JPH05187808A - トリガプローブ用信号処理回路 - Google Patents
トリガプローブ用信号処理回路Info
- Publication number
- JPH05187808A JPH05187808A JP4176672A JP17667292A JPH05187808A JP H05187808 A JPH05187808 A JP H05187808A JP 4176672 A JP4176672 A JP 4176672A JP 17667292 A JP17667292 A JP 17667292A JP H05187808 A JPH05187808 A JP H05187808A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- trigger
- circuit
- signal processing
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
- G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
- G01B11/007—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines feeler heads therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
- G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B7/012—Contact-making feeler heads therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 座標測定機械，工作機械に用いられるトリガ
プローブの、前記機械の振動等によるトリガ信号の誤発
生を、簡単な構成で確実に防止する。 【構成】 ワークピースとの接触に伴うプローブのスタ
イラスの撓みに応動する３つの歪ゲージ１０Ａ〜１０Ｃ
からの信号をそれぞれ整流器１８Ａ〜１８Ｃによって整
流した後、加算器２０で合成する。当該合成信号を、第
１コンパレータ２８によりスレッショルド電圧Ｖref1と
比較して感度の高いトリガ信号を生成し、第２コンパレ
ータ３０により高いスレッショルド電圧Ｖsrf2と比較し
て確認信号を生成する。これにより、トリガ信号はワー
クピースとの純粋な接触によって発生することになり、
振動，加速により誤って発生することがなくなる。
プローブの、前記機械の振動等によるトリガ信号の誤発
生を、簡単な構成で確実に防止する。 【構成】 ワークピースとの接触に伴うプローブのスタ
イラスの撓みに応動する３つの歪ゲージ１０Ａ〜１０Ｃ
からの信号をそれぞれ整流器１８Ａ〜１８Ｃによって整
流した後、加算器２０で合成する。当該合成信号を、第
１コンパレータ２８によりスレッショルド電圧Ｖref1と
比較して感度の高いトリガ信号を生成し、第２コンパレ
ータ３０により高いスレッショルド電圧Ｖsrf2と比較し
て確認信号を生成する。これにより、トリガ信号はワー
クピースとの純粋な接触によって発生することになり、
振動，加速により誤って発生することがなくなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、座標測定機械（ｃｏｏ
ｒｄｉｎａｔｅ ｍｅａｓｕｒｉｎｇ ｍａｃｈｉｎｅ
ｓ；ＣＭＭ）および工作機械に用いられるトリガプロー
ブに関し、特に、かかるプローブによって生成される信
号を処理するための回路に関するものである。
ｒｄｉｎａｔｅ ｍｅａｓｕｒｉｎｇ ｍａｃｈｉｎｅ
ｓ；ＣＭＭ）および工作機械に用いられるトリガプロー
ブに関し、特に、かかるプローブによって生成される信
号を処理するための回路に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】公知の種類のかかるトリガプローブは、
撓み（ｄｅｆｌｅｃｔ）可能なスタイラスとワークピー
スとの接触を検出する目的で高感度の応力もしくは歪セ
ンサを用いている。該センサには例えばピエゾ電気クリ
スタルもしくはシリコンの歪ゲージを用いることができ
るが、電磁ＬＶＤＴおよび容量センサのようなものも用
いられる。センサは、スタイラスがワークピースに接触
したときにスタイラスに作用する低レベルの力を検出す
る。センサ出力が所定のスレッショルドを越えたときに
信号処理回路によってトリガ信号が発せられ、これによ
って接触の発生が示されることになる。かかるプローブ
の例としては、Ｒｅｎｉｓｈａｗに譲渡されている米国
特許第４，８１７，３６２号およびＣａｒｌ Ｚｅｉｓ
ｓによる英国特許第１，５８６，０５２号がある。
撓み（ｄｅｆｌｅｃｔ）可能なスタイラスとワークピー
スとの接触を検出する目的で高感度の応力もしくは歪セ
ンサを用いている。該センサには例えばピエゾ電気クリ
スタルもしくはシリコンの歪ゲージを用いることができ
るが、電磁ＬＶＤＴおよび容量センサのようなものも用
いられる。センサは、スタイラスがワークピースに接触
したときにスタイラスに作用する低レベルの力を検出す
る。センサ出力が所定のスレッショルドを越えたときに
信号処理回路によってトリガ信号が発せられ、これによ
って接触の発生が示されることになる。かかるプローブ
の例としては、Ｒｅｎｉｓｈａｗに譲渡されている米国
特許第４，８１７，３６２号およびＣａｒｌ Ｚｅｉｓ
ｓによる英国特許第１，５８６，０５２号がある。
【０００３】Ｚｅｉｓｓの特許においては、起こりうる
問題、すなわちプローブが取付けられているＣＭＭもし
くは工作機械の思わぬ振動が感度のよいセンサを反応さ
せて誤ったトリガ信号を発生させることについて議論さ
れている。スタイラスが加速の結果動的に撓んだときに
おいても、同様に誤ったトリガ信号が発生しうる。かか
る問題を解決する一手法としては、トリガのスレッショ
ルドを調整し、プローブが取付けられる個々の機械に加
わる振動に適合するようにすることがある。この手法は
不便かつ不確実なものであるのみならず、機械が高い振
動レベルを被る場合にはセンサ感度を低下させなければ
ならないことになる。
問題、すなわちプローブが取付けられているＣＭＭもし
くは工作機械の思わぬ振動が感度のよいセンサを反応さ
せて誤ったトリガ信号を発生させることについて議論さ
れている。スタイラスが加速の結果動的に撓んだときに
おいても、同様に誤ったトリガ信号が発生しうる。かか
る問題を解決する一手法としては、トリガのスレッショ
ルドを調整し、プローブが取付けられる個々の機械に加
わる振動に適合するようにすることがある。この手法は
