JPH05185482A - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPH05185482A JPH05185482A JP534092A JP534092A JPH05185482A JP H05185482 A JPH05185482 A JP H05185482A JP 534092 A JP534092 A JP 534092A JP 534092 A JP534092 A JP 534092A JP H05185482 A JPH05185482 A JP H05185482A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold clamping
- servo amplifier
- control device
- servomotor
- clamping servomotor
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 サーボアンプの異常による過大型締を防ぎ、
装置保護を行う。 【構成】 制御装置１と、この制御装置１により制御さ
れるサーボアンプ２と、プレス本体に連結されかつサー
ボアンプ２により駆動される型締サーボモータ３と、型
締サーボモータ３の回転情報を検出する回転検出器７の
検出信号を制御装置１に入力させるフィードバック線８
ｂと、サーボアンプ２と型締サーボモータ３との間に接
続されかつ制御装置により制御される回路遮断器１１と
を設けた。
装置保護を行う。 【構成】 制御装置１と、この制御装置１により制御さ
れるサーボアンプ２と、プレス本体に連結されかつサー
ボアンプ２により駆動される型締サーボモータ３と、型
締サーボモータ３の回転情報を検出する回転検出器７の
検出信号を制御装置１に入力させるフィードバック線８
ｂと、サーボアンプ２と型締サーボモータ３との間に接
続されかつ制御装置により制御される回路遮断器１１と
を設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造装置に係
わり、特にプレス機構を有する型締サーボモータ駆動装
置を備えた半導体製造装置に関するものである。
わり、特にプレス機構を有する型締サーボモータ駆動装
置を備えた半導体製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来の半導体製造装置のプレス
機構を有する型締サーボモータ駆動装置の構成を示すブ
ロック図である。同図において、１は制御装置、２はサ
ーボアンプ、３は型締サーボモータ、４はサーボモータ
駆動信号、５は型締サーボモータ３への動力線、６は型
締サーボモータ３のブレーキ、７は型締サーボモータ３
の回転検出器、８は型締サーボモータ３をサーボアンプ
２が制御するための回転検出器７のフィードバック線、
９はブレーキ６の駆動線、１０はサーボアンプ２から制
御装置１への駆動完了信号である。
機構を有する型締サーボモータ駆動装置の構成を示すブ
ロック図である。同図において、１は制御装置、２はサ
ーボアンプ、３は型締サーボモータ、４はサーボモータ
駆動信号、５は型締サーボモータ３への動力線、６は型
締サーボモータ３のブレーキ、７は型締サーボモータ３
の回転検出器、８は型締サーボモータ３をサーボアンプ
２が制御するための回転検出器７のフィードバック線、
９はブレーキ６の駆動線、１０はサーボアンプ２から制
御装置１への駆動完了信号である。
【０００３】次に動作について説明する。このような構
成において、型締開始にて制御装置１よりサーボアンプ
２へサーボモータ駆動信号４を出力する。これにより、
サーボアンプ２は型締サーボモータ３へ動力線５を介し
て電流を流す。サーボアンプ２は回転検出器７のフィー
ドバック線８により、型締サーボモータ３を制御する。
成において、型締開始にて制御装置１よりサーボアンプ
２へサーボモータ駆動信号４を出力する。これにより、
サーボアンプ２は型締サーボモータ３へ動力線５を介し
て電流を流す。サーボアンプ２は回転検出器７のフィー
ドバック線８により、型締サーボモータ３を制御する。
【０００４】型締サーボモータ３がサーボアンプ２の制
御により目標停止位置に停止すると、サーボアンプ２よ
り制御装置１へ駆動完了信号１０を出力する。ついで制
御装置１よりブレーキ６をブレーキ駆動線９を介して駆
動し、型締完了となる。
御により目標停止位置に停止すると、サーボアンプ２よ
り制御装置１へ駆動完了信号１０を出力する。ついで制
