JPH05194024A - アルミナ基複合焼結体 - Google Patents
アルミナ基複合焼結体Info
- Publication number
- JPH05194024A JPH05194024A JP4031501A JP3150192A JPH05194024A JP H05194024 A JPH05194024 A JP H05194024A JP 4031501 A JP4031501 A JP 4031501A JP 3150192 A JP3150192 A JP 3150192A JP H05194024 A JPH05194024 A JP H05194024A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alumina
- particles
- silicon carbide
- grain boundaries
- sintered body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 緻密な構造と高い硬度、強度及び破壊靱性値
を有するアルミナ基複合焼結体。 【効果】 ８０〜９７体積％のアルミナ粒子および粒界
と３〜２０体積％の炭化珪素粒子から本質的になる焼結
体であって、前記アルミナ粒子の中の２０〜８０体積％
の粒子の内部及び粒界に前記炭化珪素粒子が全て分散せ
しめられ、残りの８０〜２０体積％のアルミナ粒子は粒
子内部に炭化珪素粒子を含まず、かつ全体として気孔率
が２％以下であるアルミナ基複合焼結体。
を有するアルミナ基複合焼結体。 【効果】 ８０〜９７体積％のアルミナ粒子および粒界
と３〜２０体積％の炭化珪素粒子から本質的になる焼結
体であって、前記アルミナ粒子の中の２０〜８０体積％
の粒子の内部及び粒界に前記炭化珪素粒子が全て分散せ
しめられ、残りの８０〜２０体積％のアルミナ粒子は粒
子内部に炭化珪素粒子を含まず、かつ全体として気孔率
が２％以下であるアルミナ基複合焼結体。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はアルミナ基複合焼結体に
関し、さらに詳しくは、緻密な構造と高い硬度、強度、
破壊靱性値を有するアルミナ基複合焼結体に関する。
関し、さらに詳しくは、緻密な構造と高い硬度、強度、
破壊靱性値を有するアルミナ基複合焼結体に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、アルミナセラミックスは、多く
のセラミックスの中でも特に熱的、化学的に安定であ
り、しかも比較的高い硬度及び機械的性質を有している
ため、近年その用途は拡がりつつある。例えば、電子回
路の基板やパッケージ、粉体機器等のような耐摩耗部
品、あるいは切削工具等に使われている。しかしなが
ら、強度、破壊靱性値においては、部分安定化ジルコニ
アセラミックスに比べて低く、また硬度においても、ほ
う化物や炭化物セラミックスに比べて低く、機械部品と
しての利用が制限されている。
のセラミックスの中でも特に熱的、化学的に安定であ
り、しかも比較的高い硬度及び機械的性質を有している
ため、近年その用途は拡がりつつある。例えば、電子回
路の基板やパッケージ、粉体機器等のような耐摩耗部
品、あるいは切削工具等に使われている。しかしなが
ら、強度、破壊靱性値においては、部分安定化ジルコニ
アセラミックスに比べて低く、また硬度においても、ほ
う化物や炭化物セラミックスに比べて低く、機械部品と
しての利用が制限されている。
【０００３】アルミナセラミックスの強度の改善を目的
として炭化珪素をアルミナ粒子内部に分散することが最
近行われている。この方法は、約０．１〜０．５μｍの
粒子径をもった炭化珪素を加えて、ホットプレスを用い
てアルミナ粒子を加圧焼結するものであり、粒内破壊が
支配的になるため硬度、強度の改善は見られるが、破壊
靱性値の充分な改善には至っていない。また、加圧焼結
