JP2020535419A - 測定プローブ装置および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
プローブ本体と、
プローブ本体に対して偏向可能なスタイラスと、
プローブ本体に対するスタイラスの偏向を感知し、スタイラスの偏向を示すセンサ信号を生成するための1つまたは複数のセンサ素子と、
センサ信号を解析するためのアナライザであって、複数のセンサ信号を結合して、偏向閾値と比較するための合成偏向信号を生成するように構成されたアナライザとを備える測定プローブ装置であって、
アナライザが、センサ信号の1つまたは複数を解析することにより、スタイラスの振動運動を検出するようにさらに構成され、それにより、合成偏向信号が偏向閾値を横断すること、および1つまたは複数のセンサ信号の解析からスタイラスの振動運動が検出されないことから、対象物とのスタイラス接触が判定され得ることを特徴とする。
(i)合成偏向信号を生成するために、複数のセンサ信号のうちの少なくとも2つを結合するステップと、
(ii)ステップ(i)で生成された合成偏向信号を、偏向閾値と比較するステップとを含む方法であって、
(iii)スタイラスの振動運動を検出するために、複数のセンサ信号の少なくとも1つを解析するステップと、
(iv)ステップ(ii)が、合成偏向信号が偏向閾値を超えたことを示し、かつステップ(iii)が、スタイラスの振動運動を検出しない場合に限って、スタイラスが対象物と接触したことを示すステップと
を含むこと特徴とする。方法は、類似の装置に関連して上記で述べた特徴のいずれも含むことができる。
Claims (15)
- プローブ本体と、
前記プローブ本体に対して偏向可能なスタイラスと、
前記プローブ本体に対する前記スタイラスの偏向を感知し、スタイラスの偏向を示すセンサ信号を生成するための1つまたは複数のセンサ素子と、
前記センサ信号を解析するためのアナライザであって、複数の前記センサ信号を結合して偏向閾値と比較するための合成偏向信号を生成するように構成されたアナライザと
を備える測定プローブ装置であって、
前記アナライザが、前記センサ信号の1つまたは複数を解析することにより、前記スタイラスの振動運動を検出するようにさらに構成され、それにより、前記合成偏向信号が前記偏向閾値を横断すること、および前記1つまたは複数のセンサ信号の解析から前記スタイラスの振動運動が検出されないことから、対象物とのスタイラス接触が判定され得る
ことを特徴とする測定プローブ装置。 - 前記スタイラスが前記対象物と接触したことを示すトリガ信号を出すためのトリガユニットを備え、前記トリガユニットは、前記アナライザを備え、また前記トリガユニットは、前記合成偏向信号が前記偏向閾値を横断し、前記1つまたは複数のセンサ信号の解析から前記スタイラスの振動運動が検出されないときに限って、前記トリガ信号を出す請求項1に記載の装置。
- 前記トリガユニットは、前記合成偏向信号が前記偏向閾値を横断した後、所定の時間間隔で前記トリガ信号が出されるように、トリガフィルタを適用する請求項2に記載の装置。
- 前記トリガユニットの前記アナライザは、前記所定の時間間隔中に、前記センサ信号の前記少なくとも1つを解析することにより、前記スタイラスの振動運動を検出するように構成され、前記トリガユニットは、前記スタイラスの振動運動が、前記所定の時間間隔中に検出されなかった場合に限って、前記トリガ信号を出す請求項3に記載の装置。
- 前記トリガユニットおよび通信モジュールは、前記プローブ本体内に配置され、前記通信モジュールは、前記トリガユニットにより生成された前記トリガ信号を関連するプローブインターフェースに送信するように構成される請求項2乃至4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記通信モジュールは、無線通信リンクを介して、前記関連するプローブインターフェースに前記トリガ信号を送信する請求項5に記載の装置。
- 前記アナライザは、前記合成偏向信号が、前記偏向閾値を横断したとき、先行トリガ信号を、および前記1つまたは複数のセンサ信号の解析から前記スタイラスの振動運動が検出されなかったとき、トリガ確認信号を出すように構成される請求項1に記載の装置。
- 前記アナライザから、前記先行トリガ信号および前記トリガ確認信号を受信するためのアナライザインターフェースをさらに備え、前記アナライザインターフェースは、前記先行トリガ信号を受信し、その後に前記トリガ確認信号を受信すると、スタイラスが対象物と接触したと判定する請求項7に記載の装置。
- 前記アナライザは、前記スタイラスの振動運動を検出するために、複数の前記センサ信号のそれぞれを解析するように構成され、前記アナライザによって行われる解析は、前記複数のセンサ信号のそれぞれの大きさにおいて周期的な変動があるかどうかを確認することを含む請求項1乃至8のいずれか一項に記載の装置。
- 前記複数のセンサ信号のそれぞれの大きさの変動は、そのセンサ信号ヌルレベルに対して測定され、前記センサ信号ヌルレベルは、前記スタイラスに加えられる外力がない状態で生成される前記センサ信号である請求項9に記載の装置。
- 前記アナライザは、各センサ信号が、事前設定された時間期間内に、閾値レベルを横断したかどうかを判定することにより、前記スタイラスの振動運動を検出する請求項9または10に記載の装置。
- 前記アナライザは、事前設定された時間期間内に、前記複数のセンサ信号の少なくとも1つが、閾値レベルの上または下に留まるかどうかを判定し、前記複数のセンサ信号のいずれも、前記事前設定された時間期間の間、前記閾値レベルの上または下に留まらない場合、振動運動が存在する請求項9または10に記載の装置。
- 前記1つまたは複数のセンサ素子は、複数のセンサ素子を備える請求項1乃至12のいずれか一項に記載の装置。
- 前記複数のセンサ素子は、複数の歪みゲージセンサ素子を備える請求項13に記載の装置。
- プローブ本体と、前記プローブ本体に対して偏向可能なスタイラスと、前記プローブ本体に対する前記スタイラスの偏向を感知し、複数のセンサ信号を生成するための1つまたは複数のセンサとを備える測定プローブ装置を用いて、対象物との接触を測定する方法であり、前記方法は、
(i)合成偏向信号を生成するために、前記複数のセンサ信号のうちの少なくとも2つを結合するステップと、
(ii)ステップ(i)で生成された前記合成偏向信号を、偏向閾値と比較するステップとを含む方法であって、
(iii)前記スタイラスの振動運動を検出するために、前記複数のセンサ信号の少なくとも1つを解析するステップと、
(iv)ステップ(ii)が、前記合成偏向信号が前記偏向閾値を超えたことを示し、ステップ(iii)が、前記スタイラスの振動運動を検出しない場合に限って、前記スタイラスが対象物に接触したことを示すステップと
を含むことを特徴とする方法。
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