不便かつ不確実なものであるのみならず、機械が高い振
動レベルを被る場合にはセンサ感度を低下させなければ
ならないことになる。
【０００４】そこで、Ｚｅｉｓｓの特許においては、第
２の確認（ｃｏｎｆｉｒｍａｔｉｏｎ）信号を生成する
種々の手法について議論している。当該信号は、初期の
トリガ信号が、振動によってではなくワークピースとの
純粋の接触によって生じたものであることを示すための
ものである。実用上、初期トリガ信号はＣＭＭもしくは
工作機械のカウンタの出力をラッチもしくは凍結して、
機械の作動容積内でのプローブの瞬間のｘ，ｙ，ｚ座標
位置を示すのに用いられる。第２の確認信号は、機械の
コントローラを凍結されたカウンタ出力に応じて動作す
るようにさせるのに用いられる。従って、誤った初期ト
リガ信号は、確認信号が続いて生じなければ、機械のコ
ントローラによって無視されることになる。
２の確認（ｃｏｎｆｉｒｍａｔｉｏｎ）信号を生成する
種々の手法について議論している。当該信号は、初期の
トリガ信号が、振動によってではなくワークピースとの
純粋の接触によって生じたものであることを示すための
ものである。実用上、初期トリガ信号はＣＭＭもしくは
工作機械のカウンタの出力をラッチもしくは凍結して、
機械の作動容積内でのプローブの瞬間のｘ，ｙ，ｚ座標
位置を示すのに用いられる。第２の確認信号は、機械の
コントローラを凍結されたカウンタ出力に応じて動作す
るようにさせるのに用いられる。従って、誤った初期ト
リガ信号は、確認信号が続いて生じなければ、機械のコ
ントローラによって無視されることになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】Ｚｅｉｓｓの特許にお
いては確認パルスの生成についていくつかの手法が示さ
れているが、いずれも複雑であるか、または潜在的に不
確実なものである。そこで、プローブを商業的に実施す
るためには、プローブ内のスタイラスに対する動的支持
（ｋｉｎｅｍａｔｉｃ ｓｕｐｐｏｒｔ）を形成する接
点エレメントを介して電気的スイッチングを行うことに
よる確認信号が生成される。動的支持によって形成され
る静止位置（ｒｅｓｔ ｐｏｓｉｔｉｏｎ）からのスタ
イラスの撓みによって、接点エレメントを介して電気回
路が開放される。この構成は信頼性は高いが、動的支持
エレメントに電気配線を接続する必要をなお有してい
る。さらに、確認信号を提供するためのかかる構成のす
べては、確認信号を搬送するために、プローブと機械と
の間の特別な電気接続を必要とする。分離したかかる電
気接続を避けることが望ましい場合もある。本発明は、
これを回避できるものであるが、かかる場合に限定され
るものではない。
いては確認パルスの生成についていくつかの手法が示さ
れているが、いずれも複雑であるか、または潜在的に不
確実なものである。そこで、プローブを商業的に実施す
るためには、プローブ内のスタイラスに対する動的支持
（ｋｉｎｅｍａｔｉｃ ｓｕｐｐｏｒｔ）を形成する接
点エレメントを介して電気的スイッチングを行うことに
よる確認信号が生成される。動的支持によって形成され
る静止位置（ｒｅｓｔ ｐｏｓｉｔｉｏｎ）からのスタ
イラスの撓みによって、接点エレメントを介して電気回
路が開放される。この構成は信頼性は高いが、動的支持
エレメントに電気配線を接続する必要をなお有してい
る。さらに、確認信号を提供するためのかかる構成のす
べては、確認信号を搬送するために、プローブと機械と
の間の特別な電気接続を必要とする。分離したかかる電
気接続を避けることが望ましい場合もある。本発明は、
これを回避できるものであるが、かかる場合に限定され
るものではない。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の形態は、
アナログ出力信号を発生する少なくとも１つのセンサを
有したトリガプローブ用信号処理回路であって、前記ア
ナログ出力信号が第１スレッショルドレベルを通過した
ときにトリガ信号を発生するための第１スレッショルド
検出器と、前記アナログ出力信号が前記第１スレッショ
ルドレベルより高い第２スレッショルドレベルを通過し
たときに確認信号を発生する第２スレッショルド検出器
とを具えたことを特徴とする。
アナログ出力信号を発生する少なくとも１つのセンサを
有したトリガプローブ用信号処理回路であって、前記ア
ナログ出力信号が第１スレッショルドレベルを通過した
ときにトリガ信号を発生するための第１スレッショルド
検出器と、前記アナログ出力信号が前記第１スレッショ
ルドレベルより高い第２スレッショルドレベルを通過し
たときに確認信号を発生する第２スレッショルド検出器
とを具えたことを特徴とする。
【０００７】本発明の第２の形態は、複数のセンサを有
するトリガプローブ用信号処理回路であって、各センサ
宛に１つ設けられ、対応するセンサの出力のコンディシ
ョニングを行って、例えば整流または二乗化を行って、
ユニポーラ出力を発生する複数の信号コンディショニン
グ回路と、該複数の信号処理回路の前記ユニポーラ出力
を、例えばそれらを加算することにより合成する回路
と、当該合成された出力が所定のスレッショルドを越え
たときに検出を行い、それとともにトリガ信号を発生す
るコンパレータとを具えたことを特徴とする。
するトリガプローブ用信号処理回路であって、各センサ
宛に１つ設けられ、対応するセンサの出力のコンディシ
ョニングを行って、例えば整流または二乗化を行って、
ユニポーラ出力を発生する複数の信号コンディショニン
グ回路と、該複数の信号処理回路の前記ユニポーラ出力
を、例えばそれらを加算することにより合成する回路
と、当該合成された出力が所定のスレッショルドを越え
たときに検出を行い、それとともにトリガ信号を発生す
るコンパレータとを具えたことを特徴とする。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
【０００９】以下に述べる実施例は米国特許第４，８１
７，３６２号に開示された種類のプローブからの信号を
処理するのに用いられるものであり、プローブの構成の
さらなる詳細については同号特許を参照されたい。図１
１においては破線１３の左側の回路エレメントはプロー
ブ自体の内部に取付けられたコンポーネントであり、一
方破線１３の右側の回路エレメントは、プローブが取付
けられているＣＭＭもしくは工作機械のコントローラと
プローブとのインタフェースを行うためインタフェース
ユニット内に設けられている。インタフェースは機械の
適宜の部位に設けることができる。本例では、プローブ
を機械のインタフェースに接続するのに２本の配線、す
なわち信号線１４およびアースリターン線（不図示）の