であるため複雑な形状の製品が焼結できず、従って、複
雑な形状をもつ製品は単純な形状の焼結体から切削加工
などによってせざるを得ないためその製造コストが高
く、工業的には有利な方法ではない。
として炭化珪素をアルミナ粒子内部に分散することが最
近行われている。この方法は、約０．１〜０．５μｍの
粒子径をもった炭化珪素を加えて、ホットプレスを用い
てアルミナ粒子を加圧焼結するものであり、粒内破壊が
支配的になるため硬度、強度の改善は見られるが、破壊
靱性値の充分な改善には至っていない。また、加圧焼結
であるため複雑な形状の製品が焼結できず、従って、複
雑な形状をもつ製品は単純な形状の焼結体から切削加工
などによってせざるを得ないためその製造コストが高
く、工業的には有利な方法ではない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記事情に
鑑みてなされたもので、その目的とするところは、充分
に緻密な構造と高い硬度、強度及び破壊靱性値を有する
アルミナ基複合焼結体を提供することにある。
鑑みてなされたもので、その目的とするところは、充分
に緻密な構造と高い硬度、強度及び破壊靱性値を有する
アルミナ基複合焼結体を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記目的
を達成するために鋭意研究をした結果、粒子内部に炭化
珪素の微細粒子を分散したアルミナ粒子と炭化珪素を含
まないアルミナ粒子を組み合わせた焼結体を作製し、粒
内破壊と粒界破壊との組み合わせが有効なことを見いだ
し、本発明を完成した。
を達成するために鋭意研究をした結果、粒子内部に炭化
珪素の微細粒子を分散したアルミナ粒子と炭化珪素を含
まないアルミナ粒子を組み合わせた焼結体を作製し、粒
内破壊と粒界破壊との組み合わせが有効なことを見いだ
し、本発明を完成した。
【０００６】すなわち、上記の目的は、８０〜９７体積
％のアルミナ粒子およびその粒界と３〜２０体積％の炭
化珪素粒子から本質的になる焼結体であって、前記アル
ミナ粒子の２０〜８０体積％の粒内及び粒界に前記炭化
珪素粒子が全て分散せしめられ、残りの８０〜２０体積
％のアルミナ粒子は粒子内部およびその粒界に炭化珪素
粒子を含まず、かつ全体として気孔率が２％以下である
ことを特徴とするアルミナ基複合焼結体によって達成さ
れる。
％のアルミナ粒子およびその粒界と３〜２０体積％の炭
化珪素粒子から本質的になる焼結体であって、前記アル
ミナ粒子の２０〜８０体積％の粒内及び粒界に前記炭化
珪素粒子が全て分散せしめられ、残りの８０〜２０体積
％のアルミナ粒子は粒子内部およびその粒界に炭化珪素
粒子を含まず、かつ全体として気孔率が２％以下である
ことを特徴とするアルミナ基複合焼結体によって達成さ
れる。
【０００７】以下、本発明のアルミナ基複合焼結体を詳
しく説明する。本発明のアルミナ基複合焼結体は、炭化
珪素粒子が粒内に分散せしめられたアルミナ粒子および
炭化珪素粒子を含まないアルミナ粒子とからなり、ま
た、粒界には炭化珪素粒子が分散せしめられた粒界と炭
化珪素粒子を含まない粒界とがある。焼結体の組成とし
ては、アルミナ粒子およびその粒界が全体の８０〜９７
体積％、炭化珪素微粒子が全体の３〜２０体積％をそれ
ぞれ占めている。さらに、アルミナ粒子の２０〜８０体
積％の粒子内部及び粒界に炭化珪素粒子の実質的に全て
が分散せしめられ、残りの８０〜２０体積％のアルミナ
粒子は粒子内部およびその粒界に実質的に炭化珪素を含
まない。ここで、「実質的に」という用語を用いたの
は、炭化珪素を含むアルミナ粒子の極く一部がその粒界
に炭化珪素粒子を含まず、また、炭化珪素を含まないア
ルミナ粒子の極く一部がその粒界に炭化珪素粒子を含む
ことがあるからである。また、本発明のアルミナ基複合
焼結体は、焼結体全体の気孔率が２％以下である。
しく説明する。本発明のアルミナ基複合焼結体は、炭化
珪素粒子が粒内に分散せしめられたアルミナ粒子および
