JPH05185264A - レーザーマスクリペア装置 - Google Patents
レーザーマスクリペア装置Info
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- JPH05185264A JPH05185264A JP320692A JP320692A JPH05185264A JP H05185264 A JPH05185264 A JP H05185264A JP 320692 A JP320692 A JP 320692A JP 320692 A JP320692 A JP 320692A JP H05185264 A JPH05185264 A JP H05185264A
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- laser light
- aiming
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Abstract
(57)【要約】
【目的】特殊な軸上色収差補正がなされた高価なレンズ
を用いることなく軸上色収差を補正できるレーザーマス
クリペア装置を提供すること。 【構成】１つの絞り１５を通過した異なる波長の照準光
とレーザー光とを第１波長分離ミラー２７で分離して、
この分離した照準光とレーザー光をレーザー照射光学系
１０，照準光学系２０の光路長が補正された各光路を介
してそれぞれ案内した後に、この照準光とレーザー光を
第２波長合成ミラー１８で合成して１つの対物レンズ１
９からリペア対象面２ａに投影するようにした。
を用いることなく軸上色収差を補正できるレーザーマス
クリペア装置を提供すること。 【構成】１つの絞り１５を通過した異なる波長の照準光
とレーザー光とを第１波長分離ミラー２７で分離して、
この分離した照準光とレーザー光をレーザー照射光学系
１０，照準光学系２０の光路長が補正された各光路を介
してそれぞれ案内した後に、この照準光とレーザー光を
第２波長合成ミラー１８で合成して１つの対物レンズ１
９からリペア対象面２ａに投影するようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、出力の高いレーザービ
ームを利用して金属薄膜や透明導電膜などの薄膜の微細
パターンの欠陥除去に用いるレーザーマスクリペア装置
に関するものである。
ームを利用して金属薄膜や透明導電膜などの薄膜の微細
パターンの欠陥除去に用いるレーザーマスクリペア装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種のレーザーマスクリペア装置とし
ては、既製のレーザー発振器を既製の顕微鏡にリペアレ
ーザー光発生用として搭載した形態が主流を占めてい
る。
ては、既製のレーザー発振器を既製の顕微鏡にリペアレ
ーザー光発生用として搭載した形態が主流を占めてい
る。
【０００３】この顕微鏡の光学系は無限遠補正型であ
り、既製のレーザー発振器の絞り部が結像レンズ側の共
役点と一致するように配置されている。しかも、レーザ
ー発振器から発生したリペア用のレーザー光と照準用の
照準光の２つは、絞り部を通過した後、結像レンズ，対
物レンズ等の光学部品を介してリペア対象物面に投影さ
れる。
り、既製のレーザー発振器の絞り部が結像レンズ側の共
役点と一致するように配置されている。しかも、レーザ
ー発振器から発生したリペア用のレーザー光と照準用の
照準光の２つは、絞り部を通過した後、結像レンズ，対
物レンズ等の光学部品を介してリペア対象物面に投影さ
れる。
【０００４】ところで、この様な光学系においては、レ
ーザー光と照準光の波長が同じか或は略近似していれ
ば、アクロマートやアポクロマートなどの赤外域で軸上
色収差の補正がなされていない対物レンズを顕微鏡に使
用した場合でも、２つの光による絞り部の像が絞り部と
共役であるリペア対象物面に焦点位置を一致して結像す
ることになる。
ーザー光と照準光の波長が同じか或は略近似していれ
ば、アクロマートやアポクロマートなどの赤外域で軸上
色収差の補正がなされていない対物レンズを顕微鏡に使
用した場合でも、２つの光による絞り部の像が絞り部と
