感光デバイスが他の上
記デバイスよりも高い光感度を有する上記少なくとも２
つの感光デバイスを配設する工程と、ｂ．少なくとも２
つの上記感光デバイスの出力を論理デバイスへ入力せし
める工程と、ｃ．上記論理デバイスの出力に応答して動
作に対して本質的である信号を選択的に禁止する工程
と、を含む光学装置の動作の制御方法。
【００２２】（２）上記入力せしめる工程が上記少なく
とも２つの感光デバイスの出力の少なくとも１つを反転
する工程を含む、第１項記載の方法。
【００２３】（３）上記禁止する工程が、上記論理デバ
イスの上記出力をトランジスタのゲートに接続し、かつ
上記信号を上記トランジスタの入力線に結合せしめる工
程を含む、第１項記載の方法。
【００２４】（４）ａ．少なくとも２つの感光デバイス
であって、少なくとも１つの上記感光デバイスが他の上
記デバイスよりも高い光感度を有する上記少なくとも２
つの感光デバイスと、ｂ．上記感光デバイスの少なくと
も２つに接続された論理デバイスと、ｃ．上記論理デバ
イスの出力に接続され動作に対して本質的である信号が
上記光学装置へ通過しうる時に関して上記本質的である
信号を選択的に禁止する回路と、を含む光学装置の動作
の制御回路。
【００２５】（５）上記感光デバイスがホトトランジス
タである、第１項記載の方法。
【００２６】（６）上記感光デバイスがホトダイオード
である、第１項記載の方法。
【００２７】（７）上記論理デバイスがＮＯＲゲートで
ある、第１項記載の方法。
【００２８】（８）上記論理デバイスがＸＯＲゲートで
ある、第１項記載の方法。
【００２９】（９）上記論理デバイスがＡＮＤゲートで
ある、第１項記載の方法。
【００３０】（１０）上記論理デバイスがインバーター
を含む、第１項記載の方法。
【００３１】（１１）ここに説明された発明は、光学デ
バイスまたは装置における照明の作用ウィンドウの制御
方法を詳述している。一方の４６ａが光に対して極めて
高い感度を有し、他方の４６ｂが光に対して穏やかな感
度を有する、２つの感光デバイス４６ａおよび４６ｂを
接続することにより、動作に対して本質的な信号３８が
何時光学デバイスまたは装置へ通過せしめられるべきか
を指示することができる。２つの感光デバイスの出力は
論理回路５２および５４を経て供給され、それが出力を
決定する。論理回路はどのような作用ウィンドウが選択
されるかに依存する。論理回路の出力は、次に制御信号
に結合せしめられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】光を基板内へ入らせる構造を示す。
【図２】信号の作用を制御するデバイスを示す。
【図３】ａは信号の作用を制御する別のデバイスを示
し、ｂはａに示されているデバイスに対する論理表を示
す図。
【符号の説明】
３８ クロック線 ４０ 電圧源 ４２ａ、４２ｂ 負荷トランジスタ ４４ａ、４４ｂ ホトトランジスタ ４８ トランジスタ ５２ インバータ ５４ ＮＯＲゲート

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ａ．出力を有する少なくとも２つの感光
    デバイスであって、少なくとも１つの上記感光デバイス
    が他の上記デバイスよりも高い光感度を有する上記少な
    くとも２つの感光デバイスを配設する工程と、 ｂ．少なくとも２つの上記感光デバイスの出力を論理デ
    バイスへ入力せしめる工程と、 ｃ．上記論理デバイスの出力に応答して動作に対して本
    質的である信号を選択的に禁止する工程と、 を含む光学装置の動作の制御方法。
  2. 【請求項２】 ａ．少なくとも２つの感光デバイスであ
    って、少なくとも１つの上記感光デバイスが他の上記デ
    バイスよりも高い光感度を有する上記少なくとも２つの
    感光デバイスと、 ｂ．上記感光デバイスの少なくとも２つに接続された論
    理デバイスと、 ｃ．上記論理デバイスの出力に接続され動作に対して本
    質的である信号が上記光学装置へ通過しうる時に関して
    上記本質的である信号を選択的に禁止する回路と、 を含む光学装置の動作の制御回路。
JP4184091A 1991-07-12 1992-07-10 光学装置の動作を制御する方法および回路 Pending JPH05199484A (ja)

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