JPH05179446A - 帯状のサブストレートを連続的に被覆する装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【発明の目的】 真空被覆室内で帯状のサブストレート
を連続的に被覆する装置であって、サブストレートの走
行方向に沿って互いに平行にほぼ同じ間隔で配置されか
つキャビティを備え１つの蒸発室容器列を形成しかつ導
電性のセラミックから成るほぼ同じ大きさ及び構造の複
数の蒸発室容器を有しており、蒸着線材を連続供給する
ようになっている形式のものにおいて、個々のソースの
相互作用を小さくし、これによって被覆均一性を改善し
て、付加的な構成手段及びコストなしに著しく改善され
た被覆品質を得るようにする。 【発明の構成】 キャビティＫの面積が蒸発室容器１の
面積よりも著しく小さく構成してあり、かつ隣接の両方
の蒸発室容器のキャビティが互いにずらして配置され
て、かつサブストレートの走行方向Ａに対して横方向に
延びる狭い１つの被覆区域Ｂをオーバラップさせてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空被覆室内で帯状の
サブストレートを連続的に被覆する装置であって、サブ
ストレートの走行方向に沿って互いに平行にほぼ同じ間
隔で配置されかつキャビティを備えていて１つの蒸発室
容器列を形成するほぼ同じ大きさ及び構造の複数の蒸発
室容器を有しており、蒸発室容器が全体的に導電性のセ
ラミックから成っていてかつ直接的な通電によって加熱
可能であり、蒸着しようとする線材を蒸発室容器へ連続
的に供給するための装置が設けられている形式のものに
関する。

【０００２】

【従来の技術】真空被覆室内で帯状のサブストレートを
連続的に被覆する前記形式の装置は、ドイツ連邦共和国
特許第４０２７０３４号公報により公知である。

【０００３】さらに、被覆しようとするサブストレート
にできるだけ均一な被覆厚さを達成するために、蒸発室
容器に相応する室を２列若しくはそれ以上の列にずらし
て配置し、室を側方から見て互いにオーバラップさせ
て、蒸発隙間を生ぜしめないようにする装置がドイツ連
邦共和国特許第９７０２４６号公報により公知である。

【０００４】帯状のサブストレートを連続的に蒸着させ
る公知の装置（フランス国特許公開第２０５２４３３号
公報）においては、蒸発器として複数の蒸発室容器を設
けてあり、蒸発室容器がサブストレートの走行方向に対
して垂直に配置されていて、連続的に運動可能であっ
て、ソース材料で補充される。個々の蒸発室容器の加熱
は個別に調節可能である。このような蒸発室容器は欠点
として線材の形で供給される金属の蒸発には特に適して
いない。

【０００５】さらに帯状のサブストレートを連続的に蒸
着させる公知の装置（日本国特開平１−２１９１５７
号）においては、複数の蒸発室容器が互いに同じ間隔を
置いてサブストレート走行方向に配置されていて、直接
的な通電によって加熱可能である。

【０００６】前述の公知の装置はすべて次のような欠点
を有しており、すなわち個々のソースの蒸発室容器のオ
ーバラップによって、被覆しようとする帯材に不均一な
層分布が生じる。このような層分布は理想的な場合でも
蒸発室容器上で最大若しくは蒸発室容器間で最小の波形
の分布である。達成される最良の層均一性は最大の振幅
と最小の振幅によって規定される。振幅自体は個々のソ
ースの幾何学的な配置及びエミッション特性（分布
率）、並びに個々のソースの相互作用に関連している。

【０００７】ドイツ連邦共和国特許第９７０２４６号公
報に記載の前述の装置においては、欠点として最大３ｍ
の被覆幅で１μｍ／sec を越える通常の被覆率の高率被
覆に対する選択性が得られない。それというのは、連続
的な線材供給が不可能であり、線材の蒸着のための必要
なエネルギ供給が技術的に最も問題であるからである。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、個々
のソースの相互作用を小さくし、これによって被覆均一
性を改善して、付加的な構成手段及びコストなしに著し
く改善された被覆品質を得るようにすることである。さ
らに、蒸発室容器の保持を簡単にすることである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記課題を達成するため
に本発明の構成では、キャビティの面積が蒸発室容器の
面積よりも著しく小さく、有利には１：２の比で構成さ
れており、かつ隣接する両方の蒸発室容器のキャビティ
が互いにずらして配置されていて、かつサブストレート
の走行方向に対して横方向に延びる狭い１つの被覆区域
をオーバラップさせている。