共役であるリペア対象物面に焦点位置を一致して結像す
ることになる。
【０００５】しかし、この対物レンズを用いる一方、レ
ーザー光に赤外光を用いると共に照準光に可視光を用い
て、レーザー光の波長と照準光の波長が大きく異なる状
態とした場合、レーザー光と照準光の２つの光が軸上色
収差のために焦点位置がずれた状態でリペア対象物面に
投影される。即ち、レーザー光と照準光の２つの光によ
り絞り部の像が軸上色収差のために焦点位置がずれた状
態でリペア対象物面に結像されることになる。
ーザー光に赤外光を用いると共に照準光に可視光を用い
て、レーザー光の波長と照準光の波長が大きく異なる状
態とした場合、レーザー光と照準光の２つの光が軸上色
収差のために焦点位置がずれた状態でリペア対象物面に
投影される。即ち、レーザー光と照準光の２つの光によ
り絞り部の像が軸上色収差のために焦点位置がずれた状
態でリペア対象物面に結像されることになる。
【０００６】これは、軸上色収差のために、即ち波長に
よって絞り部のリペア対象物面に対する共役点位置（物
点位置）が異るために、波長の大きく異なるレーザー光
と照準光の一方、例えば照準光を用いて絞り部をリペア
対象物面に対して共役とした場合、照準光による絞り部
の像はリペア対象物面にピントが合った状態で結像され
るが、レーザー光よる絞り部の像はリペア対象物面にボ
ケた状態で結像されるからである。
よって絞り部のリペア対象物面に対する共役点位置（物
点位置）が異るために、波長の大きく異なるレーザー光
と照準光の一方、例えば照準光を用いて絞り部をリペア
対象物面に対して共役とした場合、照準光による絞り部
の像はリペア対象物面にピントが合った状態で結像され
るが、レーザー光よる絞り部の像はリペア対象物面にボ
ケた状態で結像されるからである。
【０００７】尚、このずれによりボケた像は、倍率が高
く（焦点距離が短く）焦点深度が浅い対物レンズほど顕
著に現れる。
く（焦点距離が短く）焦点深度が浅い対物レンズほど顕
著に現れる。
【０００８】この軸上色収差による焦点位置のずれをな
くすために、照準光である可視光の波長とリペア用レー
ザー光である赤外光の波長とで軸上色収差の補正をされ
たレンズを対物レンズに使用し、対物レンズの軸上色収
差による焦点位置のずれが生じるのを防止することが考
えられる。
くすために、照準光である可視光の波長とリペア用レー
ザー光である赤外光の波長とで軸上色収差の補正をされ
たレンズを対物レンズに使用し、対物レンズの軸上色収
差による焦点位置のずれが生じるのを防止することが考
えられる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、アクロマート
やアポクロマートなどで補正可能な波長域以外の波長の
照準光やレーザー光を用いる場合には、特殊な軸上色収
差補正がなされた高価なレンズが用いられており、この
レンズを対物レンズに用いたレーザーマスクリペア装置
は高価になるという問題があった。
やアポクロマートなどで補正可能な波長域以外の波長の
照準光やレーザー光を用いる場合には、特殊な軸上色収
差補正がなされた高価なレンズが用いられており、この
レンズを対物レンズに用いたレーザーマスクリペア装置
は高価になるという問題があった。
【００１０】そこで、この発明は、この様な特殊で高価
なレンズを用いることなく軸上色収差を補正できるレー
ザーマスクリペア装置を提供することを目的とするもの
である。
なレンズを用いることなく軸上色収差を補正できるレー
ザーマスクリペア装置を提供することを目的とするもの
である。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、請求項１の発明は、リペア用レーザー光を発生する
レーザー光源と、上記リペア用レーザー光の波長とは異
なる波長の照準のための照準光を発する照準用光源部
と、上記レーザー光源部からのリペア用レーザー光と上
記照準光を同じ光軸上に向わせる第１合成光学部材と、
該第１合成光学部材からのリペア用レーザー光及び照準
光の光束を制限する光学系の共役点に配置された絞り部
と、上記絞り部を通過したリペア用レーザー光及び照準
