JPH05196173A - 真空すべり弁 - Google Patents
真空すべり弁Info
- Publication number
- JPH05196173A JPH05196173A JP31507192A JP31507192A JPH05196173A JP H05196173 A JPH05196173 A JP H05196173A JP 31507192 A JP31507192 A JP 31507192A JP 31507192 A JP31507192 A JP 31507192A JP H05196173 A JPH05196173 A JP H05196173A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- valve
- plates
- face
- stroke
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
- F16K3/182—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of toggle links
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 ばねによって付勢された互いに拡張しうる弁
板１、２が備えられており、この拡張のための機構がス
トローク棒３を備え、対をなして向かい合っている揺動
板８が中央板６によって駆動され、該揺動板８が直立す
ると弁板１、２が持ち上がるように構成されている、ハ
ウジング４内の排出口２０を開閉するための真空すべり
弁において、揺動板８が、弁板１、２と中央板６との間
でほぼ水平の配置で揺動可能に支持されており、揺動板
の端面が、弁板１、２の端面と互いに傾斜した状態で隣
接していることを特徴とする。 【効果】 極めて大きなストローク行程を得ることがで
きる。
板１、２が備えられており、この拡張のための機構がス
トローク棒３を備え、対をなして向かい合っている揺動
板８が中央板６によって駆動され、該揺動板８が直立す
ると弁板１、２が持ち上がるように構成されている、ハ
ウジング４内の排出口２０を開閉するための真空すべり
弁において、揺動板８が、弁板１、２と中央板６との間
でほぼ水平の配置で揺動可能に支持されており、揺動板
の端面が、弁板１、２の端面と互いに傾斜した状態で隣
接していることを特徴とする。 【効果】 極めて大きなストローク行程を得ることがで
きる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ばねによって付勢され
た互いに拡張しうる弁板が備えられており、この拡張の
ための機構がストローク棒を備え、対をなして向かい合
っている揺動板が中央板によって駆動され、該揺動板が
直立すると弁板が持ち上がるように構成されている、ハ
ウジング内の排出口を開閉するための真空すべり弁に関
する。
た互いに拡張しうる弁板が備えられており、この拡張の
ための機構がストローク棒を備え、対をなして向かい合
っている揺動板が中央板によって駆動され、該揺動板が
直立すると弁板が持ち上がるように構成されている、ハ
ウジング内の排出口を開閉するための真空すべり弁に関
する。
【０００２】
【従来の技術およびその問題点】ストローク棒により駆
動される弁板を有し、揺動板が拡張機構として挿入され
ているこのような真空すべり弁は、既に公知である。
動される弁板を有し、揺動板が拡張機構として挿入され
ているこのような真空すべり弁は、既に公知である。
【０００３】この種の真空すべり弁においては、弁軸に
対して直角方向に摺動可能な弁板が備えられており、こ
れらの弁板は中央板の上にあり、両方の弁板の間には拡
張機構が存在しており、この機構を用いてストローク棒
によって、弁の弁板をハウジングに気密に押し付けるこ
とができる。
対して直角方向に摺動可能な弁板が備えられており、こ
れらの弁板は中央板の上にあり、両方の弁板の間には拡
張機構が存在しており、この機構を用いてストローク棒
によって、弁の弁板をハウジングに気密に押し付けるこ
とができる。
【０００４】冒頭に記載した公知のすべり弁において、
拡張機構は直角のプロフィルを有する拡張体からなり、
この拡張体は、対応するプロフィルを有する切欠き部中
で、一方では中央板と、他方では向かい合っている揺動
板と嵌合している。
拡張機構は直角のプロフィルを有する拡張体からなり、
この拡張体は、対応するプロフィルを有する切欠き部中
で、一方では中央板と、他方では向かい合っている揺動
板と嵌合している。
【０００５】ストローク棒の前方部分がハウジング内の
ストッパに当接するその位置に、上と下の弁板を把持す
る板ばねが設けられており、そしてストローク棒がハウ
ジングに固定されたストッパに突き当たると、弁板が取
り付けられている板ばねの揺動可能な自由端において弁
板の摺動運動が生じる。
ストッパに当接するその位置に、上と下の弁板を把持す
る板ばねが設けられており、そしてストローク棒がハウ
ジングに固定されたストッパに突き当たると、弁板が取
り付けられている板ばねの揺動可能な自由端において弁
板の摺動運動が生じる。
【０００６】この従来例の欠点は、板ばねが破損し易
く、また、長期間使用すると弁機構が故障するおそれが
あることである。ハウジングに固定されたストッパに突