御装置１よりブレーキ６をブレーキ駆動線９を介して駆
動し、型締完了となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体製造方装
置のプレス機構を有する型締サーボモータ駆動装置は、
以上のように構成されているので、サーボアンプ２の異
常に対しては、保護ができず、サーボアンプ２の異常で
型締サーボモータ３が停止を行わない場合には、サーボ
アンプ２が制御装置１に対して出力するトルクオーバー
などのエラー信号を信用して待つことが必要で、また、
このような状態では過大型締による装置破損を引き起こ
すなどの問題があった。
置のプレス機構を有する型締サーボモータ駆動装置は、
以上のように構成されているので、サーボアンプ２の異
常に対しては、保護ができず、サーボアンプ２の異常で
型締サーボモータ３が停止を行わない場合には、サーボ
アンプ２が制御装置１に対して出力するトルクオーバー
などのエラー信号を信用して待つことが必要で、また、
このような状態では過大型締による装置破損を引き起こ
すなどの問題があった。
【０００６】したがってこの発明は、前述した従来の課
題を解決するためになされたものであり、その目的は、
サーボモータの回転，動きを監視することにより、サー
ボアンプの異常を検知するとともに過大型締力発生時に
サーボモータへの動力を直接遮断でき、装置保護ができ
る半導体製造装置を提供することにある。
題を解決するためになされたものであり、その目的は、
サーボモータの回転，動きを監視することにより、サー
ボアンプの異常を検知するとともに過大型締力発生時に
サーボモータへの動力を直接遮断でき、装置保護ができ
る半導体製造装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るためにこの発明は、型締サーボモータの回転，動きの
検出器の情報を制御装置へ入力するとともに制御装置か
ら制御可能な回路遮断器をサーボアンプから型締サーボ
モータへの動力伝達回路の中に設置したものである。
るためにこの発明は、型締サーボモータの回転，動きの
検出器の情報を制御装置へ入力するとともに制御装置か
ら制御可能な回路遮断器をサーボアンプから型締サーボ
モータへの動力伝達回路の中に設置したものである。
【０００８】
【作用】この発明においては、型締サーボモータの回
転，動きを常時監視することにより、サーボアンプの異
常で目標位置停止不能状態になっていることを検知した
際、サーボモータへの動力を遮断し、サーボモータのト
ルクを除去する。
転，動きを常時監視することにより、サーボアンプの異
常で目標位置停止不能状態になっていることを検知した
際、サーボモータへの動力を遮断し、サーボモータのト
ルクを除去する。
【０００９】
【実施例】以下、図面を用いてこの発明の実施例を詳細
に説明する。図１はこの発明による半導体製造装置の一
実施例による構成を示す型締サーボモータ駆動装置のブ
ロック図である。同図において、１は制御装置、２はサ
ーボアンプ、３は型締サーボモータ、４はサーボモータ
駆動信号、５ａ，５ｂは型締サーボモータ３への動力
線、６は型締サーボモータ３のブレーキ、７は型締サー
ボモータ３の回転検出器である。
に説明する。図１はこの発明による半導体製造装置の一
実施例による構成を示す型締サーボモータ駆動装置のブ
ロック図である。同図において、１は制御装置、２はサ
ーボアンプ、３は型締サーボモータ、４はサーボモータ
駆動信号、５ａ，５ｂは型締サーボモータ３への動力
線、６は型締サーボモータ３のブレーキ、７は型締サー
ボモータ３の回転検出器である。
【００１０】また、８ａは型締サーボモータ３をサーボ
アンプ２が制御するための回転検出器７のフィードバッ
ク線、８ｂは制御装置１が型締サーボモータ３の状態を
監視するための回転検出器７のフィードバック線、９は
ブレーキ６の駆動線、１０はサーボアンプ２から制御装
置１への駆動完了信号、１１はサーボアンプ２から型締
サーボモータ３への動力線５ａの遮断を行うための遮断
器、１２は制御装置１から遮断器１１への遮断器制御信
号である。なお、回転検出器７はサーボモータ３の回転
数をカウントまたは動きを監視するパルス発生器のパル
ス信号あるいはそれに類似したサーボモータ３の回転数
などをチェックできる信号を検出し、フィードバック線
８ａ，８ｂに出力する。
アンプ２が制御するための回転検出器７のフィードバッ
ク線、８ｂは制御装置１が型締サーボモータ３の状態を
監視するための回転検出器７のフィードバック線、９は