みを必要としている。
７，３６２号に開示された種類のプローブからの信号を
処理するのに用いられるものであり、プローブの構成の
さらなる詳細については同号特許を参照されたい。図１
１においては破線１３の左側の回路エレメントはプロー
ブ自体の内部に取付けられたコンポーネントであり、一
方破線１３の右側の回路エレメントは、プローブが取付
けられているＣＭＭもしくは工作機械のコントローラと
プローブとのインタフェースを行うためインタフェース
ユニット内に設けられている。インタフェースは機械の
適宜の部位に設けることができる。本例では、プローブ
を機械のインタフェースに接続するのに２本の配線、す
なわち信号線１４およびアースリターン線（不図示）の
みを必要としている。
【００１０】上記米国特許第４，８１７，３６２号に係
るプローブには歪ゲージの形態の３つのセンサが設けら
れ、それらはプローブの軸のまわりに等角度をもって配
置されている。プローブはスタイラスを有し、スタイラ
スはワークピースとの接触に応じて、動的に形成された
静止位置（ｋｉｎｅｍａｔｉｃａｌｌｙ−ｄｅｆｉｎｅ
ｄ ｒｅｓｔｐｏｓｉｔｉｏｎ）から撓み（ｄｅｆｌｅ
ｃｔ）、歪ゲージの抵抗値に変化を生じさせる。図１に
は３つの歪ゲージ１０Ａ，１０Ｂおよび１０Ｃを示して
ある。他のセンサ、例えば撓みもしくはスタイラスに使
用する力に従って出力信号を発生するピエゾトランスジ
ューサのようなセンサを用いることもできるのは勿論で
ある。
るプローブには歪ゲージの形態の３つのセンサが設けら
れ、それらはプローブの軸のまわりに等角度をもって配
置されている。プローブはスタイラスを有し、スタイラ
スはワークピースとの接触に応じて、動的に形成された
静止位置（ｋｉｎｅｍａｔｉｃａｌｌｙ−ｄｅｆｉｎｅ
ｄ ｒｅｓｔｐｏｓｉｔｉｏｎ）から撓み（ｄｅｆｌｅ
ｃｔ）、歪ゲージの抵抗値に変化を生じさせる。図１に
は３つの歪ゲージ１０Ａ，１０Ｂおよび１０Ｃを示して
ある。他のセンサ、例えば撓みもしくはスタイラスに使
用する力に従って出力信号を発生するピエゾトランスジ
ューサのようなセンサを用いることもできるのは勿論で
ある。
【００１１】図２において、１４Ａ，１４Ｂ，および１
４Ｃは、それぞれ、所定の大きさのスタイラスの撓みに
対する歪ゲージ１０Ａ，１０Ｂおよび１０Ｃの応答曲線
を示し、撓みの方向に対してプロットしたものである。
方向はプローブの軸について０°から３６０°の角度θ
に換算して与えられている。各歪ゲージの応答は、撓み
を一定と仮定したときに、方向の角度とともにほぼ正弦
波状に変化することがわかるであろう。同様の応答が３
つすべての歪ゲージから得られるが、３つの歪ゲージは
プローブの軸のまわりに等角度で配置されているので、
応答曲線は互いにほぼ１２０°ずつシフトされている。
４Ｃは、それぞれ、所定の大きさのスタイラスの撓みに
対する歪ゲージ１０Ａ，１０Ｂおよび１０Ｃの応答曲線
を示し、撓みの方向に対してプロットしたものである。
方向はプローブの軸について０°から３６０°の角度θ
に換算して与えられている。各歪ゲージの応答は、撓み
を一定と仮定したときに、方向の角度とともにほぼ正弦
波状に変化することがわかるであろう。同様の応答が３
つすべての歪ゲージから得られるが、３つの歪ゲージは
プローブの軸のまわりに等角度で配置されているので、
応答曲線は互いにほぼ１２０°ずつシフトされている。
【００１２】歪ゲージ１０Ａ〜１０Ｃのそれぞれからの
電圧信号は対応する回路１２Ａ〜１２Ｃに受取られ、米
国特許第４，８１７，３６２号において述べたと同様
に、増幅されるとともにドリフト補償を行うべく自動的
に零点調整される。これら３つの増幅・自動零点調整回
路の出力は対応する高精度全波整流回路（ｐｒｅｃｉｓ
ｉｏｎ ｆｕｌｌ−ｗａｖｅ ｒｅｃｔｉｆｉｅｒ ｃ
ｉｒｃｕｉｔ）１８Ａ〜１８Ｃにおいてそれぞれ選択さ
れる。各回路は図３において応答曲線１６Ａ〜１６Ｃで
示すユニポーラ信号を生成する。簡便な実施例において
は、それら信号はそのまま増幅器２４の入力端で総和接
続器（ｓｕｍｍｉｎｇ ｊｕｎｃｔｉｏｎ）２０に供給
され、それら信号を加算すなわち混合することによって
合成し、ライン１４上の機械インタフェースへの出力の
生成が行われる。この出力の応答曲線は図３中の破線２
６で示されている。この破線は、スタイラスの所定の大
きさの撓みに対する回路の総合的な応答のプロットを表
し、撓みの方向θに対してプロットされていることが理
解できるであろう。
電圧信号は対応する回路１２Ａ〜１２Ｃに受取られ、米
国特許第４，８１７，３６２号において述べたと同様
に、増幅されるとともにドリフト補償を行うべく自動的
に零点調整される。これら３つの増幅・自動零点調整回
路の出力は対応する高精度全波整流回路（ｐｒｅｃｉｓ
ｉｏｎ ｆｕｌｌ−ｗａｖｅ ｒｅｃｔｉｆｉｅｒ ｃ
ｉｒｃｕｉｔ）１８Ａ〜１８Ｃにおいてそれぞれ選択さ
れる。各回路は図３において応答曲線１６Ａ〜１６Ｃで
示すユニポーラ信号を生成する。簡便な実施例において
は、それら信号はそのまま増幅器２４の入力端で総和接
続器（ｓｕｍｍｉｎｇ ｊｕｎｃｔｉｏｎ）２０に供給
され、それら信号を加算すなわち混合することによって
合成し、ライン１４上の機械インタフェースへの出力の
生成が行われる。この出力の応答曲線は図３中の破線２
６で示されている。この破線は、スタイラスの所定の大
きさの撓みに対する回路の総合的な応答のプロットを表
し、撓みの方向θに対してプロットされていることが理
解できるであろう。
【００１３】機械のインタフェースにおいて、ライン１
４からのアナログ信号は２つのコンパレータ２８，３０
に供給される。第１のコンパレータ２８はアナログ信号
レベルを所定の基準スレッショルド電圧Ｖref1と比較す
る。この基準スレッショルドは歪ゲージ信号に対するト
リガスレッショルドをなし、これによって、アナログ信
号が立上がってスレッショルドレベルを通過したときに
トリガ出力が生成される。トリガ出力はライン２９上の
機械のコントローラに受取られ、トリガの瞬間における
プローブのｘ，ｙ，ｚ座標を示すカウンタ出力をラッチ
ないしは凍結させるのに用いられる。Ｖref1のレベルは
調整可能であってもよく、低いレベルにセットすること
によってプローブの感度を高くすることもできる。従っ
て、トリガ信号は、振動またはプローブ加速時のプロー
ブスタイラスの動的な撓みに対して誤って発生する可能
性がある。
４からのアナログ信号は２つのコンパレータ２８，３０
に供給される。第１のコンパレータ２８はアナログ信号
レベルを所定の基準スレッショルド電圧Ｖref1と比較す
る。この基準スレッショルドは歪ゲージ信号に対するト