光をリペア用レーザー光光路及び照準光光路にそれぞれ
に分離する光束分離部と、平行光束を射出する様に上記
リペア用レーザー光光路に配置された第１結像レンズ
と、平行光束を射出する様に上記照準光光路中に配置さ
れた第２結像レンズと、上記光束分離部で分離されたリ
ペア用レーザー光光路と照準光光路とを再び合成する第
２合成光学部材と、上記第２合成光学部材からの光束を
共役点であるリペア対象物に結像させる対物レンズ部と
から構成されるレーザーマスクリペア装置としたことを
特徴とする。
め、請求項１の発明は、リペア用レーザー光を発生する
レーザー光源と、上記リペア用レーザー光の波長とは異
なる波長の照準のための照準光を発する照準用光源部
と、上記レーザー光源部からのリペア用レーザー光と上
記照準光を同じ光軸上に向わせる第１合成光学部材と、
該第１合成光学部材からのリペア用レーザー光及び照準
光の光束を制限する光学系の共役点に配置された絞り部
と、上記絞り部を通過したリペア用レーザー光及び照準
光をリペア用レーザー光光路及び照準光光路にそれぞれ
に分離する光束分離部と、平行光束を射出する様に上記
リペア用レーザー光光路に配置された第１結像レンズ
と、平行光束を射出する様に上記照準光光路中に配置さ
れた第２結像レンズと、上記光束分離部で分離されたリ
ペア用レーザー光光路と照準光光路とを再び合成する第
２合成光学部材と、上記第２合成光学部材からの光束を
共役点であるリペア対象物に結像させる対物レンズ部と
から構成されるレーザーマスクリペア装置としたことを
特徴とする。
【００１２】また、請求項２の発明は、リペア用レーザ
ー光を発生するレーザー光源と、上記リペア用レーザー
光の波長とは異なる波長の照準のための照準光を発する
照準用光源部と、上記レーザー光源部からのリペア用レ
ーザー光と上記照準光を同じ光軸上に向わせる第１合成
光学部材と、該第１合成光学部材からのリペア用レーザ
ー光及び照準光の光束を制限する光学系の共役点に配置
された絞り部と、上記絞り部を通過したリペア用レーザ
ー光及び照準光をリペア用レーザー光光路及び照準光光
路にそれぞれに分離する光束分離部と、上記リペア用レ
ーザー光光路及び照準光光路のいずれか一方に配置され
た対物レンズによる軸上色収差を相殺するための波長補
正レンズと、上記光束分離部で分離されたリペア用レー
ザー光光路と照準光光路とを再び合成する第２合成光学
部材と、上記第２合成光学部材からの光束を共役点であ
るリペア対象物に結像させる対物レンズ部とから構成さ
れるレーザーマスクリペア装置としたことを特徴とす
る。
ー光を発生するレーザー光源と、上記リペア用レーザー
光の波長とは異なる波長の照準のための照準光を発する
照準用光源部と、上記レーザー光源部からのリペア用レ
ーザー光と上記照準光を同じ光軸上に向わせる第１合成
光学部材と、該第１合成光学部材からのリペア用レーザ
ー光及び照準光の光束を制限する光学系の共役点に配置
された絞り部と、上記絞り部を通過したリペア用レーザ
ー光及び照準光をリペア用レーザー光光路及び照準光光
路にそれぞれに分離する光束分離部と、上記リペア用レ
ーザー光光路及び照準光光路のいずれか一方に配置され
た対物レンズによる軸上色収差を相殺するための波長補
正レンズと、上記光束分離部で分離されたリペア用レー
ザー光光路と照準光光路とを再び合成する第２合成光学
部材と、上記第２合成光学部材からの光束を共役点であ
るリペア対象物に結像させる対物レンズ部とから構成さ
れるレーザーマスクリペア装置としたことを特徴とす
る。
【００１３】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
【００１４】[第１実施例]図１は、この発明にかかるレ
ーザーマスクリペア装置の第１実施例を示したものであ
る。
ーザーマスクリペア装置の第１実施例を示したものであ
る。
【００１５】図１において、１はリペア用のレーザー光
源，２はリペア対象物である。このリペア対象物２は図
示しないＸ−Ｙテーブル上に配置される金属薄膜や透明
導電膜等で、このリペア対象物２の表面がリペア対象面
２ａとなる。
源，２はリペア対象物である。このリペア対象物２は図
示しないＸ−Ｙテーブル上に配置される金属薄膜や透明