き当たる際に発生するスラストのために、板ばねに制御
不可能な応力がかかるので、板ばねが破損し易い。もう
一つの欠点は、弁板が、板ばねのばね力によって、ハウ
ジングに固定された弁座の方向に直角に移動されるので
はなくて、半径方向に移動することである。このこと
は、弁板に配置されるパッキング、特にＯ−リングが、
押しやられて締め付けられ、これによってパッキングが
急速に損傷を受けるという欠点と結び付いてしまう。
く、また、長期間使用すると弁機構が故障するおそれが
あることである。ハウジングに固定されたストッパに突
き当たる際に発生するスラストのために、板ばねに制御
不可能な応力がかかるので、板ばねが破損し易い。もう
一つの欠点は、弁板が、板ばねのばね力によって、ハウ
ジングに固定された弁座の方向に直角に移動されるので
はなくて、半径方向に移動することである。このこと
は、弁板に配置されるパッキング、特にＯ−リングが、
押しやられて締め付けられ、これによってパッキングが
急速に損傷を受けるという欠点と結び付いてしまう。
【０００７】そのほか、前記の公知のすべり弁において
は、弁板のストローク行程が比較的小さいこともまた、
欠点である。なぜならば、拡張体がたとえば３０°とい
う比較的鋭い角度で中央板に存在しており、このため弁
板は比較的少ないストローク運動しかできないからであ
る。
は、弁板のストローク行程が比較的小さいこともまた、
欠点である。なぜならば、拡張体がたとえば３０°とい
う比較的鋭い角度で中央板に存在しており、このため弁
板は比較的少ないストローク運動しかできないからであ
る。
【０００８】
【発明の目的】本発明の目的は、冒頭に記載した種類の
真空すべり弁を、確実に運転しうる操作手段で、弁板の
より大きなストローク行程を保証するように改良するこ
とである。
真空すべり弁を、確実に運転しうる操作手段で、弁板の
より大きなストローク行程を保証するように改良するこ
とである。
【０００９】
【発明の概要】この目的は、本発明によって達成され
る。すなわち本発明は、ばねによって付勢された互いに
拡張しうる弁板が備えられており、この拡張のための機
構がストローク棒を備え、対をなして向かい合っている
揺動板が中央板によって駆動され、該揺動板が直立する
と弁板が持ち上がるように構成されている、ハウジング
内の排出口を開閉するための真空すべり弁において、揺
動板（８）が、弁板（１、２）と中央板（６）との間で
ほぼ水平の配置で揺動可能に支持されており、揺動板の
端面が、弁板（１、２）の端面（２４、２５）と互いに
傾斜した状態で隣接していることを特徴とする、真空す
べり弁である。
る。すなわち本発明は、ばねによって付勢された互いに
拡張しうる弁板が備えられており、この拡張のための機
構がストローク棒を備え、対をなして向かい合っている
揺動板が中央板によって駆動され、該揺動板が直立する
と弁板が持ち上がるように構成されている、ハウジング
内の排出口を開閉するための真空すべり弁において、揺
動板（８）が、弁板（１、２）と中央板（６）との間で
ほぼ水平の配置で揺動可能に支持されており、揺動板の
端面が、弁板（１、２）の端面（２４、２５）と互いに
傾斜した状態で隣接していることを特徴とする、真空す
べり弁である。
【００１０】本発明の特色は、従来の拡張体が、揺動板
によって置き換えられていることであり、この揺動板
は、弁板および中央板に設けられた切欠き部内に、実際
上０°またはほぼ０°の角度で、すなわち水平またはほ
ぼ水平に嵌め込まれており、かつそこで揺動可能に支持
されている。
によって置き換えられていることであり、この揺動板
は、弁板および中央板に設けられた切欠き部内に、実際
上０°またはほぼ０°の角度で、すなわち水平またはほ
ぼ水平に嵌め込まれており、かつそこで揺動可能に支持
されている。
【００１１】これによって、弁板のより大きいストロー
ク行程を達成できるという重要な利点が生じる。なぜな
らば、前記の揺動板は、その水平位置から垂直位置に揺
動されるからであり、これは弁板の最大閉鎖工程によっ
て可能だからである。
ク行程を達成できるという重要な利点が生じる。なぜな
らば、前記の揺動板は、その水平位置から垂直位置に揺
動されるからであり、これは弁板の最大閉鎖工程によっ
て可能だからである。
【００１２】従来例の場合は、拡張体が、弁板および中
央板に設けられた切欠き部内に約３０°の角度で配置さ
れているので、本発明の場合は、弁板に関して５０％だ
け増大したストローク行程が得られる。
央板に設けられた切欠き部内に約３０°の角度で配置さ
れているので、本発明の場合は、弁板に関して５０％だ
け増大したストローク行程が得られる。
【００１３】さらに、弁板および中央板の切欠き部の作
製は、比較的簡単である。なぜならば従来技術では傾斜
した面を作る必要があるのに対して、本発明の場合は水
平面を作ればよいからである。
製は、比較的簡単である。なぜならば従来技術では傾斜
した面を作る必要があるのに対して、本発明の場合は水
平面を作ればよいからである。
【００１４】したがって、本発明によれば、弁板のスト
ローク行程がより長いため、弁板が閉鎖したときに、弁
排出口内に直接に入る他の要素を、弁板と直接的に結合
させることが可能である。その結果、これらの要素が弁
排出口内に入る工程（摺動項程）がより長くなり、これ
によって弁板の良好な気密性および良好なセンタリング
が達成される。