炭化珪素粒子を含まないアルミナ粒子とからなり、ま
た、粒界には炭化珪素粒子が分散せしめられた粒界と炭
化珪素粒子を含まない粒界とがある。焼結体の組成とし
ては、アルミナ粒子およびその粒界が全体の８０〜９７
体積％、炭化珪素微粒子が全体の３〜２０体積％をそれ
ぞれ占めている。さらに、アルミナ粒子の２０〜８０体
積％の粒子内部及び粒界に炭化珪素粒子の実質的に全て
が分散せしめられ、残りの８０〜２０体積％のアルミナ
粒子は粒子内部およびその粒界に実質的に炭化珪素を含
まない。ここで、「実質的に」という用語を用いたの
は、炭化珪素を含むアルミナ粒子の極く一部がその粒界
に炭化珪素粒子を含まず、また、炭化珪素を含まないア
ルミナ粒子の極く一部がその粒界に炭化珪素粒子を含む
ことがあるからである。また、本発明のアルミナ基複合
焼結体は、焼結体全体の気孔率が２％以下である。
【０００８】このようなアルミナ基複合焼結体を作製す
る代表的方法として次のような方法が採られる。まず、
アルミナ粒子および炭化珪素粒子としてそれぞれ平均粒
子径が極めて小さく、比表面積が大きく、従って表面活
性に優れたものを用意する。ここで用意するアルミナ粒
子は、平均粒径が０．０５μｍ以下、ＢＥＴ比表面積が
４０ｍ2 ／ｇ以上でγ型の結晶体であり、また、炭化珪
素粒子は平均粒径が０．０５μｍ以下でＢＥＴ比表面積
が４０ｍ2 ／ｇ以上でβ型の結晶体であることが好まし
い。
る代表的方法として次のような方法が採られる。まず、
アルミナ粒子および炭化珪素粒子としてそれぞれ平均粒
子径が極めて小さく、比表面積が大きく、従って表面活
性に優れたものを用意する。ここで用意するアルミナ粒
子は、平均粒径が０．０５μｍ以下、ＢＥＴ比表面積が
４０ｍ2 ／ｇ以上でγ型の結晶体であり、また、炭化珪
素粒子は平均粒径が０．０５μｍ以下でＢＥＴ比表面積
が４０ｍ2 ／ｇ以上でβ型の結晶体であることが好まし
い。
【０００９】次に、これらの粉末をアルミナ粒子が全体
の６０〜９６体積％、炭化珪素微粒子が全体の４〜４０
体積％となるような割合で配合することが好ましい。こ
こで、このような割合に混合したのは、焼結体内の炭化
珪素の比率が４体積％未満であると、最終的な焼結体に
おいて炭化珪素の含有量が少なくなりすぎるため、強度
改善の効果が期待できず、また、４０体積％を越える
と、アルミナの粒子内部に入りきらずに粒界に多く存在
するようになり焼結を阻害するばかりでなく破壊源とな
りやすくなるからである。
の６０〜９６体積％、炭化珪素微粒子が全体の４〜４０
体積％となるような割合で配合することが好ましい。こ
こで、このような割合に混合したのは、焼結体内の炭化
珪素の比率が４体積％未満であると、最終的な焼結体に
おいて炭化珪素の含有量が少なくなりすぎるため、強度
改善の効果が期待できず、また、４０体積％を越える
と、アルミナの粒子内部に入りきらずに粒界に多く存在
するようになり焼結を阻害するばかりでなく破壊源とな
りやすくなるからである。
【００１０】次いで前記の混合粉末を熱処理すると、ア
ルミナは焼結中にα型の結晶形に転移するとともに粒成
長するが、炭化珪素は難焼結性のためあまり粒成長せ
ず、それによってアルミナの粒子内に取り込まれて、ア
ルミナの粉末粒子内に炭化珪素粒子を含有した複合粉末
となる。このアルミナ−炭化珪素複合粉末２０〜８０体
積％とα−アルミナ粉末８０〜２０体積％とを混配合し
て、公知の方法で成形したうえ、焼結して、全体として
の気孔率が２％以下の焼結体とする。ここで炭化珪素を
含有するアルミナ粒子の割合が２０体積％未満では粒界
破壊を起こす部分が支配的となり粒子内を破壊源とする
粒内破壊による強化が期待できず、また、８０体積％を
越えると粒内破壊が殆どとなり粒界と亀裂の相互作用に
よる破壊靱性値の向上が期待できないためである。
ルミナは焼結中にα型の結晶形に転移するとともに粒成
長するが、炭化珪素は難焼結性のためあまり粒成長せ
ず、それによってアルミナの粒子内に取り込まれて、ア