導電膜等で、このリペア対象物２の表面がリペア対象面
２ａとなる。
【００１６】図１に示したレーザーマスクリペア装置
は、レーザー光源１からのレーザー光をリペア対象面２
に案内するレーザー照射光学系１０，リペア対象面２に
照準光源からの照準光を案内する照準光学系２０，リペ
ア対象面に反射照明光を案内する落射照明光学系３０
（反射照明光学系），リペア対象面に透過照明光をを案
内する透過照明光学系４０，観察光学系５０，電子撮像
光学系６０を有する。
は、レーザー光源１からのレーザー光をリペア対象面２
に案内するレーザー照射光学系１０，リペア対象面２に
照準光源からの照準光を案内する照準光学系２０，リペ
ア対象面に反射照明光を案内する落射照明光学系３０
（反射照明光学系），リペア対象面に透過照明光をを案
内する透過照明光学系４０，観察光学系５０，電子撮像
光学系６０を有する。
【００１７】レーザー照射光学系１０は、レーザー用シ
ャッター１１，第２高調波発生器１２，ビームエキスパ
ンダー１３，出力フィルター１４，絞り１５，光路折曲
ミラー１６，第１結像レンズ１７，第２波長合成ミラー
１８（第２合成光学部材），対物レンズ１９等の光学部
品をこの順に有する。
ャッター１１，第２高調波発生器１２，ビームエキスパ
ンダー１３，出力フィルター１４，絞り１５，光路折曲
ミラー１６，第１結像レンズ１７，第２波長合成ミラー
１８（第２合成光学部材），対物レンズ１９等の光学部
品をこの順に有する。
【００１８】一例として、レーザー光源１には、ＹＡＧ
レーザーを用い、そのＹＧＡレーザー（１０６４ｎｍ）
を第２高調波発生器に緑色の光（波長λ＝５３２ｎｍ）
に変換される。次に、レーザー光を所定の透過率の出力
フィルター１４を通過させることにより、所定の出力が
得られる。
レーザーを用い、そのＹＧＡレーザー（１０６４ｎｍ）
を第２高調波発生器に緑色の光（波長λ＝５３２ｎｍ）
に変換される。次に、レーザー光を所定の透過率の出力
フィルター１４を通過させることにより、所定の出力が
得られる。
【００１９】また、レーザー照射光学系１０では、出力
波長（ここでは、λ＝５３２ｎｍ）に対して、絞り１５
の開口部（絞り部）が光路折曲ミラー１６，第１結像レ
ンズ１７，第２波長合成ミラー１８，対物レンズ１９等
を介してリペア対象面２ａと共役になるように設けられ
ている。
波長（ここでは、λ＝５３２ｎｍ）に対して、絞り１５
の開口部（絞り部）が光路折曲ミラー１６，第１結像レ
ンズ１７，第２波長合成ミラー１８，対物レンズ１９等
を介してリペア対象面２ａと共役になるように設けられ
ている。
【００２０】この絞り１５は、開口（絞り部）の形状が
複数のナイフエッジにより矩形状に且つツマミの操作に
より可変できる様に構成されている。また、第２波長合
成ミラー１８にはダイクロイックミラーが用いられてい
る。
複数のナイフエッジにより矩形状に且つツマミの操作に
より可変できる様に構成されている。また、第２波長合
成ミラー１８にはダイクロイックミラーが用いられてい
る。
【００２１】照準光学系２０は、照準光源(図示せず)に
臨む光ファイバー等のライトガイド２１，赤色フィルタ
ー２２，レンズ２３，光路折曲ミラー２４，レンズ２
５，出力フィルター１４と絞り１５との間に配設された
第１波長合成ミラー２６（第１合成光学部材），絞り１
５と光路折曲ミラー１６との間に配置された波長分離ミ
ラー２７，第１ビームスプリッター２８，第２結像レン
ズ２９，対物レンズ１９等の光学部品をこの順に有す
る。
臨む光ファイバー等のライトガイド２１，赤色フィルタ
ー２２，レンズ２３，光路折曲ミラー２４，レンズ２
５，出力フィルター１４と絞り１５との間に配設された
第１波長合成ミラー２６（第１合成光学部材），絞り１
５と光路折曲ミラー１６との間に配置された波長分離ミ
ラー２７，第１ビームスプリッター２８，第２結像レン
ズ２９，対物レンズ１９等の光学部品をこの順に有す
る。
【００２２】第１波長合成ミラー２６，波長分離フィル
ター２７は、出力フィルター１４の射出光（ここでは、
λ＝５３２ｎｍの光）を透過し、赤色フィルター２２を
透過する波長の光を反射する。この照準光学系２０で