ローク行程がより長いため、弁板が閉鎖したときに、弁
排出口内に直接に入る他の要素を、弁板と直接的に結合
させることが可能である。その結果、これらの要素が弁
排出口内に入る工程（摺動項程）がより長くなり、これ
によって弁板の良好な気密性および良好なセンタリング
が達成される。
【００１５】本発明によれば、板ばねの揺動可能な自由
端に弁板がそれぞれ配置されているのではなくて、弁板
が中央板上に充分かつ確実に保持されており、拡張機構
が駆動される際に、弁板が、ハウジングに設けられた弁
座の方向に直線的に（揺動しないで）前進および後退運
動することは、本発明のもう一つの利点である。したが
って、弁座に対して剪断応力および圧縮応力がかかると
いう前記の欠点は回避される。
端に弁板がそれぞれ配置されているのではなくて、弁板
が中央板上に充分かつ確実に保持されており、拡張機構
が駆動される際に、弁板が、ハウジングに設けられた弁
座の方向に直線的に（揺動しないで）前進および後退運
動することは、本発明のもう一つの利点である。したが
って、弁座に対して剪断応力および圧縮応力がかかると
いう前記の欠点は回避される。
【００１６】本発明の一つの構成によれば、摺動可能な
ストッパと共に作用する公知の板ばねの代わりに、両方
の向かい合っている弁板の間にばねを配置することが提
供される。これらのばねとしては、たとえばコイルば
ね、棒ばねおよび板ばねが用いられる。
ストッパと共に作用する公知の板ばねの代わりに、両方
の向かい合っている弁板の間にばねを配置することが提
供される。これらのばねとしては、たとえばコイルば
ね、棒ばねおよび板ばねが用いられる。
【００１７】ここで重要なことは、従来技術の場合のよ
うに、ハウジングに固定されたストッパにストローク棒
が前進して当接したときにばねがその曲げ力を示すので
はなくて、拡張機構が逆方向に揺動したときに弁板を元
に戻すためにのみばねが利用されることである。
うに、ハウジングに固定されたストッパにストローク棒
が前進して当接したときにばねがその曲げ力を示すので
はなくて、拡張機構が逆方向に揺動したときに弁板を元
に戻すためにのみばねが利用されることである。
【００１８】このように、ストローク棒のストッパへの
前進運動は、弁板の後退運動から機械的に分離されてい
る。なぜならば、本発明によれば、この運動の経過中に
ばねはもはや関与しないからである。
前進運動は、弁板の後退運動から機械的に分離されてい
る。なぜならば、本発明によれば、この運動の経過中に
ばねはもはや関与しないからである。
【００１９】本発明によれば、弁板および中央板に設け
られた切り欠き部内に揺動板を水平に配置するだけで充
分である。この場合、揺動板はたとえば２ｍｍの最終厚
さを有すべきである。揺動運動は、押し付け運動によっ
て各揺動板に伝達され、この場合、この押し付け運動
は、摺動可能な中央板と、弁板との間で生じるる。した
がって一方では、揺動板はその揺動していない位置にお
いて、中央板の切り欠き部の縁部と隣接しており、他方
では、揺動板の対角線上に向かい合った縁部は、弁板の
切り欠き部の並列した縁部に隣接しており、これによっ
て両部材（弁板および中央板）の摺動に際して、斜めの
力成分が揺動板に伝達される。この斜めの力成分は、力
の分解図において垂直方向の揚力と水平方向のスラスト
（推力）に変えることができる。この揚力は、揺動板を
その切り欠き部内で起立させ、かつ特定の縁部を介して
揺動させるのに充分である。
られた切り欠き部内に揺動板を水平に配置するだけで充
分である。この場合、揺動板はたとえば２ｍｍの最終厚
さを有すべきである。揺動運動は、押し付け運動によっ
て各揺動板に伝達され、この場合、この押し付け運動
は、摺動可能な中央板と、弁板との間で生じるる。した
がって一方では、揺動板はその揺動していない位置にお
いて、中央板の切り欠き部の縁部と隣接しており、他方
では、揺動板の対角線上に向かい合った縁部は、弁板の
切り欠き部の並列した縁部に隣接しており、これによっ
て両部材（弁板および中央板）の摺動に際して、斜めの
力成分が揺動板に伝達される。この斜めの力成分は、力
の分解図において垂直方向の揚力と水平方向のスラスト
（推力）に変えることができる。この揚力は、揺動板を
その切り欠き部内で起立させ、かつ特定の縁部を介して
揺動させるのに充分である。
【００２０】この場合、各揺動板の端面を垂直に加工す
るだけで充分であり、これによって、弁板および中央板
の切り欠き部の各縁部と、揺動板の並列する垂直に形成
された前側との間で縁部が接触することになる。
るだけで充分であり、これによって、弁板および中央板
の切り欠き部の各縁部と、揺動板の並列する垂直に形成
された前側との間で縁部が接触することになる。
【００２１】本発明の他の構成においては、揺動板の端
面を垂直に、すなわち長手縁部に対して直角に形成する
のではなくて、傾斜した角度で傾いているようにするこ
とが提供される。
面を垂直に、すなわち長手縁部に対して直角に形成する
のではなくて、傾斜した角度で傾いているようにするこ
とが提供される。
【００２２】本発明の一つの変形において、垂直の端面
を有する揺動板の場合も、また傾斜した端面を有する揺
動板の場合にも、特定の揺動運動を行うために、さらに
補助要素が設けられる。
を有する揺動板の場合も、また傾斜した端面を有する揺
動板の場合にも、特定の揺動運動を行うために、さらに