リガスレッショルドをなし、これによって、アナログ信
号が立上がってスレッショルドレベルを通過したときに
トリガ出力が生成される。トリガ出力はライン２９上の
機械のコントローラに受取られ、トリガの瞬間における
プローブのｘ，ｙ，ｚ座標を示すカウンタ出力をラッチ
ないしは凍結させるのに用いられる。Ｖref1のレベルは
調整可能であってもよく、低いレベルにセットすること
によってプローブの感度を高くすることもできる。従っ
て、トリガ信号は、振動またはプローブ加速時のプロー
ブスタイラスの動的な撓みに対して誤って発生する可能
性がある。
【００１４】第２のコンパレータ３０はライン１４上の
アナログ信号を、Ｖref1より高い第２の所定スレッショ
ルド電圧Ｖref2と比較する。コンパレータ２８が誤った
トリガ信号を出力しうる一方で、コンパレータ３０から
のライン３１上の出力信号がワークピースとの接触によ
るスタイラス変位が生じたことを確実に示すものである
ように（明らかに、この指示は非常な低感度のものであ
る）、Ｖref2のレベルが選択されている。ライン３１上
の信号は、ライン２９上の初期トリガ信号の有効性を示
す確認信号として機械のコントローラに受容される。
アナログ信号を、Ｖref1より高い第２の所定スレッショ
ルド電圧Ｖref2と比較する。コンパレータ２８が誤った
トリガ信号を出力しうる一方で、コンパレータ３０から
のライン３１上の出力信号がワークピースとの接触によ
るスタイラス変位が生じたことを確実に示すものである
ように（明らかに、この指示は非常な低感度のものであ
る）、Ｖref2のレベルが選択されている。ライン３１上
の信号は、ライン２９上の初期トリガ信号の有効性を示
す確認信号として機械のコントローラに受容される。
【００１５】Ｖref2のレベルはユーザによって調整可能
もしくは選択可能であってもよく、これによってユーザ
は個々の機械もしくは機械の種類に応じた信頼性のある
動作と矛盾が生じない最低のレベルに調整しておくこと
ができる。また、ユーザは、実用上問題が生じるのであ
れば、例えば機械が古くなるにつれて振動が大となって
行くような場合には、より高いレベルに再セットするこ
ともできる。
もしくは選択可能であってもよく、これによってユーザ
は個々の機械もしくは機械の種類に応じた信頼性のある
動作と矛盾が生じない最低のレベルに調整しておくこと
ができる。また、ユーザは、実用上問題が生じるのであ
れば、例えば機械が古くなるにつれて振動が大となって
行くような場合には、より高いレベルに再セットするこ
ともできる。
【００１６】確認信号が受容されると、ラッチされてい
るカウンタ出力の読みは機械のコントローラによって受
取られ、通常の方法で使用され、通常の方法でワークピ
ースに向うプローブの移動が停止される。所定時間が経
過しても確認信号が生じなければ、ライン２９上のトリ
ガ信号の受信に応じてラッチされていた座標データは無
視される。
るカウンタ出力の読みは機械のコントローラによって受
取られ、通常の方法で使用され、通常の方法でワークピ
ースに向うプローブの移動が停止される。所定時間が経
過しても確認信号が生じなければ、ライン２９上のトリ
ガ信号の受信に応じてラッチされていた座標データは無
視される。
【００１７】図３における破線２６の最大値と最小値と
は応答曲線のピーク値の約１３％だけ互いに異なってい
る。この値は、図２に示す歪ゲージの応答が真に正弦波
状であり、図３における整流された信号１６Ａ〜１６Ｃ
の最大振幅が等しいとの仮定に基づく理論的な計算値で
ある。実際には、応答はまさにほぼ正弦波状であり、必
要に応じて増幅および自動零点調整回路１２Ａ〜１２Ｃ
の各々のゲインを調整することで振幅を等しくすること
ができることがわかった。
は応答曲線のピーク値の約１３％だけ互いに異なってい
る。この値は、図２に示す歪ゲージの応答が真に正弦波
状であり、図３における整流された信号１６Ａ〜１６Ｃ
の最大振幅が等しいとの仮定に基づく理論的な計算値で
ある。実際には、応答はまさにほぼ正弦波状であり、必
要に応じて増幅および自動零点調整回路１２Ａ〜１２Ｃ
の各々のゲインを調整することで振幅を等しくすること
ができることがわかった。
【００１８】従って、方向θに応じた歪ゲージの変動の
結果生じるライン２９上のトリガ信号のプレトラベルの
変動（ｐｒｅｔｒａｖｅｌ ｖａｒｉａｔｉｏｎ）は理
論的に１３％のみである。実際の実施例における測定値
は、１６．８％ないしはこれより良好なプレトラベル変
動を示している。これは、米国特許第４，８１７，３６
２号に示される対応回路についての約５０％の値と比較
される。
結果生じるライン２９上のトリガ信号のプレトラベルの
変動（ｐｒｅｔｒａｖｅｌ ｖａｒｉａｔｉｏｎ）は理
論的に１３％のみである。実際の実施例における測定値
は、１６．８％ないしはこれより良好なプレトラベル変
動を示している。これは、米国特許第４，８１７，３６
２号に示される対応回路についての約５０％の値と比較
される。
【００１９】図１には付加的な回路３０Ａ，３０Ｂおよ
び３０Ｃを示しており、これらは高精度整流器１８Ａ〜
１８Ｃの各々と総和接続器２０との間に付加的に設けら
れるものである。これら回路は応答曲線１６Ａ〜１６Ｃ
のボトムをクリップして高精度整流回路の出力がある所
定のレベル以下に低下するのを避けるために配設され
る。このレベルは図４において点３６として示されてい
る。これによって、様々な撓みの角度での加算増幅器２
４の出力の応答を示している破線２６が平滑化される。
その理由は、ボトムのクリップによって応答曲線２６の
最小値が少し上昇させられるからである。
び３０Ｃを示しており、これらは高精度整流器１８Ａ〜
１８Ｃの各々と総和接続器２０との間に付加的に設けら
れるものである。これら回路は応答曲線１６Ａ〜１６Ｃ
のボトムをクリップして高精度整流回路の出力がある所
定のレベル以下に低下するのを避けるために配設され
る。このレベルは図４において点３６として示されてい
る。これによって、様々な撓みの角度での加算増幅器２
４の出力の応答を示している破線２６が平滑化される。
その理由は、ボトムのクリップによって応答曲線２６の
最小値が少し上昇させられるからである。
【００２０】図３における応答曲線２６の最大値と最小
値との間の変動はほぼ１３％であるので、所望の平滑化
を得るには、ボトムクリップ回路３６がとるべき所定の
レベルが信号１６Ａ〜１６Ｃのピーク値のほぼ１３％と
なるのは明らかである。
値との間の変動はほぼ１３％であるので、所望の平滑化
を得るには、ボトムクリップ回路３６がとるべき所定の
レベルが信号１６Ａ〜１６Ｃのピーク値のほぼ１３％と
なるのは明らかである。
【００２１】ボトムクリップ回路は、整流回路１８Ａ〜