は、赤色フィルター２２の透過波長光により、絞り１５
の開口部（絞り部）が波長分離ミラー２７，第１ビーム
スプリッター２８，第２結像レンズ２９，対物レンズ１
９等の光学部品を介してリペア対象面２ａと共役になる
ように設けられている。
ター２７は、出力フィルター１４の射出光（ここでは、
λ＝５３２ｎｍの光）を透過し、赤色フィルター２２を
透過する波長の光を反射する。この照準光学系２０で
は、赤色フィルター２２の透過波長光により、絞り１５
の開口部（絞り部）が波長分離ミラー２７，第１ビーム
スプリッター２８，第２結像レンズ２９，対物レンズ１
９等の光学部品を介してリペア対象面２ａと共役になる
ように設けられている。
【００２３】落射照明光学系３０は、落射照明光源(図
示せず)に臨む光ファイバー等のライトガイド３１，緑
色フィルター３２，落射照明レンズ３３，第２波長合成
ミラー１８と対物レンズ１９との間に配設されたハーフ
ミラー３４，対物レンズ１９等の光学部品をこの順に有
する。
示せず)に臨む光ファイバー等のライトガイド３１，緑
色フィルター３２，落射照明レンズ３３，第２波長合成
ミラー１８と対物レンズ１９との間に配設されたハーフ
ミラー３４，対物レンズ１９等の光学部品をこの順に有
する。
【００２４】透過照明光学系４０は、透過照明光源(図
示せず)に臨む光ファイバー等のライトガイド４１，緑
色フィルター４２，透過用レンズ４３，４４，光路折曲
ミラー４５，レンズ４６等の光学部品をこの順に有す
る。緑色フィルター４２は、緑色フィルター３２と同一
波長の光を透過可能に設けられている。
示せず)に臨む光ファイバー等のライトガイド４１，緑
色フィルター４２，透過用レンズ４３，４４，光路折曲
ミラー４５，レンズ４６等の光学部品をこの順に有す
る。緑色フィルター４２は、緑色フィルター３２と同一
波長の光を透過可能に設けられている。
【００２５】観察光学系５０は、対物レンズ１９，第２
結像レンズ２９，第２ビームスプリッター５１，接眼用
シャッター５２，正立プリズム５３，第３ビームスプリ
ッター５４，平行プリズム５５，右眼用の接眼レンズ５
６等の光学部品をこの順に有する。また、観測光学系５
０は、第３ビームスプリッター５４に続いて配設され且
つ平行プリズム５５に対して並設された補正プリズム５
７，左眼用の接眼レンズ５８等の光学部品を有する。
結像レンズ２９，第２ビームスプリッター５１，接眼用
シャッター５２，正立プリズム５３，第３ビームスプリ
ッター５４，平行プリズム５５，右眼用の接眼レンズ５
６等の光学部品をこの順に有する。また、観測光学系５
０は、第３ビームスプリッター５４に続いて配設され且
つ平行プリズム５５に対して並設された補正プリズム５
７，左眼用の接眼レンズ５８等の光学部品を有する。
【００２６】電子撮像光学系６０は、対物レンズ１９，
第２結像レンズ２９，テレビカメラ(図示せず)等の光学
部品を有する。このテレビカメラの固体撮像素子６１に
はモニターテレビに接続されている。
第２結像レンズ２９，テレビカメラ(図示せず)等の光学
部品を有する。このテレビカメラの固体撮像素子６１に
はモニターテレビに接続されている。
【００２７】次に、この様な光学系の作用を説明する。
【００２８】落射照明光源(図示せず)及び透過照明光源
(図示せず)を点灯させてリペア対象面２ａを観察する際
には、観察光学系５０の接眼用シャッター５２により観
察光路の途中を開いておくと共に、レーザー照射光学系
１０のレーザー用シャッター１１によりレーザー光光路
の途中を遮断しておく。
(図示せず)を点灯させてリペア対象面２ａを観察する際
には、観察光学系５０の接眼用シャッター５２により観
察光路の途中を開いておくと共に、レーザー照射光学系
１０のレーザー用シャッター１１によりレーザー光光路
の途中を遮断しておく。
【００２９】この状態で、落射照明光源(図示せず)を点
灯すると、この落射照明光源からの落射照明光の内の緑
色波長光が落射照明光学系３０を介してリペア対象面２
ａに照射され、この照射によるリペア対象面２ａからの
反射光が対物レンズ１９に入射する。
灯すると、この落射照明光源からの落射照明光の内の緑
色波長光が落射照明光学系３０を介してリペア対象面２