補助要素が設けられる。
【００２３】このような一つの実施態様において、揺動
板の各端面に、弁板の切り欠き部および中央板の切り欠
き部の縁部と共に作用する溝を設けることが提供され
る。他の態様において、弁板および中央板の切り欠き部
にある揺動縁部の代わりに、弁板と中央板のこの切り欠
き部の範囲内に、各揺動板の端面に設けられた穿孔に嵌
合する植込みボルトを埋設することが提供される。
板の各端面に、弁板の切り欠き部および中央板の切り欠
き部の縁部と共に作用する溝を設けることが提供され
る。他の態様において、弁板および中央板の切り欠き部
にある揺動縁部の代わりに、弁板と中央板のこの切り欠
き部の範囲内に、各揺動板の端面に設けられた穿孔に嵌
合する植込みボルトを埋設することが提供される。
【００２４】これによって、揺動板の飛び出しを防止す
る特定の揺動縁部または揺動点が備えられる。これは、
従来のすべり弁には備えられていなかった。本発明の対
象は、個々の請求項の対象からだけでなく、個々の請求
項のそれぞれの組合せからも明らかである。要約書を含
めて本明細書に開示された記載および特色の全て、特に
図面に記載された空間的または立体的構成は、それらが
単独でまたは組み合わせて従来技術に対して新規である
ならば、本発明の本質とみなされる。
る特定の揺動縁部または揺動点が備えられる。これは、
従来のすべり弁には備えられていなかった。本発明の対
象は、個々の請求項の対象からだけでなく、個々の請求
項のそれぞれの組合せからも明らかである。要約書を含
めて本明細書に開示された記載および特色の全て、特に
図面に記載された空間的または立体的構成は、それらが
単独でまたは組み合わせて従来技術に対して新規である
ならば、本発明の本質とみなされる。
【００２５】
【実施例】以下に本発明を、添付の図面により、さらに
詳細に説明する。図面およびその説明から、本発明の本
質的な特色および利点が明らかにされる。
詳細に説明する。図面およびその説明から、本発明の本
質的な特色および利点が明らかにされる。
【００２６】図１は、閉鎖していない状態の真空すべり
弁の概要断面図である。図２は、図１の線II−IIによる
断面図である。図３〜図７は、揺動板の第一の実施態様
における揺動運動を示す図である。
弁の概要断面図である。図２は、図１の線II−IIによる
断面図である。図３〜図７は、揺動板の第一の実施態様
における揺動運動を示す図である。
【００２７】図８〜図１２は、揺動板の第二の実施態様
における揺動運動を示す同様の図である。図１および図
２によれば、ストローク棒３はハウジング４内で、矢印
方向７およびその反対方向に摺動可能に支持されてお
り、ハウジング４には閉鎖する排出口２０が存在してい
る。
における揺動運動を示す同様の図である。図１および図
２によれば、ストローク棒３はハウジング４内で、矢印
方向７およびその反対方向に摺動可能に支持されてお
り、ハウジング４には閉鎖する排出口２０が存在してい
る。
【００２８】ストローク棒３の前部には、中央板６が固
定されており、その上側と下側にはそれぞれ弁板１、２
が備えられている。両方の弁板１、２は、その間に配置
されたばね１４によって中央板６に対して釣り合った力
で保持されている。すなわち、ばね１４の一方の端部は
上弁板１に、ばね１４の他方の端部は下弁板２にそれぞ
れ連結されている。
定されており、その上側と下側にはそれぞれ弁板１、２
が備えられている。両方の弁板１、２は、その間に配置
されたばね１４によって中央板６に対して釣り合った力
で保持されている。すなわち、ばね１４の一方の端部は
上弁板１に、ばね１４の他方の端部は下弁板２にそれぞ
れ連結されている。
【００２９】ここで図示したコイルばねの代わりに、弁
板１、２の間に相当するばね力を生じさせる他の任意の
ばねを用いることができる。図１および図２による実施
例において、相対する排出口２０を密閉するのに上弁板
１だけが用いられ、この場合、上弁板１にはＯ−リング
１５が配置されており、このＯ−リング１５は閉鎖位置
において、ハウジング４に設けられた弁座５と共に作用
する。
板１、２の間に相当するばね力を生じさせる他の任意の
ばねを用いることができる。図１および図２による実施
例において、相対する排出口２０を密閉するのに上弁板
１だけが用いられ、この場合、上弁板１にはＯ−リング
１５が配置されており、このＯ−リング１５は閉鎖位置
において、ハウジング４に設けられた弁座５と共に作用
する。
【００３０】ハウジング４内には、ハウジング４に一端
を固定された突き当たり部が備えられており、この突き
当たり部はこの実施例においては突き当たりボルト１１
からなり、この場合各突き当たりボルト１１は、先端を
ハウジング４にねじ込まれた軸部１３と頭部１２とを有
している。
を固定された突き当たり部が備えられており、この突き
当たり部はこの実施例においては突き当たりボルト１１
からなり、この場合各突き当たりボルト１１は、先端を
ハウジング４にねじ込まれた軸部１３と頭部１２とを有
している。
【００３１】それぞれの弁板１、２は、それぞれの軸部
１３上に摺動可能に支持されており、軸部１３の長さが
長いので、弁座５の方向へ弁板１、２を持ち上げる運動
を容易にするのに役立つ。
１３上に摺動可能に支持されており、軸部１３の長さが
長いので、弁座５の方向へ弁板１、２を持ち上げる運動
を容易にするのに役立つ。