ブレーキ６の駆動線、１０はサーボアンプ２から制御装
置１への駆動完了信号、１１はサーボアンプ２から型締
サーボモータ３への動力線５ａの遮断を行うための遮断
器、１２は制御装置１から遮断器１１への遮断器制御信
号である。なお、回転検出器７はサーボモータ３の回転
数をカウントまたは動きを監視するパルス発生器のパル
ス信号あるいはそれに類似したサーボモータ３の回転数
などをチェックできる信号を検出し、フィードバック線
８ａ，８ｂに出力する。
【００１１】次に動作について説明する。このような構
成において、型締開始にて制御装置１よりサーボアンプ
２へサーボモータ駆動信号４を出力する。これにより、
サーボアンプ２は型締サーボモータ３へ動力線５ａ，遮
断器１１および動力線５ｂを介して電流を流す。サーボ
アンプ２は回転検出器７のフィードバック線８ａにより
型締サーボモータ３を制御する。
成において、型締開始にて制御装置１よりサーボアンプ
２へサーボモータ駆動信号４を出力する。これにより、
サーボアンプ２は型締サーボモータ３へ動力線５ａ，遮
断器１１および動力線５ｂを介して電流を流す。サーボ
アンプ２は回転検出器７のフィードバック線８ａにより
型締サーボモータ３を制御する。
【００１２】型締サーボモータ３がサーボアンプ２の制
御により目標停止位置に停止すると、サーボアンプ２に
より、制御位置１へ駆動完了信号１０を出力する。次い
で制御装置１は駆動完了信号１０にてブレーキ６をブレ
ーキ駆動線９を介して駆動し、型締完了となる。
御により目標停止位置に停止すると、サーボアンプ２に
より、制御位置１へ駆動完了信号１０を出力する。次い
で制御装置１は駆動完了信号１０にてブレーキ６をブレ
ーキ駆動線９を介して駆動し、型締完了となる。
【００１３】そしてサーボアンプ２が型締サーボモータ
３を制御している間、常時、型締サーボモータ３の状態
を制御装置１は回転検出器７のフィードバック線８ｂに
て監視を行う。従来では、制御装置１は、型締サーボモ
ータ３の動きに関してはサーボアンプ２からの駆動完了
信号１０のみで知り得たが、フィードバック線８ｂによ
り型締サーボモータ３の動きを直接知ることができ、目
標停止位置で停止したか否かを知ることができる。
３を制御している間、常時、型締サーボモータ３の状態
を制御装置１は回転検出器７のフィードバック線８ｂに
て監視を行う。従来では、制御装置１は、型締サーボモ
ータ３の動きに関してはサーボアンプ２からの駆動完了
信号１０のみで知り得たが、フィードバック線８ｂによ
り型締サーボモータ３の動きを直接知ることができ、目
標停止位置で停止したか否かを知ることができる。
【００１４】これにより、サーボアンプ２が異常状態と
なり、型締サーボモータ３が目標停止位置にて停止せ
ず、回転を続けた際には、制御装置１が遮断器制御信号
１２を出力して遮断器１１を動作させ、型締サーボモー
タ３への動力線５ａと動力線５ｂとを遮断し、型締サー
ボモータ３への通電を断つ。
なり、型締サーボモータ３が目標停止位置にて停止せ
ず、回転を続けた際には、制御装置１が遮断器制御信号
１２を出力して遮断器１１を動作させ、型締サーボモー
タ３への動力線５ａと動力線５ｂとを遮断し、型締サー
ボモータ３への通電を断つ。
【００１５】なお、前述した実施例においては、制御装
置１がサーボアンプ２の異常および型締サーボモータ３
の目標停止位置不能，過大型締を検知する手段として型
締サーボモータ３の回転検出器７からのフィードバック
線８ｂを用いたが、図２では型締サーボモータ３が駆動
するプレス装置本体１３に取り付けた型締力検出器１４
にて検出された型締力を伝達線１５を介して制御装置１
に入力しても良い。
置１がサーボアンプ２の異常および型締サーボモータ３
の目標停止位置不能，過大型締を検知する手段として型
締サーボモータ３の回転検出器７からのフィードバック
線８ｂを用いたが、図２では型締サーボモータ３が駆動
するプレス装置本体１３に取り付けた型締力検出器１４
にて検出された型締力を伝達線１５を介して制御装置１
に入力しても良い。
【００１６】また、前述した実施例では、型締力検出器
１４を用いているが、プレス装置本体１３の歪みなどを
検出する検出装置を用いても良く、このような構成にお
いても、前述した実施例と同様な効果が得られる。
１４を用いているが、プレス装置本体１３の歪みなどを
検出する検出装置を用いても良く、このような構成にお
いても、前述した実施例と同様な効果が得られる。
【００１７】また、前述した実施例では、遮断器１１を
用いているが、断路器や他の開閉装置であっても良く、