ａに照射され、この照射によるリペア対象面２ａからの
反射光が対物レンズ１９に入射する。
【００３０】一方、透過照明光源(図示せず)を点灯する
と、透過照明光源からの透過照明光の内の緑色波長光が
透過照明光学系４０を介してリペア対象物２の裏面２ｂ
に照射され、この照射によりリペア対象面２ａ側に透過
する透過光が対物レンズ１９に入射する。
と、透過照明光源からの透過照明光の内の緑色波長光が
透過照明光学系４０を介してリペア対象物２の裏面２ｂ
に照射され、この照射によりリペア対象面２ａ側に透過
する透過光が対物レンズ１９に入射する。
【００３１】これらの緑色波長光の反射光及び透過光に
よるリペア対象面２ａの像は、観察光学系５０を介して
直接観察することが出来ると共に、撮像光学系６０を介
してテレビカメラの固体撮像素子６１に結像されて、固
体撮像素子６１に結像されたリペア対象面２ａの像がモ
ニターテレビ(図示せず)に映し出される。
よるリペア対象面２ａの像は、観察光学系５０を介して
直接観察することが出来ると共に、撮像光学系６０を介
してテレビカメラの固体撮像素子６１に結像されて、固
体撮像素子６１に結像されたリペア対象面２ａの像がモ
ニターテレビ(図示せず)に映し出される。
【００３２】また、照準光源(図示せず)を点灯して、赤
色フィルター２２による赤色の照準光を照準光学系２０
を介してリペア対象面２ａに投影することにより、絞り
１５の開口部（絞り部）がリペア対象面２ａに結像され
る。この絞り部の像からの反射光も、上述したように観
察光学系５０を介して、或はモニターテレビを介してリ
ペア対象面２ａに重ねた状態で観察される。この絞り部
の像は観察面の中央に位置している。
色フィルター２２による赤色の照準光を照準光学系２０
を介してリペア対象面２ａに投影することにより、絞り
１５の開口部（絞り部）がリペア対象面２ａに結像され
る。この絞り部の像からの反射光も、上述したように観
察光学系５０を介して、或はモニターテレビを介してリ
ペア対象面２ａに重ねた状態で観察される。この絞り部
の像は観察面の中央に位置している。
【００３３】この様な観察状態で、図示しないＸ−Ｙテ
ーブルを操作することにより、このＸ−Ｙテーブル上の
リペア対象物２を対物レンズ１９の光軸Ｚに直交するＸ
−Ｙ方向に移動操作して、リペア対象面２ａ上における
絞り部の像の相対位置を移動させ、リペア部を捜し出
す。
ーブルを操作することにより、このＸ−Ｙテーブル上の
リペア対象物２を対物レンズ１９の光軸Ｚに直交するＸ
−Ｙ方向に移動操作して、リペア対象面２ａ上における
絞り部の像の相対位置を移動させ、リペア部を捜し出
す。
【００３４】この操作によってリペア部上に絞り部の像
が重なった後、絞り部の開口面積を図示しないツマミの
操作により可変させて、リペア部が絞り部内に入るよう
に照射範囲を決定する。
が重なった後、絞り部の開口面積を図示しないツマミの
操作により可変させて、リペア部が絞り部内に入るよう
に照射範囲を決定する。
【００３５】このリペア部への照射範囲が決定された後
は、レーザー用シャッター１１を開くと共にレーザー光
源１を作動させて、レーザー光源１からのレーザー光を
レーザー照射光学系１０を介してリペア対象面２ａに照
射する。ここで、接眼用シャッター５２にはリペア対象
面２ａからの反射光が観察者の目に入らないようにする
ため閉じられる。この際、リペア対象面２ａには緑色の
レーザ光による絞り１５の絞り部の像が光路折曲ミラー
１６，第１結像レンズ１７，第２波長合成ミラー１８，
対物レンズ１９等を介して結像され、リペア部の不要物
がレーザー光により蒸発発散して除去される。
は、レーザー用シャッター１１を開くと共にレーザー光
源１を作動させて、レーザー光源１からのレーザー光を
レーザー照射光学系１０を介してリペア対象面２ａに照
射する。ここで、接眼用シャッター５２にはリペア対象
面２ａからの反射光が観察者の目に入らないようにする
ため閉じられる。この際、リペア対象面２ａには緑色の
レーザ光による絞り１５の絞り部の像が光路折曲ミラー
１６，第１結像レンズ１７，第２波長合成ミラー１８，
対物レンズ１９等を介して結像され、リペア部の不要物
がレーザー光により蒸発発散して除去される。