【００３２】さらに、弁板１、２の移動範囲内でストロ
ーク棒３が直線的に案内されるという重要な利点は、ハ
ウジング４に設けられた弁座５の方向に、弁板１、２の
水平状態の運動が達成されることにある。
ーク棒３が直線的に案内されるという重要な利点は、ハ
ウジング４に設けられた弁座５の方向に、弁板１、２の
水平状態の運動が達成されることにある。
【００３３】従来技術の場合には、ストローク棒３およ
び弁板のいずれもが直線的な案内で移動されないので、
このような水平状態の運動は与えられない。本発明によ
る揺動機構は、中央板６に設けられた切り欠き部１０
と、弁板１、２の前記切り欠き部１０に向かい合った位
置に設けられた切り欠き部９と、前記切り欠き部９、１
０内にそれぞれ配置された揺動板８からなっている。
び弁板のいずれもが直線的な案内で移動されないので、
このような水平状態の運動は与えられない。本発明によ
る揺動機構は、中央板６に設けられた切り欠き部１０
と、弁板１、２の前記切り欠き部１０に向かい合った位
置に設けられた切り欠き部９と、前記切り欠き部９、１
０内にそれぞれ配置された揺動板８からなっている。
【００３４】理解を容易にするために、以下では、上弁
板１についてだけ説明する。なぜならば、下弁板２の拡
張機構は同様に構成されているからである。図３〜図７
の実施例において、揺動板８は傾斜した端面２１を有し
ており、長手軸に対するその角度は、いわゆる摩擦角よ
りも小さい。
板１についてだけ説明する。なぜならば、下弁板２の拡
張機構は同様に構成されているからである。図３〜図７
の実施例において、揺動板８は傾斜した端面２１を有し
ており、長手軸に対するその角度は、いわゆる摩擦角よ
りも小さい。
【００３５】摩擦角とは、これらの端面が、中央板６の
揺動縁部２２から滑り落ちるのを防止するのに必要な角
度を意味する。本発明によれば、この角度は５〜１０°
の範囲にあるが、端面２１の表面の種類および状態、潤
滑および摩擦係数、その他に依存する。
揺動縁部２２から滑り落ちるのを防止するのに必要な角
度を意味する。本発明によれば、この角度は５〜１０°
の範囲にあるが、端面２１の表面の種類および状態、潤
滑および摩擦係数、その他に依存する。
【００３６】重要なことは、各揺動板８が水平位置から
揺動して垂直位置に達するために、角度２３で傾斜して
いる端面２１が、切り欠き部９、１０の垂直な端面２
４、２５と共に作用することである。
揺動して垂直位置に達するために、角度２３で傾斜して
いる端面２１が、切り欠き部９、１０の垂直な端面２
４、２５と共に作用することである。
【００３７】すなわち図４に示すように、弁板１が矢印
方向２６の方向に向かって中央板６から離れる際に、傾
斜した端面２１は、切り欠き部９、１０の端面２４、２
５とほとんど同じ方向に整列する。
方向２６の方向に向かって中央板６から離れる際に、傾
斜した端面２１は、切り欠き部９、１０の端面２４、２
５とほとんど同じ方向に整列する。
【００３８】この状態の後、弁板１が矢印方向２６にさ
らに移動する際に、揺動縁部２２は、揺動板８の端面２
１と嵌合し、次いでこの揺動縁部２２上でさらに揺動運
動が行われる。
らに移動する際に、揺動縁部２２は、揺動板８の端面２
１と嵌合し、次いでこの揺動縁部２２上でさらに揺動運
動が行われる。
【００３９】図３〜図７の実施例には、揺動運動を容易
にするために、溝１８を配置できることが示されてお
り、これらの溝１８は端面２１に設けられている。図５
〜図７によれば、これらの溝１８には、各切り欠き部
９、１０の揺動縁部２２が嵌合している。
にするために、溝１８を配置できることが示されてお
り、これらの溝１８は端面２１に設けられている。図５
〜図７によれば、これらの溝１８には、各切り欠き部
９、１０の揺動縁部２２が嵌合している。
【００４０】さらに図７は、揺動板８が死点位置に達し
たこと、すなわちその端面２１が、弁板１および中央板
６の面２７上に一列に並んだことを示している。この死
点位置は、弁を開放するための初期力として、矢印方向
７と反対方向に移動するストローク棒３によって生じる
力を必要とするという利点を有する。
たこと、すなわちその端面２１が、弁板１および中央板
６の面２７上に一列に並んだことを示している。この死
点位置は、弁を開放するための初期力として、矢印方向
７と反対方向に移動するストローク棒３によって生じる
力を必要とするという利点を有する。
【００４１】図８〜図１２の実施例には本発明の他の実
施態様が示されており、この場合は、端面２１が揺動板
８の長手縁部に対して直角に形成されているが、この実
施例では、端面２４、２５が角度２３（図３参照）で傾
斜している。
施態様が示されており、この場合は、端面２１が揺動板
８の長手縁部に対して直角に形成されているが、この実
施例では、端面２４、２５が角度２３（図３参照）で傾
斜している。
【００４２】図８には力の分解が示されており、ここで
は斜め方向の押し付け力はコーナー部２８、２９間で作
用する。この押し付け方向は、参照番号３０で示されて
いる。この押し付け力は、力の分解図において垂直力３
１と水平力３２に分解することができる。垂直力３１
は、本来の揺動運動を行い、ばね１４の弾性力に抗す
る。
は斜め方向の押し付け力はコーナー部２８、２９間で作
用する。この押し付け方向は、参照番号３０で示されて