１８Ｃによって生成される信号が比較的大であれば、よ
り簡易に、かつ精度高く実現できる。ボトムクリップ回
路は、回路１８の出力が所望の所定レベル以下に低下す
るのを防止するための制限タイオード（ｌｉｍｉｔｉｎ
ｇ ｄｉｏｄｅ）など、従来の手法により実現できる。
あるいは、高精度整流回路にボトムクリップ回路を内蔵
してもよい。ボトムクリップを精度高く実現するには信
号レベルが小さいのであれば、これを削除するのも好適
である。
１８Ｃによって生成される信号が比較的大であれば、よ
り簡易に、かつ精度高く実現できる。ボトムクリップ回
路は、回路１８の出力が所望の所定レベル以下に低下す
るのを防止するための制限タイオード（ｌｉｍｉｔｉｎ
ｇ ｄｉｏｄｅ）など、従来の手法により実現できる。
あるいは、高精度整流回路にボトムクリップ回路を内蔵
してもよい。ボトムクリップを精度高く実現するには信
号レベルが小さいのであれば、これを削除するのも好適
である。
【００２２】所望であれば、高精度整流回路１８Ａ〜１
８Ｃを高精度二乗化回路（ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ ｓｑｕ
ａｒｉｎｇ ｃｉｒｃｕｉｔｏ）に置換えてもよい。こ
の回路は、入力の二乗であるユニポーラ出力を発生する
ための公知の手法を用いて構成できる。例えば、入力自
体を乗算するマルチプライヤ回路から成るものとするこ
とができる。ボトムクリップ回路３０Ａ〜３０Ｃは必要
ない。図２において符号１４Ａ〜１４Ｃで示した歪ゲー
ジの応答曲線を考慮すれば、これら応答のそれぞれの二
乗化、および総和増幅器２４におけるそれらの加算の結
果、角度θと独立した全体的出力応答を発生することが
解るであろう。すなわち、プローブスタイラスの所定の
撓みに対して、総和増幅器２４の出力は撓みの角度と無
関係であり、従って回路はいかなるプレトラベル変動も
導入しないからである。回路に生じうる不利な点は、従
来の電子二乗化回路が比較的複雑で構成コストがかかる
ことである。従って現在のところ図１に示す回路が好ま
しいものである。
８Ｃを高精度二乗化回路（ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ ｓｑｕ
ａｒｉｎｇ ｃｉｒｃｕｉｔｏ）に置換えてもよい。こ
の回路は、入力の二乗であるユニポーラ出力を発生する
ための公知の手法を用いて構成できる。例えば、入力自
体を乗算するマルチプライヤ回路から成るものとするこ
とができる。ボトムクリップ回路３０Ａ〜３０Ｃは必要
ない。図２において符号１４Ａ〜１４Ｃで示した歪ゲー
ジの応答曲線を考慮すれば、これら応答のそれぞれの二
乗化、および総和増幅器２４におけるそれらの加算の結
果、角度θと独立した全体的出力応答を発生することが
解るであろう。すなわち、プローブスタイラスの所定の
撓みに対して、総和増幅器２４の出力は撓みの角度と無
関係であり、従って回路はいかなるプレトラベル変動も
導入しないからである。回路に生じうる不利な点は、従
来の電子二乗化回路が比較的複雑で構成コストがかかる
ことである。従って現在のところ図１に示す回路が好ま
しいものである。
【００２３】整流回路１８Ａ〜１８Ｃ、総和接続器２
０、増幅器２４およびコンパレータ２８の代りに、米国
特許第４，８１７，３６２号において開示されたと同様
のトリガ検出回路を用いることもできる。これは、１つ
の歪ゲージセンサ宛に１つ設けられた３つのウィンドウ
コンパレータを含んでおり、その各々が関連する増幅お
よび零点調整回路１２Ａ〜１２Ｃの出力を受容する。こ
れらウィンドウコンパレータは感度を高めるために低い
レベルにセットされた正および負のスレッショルドを有
し、それらの出力はＯＲゲートにより合成されて所要の
感度のトリガ信号を与えるようにしてある。コンパレー
タ３０は３つの付加的なウィンドウコンパレータに置換
され、これらは米国特許第４，８１７，３６２号のウィ
ンドウコンパレータに並列に接続される。それら付加的
なウィンドウコンパレータもそれぞれ対応する回路１２
Ａ〜１２Ｃの１つの出力を受容するが、より高いレベル
にセットされた正および負のスレッショルドを有するよ
うにして、誤ったトリガが生じないようにする。それら
の出力をさらなるＯＲゲートにおいて同様に合成し、確
認信号を与えるようにする。
０、増幅器２４およびコンパレータ２８の代りに、米国
特許第４，８１７，３６２号において開示されたと同様
のトリガ検出回路を用いることもできる。これは、１つ
の歪ゲージセンサ宛に１つ設けられた３つのウィンドウ
コンパレータを含んでおり、その各々が関連する増幅お
よび零点調整回路１２Ａ〜１２Ｃの出力を受容する。こ
れらウィンドウコンパレータは感度を高めるために低い
レベルにセットされた正および負のスレッショルドを有
し、それらの出力はＯＲゲートにより合成されて所要の
感度のトリガ信号を与えるようにしてある。コンパレー
タ３０は３つの付加的なウィンドウコンパレータに置換
され、これらは米国特許第４，８１７，３６２号のウィ
ンドウコンパレータに並列に接続される。それら付加的
なウィンドウコンパレータもそれぞれ対応する回路１２
Ａ〜１２Ｃの１つの出力を受容するが、より高いレベル
にセットされた正および負のスレッショルドを有するよ
うにして、誤ったトリガが生じないようにする。それら
の出力をさらなるＯＲゲートにおいて同様に合成し、確
認信号を与えるようにする。
【００２４】所望であれば種々の変形が可能である。例
えば、図１に示した回路全体をプローブに内蔵すること
もでき、あるいは図示したより多くの回路の部分を、プ
ローブ内に設ける代りに機械のインタフェースに内蔵す
ることもできる。この場合にはプローブとインタフェー
スとの間で多数の接続が必要となる。他には、プローブ
内部で適切なリンクを接続することによって増幅器２４
の代りに接続可能となるコンパレータを用いることもで
きる。これにより、プローブを上述したような慣用の方
法に用いることも、さらなる慣用的な方法、すなわち単
に適切なリンクを選択することによりそのまま（ｓｔｒ
ａｉｇｈｔｆｏｒｗａｒｄ）トリガ出力を伝える方法に
用いることもできるようになる。３つの歪ゲージ１０Ａ
〜１０Ｃ以外のセンサ、例えばピエゾ電気センサに対し
て同様な回路を設けることや、センサの個数を変更する
こと（もしセンサが単一のものであれば総和接続器２０
は不要となる）ができるのは勿論である。物理的に寸法
の小さなプローブ内に回路を設ける場合には、それら回
路をカスタム化したアプリケーション仕様の集積回路
（ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｓｐｅｃｉｆｉｃ ｉｎｔ
ｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ；ＡＳＩＣ）を設ける
ことができる。
えば、図１に示した回路全体をプローブに内蔵すること
もでき、あるいは図示したより多くの回路の部分を、プ
ローブ内に設ける代りに機械のインタフェースに内蔵す
ることもできる。この場合にはプローブとインタフェー
スとの間で多数の接続が必要となる。他には、プローブ
内部で適切なリンクを接続することによって増幅器２４
の代りに接続可能となるコンパレータを用いることもで
きる。これにより、プローブを上述したような慣用の方
法に用いることも、さらなる慣用的な方法、すなわち単
に適切なリンクを選択することによりそのまま（ｓｔｒ
ａｉｇｈｔｆｏｒｗａｒｄ）トリガ出力を伝える方法に
用いることもできるようになる。３つの歪ゲージ１０Ａ
〜１０Ｃ以外のセンサ、例えばピエゾ電気センサに対し
て同様な回路を設けることや、センサの個数を変更する
こと（もしセンサが単一のものであれば総和接続器２０
は不要となる）ができるのは勿論である。物理的に寸法
の小さなプローブ内に回路を設ける場合には、それら回
路をカスタム化したアプリケーション仕様の集積回路
（ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｓｐｅｃｉｆｉｃ ｉｎｔ
ｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ；ＡＳＩＣ）を設ける
ことができる。
【図１】本発明の第１の実施例の概略回路図である。
【図２】図１の実施例における歪ゲージの種々の撓みに
対する応答を示すグラフである。
対する応答を示すグラフである。
【図３】図１における信号の合成結果を示すグラフであ
る。
る。
【図４】変形実施例に関して図３に対応するグラフであ
る。
る。
１０Ａ〜１０Ｃ 歪ゲージ １２Ａ〜１２Ｃ 増幅・自動零点調整回路 １８Ａ〜１８Ｃ 高精度全波整流回路 ２０ 総和接続器 ２４ 増幅器 ２８，３０ コンパレータ ３０Ａ〜３０Ｃ ボトムクリップ回路
Claims (8)
- 【請求項１】 アナログ出力信号を発生する少なくとも
１つのセンサを有したトリガプローブ用信号処理回路で
あって、前記アナログ出力信号が第１スレッショルドレ
ベルを通過したときにトリガ信号を発生するための第１
スレッショルド検出器と、前記アナログ出力信号が前記
第１スレッショルドレベルより高い第２スレッショルド
レベルを通過したときに確認信号を発生する第２スレッ
ショルド検出器とを具えたことを特徴とするトリガプロ
ーブ用信号処理回路。 - 【請求項２】 前記第２スレッショルドレベルを調整可
能または選択可能としたことを特徴とする請求項１に記
載のトリガプローブ用信号処理回路。 - 【請求項３】 前記第１スレッショルドレベルを調整可
能としたことを特徴とする請求項１または２に記載のト
リガプローブ用信号処理回路。 - 【請求項４】 前記第１および前記第２スレッショルド
検出器を前記プローブと分離したインタフェース内に設
けたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記
載のトリガプローブ用信号処理回路。 - 【請求項５】 １つのプローブに対して複数のセンサを
有し、該複数のセンサの出力信号を合成し、前記第１お
よび前記第２スレッショルド検出器を通る前記アナログ
出力信号を形成するための手段を具えたことを特徴とす
る請求項１ないし４のいずれかに記載のトリガプローブ
用信号処理回路。 - 【請求項６】 各センサ宛に１つずつ設けた複数の信号
コンディショニング回路を含み、該回路は対応するセン
サの出力をコンディショニングしてユニポーラ出力を発
生し、前記複数の信号コンディショニング回路の出力を
前記合成手段により合成するようにしたことを特徴とす
る請求項５に記載のトリガプローブ用信号処理回路。 - 【請求項７】 各々の前記信号コンディショニング回路
は対応するセンサの出力を整流する整流回路を有するこ
とを特徴とする請求項６に記載のトリガプローブ用信号
処理回路。 - 【請求項８】 複数のセンサを有するトリガプローブ用
信号処理回路であって、 各センサ宛に１つ設けられ、対応するセンサの出力を整
流してユニポーラ出力を発生する複数の信号コンディシ
ョニング回路と、 該複数の信号処理回路の前記ユニポーラ出力を合成する
回路と、 当該合成された出力が所定のスレッショルドを越えたと
きに検出を行い、それとともにトリガ信号を発生するコ
ンパレータとを具えたことを特徴とするトリガプローブ
用信号処理回路。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB919114353A GB9114353D0 (en) | 1991-07-03 | 1991-07-03 | Signal processing circuit for trigger probe |
| GB919114371A GB9114371D0 (en) | 1991-07-03 | 1991-07-03 | Signal processing circuit for trigger probe |
| GB9114371.9 | 1991-07-03 | ||
| GB9114353.7 | 1991-07-03 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05187808A true JPH05187808A (ja) | 1993-07-27 |
| JP3346593B2 JP3346593B2 (ja) | 2002-11-18 |
Family
ID=26299177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17667292A Expired - Fee Related JP3346593B2 (ja) | 1991-07-03 | 1992-07-03 | トリガプローブ用信号処理回路 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5228352A (ja) |
| EP (1) | EP0521703B1 (ja) |
| JP (1) | JP3346593B2 (ja) |