【００３６】[第２実施例]図２はこの発明の第２実施例
を示したものである。
を示したものである。
【００３７】本実施例では、第１実施例におけるレーザ
ー照射光学系１０の第２高調波発生器１２を省略すると
共に、赤外光（例えば、波長λ＝１０６４ｎｍの光）が
透過可能なフィルターを出力フィルター１４に用いてい
る。尚、出力フィルター１４の光学特性を変えたこと
で、第１実施例と同様に、各波長による絞り１５の開口
（絞り部）がリペア対象面２ａと共役になるように、第
１波長合成ミラー２６から対物レンズ１９までの光学部
品の光学特性も変えられている。
ー照射光学系１０の第２高調波発生器１２を省略すると
共に、赤外光（例えば、波長λ＝１０６４ｎｍの光）が
透過可能なフィルターを出力フィルター１４に用いてい
る。尚、出力フィルター１４の光学特性を変えたこと
で、第１実施例と同様に、各波長による絞り１５の開口
（絞り部）がリペア対象面２ａと共役になるように、第
１波長合成ミラー２６から対物レンズ１９までの光学部
品の光学特性も変えられている。
【００３８】尚、対物レンズ１９による軸上色収差を相
殺するための波長補正レンズを、レーザー照射光学系１
０のリペア用レーザー光光路と照準光学系２０の照準光
光路のいずれか一方に配置して、波長の相違による光路
長を補正するようにしても良い。
殺するための波長補正レンズを、レーザー照射光学系１
０のリペア用レーザー光光路と照準光学系２０の照準光
光路のいずれか一方に配置して、波長の相違による光路
長を補正するようにしても良い。
【００３９】
【効果】この発明は、以上説明したように、１つの絞り
を通過した異なる波長の照準光とレーザー光とを分離し
て、この分離した照準光とレーザー光を光路長が補正さ
れた各光路を介してそれぞれ案内した後に合成して１つ
の対物レンズからリペア対象面に投影するように構成し
たので、特殊な軸上色収差補正がなされた高価なレンズ
を用いることなく軸上色収差を補正できるレーザーマス
クリペア装置を提供できる。
を通過した異なる波長の照準光とレーザー光とを分離し
て、この分離した照準光とレーザー光を光路長が補正さ
れた各光路を介してそれぞれ案内した後に合成して１つ
の対物レンズからリペア対象面に投影するように構成し
たので、特殊な軸上色収差補正がなされた高価なレンズ
を用いることなく軸上色収差を補正できるレーザーマス
クリペア装置を提供できる。
【図１】この発明にかかるレーザーマスクリペア装置の
光学系の第１実施例を示す説明図である。
光学系の第１実施例を示す説明図である。
【図２】この発明にかかるレーザーマスクリペア装置の
光学系の第２実施例を示す説明図である。
光学系の第２実施例を示す説明図である。
【符号の説明】 １…光源 １５…絞り部 １７…第１結像レンズ １８…第２波長合成ミラー（第２合成光学部材） １９…対物レンズ ２６…第２波長合成ミラー（第１合成光学部材） ２７…波長分離ミラー（光束分離部材）
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｓ 3/10 Ｚ 8934−4Ｍ
Claims (2)
- 【請求項１】 リペア用レーザー光を発生するレーザー
光源と、 上記リペア用レーザー光の波長とは異なる波長の照準の
ための照準光を発する照準用光源部と、 上記レーザー光源部からのリペア用レーザー光と上記照
準光を同じ光軸上に向わせる第１合成光学部材と、 該第１合成光学部材からのリペア用レーザー光及び照準
光の光束を制限する光学系の共役点に配置された絞り部
と、 上記絞り部を通過したリペア用レーザー光及び照準光を
リペア用レーザー光光路及び照準光光路にそれぞれに分
離する光束分離部と、 平行光束を射出する様に上記リペア用レーザー光光路に
配置された第１結像レンズと、 平行光束を射出する様に上記照準光光路中に配置された
第２結像レンズと、 上記光束分離部で分離されたリペア用レーザー光光路と
照準光光路とを再び合成する第２合成光学部材と、 上記第２合成光学部材からの光束を共役点であるリペア
対象物に結像させる対物レンズ部とから構成されること
を特徴とするレーザーマスクリペア装置。 - 【請求項２】 リペア用レーザー光を発生するレーザー