いる。この押し付け力は、力の分解図において垂直力３
１と水平力３２に分解することができる。垂直力３１
は、本来の揺動運動を行い、ばね１４の弾性力に抗す
る。
【００４３】さらに図８〜図１２の実施例においては、
揺動運動を容易にするために、前記の溝１８の代わり
に、揺動板８の端面２１にそれぞれ穿孔１９を設けるこ
とができることが示されている。この場合、これらの穿
孔１９にはそれぞれ植込みボルト１７の先端が嵌合す
る。植込みボルト１７は、中央板６に埋設されており、
揺動板８の一方の端面２１にある穿孔１９中に嵌合する
が、向かい合った弁板１にも同様に植込みボルト１７が
埋設されており、この植込みボルト１７は、揺動板８の
向かい合った端面２１に配置された穿孔１９中に嵌合す
る。
揺動運動を容易にするために、前記の溝１８の代わり
に、揺動板８の端面２１にそれぞれ穿孔１９を設けるこ
とができることが示されている。この場合、これらの穿
孔１９にはそれぞれ植込みボルト１７の先端が嵌合す
る。植込みボルト１７は、中央板６に埋設されており、
揺動板８の一方の端面２１にある穿孔１９中に嵌合する
が、向かい合った弁板１にも同様に植込みボルト１７が
埋設されており、この植込みボルト１７は、揺動板８の
向かい合った端面２１に配置された穿孔１９中に嵌合す
る。
【００４４】図２において、これらの植込みボルト１７
は、一方の揺動板でのみ概要が示されている。この実施
例においても、穿孔１９と共に植込みボルト１７を省略
することができ、垂直に形成された端面２１によって、
揺動運動を行うようにすることができる。これは図１１
および図１２に示されており、揺動縁部２２によって同
様に揺動される。
は、一方の揺動板でのみ概要が示されている。この実施
例においても、穿孔１９と共に植込みボルト１７を省略
することができ、垂直に形成された端面２１によって、
揺動運動を行うようにすることができる。これは図１１
および図１２に示されており、揺動縁部２２によって同
様に揺動される。
【００４５】すなわち本発明の利点は、揺動板８が弁の
開放位置で水平に位置しているため、各弁板１、２に関
して大きなストローク行程が得られることである。さら
に、板ばねによる突き当たりが回避され、その代わり
に、弁板１、２の直線的な案内をも同時に行うようにし
た、ハウジングに固定された突き当たり部を使用できる
ことも、本発明の利点である。
開放位置で水平に位置しているため、各弁板１、２に関
して大きなストローク行程が得られることである。さら
に、板ばねによる突き当たりが回避され、その代わり
に、弁板１、２の直線的な案内をも同時に行うようにし
た、ハウジングに固定された突き当たり部を使用できる
ことも、本発明の利点である。
【００４６】さらにもう一つの利点は、従来例のような
板ばねを使用しないことにより、弁座５の方向に、各弁
板１、２の比較的直線的な閉鎖運動が達成されることで
あり、従来技術ではこのようなことは行われない。
板ばねを使用しないことにより、弁座５の方向に、各弁
板１、２の比較的直線的な閉鎖運動が達成されることで
あり、従来技術ではこのようなことは行われない。
【００４７】
【発明の効果】本発明によれば、従来技術において知ら
れている拡張体が揺動板によって置き換えられており、
この揺動板は、弁板および中央板に設けられた切り欠き
部内に実際上０°またはほぼ０°の角度で（水平または
ほぼ水平に）嵌め込まれており、かつそこで揺動可能に
支持されている。
れている拡張体が揺動板によって置き換えられており、
この揺動板は、弁板および中央板に設けられた切り欠き
部内に実際上０°またはほぼ０°の角度で（水平または
ほぼ水平に）嵌め込まれており、かつそこで揺動可能に
支持されている。
【００４８】したがって、前記の揺動板はその水平位置
から垂直位置に揺動され、この揺動は弁板の最大閉鎖工
程を可能にするので、より大きい弁板のストローク行程
を得ることができるという重要な利点が得られる。この
弁板のストローク行程は、従来技術と比較して５０％大
きい。さらに、弁板および中央板の切り欠き部は水平な
ので、その作製が比較的簡単である。
から垂直位置に揺動され、この揺動は弁板の最大閉鎖工
程を可能にするので、より大きい弁板のストローク行程
を得ることができるという重要な利点が得られる。この
弁板のストローク行程は、従来技術と比較して５０％大
きい。さらに、弁板および中央板の切り欠き部は水平な
ので、その作製が比較的簡単である。
【００４９】本発明によれば、弁板のストローク行程が
より長いため、弁板が閉鎖したときに、弁排出口内に直
接に入る他の要素を、弁板と直接的に結合させるように
することが可能である。その結果、これらの要素が弁排
出口内に入る工程（摺動工程）がより長くなり、これに
よって弁板の良好な気密性および良好なセンタリングが
達成される。
より長いため、弁板が閉鎖したときに、弁排出口内に直
接に入る他の要素を、弁板と直接的に結合させるように
することが可能である。その結果、これらの要素が弁排
出口内に入る工程（摺動工程）がより長くなり、これに
よって弁板の良好な気密性および良好なセンタリングが
達成される。
【００５０】さらに本発明によれば、弁板が中央板上に
充分かつ確実に保持されており、拡張機構が駆動される
際に、弁板が、ハウジングに固定された弁座の方向に直
線的に（揺動しないで）前進および後退運動すること
も、本発明の利点であり、したがって、弁座に対して剪