ルミナの粉末粒子内に炭化珪素粒子を含有した複合粉末
となる。このアルミナ−炭化珪素複合粉末２０〜８０体
積％とα−アルミナ粉末８０〜２０体積％とを混配合し
て、公知の方法で成形したうえ、焼結して、全体として
の気孔率が２％以下の焼結体とする。ここで炭化珪素を
含有するアルミナ粒子の割合が２０体積％未満では粒界
破壊を起こす部分が支配的となり粒子内を破壊源とする
粒内破壊による強化が期待できず、また、８０体積％を
越えると粒内破壊が殆どとなり粒界と亀裂の相互作用に
よる破壊靱性値の向上が期待できないためである。
【００１１】焼結に際しては、アルミナの焼結助剤とし
て公知であるＭｇＯ、Ｙ2 Ｏ3 、ＣａＯ等をアルミナに
対して１重量％以下添加してもかまわない。また、焼結
方法としては、常圧焼結、加圧焼結等いずれの公知の方
法でもかまわない。焼結は、焼結体全体としての気孔率
が２％以下となるように行う。焼結体の気孔率が２％よ
り大きいと強度劣化の原因となる大きな破壊源を気孔と
して含有するからである。
て公知であるＭｇＯ、Ｙ2 Ｏ3 、ＣａＯ等をアルミナに
対して１重量％以下添加してもかまわない。また、焼結
方法としては、常圧焼結、加圧焼結等いずれの公知の方
法でもかまわない。焼結は、焼結体全体としての気孔率
が２％以下となるように行う。焼結体の気孔率が２％よ
り大きいと強度劣化の原因となる大きな破壊源を気孔と
して含有するからである。
【００１２】焼結によって、２〜８割のアルミナ粒子の
粒子内に取り込まれた炭化珪素粒子は、アルミナの粒界
に向かって応力を発生して、粒界を強化する。そのため
粒内破壊が支配的となり破壊源が粒子内になるため、破
壊源の大きさは粒子径以下となり強度の向上につなが
る。さらに、本発明の焼結体では、炭化珪素を含有する
アルミナ粒子および粒界に炭化珪素粒子を含まないアル
ミナ粒子および粒界が分散しているため、破壊源から発
生した亀裂は、直線的に成長せず、炭化珪素粒子を含ま
ないアルミナ粒子の部分で粒界破壊を起こして粒界に沿
って偏向する。そのため亀裂の成長を妨げるのである。
粒子内に取り込まれた炭化珪素粒子は、アルミナの粒界
に向かって応力を発生して、粒界を強化する。そのため
粒内破壊が支配的となり破壊源が粒子内になるため、破
壊源の大きさは粒子径以下となり強度の向上につなが
る。さらに、本発明の焼結体では、炭化珪素を含有する
アルミナ粒子および粒界に炭化珪素粒子を含まないアル
ミナ粒子および粒界が分散しているため、破壊源から発
生した亀裂は、直線的に成長せず、炭化珪素粒子を含ま
ないアルミナ粒子の部分で粒界破壊を起こして粒界に沿
って偏向する。そのため亀裂の成長を妨げるのである。
【００１３】
【作用】本発明のアルミナ基複合焼結体は、粒子の内部
及び粒界に炭化珪素粒子が分散せしめられたアルミナ粒
子と粒子内部に炭化珪素粒子を含まないアルミナ粒子か
ら構成されている。アルミナ粒子の粒界には炭化珪素粒
子を含むものと含まないものが存する。焼結体中に硬度
の高い炭化珪素が分散しているためアルミナの硬度は向
上し、粒子内分散によって粒界に向かって応力を発生し
て粒界を強化するため強度が向上し、さらに粒内破壊を
して進んできた亀裂が、炭化珪素を含まないアルミナ粒
子および粒界の部分で粒界破壊を起こして粒界に沿って
亀裂の偏向や枝別れを起こすため破壊に要するエネルギ
ーは大きくなり、その結果として破壊靱性値は向上す
る。
及び粒界に炭化珪素粒子が分散せしめられたアルミナ粒
子と粒子内部に炭化珪素粒子を含まないアルミナ粒子か
ら構成されている。アルミナ粒子の粒界には炭化珪素粒
子を含むものと含まないものが存する。焼結体中に硬度
の高い炭化珪素が分散しているためアルミナの硬度は向
上し、粒子内分散によって粒界に向かって応力を発生し
て粒界を強化するため強度が向上し、さらに粒内破壊を
して進んできた亀裂が、炭化珪素を含まないアルミナ粒
子および粒界の部分で粒界破壊を起こして粒界に沿って
亀裂の偏向や枝別れを起こすため破壊に要するエネルギ