【００１０】本発明の有利な構成では被覆区域の幅が零
と２×ａとの間の範囲にあり、この場合２×ａが蒸発室
容器の長さの半分よりも小さくなっている。

【００１１】

【作用効果】キャビティをずらして配置したことによ
り、蒸気原子の相互の衝突の回数（蒸気原子の自由な運
動長さはほぼ３ｍｍである）、ひいては相互作用が減少
せしめられる。これによって、蒸発室容器上で最大若し
くは蒸発室容器間で最小の偏平な波形の高密度分布が行
われ、ひいては蒸着しようちする被覆層の均一性が改善
される。被覆層の経過は、先行技術を開示するドイツ連
邦共和国特許第４０２７０３４号公報にすでに記載され
ているように、１つの数式で表される。

【００１２】

【実施例】図面に示すように、方形の蒸発室容器１，
１′，１″，・・は上面に同じく方形の凹所を有してお
り、この凹所は以下キャビティＫと呼ぶ。蒸発室容器
１，１′，１″，・・は端面で、ほぼ円形の緊締片２，
２′，２″，・・によって保持されており、蒸発室容器
の縦軸線Ｌ，Ｌ′，Ｌ″，・・が互いに所定の間隔Ｘを
置いてかつ互いに平行に延びるように配置されている。
個別の蒸発室容器１，１′，１″，・・の横軸線は、す
べての蒸発室容器１，１′，１″・・、ひいては蒸発室
容器列４の共通の中心線３と合致している。被覆しよう
とする帯材は蒸発室容器列の中心線３に対して垂直に帯
材走行方向Ａで蒸発室容器列を越えて運動可能である。

【００１３】蒸発室容器１，１′，１″，・・のキャビ
ティＫは横軸線を蒸発室容器列の中心線３から所定の距
離ａだけ交互にずらされており、この場合しかしながら
すべてのキャビティＫはハッチングして示す狭い１つの
被覆区域Ｂを互いにオーバラップさせており、この狭い
被覆区域は帯材走行方向Ａに対して横方向に延びてい
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】Ａｌ・被覆のための蒸発室容器の概略的平面
図。

【符号の説明】

１，１′，１″ 蒸発室容器、 ２，２′，２″ 緊
締片、 ３ 中心線、 ４ 蒸発室容器列、 Ｋ
キャビティ、 Ｂ 被覆区域

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空被覆室内で帯状のサブストレートを
   連続的に被覆する装置であって、サブストレートの走行
   方向（Ａ）に沿って互いに平行にほぼ同じ間隔で配置さ
   れかつキャビティ（Ｋ）を備えていて１つの蒸発室容器
   列を形成するほぼ同じ大きさ及び構造の複数の蒸発室容
   器（１，１′，１″）を有しており、蒸発室容器（１，
   １′，１″）が全体的に導電性のセラミックから成って
   いてかつ直接的な通電によって加熱可能であり、蒸着し
   ようとする線材を蒸発室容器へ連続的に供給するための
   装置が設けられている形式のものにおいて、キャビティ
   （Ｋ）の面積が蒸発室容器（１，１′，１″）の面積よ
   りも著しく小さく、有利には１：２の比で構成されてお
   り、かつ隣接する両方の蒸発室容器（１，１′，１″）
   のキャビティ（Ｋ）が互いにずらして配置されていて、
   かつサブストレートの走行方向（Ａ）に対して横方向に
   延びる狭い１つの被覆区域（Ｂ）をオーバラップさせて
   いることを特徴とする、帯状のサブストレートを連続的
   に被覆する装置。
2. 【請求項２】 被覆区域（Ｂ）の幅が零と２×ａとの間
   であり、この場合２×ａが有利には蒸発室容器（１，
   １′，１″）の長さの半分よりも小さくなっている請求
   項１記載の装置。