| DE (1) | DE69205738T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020535419A (ja) * | 2017-09-26 | 2020-12-03 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーＲｅｎｉｓｈａｗ Ｐｕｂｌｉｃ Ｌｉｍｉｔｅｄ Ｃｏｍｐａｎｙ | 測定プローブ装置および方法 |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4204602A1 (de) * | 1992-02-15 | 1993-08-19 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur koordinatenmessung an werkstuecken |
| DE69323289T3 (de) | 1992-12-24 | 2003-04-24 | Renishaw Plc, Wotton-Under-Edge | Tastsonde und Signalverarbeitungsschaltung dafür |
| US5657549A (en) * | 1995-10-04 | 1997-08-19 | Shen; Yin-Lin | Method of improving accuracy of touch trigger probe |
| US6131301A (en) * | 1997-07-18 | 2000-10-17 | Renishaw Plc | Method of and apparatus for measuring workpieces using a coordinate positioning machine |
| GB0506158D0 (en) * | 2005-03-24 | 2005-05-04 | Renishaw Plc | Measurement probe |
| GB0804467D0 (en) | 2008-03-11 | 2008-04-16 | Renishaw Plc | Touch trigger measurement probe |
| IT1402715B1 (it) * | 2010-10-29 | 2013-09-18 | Marposs Spa | Sonda di tastaggio |
| US9158393B2 (en) * | 2012-12-18 | 2015-10-13 | Logitech Europe S.A. | Active stylus for touch sensing applications |
| JP6727306B2 (ja) | 2015-12-22 | 2020-07-22 | 株式会社ミツトヨ | Ｃｍｍタッチプローブのためのセンサ信号オフセット補正システム |
| JP6216400B2 (ja) * | 2016-02-26 | 2017-10-18 | 株式会社ミツトヨ | 測定プローブ |
| JP6212148B2 (ja) * | 2016-02-26 | 2017-10-11 | 株式会社ミツトヨ | 測定プローブ |
| GB201700879D0 (en) | 2017-01-18 | 2017-03-01 | Renishaw Plc | Machine tool apparatus |
| JP6738883B2 (ja) * | 2018-11-28 | 2020-08-12 | 株式会社ミツトヨ | プローブユニット及び測定システム |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3354399A (en) * | 1964-06-23 | 1967-11-21 | Automatic Timing And Controls | Amplitude and polarity sensitive control system |
| US4158919A (en) * | 1976-03-24 | 1979-06-26 | Rolls-Royce Limited | Apparatus for measuring displacement in at least two orthogonal dimensions |
| US4109200A (en) * | 1976-06-24 | 1978-08-22 | A. O. Smith Corporation | Position sensing differential transformer system with means to convert the output to an absolute value |
| DE2712181C3 (de) * | 1977-03-19 | 1981-01-22 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Tastsystem |
| DD141197A1 (de) * | 1978-12-27 | 1980-04-16 | Horst Donat | Koordinatentastkopf zum antasten mehrdimensionaler werkstuecke |
| JPS5915804A (ja) * | 1982-07-19 | 1984-01-26 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | タツチ信号プロ−ブ |
| DE3301256C2 (de) * | 1983-01-15 | 1985-07-25 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Meßeinrichtung |
| US4513507A (en) * | 1983-09-02 | 1985-04-30 | Bendix Automation Company | Contact sensing probe for a measuring apparatus |
| GB8409091D0 (en) * | 1984-04-09 | 1984-05-16 | Renishaw Plc | Probe for measuring workpieces |
| GB8610088D0 (en) * | 1986-04-24 | 1986-05-29 | Renishaw Plc | Probe |
| US4916339A (en) * | 1986-09-03 | 1990-04-10 | Renishaw Plc | Signal processing for contact-sensing probe |
| US4866854A (en) * | 1986-12-05 | 1989-09-19 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Multiple axis displacement sensor |