このような構成においても、前述した実施例と同様な効
果が得られる。
用いているが、断路器や他の開閉装置であっても良く、
このような構成においても、前述した実施例と同様な効
果が得られる。
【００１８】
【発明の効果】以上、説明したようにこの発明によれ
ば、過大型締力をサーボモータの回転，動きにより検知
し、過大型締力が発生もしくは発生しそうな場合には、
サーボモータへの動力を回路遮断器にて遮断するように
構成したので、過大型締力からの装置保護が確実かつ高
精度にしかも安価に行えるなどの極めて優れた効果が得
られる。
ば、過大型締力をサーボモータの回転，動きにより検知
し、過大型締力が発生もしくは発生しそうな場合には、
サーボモータへの動力を回路遮断器にて遮断するように
構成したので、過大型締力からの装置保護が確実かつ高
精度にしかも安価に行えるなどの極めて優れた効果が得
られる。
【図１】この発明による半導体製造装置の一実施例によ
る構成を示す型締サーボモータ駆動装置のブロック図で
ある。
る構成を示す型締サーボモータ駆動装置のブロック図で
ある。
【図２】この発明による半導体製造装置の他の実施例に
よる構成を示す型締サーボモータ駆動装置のブロック図
である。
よる構成を示す型締サーボモータ駆動装置のブロック図
である。
【図３】従来の半導体製造装置の型締サーボモータ駆動
装置の構成を示すブロック図である。
装置の構成を示すブロック図である。
１ 制御装置 ２ サーボアンプ ３ 型締サーボモータ ４ サーボモータ駆動信号 ５ 型締サーボモータ駆動動力線 ５ａ 型締サーボモータ駆動動力線 ５ｂ 型締サーボモータ駆動動力線 ６ ブレーキ ７ 回転検出器 ８ 回転検出器のフィードバック線 ８ａ 回転検出器のフィードバック線 ８ｂ 回転検出器のフィードバック線 ９ ブレーキ駆動線 １０ 駆動完了信号 １１ 遮断器 １２ 遮断器制御信号 １３ プレス本体 １４ 型締力検出器 １５ 型締力伝達線
Claims (1)
- 【請求項１】 制御装置と、前記制御装置により制御さ
れるサーボアンプと、プレス本体に連結されかつ前記サ
ーボアンプにより駆動される型締サーボモータとを備え
た半導体製造装置において、 前記サーボモータの回転情報を検出する回転検出器の検
出信号を前記制御装置に入力させる帰還回路と、 前記サーボアンプと型締サーボモータとの間に接続され
かつ前記制御装置により制御される回路遮断器と、を設
けたことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP534092A JPH05185482A (ja) | 1992-01-16 | 1992-01-16 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP534092A JPH05185482A (ja) | 1992-01-16 | 1992-01-16 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05185482A true JPH05185482A (ja) | 1993-07-27 |
Family
ID=11608498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP534092A Pending JPH05185482A (ja) | 1992-01-16 | 1992-01-16 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05185482A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013240908A (ja) * | 2012-05-18 | 2013-12-05 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 射出成形機 |
-
1992
- 1992-01-16 JP JP534092A patent/JPH05185482A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013240908A (ja) * | 2012-05-18 | 2013-12-05 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 射出成形機 |
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