ーは大きくなり、その結果として破壊靱性値は向上す
る。
【００１４】
【実施例】以下、実施例および比較例について本発明の
アルミナ基複合焼結体を具体的に説明するが、本発明は
これらの実施例に限定されるものではない。 （実施例１〜３及び比較例１〜３）８０体積％のγ−ア
ルミナ粉末（平均粒径：０．００４μｍ）と２０体積％
のβ−炭化珪素粉末（平均粒径：０．０２μｍ）とを調
合し、超音波で振動させたメタノール中で１０時間湿式
混合した後、乾燥し、熱処理し、粉砕して炭化珪素を含
有するアルミナ粉末を得た。この複合粉末と粒子径０．
４μｍのα−アルミナ粉末を表１記載の割合で調合し、
ボールミルで４８時間混合した後、乾燥、解砕し、さら
に４５×３５×５ｍｍの板状に成形した。比較例とし
て、炭化珪素−アルミナ複合体のみの板状成形物（比較
例２，３）およびα−アルミナ粉末のみの板状成形物
（比較例１）を作成した。
アルミナ基複合焼結体を具体的に説明するが、本発明は
これらの実施例に限定されるものではない。 （実施例１〜３及び比較例１〜３）８０体積％のγ−ア
ルミナ粉末（平均粒径：０．００４μｍ）と２０体積％
のβ−炭化珪素粉末（平均粒径：０．０２μｍ）とを調
合し、超音波で振動させたメタノール中で１０時間湿式
混合した後、乾燥し、熱処理し、粉砕して炭化珪素を含
有するアルミナ粉末を得た。この複合粉末と粒子径０．
４μｍのα−アルミナ粉末を表１記載の割合で調合し、
ボールミルで４８時間混合した後、乾燥、解砕し、さら
に４５×３５×５ｍｍの板状に成形した。比較例とし
て、炭化珪素−アルミナ複合体のみの板状成形物（比較
例２，３）およびα−アルミナ粉末のみの板状成形物
（比較例１）を作成した。
【００１５】その後、これらの板状成形物を常圧の窒素
ガス雰囲気下にて１８５０℃、１時間で焼結して、アル
ミナ基焼結体を得た。焼結体全体としての炭化珪素含有
率は表１記載のとおりである。実施例１〜３及び比較例
１〜３の各焼結体について水置換によるアルキメデス法
によりその密度を測定し、理論密度と前記実測値とから
相対密度を算出した。また、室温における３点曲げ強度
をＪＩＳ−Ｒ１６０１により測定し、また、硬度と破壊
靱性値をビッカース硬度計とインデンテーション法によ
りそれぞれ測定した。得られた結果を表１に示す。
ガス雰囲気下にて１８５０℃、１時間で焼結して、アル
ミナ基焼結体を得た。焼結体全体としての炭化珪素含有
率は表１記載のとおりである。実施例１〜３及び比較例
１〜３の各焼結体について水置換によるアルキメデス法
によりその密度を測定し、理論密度と前記実測値とから
相対密度を算出した。また、室温における３点曲げ強度
をＪＩＳ−Ｒ１６０１により測定し、また、硬度と破壊
靱性値をビッカース硬度計とインデンテーション法によ
りそれぞれ測定した。得られた結果を表１に示す。
【００１６】まず、破壊面の電子顕微鏡観察と特性Ｘ線
の分析により、実施例１〜３の焼結体においては、粒子
内部と粒界に炭化珪素を含むアルミナ粒子と炭化珪素を
含まないアルミナ粒子が、特許請求範囲に記載される割
合で存在して、その割合に対応して粒内破壊と粒界破壊
を起こしていることが確認された。さらに、比較例１
は、粒界破壊のみであり、比較例２と３は全てのアルミ
ナ粒子が炭化珪素を含有しており粒内破壊のみであるこ
とが確認された。表１より、本発明に係る焼結体が、比
較例の焼結体に比べて、密度が高く構造が緻密であり、
優れた強度、硬度、破壊靱性値を有することが確認され
た。
の分析により、実施例１〜３の焼結体においては、粒子
内部と粒界に炭化珪素を含むアルミナ粒子と炭化珪素を
含まないアルミナ粒子が、特許請求範囲に記載される割
合で存在して、その割合に対応して粒内破壊と粒界破壊
を起こしていることが確認された。さらに、比較例１
は、粒界破壊のみであり、比較例２と３は全てのアルミ
ナ粒子が炭化珪素を含有しており粒内破壊のみであるこ
とが確認された。表１より、本発明に係る焼結体が、比