光源と、 上記リペア用レーザー光の波長とは異なる波長の照準の
ための照準光を発する照準用光源部と、 上記レーザー光源部からのリペア用レーザー光と上記照
準光を同じ光軸上に向わせる第１合成光学部材と、 該第１合成光学部材からのリペア用レーザー光及び照準
光の光束を制限する光学系の共役点に配置された絞り部
と、 上記絞り部を通過したリペア用レーザー光及び照準光を
リペア用レーザー光光路及び照準光光路にそれぞれに分
離する光束分離部と、 上記リペア用レーザー光光路及び照準光光路のいずれか
一方に配置された対物レンズによる軸上色収差を相殺す
るための波長補正レンズと、 上記光束分離部で分離されたリペア用レーザー光光路と
照準光光路とを再び合成する第２合成光学部材と、 上記第２合成光学部材からの光束を共役点であるリペア
対象物に結像させる対物レンズ部とから構成されること
を特徴とするレーザーマスクリペア装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP320692A JPH05185264A (ja) | 1992-01-10 | 1992-01-10 | レーザーマスクリペア装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP320692A JPH05185264A (ja) | 1992-01-10 | 1992-01-10 | レーザーマスクリペア装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05185264A true JPH05185264A (ja) | 1993-07-27 |
Family
ID=11550970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP320692A Pending JPH05185264A (ja) | 1992-01-10 | 1992-01-10 | レーザーマスクリペア装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05185264A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007194605A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-08-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザ照射装置、及び半導体装置の作製方法 |
| US8525070B2 (en) | 2005-12-20 | 2013-09-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser irradiation apparatus, laser irradiation method, and method for manufacturing semiconductor device |
-
1992
- 1992-01-10 JP JP320692A patent/JPH05185264A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007194605A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-08-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザ照射装置、及び半導体装置の作製方法 |
| US8525070B2 (en) | 2005-12-20 | 2013-09-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser irradiation apparatus, laser irradiation method, and method for manufacturing semiconductor device |
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