断応力および圧縮応力がかかるという従来技術の欠点を
回避することができる。
充分かつ確実に保持されており、拡張機構が駆動される
際に、弁板が、ハウジングに固定された弁座の方向に直
線的に（揺動しないで）前進および後退運動すること
も、本発明の利点であり、したがって、弁座に対して剪
断応力および圧縮応力がかかるという従来技術の欠点を
回避することができる。
【図１】閉鎖していない状態の真空すべり弁の概要断面
図である。
図である。
【図２】図１の線II−IIによる断面図である。
【図３】揺動板の第一の実施態様における揺動前の状態
を示す図である。
を示す図である。
【図４】同じく、揺動初期の状態を示す図である。
【図５】同じく、揺動運動が進んだ状態を示す図であ
る。
る。
【図６】同じく、揺動運動が更に進んだ状態を示す図で
ある。
ある。
【図７】同じく、揺動が終了した状態を示す図である。
【図８】揺動板の第二の実施態様における図３相当図で
ある。
ある。
【図９】同じく、図４相当図である。
【図１０】同じく、図５相当図である。
【図１１】同じく、図６相当図である。
【図１２】同じく、図７相当図である。
１ 上弁板 ２ 下弁板 ３ ストローク棒 ４ ハウジング ５ 弁座 ６ 中央板 ８ 揺動板 ９、１０ 切り欠き部 １１ 突き当たりボルト １２ 頭部 １３ 軸部 １４ ばね １５ Ｏ−リング １７ 植込みボルト １８ 溝 １９ 穿孔 ２０ 排出口 ２１ 揺動板の端面 ２２ 揺動縁部 ２４ 弁板の端面 ２５ 中央板の端面 ２８、２９ コーナー部 ３０ 付き押し部
Claims (5)
- 【請求項１】 ばねによって付勢された互いに拡張しう
る弁板が備えられており、この拡張のための機構がスト
ロークを備え、対をなして向かい合っている揺動板が中
央板によって駆動され、該揺動板が直立すると弁板が持
ち上がるように構成されている、ハウジング内の排出口
を開閉するための真空すべり弁において、揺動板（８）
が、弁板（１、２）と中央板（６）との間でほぼ水平の
配置で揺動可能に支持されており、揺動板の端面が、弁
板（１、２）の端面（２４、２５）と互いに傾斜した状
態で隣接していることを特徴とする、真空すべり弁。 - 【請求項２】 前記弁板（１、２）の端面（２４、２
５）が垂直に形成されており、前記揺動板（８）の端面
（２１）が傾斜していることを特徴とする、請求項１に
記載の真空すべり弁。 - 【請求項３】 互いに向かい合っている前記弁板（１、
２）の間にばねが配置されており、このばねが、コイル
ばね、棒ばね、板ばねであることを特徴とする、請求項
１または２に記載の真空すべり弁。 - 【請求項４】 前記揺動板（８）の端面に溝（１８）が
設けられており、この溝が前記弁板（１、２）の切り欠
き部の縁と共同作用することを特徴とする、請求項１〜
３のいずれかに記載の真空すべり弁。 - 【請求項５】 前記弁板（１、２）に植込みボルト（１
７）が埋設されており、これらの植込みボルトが前記揺
動板（８）の端面に設けられた穿孔（１９）に嵌合する
ことを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の真
空すべり弁。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP91120242A EP0544030A1 (de) | 1991-11-27 | 1991-11-27 | Vakuumschieberventil |
| DE91120242:2 | 1991-11-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05196173A true JPH05196173A (ja) | 1993-08-06 |
Family
ID=8207382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31507192A Pending JPH05196173A (ja) | 1991-11-27 | 1992-11-25 | 真空すべり弁 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0544030A1 (ja) |
| JP (1) | JPH05196173A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106763855A (zh) * | 2017-01-16 | 2017-05-31 | 福建省利邦环境工程有限公司 | 大口径风阀 |
| CN107407428A (zh) * | 2015-03-05 | 2017-11-28 | Vat控股公司 | 真空阀 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104100728B (zh) * | 2014-08-07 | 2016-06-08 | 郑子叶 | 一种自密封型闸阀 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6145419U (ja) * | 1984-08-28 | 1986-03-26 | 三興金属株式会社 | 保護柱 |
| JPS6346310A (ja) * | 1986-07-21 | 1988-02-27 | クレディ スイス | キャンプスト−ブ用バ−ナ組立体 |
| JPS6448432A (en) * | 1987-08-19 | 1989-02-22 | Hitachi Ltd | Molding die and manufacture of semiconductor device by using said die |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE498C (de) * | 1877-07-13 | M. HANNER in Grabow bei Stettin | Schieberventil für Gas-, Dampf- und Wasserleitungen | |
| FR900585A (fr) * | 1942-05-27 | 1945-07-03 | Schumann & Co | Robinet vanne |
| DE3224387A1 (de) * | 1982-06-30 | 1984-01-12 | Schertler, Siegfried, 9469 Haag | Vakuumschieberventil |
-
1991
- 1991-11-27 EP EP91120242A patent/EP0544030A1/de not_active Withdrawn
-
1992
- 1992-11-25 JP JP31507192A patent/JPH05196173A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6145419U (ja) * | 1984-08-28 | 1986-03-26 | 三興金属株式会社 | 保護柱 |
| JPS6346310A (ja) * | 1986-07-21 | 1988-02-27 | クレディ スイス | キャンプスト−ブ用バ−ナ組立体 |
| JPS6448432A (en) * | 1987-08-19 | 1989-02-22 | Hitachi Ltd | Molding die and manufacture of semiconductor device by using said die |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107407428A (zh) * | 2015-03-05 | 2017-11-28 | Vat控股公司 | 真空阀 |
| US10539253B2 (en) | 2015-03-05 | 2020-01-21 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
| CN106763855A (zh) * | 2017-01-16 | 2017-05-31 | 福建省利邦环境工程有限公司 | 大口径风阀 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0544030A1 (de) | 1993-06-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW450876B (en) | Clamp apparatus | |
| US4560141A (en) | Vacuum gate valve | |
| KR102376946B1 (ko) | 진공용 게이트 밸브 | |
| JP2002276844A (ja) | 真空バルブ | |
| JP2009503345A (ja) | 内燃機関の弁装置の切換可能なロッカーアーム | |
| JPH0914145A (ja) | 圧力ポンプ | |
| JPH05196173A (ja) | 真空すべり弁 | |
| CN115306915A (zh) | 一种真空插板阀 | |
| JP5279014B2 (ja) | 空気圧式アンギュラグリッパ | |
| US4166307A (en) | Hinge | |
| JPS6041192B2 (ja) | 複作動ドアチエツク | |
| JP7312871B2 (ja) | 計時器のフィッティングデバイス | |
| JPS61252970A (ja) | バルブ | |
| TWI540277B (zh) | 連桿閘板閥 | |
| EP0436770A1 (en) | Non-sliding gate valve for high vacuum use | |
| US3309125A (en) | Automatic door lock | |
| US6345975B1 (en) | Arm structure for an injecting molding machine | |
| JP7021143B2 (ja) | 引戸 | |
| US3375850A (en) | Fluid valve construction | |
| JP2003097736A (ja) | ゲートバルブの閉鎖方法および装置 | |
| JP3132585B2 (ja) | バルブ駆動装置 | |
| JPH07103344A (ja) | 仕切弁 | |
| JPH0418747Y2 (ja) | ||
| JPH02186173A (ja) | 真空ゲートバルブ | |
| JPS62151672A (ja) | 超高真空弁 |