較例の焼結体に比べて、密度が高く構造が緻密であり、
優れた強度、硬度、破壊靱性値を有することが確認され
た。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明のアルミナ基
複合焼結体は、粒子の内部及び粒界に炭化珪素粒子が分
散せしめられたアルミナ粒子および粒界と、粒子内部に
炭化珪素粒子を含まないアルミナ粒子から構成されてい
るので、アルミナ本来の高い熱的化学的安定性を有し、
さらに炭化珪素粒子が分散包含されているアルミナ粒子
および粒界と炭化珪素粒子を含まないアルミナ粒子およ
び粒界との破壊機構の違いによって優れた硬度、強度及
び破壊靱性値を有するものとなり、従って優れた機械部
品として有用なセラミックス材料となるものであり、工
業上極めて有用である。
複合焼結体は、粒子の内部及び粒界に炭化珪素粒子が分
散せしめられたアルミナ粒子および粒界と、粒子内部に
炭化珪素粒子を含まないアルミナ粒子から構成されてい
るので、アルミナ本来の高い熱的化学的安定性を有し、
さらに炭化珪素粒子が分散包含されているアルミナ粒子
および粒界と炭化珪素粒子を含まないアルミナ粒子およ
び粒界との破壊機構の違いによって優れた硬度、強度及
び破壊靱性値を有するものとなり、従って優れた機械部
品として有用なセラミックス材料となるものであり、工
業上極めて有用である。
【表１】
Claims (2)
- 【請求項１】 ８０〜９７体積％のアルミナ粒子および
その粒界と、３〜２０体積％の炭化珪素粒子から本質的
になる焼結体であって、前記アルミナ粒子の中の２０〜
８０体積％の粒子の内部及び粒界に前記炭化珪素粒子が
全て分散せしめられ、残りの８０〜２０体積％のアルミ
ナ粒子は粒子内部およびその粒界に炭化珪素粒子を含ま
ず、かつ全体として気孔率が２％以下であることを特徴
とするアルミナ基複合焼結体。 - 【請求項２】 焼結助剤としてＭｇＯ，Ｙ2 Ｏ3 ，Ｃａ
Ｏの中から選ばれた少くとも１種をアルミナに対して１
重量％以下含有することを特徴とする請求項１記載のア
ルミナ基複合焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4031501A JPH05194024A (ja) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | アルミナ基複合焼結体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4031501A JPH05194024A (ja) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | アルミナ基複合焼結体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05194024A true JPH05194024A (ja) | 1993-08-03 |
Family
ID=12332983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4031501A Pending JPH05194024A (ja) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | アルミナ基複合焼結体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05194024A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006206376A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミック焼結体、切削インサート及び切削工具 |
| JP2024017328A (ja) * | 2022-07-27 | 2024-02-08 | 黒崎播磨株式会社 | アルミナ焼結体及び静電チャック |
-
1992