| DE3725205A1 (de) * | 1987-07-30 | 1989-02-09 | Zeiss Carl Fa | Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete |
| US4882848A (en) * | 1987-07-30 | 1989-11-28 | Carl-Zeiss-Stiftung, Heidenheim/Brenz | Probe head for a coordinate-measuring instrument |
| DE3728578A1 (de) * | 1987-08-27 | 1989-03-09 | Zeiss Carl Fa | Tastsystem fuer koordinatenmessgeraete |
| US5084696A (en) * | 1991-01-24 | 1992-01-28 | Aritech Corporation | Signal detection system with dynamically adjustable detection threshold |
-
1992
- 1992-06-30 EP EP92306048A patent/EP0521703B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-06-30 DE DE69205738T patent/DE69205738T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-07-01 US US07/907,128 patent/US5228352A/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-07-03 JP JP17667292A patent/JP3346593B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020535419A (ja) * | 2017-09-26 | 2020-12-03 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーＲｅｎｉｓｈａｗ Ｐｕｂｌｉｃ Ｌｉｍｉｔｅｄ Ｃｏｍｐａｎｙ | 測定プローブ装置および方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0521703B1 (en) | 1995-11-02 |
| DE69205738D1 (de) | 1995-12-07 |
| DE69205738T2 (de) | 1996-04-11 |
| EP0521703A1 (en) | 1993-01-07 |
| JP3346593B2 (ja) | 2002-11-18 |
| US5228352A (en) | 1993-07-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH05187808A (ja) | トリガプローブ用信号処理回路 | |
| US10228229B2 (en) | Touch trigger probe | |
| US6184873B1 (en) | Pen positioning system | |
| US5981883A (en) | Systems for imaging written information | |
| US4550316A (en) | Stylus mouse | |
| US4854050A (en) | Contact-sensing probe | |
| CN207248916U (zh) | 一种加速度传感器校准装置 | |
| JPH03146891A (ja) | 音響位置検出装置 | |
| CN108051123B (zh) | 一种瞬态冲击力冲击过程的动态测量系统及其实现方法 | |
| JP2008539408A (ja) | プローブの較正 | |
| US7997126B2 (en) | Texture measuring apparatus and method | |
| JP7184880B2 (ja) | 測定プローブ装置および方法 | |
| Oiwa et al. | Three-dimensional touch probe using three fibre optic displacement sensors | |
| JP3820357B2 (ja) | 計測方法および計測装置 | |
| US6215225B1 (en) | Non-directional touch signal probe | |
| JPH02504427A (ja) | 位置決定装置用テストバー | |
| US5764540A (en) | Coordinate measuring apparatus wherein the measuring time is optimized | |
| US6714023B2 (en) | Method for high-accuracy non-contact capacitive displacement measurement of poorly connected targets | |
| KR100961479B1 (ko) | 힘센서를 이용한 3차원 좌표측정기 프로브 | |
| JPH03162630A (ja) | 荷重検出装置 | |
| JP3034271B2 (ja) | 超音波距離計測方法及びその装置 | |
| CN111398672A (zh) | 超声波功率检测装置及其方法 | |
| JPH03229111A (ja) | 超音波距離計測装置 | |
| Fan et al. | Study on optical confocal probe based on time difference measurement with no reference path | |
| JPH04158433A (ja) | 座標入力装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080906 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080906 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090906 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |