JPH05196173A - 真空すべり弁 - Google Patents
真空すべり弁Info
- Publication number
- JPH05196173A JPH05196173A JP31507192A JP31507192A JPH05196173A JP H05196173 A JPH05196173 A JP H05196173A JP 31507192 A JP31507192 A JP 31507192A JP 31507192 A JP31507192 A JP 31507192A JP H05196173 A JPH05196173 A JP H05196173A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- valve
- plates
- face
- stroke
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
- F16K3/182—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of toggle links
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 ばねによって付勢された互いに拡張しうる弁
板1、2が備えられており、この拡張のための機構がス
トローク棒3を備え、対をなして向かい合っている揺動
板8が中央板6によって駆動され、該揺動板8が直立す
ると弁板1、2が持ち上がるように構成されている、ハ
ウジング4内の排出口20を開閉するための真空すべり
弁において、揺動板8が、弁板1、2と中央板6との間
でほぼ水平の配置で揺動可能に支持されており、揺動板
の端面が、弁板1、2の端面と互いに傾斜した状態で隣
接していることを特徴とする。 【効果】 極めて大きなストローク行程を得ることがで
きる。
板1、2が備えられており、この拡張のための機構がス
トローク棒3を備え、対をなして向かい合っている揺動
板8が中央板6によって駆動され、該揺動板8が直立す
ると弁板1、2が持ち上がるように構成されている、ハ
ウジング4内の排出口20を開閉するための真空すべり
弁において、揺動板8が、弁板1、2と中央板6との間
でほぼ水平の配置で揺動可能に支持されており、揺動板
の端面が、弁板1、2の端面と互いに傾斜した状態で隣
接していることを特徴とする。 【効果】 極めて大きなストローク行程を得ることがで
きる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ばねによって付勢され
た互いに拡張しうる弁板が備えられており、この拡張の
ための機構がストローク棒を備え、対をなして向かい合
っている揺動板が中央板によって駆動され、該揺動板が
直立すると弁板が持ち上がるように構成されている、ハ
ウジング内の排出口を開閉するための真空すべり弁に関
する。
た互いに拡張しうる弁板が備えられており、この拡張の
ための機構がストローク棒を備え、対をなして向かい合
っている揺動板が中央板によって駆動され、該揺動板が
直立すると弁板が持ち上がるように構成されている、ハ
ウジング内の排出口を開閉するための真空すべり弁に関
する。
【0002】
【従来の技術およびその問題点】ストローク棒により駆
動される弁板を有し、揺動板が拡張機構として挿入され
ているこのような真空すべり弁は、既に公知である。
動される弁板を有し、揺動板が拡張機構として挿入され
ているこのような真空すべり弁は、既に公知である。
【0003】この種の真空すべり弁においては、弁軸に
対して直角方向に摺動可能な弁板が備えられており、こ
れらの弁板は中央板の上にあり、両方の弁板の間には拡
張機構が存在しており、この機構を用いてストローク棒
によって、弁の弁板をハウジングに気密に押し付けるこ
とができる。
対して直角方向に摺動可能な弁板が備えられており、こ
れらの弁板は中央板の上にあり、両方の弁板の間には拡
張機構が存在しており、この機構を用いてストローク棒
によって、弁の弁板をハウジングに気密に押し付けるこ
とができる。
【0004】冒頭に記載した公知のすべり弁において、
拡張機構は直角のプロフィルを有する拡張体からなり、
この拡張体は、対応するプロフィルを有する切欠き部中
で、一方では中央板と、他方では向かい合っている揺動
板と嵌合している。
拡張機構は直角のプロフィルを有する拡張体からなり、
この拡張体は、対応するプロフィルを有する切欠き部中
で、一方では中央板と、他方では向かい合っている揺動
板と嵌合している。
【0005】ストローク棒の前方部分がハウジング内の
ストッパに当接するその位置に、上と下の弁板を把持す
る板ばねが設けられており、そしてストローク棒がハウ
ジングに固定されたストッパに突き当たると、弁板が取
り付けられている板ばねの揺動可能な自由端において弁
板の摺動運動が生じる。
ストッパに当接するその位置に、上と下の弁板を把持す
る板ばねが設けられており、そしてストローク棒がハウ
ジングに固定されたストッパに突き当たると、弁板が取
り付けられている板ばねの揺動可能な自由端において弁
板の摺動運動が生じる。
【0006】この従来例の欠点は、板ばねが破損し易
く、また、長期間使用すると弁機構が故障するおそれが
あることである。ハウジングに固定されたストッパに突
き当たる際に発生するスラストのために、板ばねに制御
不可能な応力がかかるので、板ばねが破損し易い。もう
一つの欠点は、弁板が、板ばねのばね力によって、ハウ
ジングに固定された弁座の方向に直角に移動されるので
はなくて、半径方向に移動することである。このこと
は、弁板に配置されるパッキング、特にO−リングが、
押しやられて締め付けられ、これによってパッキングが
急速に損傷を受けるという欠点と結び付いてしまう。
く、また、長期間使用すると弁機構が故障するおそれが
あることである。ハウジングに固定されたストッパに突
き当たる際に発生するスラストのために、板ばねに制御
不可能な応力がかかるので、板ばねが破損し易い。もう
一つの欠点は、弁板が、板ばねのばね力によって、ハウ
ジングに固定された弁座の方向に直角に移動されるので
はなくて、半径方向に移動することである。このこと
は、弁板に配置されるパッキング、特にO−リングが、
押しやられて締め付けられ、これによってパッキングが
急速に損傷を受けるという欠点と結び付いてしまう。
【0007】そのほか、前記の公知のすべり弁において
は、弁板のストローク行程が比較的小さいこともまた、
欠点である。なぜならば、拡張体がたとえば30°とい
う比較的鋭い角度で中央板に存在しており、このため弁
板は比較的少ないストローク運動しかできないからであ
る。
は、弁板のストローク行程が比較的小さいこともまた、
欠点である。なぜならば、拡張体がたとえば30°とい
う比較的鋭い角度で中央板に存在しており、このため弁
板は比較的少ないストローク運動しかできないからであ
る。
【0008】
【発明の目的】本発明の目的は、冒頭に記載した種類の
真空すべり弁を、確実に運転しうる操作手段で、弁板の
より大きなストローク行程を保証するように改良するこ
とである。
真空すべり弁を、確実に運転しうる操作手段で、弁板の
より大きなストローク行程を保証するように改良するこ
とである。
【0009】
【発明の概要】この目的は、本発明によって達成され
る。すなわち本発明は、ばねによって付勢された互いに
拡張しうる弁板が備えられており、この拡張のための機
構がストローク棒を備え、対をなして向かい合っている
揺動板が中央板によって駆動され、該揺動板が直立する
と弁板が持ち上がるように構成されている、ハウジング
内の排出口を開閉するための真空すべり弁において、揺
動板(8)が、弁板(1、2)と中央板(6)との間で
ほぼ水平の配置で揺動可能に支持されており、揺動板の
端面が、弁板(1、2)の端面(24、25)と互いに
傾斜した状態で隣接していることを特徴とする、真空す
べり弁である。
る。すなわち本発明は、ばねによって付勢された互いに
拡張しうる弁板が備えられており、この拡張のための機
構がストローク棒を備え、対をなして向かい合っている
揺動板が中央板によって駆動され、該揺動板が直立する
と弁板が持ち上がるように構成されている、ハウジング
内の排出口を開閉するための真空すべり弁において、揺
動板(8)が、弁板(1、2)と中央板(6)との間で
ほぼ水平の配置で揺動可能に支持されており、揺動板の
端面が、弁板(1、2)の端面(24、25)と互いに
傾斜した状態で隣接していることを特徴とする、真空す
べり弁である。
【0010】本発明の特色は、従来の拡張体が、揺動板
によって置き換えられていることであり、この揺動板
は、弁板および中央板に設けられた切欠き部内に、実際
上0°またはほぼ0°の角度で、すなわち水平またはほ
ぼ水平に嵌め込まれており、かつそこで揺動可能に支持
されている。
によって置き換えられていることであり、この揺動板
は、弁板および中央板に設けられた切欠き部内に、実際
上0°またはほぼ0°の角度で、すなわち水平またはほ
ぼ水平に嵌め込まれており、かつそこで揺動可能に支持
されている。
【0011】これによって、弁板のより大きいストロー
ク行程を達成できるという重要な利点が生じる。なぜな
らば、前記の揺動板は、その水平位置から垂直位置に揺
動されるからであり、これは弁板の最大閉鎖工程によっ
て可能だからである。
ク行程を達成できるという重要な利点が生じる。なぜな
らば、前記の揺動板は、その水平位置から垂直位置に揺
動されるからであり、これは弁板の最大閉鎖工程によっ
て可能だからである。
【0012】従来例の場合は、拡張体が、弁板および中
央板に設けられた切欠き部内に約30°の角度で配置さ
れているので、本発明の場合は、弁板に関して50%だ
け増大したストローク行程が得られる。
央板に設けられた切欠き部内に約30°の角度で配置さ
れているので、本発明の場合は、弁板に関して50%だ
け増大したストローク行程が得られる。
【0013】さらに、弁板および中央板の切欠き部の作
製は、比較的簡単である。なぜならば従来技術では傾斜
した面を作る必要があるのに対して、本発明の場合は水
平面を作ればよいからである。
製は、比較的簡単である。なぜならば従来技術では傾斜
した面を作る必要があるのに対して、本発明の場合は水
平面を作ればよいからである。
【0014】したがって、本発明によれば、弁板のスト
ローク行程がより長いため、弁板が閉鎖したときに、弁
排出口内に直接に入る他の要素を、弁板と直接的に結合
させることが可能である。その結果、これらの要素が弁
排出口内に入る工程(摺動項程)がより長くなり、これ
によって弁板の良好な気密性および良好なセンタリング
が達成される。
ローク行程がより長いため、弁板が閉鎖したときに、弁
排出口内に直接に入る他の要素を、弁板と直接的に結合
させることが可能である。その結果、これらの要素が弁
排出口内に入る工程(摺動項程)がより長くなり、これ
によって弁板の良好な気密性および良好なセンタリング
が達成される。
【0015】本発明によれば、板ばねの揺動可能な自由
端に弁板がそれぞれ配置されているのではなくて、弁板
が中央板上に充分かつ確実に保持されており、拡張機構
が駆動される際に、弁板が、ハウジングに設けられた弁
座の方向に直線的に(揺動しないで)前進および後退運
動することは、本発明のもう一つの利点である。したが
って、弁座に対して剪断応力および圧縮応力がかかると
いう前記の欠点は回避される。
端に弁板がそれぞれ配置されているのではなくて、弁板
が中央板上に充分かつ確実に保持されており、拡張機構
が駆動される際に、弁板が、ハウジングに設けられた弁
座の方向に直線的に(揺動しないで)前進および後退運
動することは、本発明のもう一つの利点である。したが
って、弁座に対して剪断応力および圧縮応力がかかると
いう前記の欠点は回避される。
【0016】本発明の一つの構成によれば、摺動可能な
ストッパと共に作用する公知の板ばねの代わりに、両方
の向かい合っている弁板の間にばねを配置することが提
供される。これらのばねとしては、たとえばコイルば
ね、棒ばねおよび板ばねが用いられる。
ストッパと共に作用する公知の板ばねの代わりに、両方
の向かい合っている弁板の間にばねを配置することが提
供される。これらのばねとしては、たとえばコイルば
ね、棒ばねおよび板ばねが用いられる。
【0017】ここで重要なことは、従来技術の場合のよ
うに、ハウジングに固定されたストッパにストローク棒
が前進して当接したときにばねがその曲げ力を示すので
はなくて、拡張機構が逆方向に揺動したときに弁板を元
に戻すためにのみばねが利用されることである。
うに、ハウジングに固定されたストッパにストローク棒
が前進して当接したときにばねがその曲げ力を示すので
はなくて、拡張機構が逆方向に揺動したときに弁板を元
に戻すためにのみばねが利用されることである。
【0018】このように、ストローク棒のストッパへの
前進運動は、弁板の後退運動から機械的に分離されてい
る。なぜならば、本発明によれば、この運動の経過中に
ばねはもはや関与しないからである。
前進運動は、弁板の後退運動から機械的に分離されてい
る。なぜならば、本発明によれば、この運動の経過中に
ばねはもはや関与しないからである。
【0019】本発明によれば、弁板および中央板に設け
られた切り欠き部内に揺動板を水平に配置するだけで充
分である。この場合、揺動板はたとえば2mmの最終厚
さを有すべきである。揺動運動は、押し付け運動によっ
て各揺動板に伝達され、この場合、この押し付け運動
は、摺動可能な中央板と、弁板との間で生じるる。した
がって一方では、揺動板はその揺動していない位置にお
いて、中央板の切り欠き部の縁部と隣接しており、他方
では、揺動板の対角線上に向かい合った縁部は、弁板の
切り欠き部の並列した縁部に隣接しており、これによっ
て両部材(弁板および中央板)の摺動に際して、斜めの
力成分が揺動板に伝達される。この斜めの力成分は、力
の分解図において垂直方向の揚力と水平方向のスラスト
(推力)に変えることができる。この揚力は、揺動板を
その切り欠き部内で起立させ、かつ特定の縁部を介して
揺動させるのに充分である。
られた切り欠き部内に揺動板を水平に配置するだけで充
分である。この場合、揺動板はたとえば2mmの最終厚
さを有すべきである。揺動運動は、押し付け運動によっ
て各揺動板に伝達され、この場合、この押し付け運動
は、摺動可能な中央板と、弁板との間で生じるる。した
がって一方では、揺動板はその揺動していない位置にお
いて、中央板の切り欠き部の縁部と隣接しており、他方
では、揺動板の対角線上に向かい合った縁部は、弁板の
切り欠き部の並列した縁部に隣接しており、これによっ
て両部材(弁板および中央板)の摺動に際して、斜めの
力成分が揺動板に伝達される。この斜めの力成分は、力
の分解図において垂直方向の揚力と水平方向のスラスト
(推力)に変えることができる。この揚力は、揺動板を
その切り欠き部内で起立させ、かつ特定の縁部を介して
揺動させるのに充分である。
【0020】この場合、各揺動板の端面を垂直に加工す
るだけで充分であり、これによって、弁板および中央板
の切り欠き部の各縁部と、揺動板の並列する垂直に形成
された前側との間で縁部が接触することになる。
るだけで充分であり、これによって、弁板および中央板
の切り欠き部の各縁部と、揺動板の並列する垂直に形成
された前側との間で縁部が接触することになる。
【0021】本発明の他の構成においては、揺動板の端
面を垂直に、すなわち長手縁部に対して直角に形成する
のではなくて、傾斜した角度で傾いているようにするこ
とが提供される。
面を垂直に、すなわち長手縁部に対して直角に形成する
のではなくて、傾斜した角度で傾いているようにするこ
とが提供される。
【0022】本発明の一つの変形において、垂直の端面
を有する揺動板の場合も、また傾斜した端面を有する揺
動板の場合にも、特定の揺動運動を行うために、さらに
補助要素が設けられる。
を有する揺動板の場合も、また傾斜した端面を有する揺
動板の場合にも、特定の揺動運動を行うために、さらに
補助要素が設けられる。
【0023】このような一つの実施態様において、揺動
板の各端面に、弁板の切り欠き部および中央板の切り欠
き部の縁部と共に作用する溝を設けることが提供され
る。他の態様において、弁板および中央板の切り欠き部
にある揺動縁部の代わりに、弁板と中央板のこの切り欠
き部の範囲内に、各揺動板の端面に設けられた穿孔に嵌
合する植込みボルトを埋設することが提供される。
板の各端面に、弁板の切り欠き部および中央板の切り欠
き部の縁部と共に作用する溝を設けることが提供され
る。他の態様において、弁板および中央板の切り欠き部
にある揺動縁部の代わりに、弁板と中央板のこの切り欠
き部の範囲内に、各揺動板の端面に設けられた穿孔に嵌
合する植込みボルトを埋設することが提供される。
【0024】これによって、揺動板の飛び出しを防止す
る特定の揺動縁部または揺動点が備えられる。これは、
従来のすべり弁には備えられていなかった。本発明の対
象は、個々の請求項の対象からだけでなく、個々の請求
項のそれぞれの組合せからも明らかである。要約書を含
めて本明細書に開示された記載および特色の全て、特に
図面に記載された空間的または立体的構成は、それらが
単独でまたは組み合わせて従来技術に対して新規である
ならば、本発明の本質とみなされる。
る特定の揺動縁部または揺動点が備えられる。これは、
従来のすべり弁には備えられていなかった。本発明の対
象は、個々の請求項の対象からだけでなく、個々の請求
項のそれぞれの組合せからも明らかである。要約書を含
めて本明細書に開示された記載および特色の全て、特に
図面に記載された空間的または立体的構成は、それらが
単独でまたは組み合わせて従来技術に対して新規である
ならば、本発明の本質とみなされる。
【0025】
【実施例】以下に本発明を、添付の図面により、さらに
詳細に説明する。図面およびその説明から、本発明の本
質的な特色および利点が明らかにされる。
詳細に説明する。図面およびその説明から、本発明の本
質的な特色および利点が明らかにされる。
【0026】図1は、閉鎖していない状態の真空すべり
弁の概要断面図である。図2は、図1の線II−IIによる
断面図である。図3〜図7は、揺動板の第一の実施態様
における揺動運動を示す図である。
弁の概要断面図である。図2は、図1の線II−IIによる
断面図である。図3〜図7は、揺動板の第一の実施態様
における揺動運動を示す図である。
【0027】図8〜図12は、揺動板の第二の実施態様
における揺動運動を示す同様の図である。図1および図
2によれば、ストローク棒3はハウジング4内で、矢印
方向7およびその反対方向に摺動可能に支持されてお
り、ハウジング4には閉鎖する排出口20が存在してい
る。
における揺動運動を示す同様の図である。図1および図
2によれば、ストローク棒3はハウジング4内で、矢印
方向7およびその反対方向に摺動可能に支持されてお
り、ハウジング4には閉鎖する排出口20が存在してい
る。
【0028】ストローク棒3の前部には、中央板6が固
定されており、その上側と下側にはそれぞれ弁板1、2
が備えられている。両方の弁板1、2は、その間に配置
されたばね14によって中央板6に対して釣り合った力
で保持されている。すなわち、ばね14の一方の端部は
上弁板1に、ばね14の他方の端部は下弁板2にそれぞ
れ連結されている。
定されており、その上側と下側にはそれぞれ弁板1、2
が備えられている。両方の弁板1、2は、その間に配置
されたばね14によって中央板6に対して釣り合った力
で保持されている。すなわち、ばね14の一方の端部は
上弁板1に、ばね14の他方の端部は下弁板2にそれぞ
れ連結されている。
【0029】ここで図示したコイルばねの代わりに、弁
板1、2の間に相当するばね力を生じさせる他の任意の
ばねを用いることができる。図1および図2による実施
例において、相対する排出口20を密閉するのに上弁板
1だけが用いられ、この場合、上弁板1にはO−リング
15が配置されており、このO−リング15は閉鎖位置
において、ハウジング4に設けられた弁座5と共に作用
する。
板1、2の間に相当するばね力を生じさせる他の任意の
ばねを用いることができる。図1および図2による実施
例において、相対する排出口20を密閉するのに上弁板
1だけが用いられ、この場合、上弁板1にはO−リング
15が配置されており、このO−リング15は閉鎖位置
において、ハウジング4に設けられた弁座5と共に作用
する。
【0030】ハウジング4内には、ハウジング4に一端
を固定された突き当たり部が備えられており、この突き
当たり部はこの実施例においては突き当たりボルト11
からなり、この場合各突き当たりボルト11は、先端を
ハウジング4にねじ込まれた軸部13と頭部12とを有
している。
を固定された突き当たり部が備えられており、この突き
当たり部はこの実施例においては突き当たりボルト11
からなり、この場合各突き当たりボルト11は、先端を
ハウジング4にねじ込まれた軸部13と頭部12とを有
している。
【0031】それぞれの弁板1、2は、それぞれの軸部
13上に摺動可能に支持されており、軸部13の長さが
長いので、弁座5の方向へ弁板1、2を持ち上げる運動
を容易にするのに役立つ。
13上に摺動可能に支持されており、軸部13の長さが
長いので、弁座5の方向へ弁板1、2を持ち上げる運動
を容易にするのに役立つ。
【0032】さらに、弁板1、2の移動範囲内でストロ
ーク棒3が直線的に案内されるという重要な利点は、ハ
ウジング4に設けられた弁座5の方向に、弁板1、2の
水平状態の運動が達成されることにある。
ーク棒3が直線的に案内されるという重要な利点は、ハ
ウジング4に設けられた弁座5の方向に、弁板1、2の
水平状態の運動が達成されることにある。
【0033】従来技術の場合には、ストローク棒3およ
び弁板のいずれもが直線的な案内で移動されないので、
このような水平状態の運動は与えられない。本発明によ
る揺動機構は、中央板6に設けられた切り欠き部10
と、弁板1、2の前記切り欠き部10に向かい合った位
置に設けられた切り欠き部9と、前記切り欠き部9、1
0内にそれぞれ配置された揺動板8からなっている。
び弁板のいずれもが直線的な案内で移動されないので、
このような水平状態の運動は与えられない。本発明によ
る揺動機構は、中央板6に設けられた切り欠き部10
と、弁板1、2の前記切り欠き部10に向かい合った位
置に設けられた切り欠き部9と、前記切り欠き部9、1
0内にそれぞれ配置された揺動板8からなっている。
【0034】理解を容易にするために、以下では、上弁
板1についてだけ説明する。なぜならば、下弁板2の拡
張機構は同様に構成されているからである。図3〜図7
の実施例において、揺動板8は傾斜した端面21を有し
ており、長手軸に対するその角度は、いわゆる摩擦角よ
りも小さい。
板1についてだけ説明する。なぜならば、下弁板2の拡
張機構は同様に構成されているからである。図3〜図7
の実施例において、揺動板8は傾斜した端面21を有し
ており、長手軸に対するその角度は、いわゆる摩擦角よ
りも小さい。
【0035】摩擦角とは、これらの端面が、中央板6の
揺動縁部22から滑り落ちるのを防止するのに必要な角
度を意味する。本発明によれば、この角度は5〜10°
の範囲にあるが、端面21の表面の種類および状態、潤
滑および摩擦係数、その他に依存する。
揺動縁部22から滑り落ちるのを防止するのに必要な角
度を意味する。本発明によれば、この角度は5〜10°
の範囲にあるが、端面21の表面の種類および状態、潤
滑および摩擦係数、その他に依存する。
【0036】重要なことは、各揺動板8が水平位置から
揺動して垂直位置に達するために、角度23で傾斜して
いる端面21が、切り欠き部9、10の垂直な端面2
4、25と共に作用することである。
揺動して垂直位置に達するために、角度23で傾斜して
いる端面21が、切り欠き部9、10の垂直な端面2
4、25と共に作用することである。
【0037】すなわち図4に示すように、弁板1が矢印
方向26の方向に向かって中央板6から離れる際に、傾
斜した端面21は、切り欠き部9、10の端面24、2
5とほとんど同じ方向に整列する。
方向26の方向に向かって中央板6から離れる際に、傾
斜した端面21は、切り欠き部9、10の端面24、2
5とほとんど同じ方向に整列する。
【0038】この状態の後、弁板1が矢印方向26にさ
らに移動する際に、揺動縁部22は、揺動板8の端面2
1と嵌合し、次いでこの揺動縁部22上でさらに揺動運
動が行われる。
らに移動する際に、揺動縁部22は、揺動板8の端面2
1と嵌合し、次いでこの揺動縁部22上でさらに揺動運
動が行われる。
【0039】図3〜図7の実施例には、揺動運動を容易
にするために、溝18を配置できることが示されてお
り、これらの溝18は端面21に設けられている。図5
〜図7によれば、これらの溝18には、各切り欠き部
9、10の揺動縁部22が嵌合している。
にするために、溝18を配置できることが示されてお
り、これらの溝18は端面21に設けられている。図5
〜図7によれば、これらの溝18には、各切り欠き部
9、10の揺動縁部22が嵌合している。
【0040】さらに図7は、揺動板8が死点位置に達し
たこと、すなわちその端面21が、弁板1および中央板
6の面27上に一列に並んだことを示している。この死
点位置は、弁を開放するための初期力として、矢印方向
7と反対方向に移動するストローク棒3によって生じる
力を必要とするという利点を有する。
たこと、すなわちその端面21が、弁板1および中央板
6の面27上に一列に並んだことを示している。この死
点位置は、弁を開放するための初期力として、矢印方向
7と反対方向に移動するストローク棒3によって生じる
力を必要とするという利点を有する。
【0041】図8〜図12の実施例には本発明の他の実
施態様が示されており、この場合は、端面21が揺動板
8の長手縁部に対して直角に形成されているが、この実
施例では、端面24、25が角度23(図3参照)で傾
斜している。
施態様が示されており、この場合は、端面21が揺動板
8の長手縁部に対して直角に形成されているが、この実
施例では、端面24、25が角度23(図3参照)で傾
斜している。
【0042】図8には力の分解が示されており、ここで
は斜め方向の押し付け力はコーナー部28、29間で作
用する。この押し付け方向は、参照番号30で示されて
いる。この押し付け力は、力の分解図において垂直力3
1と水平力32に分解することができる。垂直力31
は、本来の揺動運動を行い、ばね14の弾性力に抗す
る。
は斜め方向の押し付け力はコーナー部28、29間で作
用する。この押し付け方向は、参照番号30で示されて
いる。この押し付け力は、力の分解図において垂直力3
1と水平力32に分解することができる。垂直力31
は、本来の揺動運動を行い、ばね14の弾性力に抗す
る。
【0043】さらに図8〜図12の実施例においては、
揺動運動を容易にするために、前記の溝18の代わり
に、揺動板8の端面21にそれぞれ穿孔19を設けるこ
とができることが示されている。この場合、これらの穿
孔19にはそれぞれ植込みボルト17の先端が嵌合す
る。植込みボルト17は、中央板6に埋設されており、
揺動板8の一方の端面21にある穿孔19中に嵌合する
が、向かい合った弁板1にも同様に植込みボルト17が
埋設されており、この植込みボルト17は、揺動板8の
向かい合った端面21に配置された穿孔19中に嵌合す
る。
揺動運動を容易にするために、前記の溝18の代わり
に、揺動板8の端面21にそれぞれ穿孔19を設けるこ
とができることが示されている。この場合、これらの穿
孔19にはそれぞれ植込みボルト17の先端が嵌合す
る。植込みボルト17は、中央板6に埋設されており、
揺動板8の一方の端面21にある穿孔19中に嵌合する
が、向かい合った弁板1にも同様に植込みボルト17が
埋設されており、この植込みボルト17は、揺動板8の
向かい合った端面21に配置された穿孔19中に嵌合す
る。
【0044】図2において、これらの植込みボルト17
は、一方の揺動板でのみ概要が示されている。この実施
例においても、穿孔19と共に植込みボルト17を省略
することができ、垂直に形成された端面21によって、
揺動運動を行うようにすることができる。これは図11
および図12に示されており、揺動縁部22によって同
様に揺動される。
は、一方の揺動板でのみ概要が示されている。この実施
例においても、穿孔19と共に植込みボルト17を省略
することができ、垂直に形成された端面21によって、
揺動運動を行うようにすることができる。これは図11
および図12に示されており、揺動縁部22によって同
様に揺動される。
【0045】すなわち本発明の利点は、揺動板8が弁の
開放位置で水平に位置しているため、各弁板1、2に関
して大きなストローク行程が得られることである。さら
に、板ばねによる突き当たりが回避され、その代わり
に、弁板1、2の直線的な案内をも同時に行うようにし
た、ハウジングに固定された突き当たり部を使用できる
ことも、本発明の利点である。
開放位置で水平に位置しているため、各弁板1、2に関
して大きなストローク行程が得られることである。さら
に、板ばねによる突き当たりが回避され、その代わり
に、弁板1、2の直線的な案内をも同時に行うようにし
た、ハウジングに固定された突き当たり部を使用できる
ことも、本発明の利点である。
【0046】さらにもう一つの利点は、従来例のような
板ばねを使用しないことにより、弁座5の方向に、各弁
板1、2の比較的直線的な閉鎖運動が達成されることで
あり、従来技術ではこのようなことは行われない。
板ばねを使用しないことにより、弁座5の方向に、各弁
板1、2の比較的直線的な閉鎖運動が達成されることで
あり、従来技術ではこのようなことは行われない。
【0047】
【発明の効果】本発明によれば、従来技術において知ら
れている拡張体が揺動板によって置き換えられており、
この揺動板は、弁板および中央板に設けられた切り欠き
部内に実際上0°またはほぼ0°の角度で(水平または
ほぼ水平に)嵌め込まれており、かつそこで揺動可能に
支持されている。
れている拡張体が揺動板によって置き換えられており、
この揺動板は、弁板および中央板に設けられた切り欠き
部内に実際上0°またはほぼ0°の角度で(水平または
ほぼ水平に)嵌め込まれており、かつそこで揺動可能に
支持されている。
【0048】したがって、前記の揺動板はその水平位置
から垂直位置に揺動され、この揺動は弁板の最大閉鎖工
程を可能にするので、より大きい弁板のストローク行程
を得ることができるという重要な利点が得られる。この
弁板のストローク行程は、従来技術と比較して50%大
きい。さらに、弁板および中央板の切り欠き部は水平な
ので、その作製が比較的簡単である。
から垂直位置に揺動され、この揺動は弁板の最大閉鎖工
程を可能にするので、より大きい弁板のストローク行程
を得ることができるという重要な利点が得られる。この
弁板のストローク行程は、従来技術と比較して50%大
きい。さらに、弁板および中央板の切り欠き部は水平な
ので、その作製が比較的簡単である。
【0049】本発明によれば、弁板のストローク行程が
より長いため、弁板が閉鎖したときに、弁排出口内に直
接に入る他の要素を、弁板と直接的に結合させるように
することが可能である。その結果、これらの要素が弁排
出口内に入る工程(摺動工程)がより長くなり、これに
よって弁板の良好な気密性および良好なセンタリングが
達成される。
より長いため、弁板が閉鎖したときに、弁排出口内に直
接に入る他の要素を、弁板と直接的に結合させるように
することが可能である。その結果、これらの要素が弁排
出口内に入る工程(摺動工程)がより長くなり、これに
よって弁板の良好な気密性および良好なセンタリングが
達成される。
【0050】さらに本発明によれば、弁板が中央板上に
充分かつ確実に保持されており、拡張機構が駆動される
際に、弁板が、ハウジングに固定された弁座の方向に直
線的に(揺動しないで)前進および後退運動すること
も、本発明の利点であり、したがって、弁座に対して剪
断応力および圧縮応力がかかるという従来技術の欠点を
回避することができる。
充分かつ確実に保持されており、拡張機構が駆動される
際に、弁板が、ハウジングに固定された弁座の方向に直
線的に(揺動しないで)前進および後退運動すること
も、本発明の利点であり、したがって、弁座に対して剪
断応力および圧縮応力がかかるという従来技術の欠点を
回避することができる。
【図1】閉鎖していない状態の真空すべり弁の概要断面
図である。
図である。
【図2】図1の線II−IIによる断面図である。
【図3】揺動板の第一の実施態様における揺動前の状態
を示す図である。
を示す図である。
【図4】同じく、揺動初期の状態を示す図である。
【図5】同じく、揺動運動が進んだ状態を示す図であ
る。
る。
【図6】同じく、揺動運動が更に進んだ状態を示す図で
ある。
ある。
【図7】同じく、揺動が終了した状態を示す図である。
【図8】揺動板の第二の実施態様における図3相当図で
ある。
ある。
【図9】同じく、図4相当図である。
【図10】同じく、図5相当図である。
【図11】同じく、図6相当図である。
【図12】同じく、図7相当図である。
1 上弁板 2 下弁板 3 ストローク棒 4 ハウジング 5 弁座 6 中央板 8 揺動板 9、10 切り欠き部 11 突き当たりボルト 12 頭部 13 軸部 14 ばね 15 O−リング 17 植込みボルト 18 溝 19 穿孔 20 排出口 21 揺動板の端面 22 揺動縁部 24 弁板の端面 25 中央板の端面 28、29 コーナー部 30 付き押し部
Claims (5)
- 【請求項1】 ばねによって付勢された互いに拡張しう
る弁板が備えられており、この拡張のための機構がスト
ロークを備え、対をなして向かい合っている揺動板が中
央板によって駆動され、該揺動板が直立すると弁板が持
ち上がるように構成されている、ハウジング内の排出口
を開閉するための真空すべり弁において、揺動板(8)
が、弁板(1、2)と中央板(6)との間でほぼ水平の
配置で揺動可能に支持されており、揺動板の端面が、弁
板(1、2)の端面(24、25)と互いに傾斜した状
態で隣接していることを特徴とする、真空すべり弁。 - 【請求項2】 前記弁板(1、2)の端面(24、2
5)が垂直に形成されており、前記揺動板(8)の端面
(21)が傾斜していることを特徴とする、請求項1に
記載の真空すべり弁。 - 【請求項3】 互いに向かい合っている前記弁板(1、
2)の間にばねが配置されており、このばねが、コイル
ばね、棒ばね、板ばねであることを特徴とする、請求項
1または2に記載の真空すべり弁。 - 【請求項4】 前記揺動板(8)の端面に溝(18)が
設けられており、この溝が前記弁板(1、2)の切り欠
き部の縁と共同作用することを特徴とする、請求項1〜
3のいずれかに記載の真空すべり弁。 - 【請求項5】 前記弁板(1、2)に植込みボルト(1
7)が埋設されており、これらの植込みボルトが前記揺
動板(8)の端面に設けられた穿孔(19)に嵌合する
ことを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の真
空すべり弁。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP91120242A EP0544030A1 (de) | 1991-11-27 | 1991-11-27 | Vakuumschieberventil |
DE91120242:2 | 1991-11-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05196173A true JPH05196173A (ja) | 1993-08-06 |
Family
ID=8207382
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31507192A Pending JPH05196173A (ja) | 1991-11-27 | 1992-11-25 | 真空すべり弁 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0544030A1 (ja) |
JP (1) | JPH05196173A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106763855A (zh) * | 2017-01-16 | 2017-05-31 | 福建省利邦环境工程有限公司 | 大口径风阀 |
CN107407428A (zh) * | 2015-03-05 | 2017-11-28 | Vat控股公司 | 真空阀 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104100728B (zh) * | 2014-08-07 | 2016-06-08 | 郑子叶 | 一种自密封型闸阀 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6145419U (ja) * | 1984-08-28 | 1986-03-26 | 三興金属株式会社 | 保護柱 |
JPS6346310A (ja) * | 1986-07-21 | 1988-02-27 | クレディ スイス | キャンプスト−ブ用バ−ナ組立体 |
JPS6448432A (en) * | 1987-08-19 | 1989-02-22 | Hitachi Ltd | Molding die and manufacture of semiconductor device by using said die |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE498C (de) * | 1877-07-13 | M. HANNER in Grabow bei Stettin | Schieberventil für Gas-, Dampf- und Wasserleitungen | |
FR900585A (fr) * | 1942-05-27 | 1945-07-03 | Schumann & Co | Robinet vanne |
DE3224387A1 (de) * | 1982-06-30 | 1984-01-12 | Schertler, Siegfried, 9469 Haag | Vakuumschieberventil |
-
1991
- 1991-11-27 EP EP91120242A patent/EP0544030A1/de not_active Withdrawn
-
1992
- 1992-11-25 JP JP31507192A patent/JPH05196173A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6145419U (ja) * | 1984-08-28 | 1986-03-26 | 三興金属株式会社 | 保護柱 |
JPS6346310A (ja) * | 1986-07-21 | 1988-02-27 | クレディ スイス | キャンプスト−ブ用バ−ナ組立体 |
JPS6448432A (en) * | 1987-08-19 | 1989-02-22 | Hitachi Ltd | Molding die and manufacture of semiconductor device by using said die |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107407428A (zh) * | 2015-03-05 | 2017-11-28 | Vat控股公司 | 真空阀 |
US10539253B2 (en) | 2015-03-05 | 2020-01-21 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
CN106763855A (zh) * | 2017-01-16 | 2017-05-31 | 福建省利邦环境工程有限公司 | 大口径风阀 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0544030A1 (de) | 1993-06-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW450876B (en) | Clamp apparatus | |
US4560141A (en) | Vacuum gate valve | |
KR102376946B1 (ko) | 진공용 게이트 밸브 | |
JP2002276844A (ja) | 真空バルブ | |
JP2009503345A (ja) | 内燃機関の弁装置の切換可能なロッカーアーム | |
JPH0914145A (ja) | 圧力ポンプ | |
JPH05196173A (ja) | 真空すべり弁 | |
CN115306915A (zh) | 一种真空插板阀 | |
JP5279014B2 (ja) | 空気圧式アンギュラグリッパ | |
US4166307A (en) | Hinge | |
JPS6041192B2 (ja) | 複作動ドアチエツク | |
JP7312871B2 (ja) | 計時器のフィッティングデバイス | |
JPS61252970A (ja) | バルブ | |
TWI540277B (zh) | 連桿閘板閥 | |
EP0436770A1 (en) | Non-sliding gate valve for high vacuum use | |
US3309125A (en) | Automatic door lock | |
US6345975B1 (en) | Arm structure for an injecting molding machine | |
JP7021143B2 (ja) | 引戸 | |
US3375850A (en) | Fluid valve construction | |
JP2003097736A (ja) | ゲートバルブの閉鎖方法および装置 | |
JP3132585B2 (ja) | バルブ駆動装置 | |
JPH07103344A (ja) | 仕切弁 | |
JPH0418747Y2 (ja) | ||
JPH02186173A (ja) | 真空ゲートバルブ | |
JPS62151672A (ja) | 超高真空弁 |