- 1992-01-22 JP JP4031501A patent/JPH05194024A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006206376A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミック焼結体、切削インサート及び切削工具 |
| JP2024017328A (ja) * | 2022-07-27 | 2024-02-08 | 黒崎播磨株式会社 | アルミナ焼結体及び静電チャック |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Yasuoka et al. | High‐Strength and High‐Fracture‐Toughness Ceramics in the Al2O3/LaAl11O18 Systems | |
| US5120328A (en) | Dense, self-reinforced silicon nitride ceramic prepared by pressureless or low pressure gas sintering | |
| EP0699174B1 (en) | Sintered self-reinforced silicon nitride | |
| KR102557206B1 (ko) | 배향 AlN 소결체 및 그 제법 | |
| EP0311289B1 (en) | Sic-al2o3 composite sintered bodies and method of producing the same | |
| JP2518630B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製法 | |
| JPH05155662A (ja) | 耐摩耗性の優れた窒化珪素質焼結体 | |
| JPH05194024A (ja) | アルミナ基複合焼結体 | |
| JPH0449509B2 (ja) | ||
| JP2645894B2 (ja) | ジルコニア系セラミックスの製造方法 | |
| JP3137405B2 (ja) | 窒化珪素基セラミックスの製造法 | |
| JPH0753256A (ja) | アルミナ質複合焼結体及びその製造方法 | |
| JP3126059B2 (ja) | アルミナ基複合焼結体 | |
| JPS63100055A (ja) | 高靭性を有するアルミナ基セラミックス製切削工具 | |
| JPH0517210A (ja) | アルミナ基複合焼結体の製造方法及びアルミナ基複合焼結体 | |
| EP0317147B1 (en) | Si3n4-al2o3 composite sintered bodies and method of producing the same | |
| Chen et al. | Composite piezoelectric ceramicsin the PZT-SrBi 2 Ta 2 O 9 system | |
| JPH10279365A (ja) | 緻密質窒化珪素焼結体 | |
| KR0143450B1 (ko) | 고강도, 고인성의 알루미나-란탄산화물 복합재료의 제조방법 | |
| JPH0523921A (ja) | 切削工具用窒化珪素質焼結体 | |
| JPH10194840A (ja) | 粉砕機用部材 | |
| JPH09207004A (ja) | 耐欠損性に優れたアルミナ基セラミックス切削工具およびその製造法 | |
| JPH03275565A (ja) | 高靱性および高強度を有する窒化けい素基焼結材料 | |
| JPH0920552A (ja) | アルミナ質焼結体及びその製造方法 | |
| JPH075388B2 (ja) | 窒化珪素焼結助剤及びそれを用いた窒化珪素焼結体の製法 |