JPH05172641A - 光検出器 - Google Patents
光検出器Info
- Publication number
- JPH05172641A JPH05172641A JP34146491A JP34146491A JPH05172641A JP H05172641 A JPH05172641 A JP H05172641A JP 34146491 A JP34146491 A JP 34146491A JP 34146491 A JP34146491 A JP 34146491A JP H05172641 A JPH05172641 A JP H05172641A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- wavelength
- photodetector
- signal
- branching means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定精度が高く複数の波長の光を同時に検出
することのできる光検出器を実現することにある。 【構成】 複数の波長の光を同時に検出する光検出器に
おいて、入力光を特定波長に対し長波長側と短波長側と
に分岐する複数の光分岐手段の組み合わされて構成され
る分光手段を設け、分光手段の複数の出力光をそれぞれ
検出する複数の光検出素子を設ける。
することのできる光検出器を実現することにある。 【構成】 複数の波長の光を同時に検出する光検出器に
おいて、入力光を特定波長に対し長波長側と短波長側と
に分岐する複数の光分岐手段の組み合わされて構成され
る分光手段を設け、分光手段の複数の出力光をそれぞれ
検出する複数の光検出素子を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の波長の光を同時
に検出する光検出器に関し、特にプリズム、回折格子等
を用いずに高精度測定ができるようにした光検出器に関
する。
に検出する光検出器に関し、特にプリズム、回折格子等
を用いずに高精度測定ができるようにした光検出器に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来の光検出器は、１つの光検出素子に
被測定光を入射し、この光検出素子の波長感度を有する
範囲内で、入射光の全体の光量を検出して、光強度とし
て出力していた。しかし、近年のレーザ光の発達に伴
い、複数の波長の光を同時に検出する光検出器が必要と
なった。ここで、複数の波長の光を同時に検出する光検
出器の一例を図３に示す。図３において１はプリズム、
２は複数の光検出素子を並べたライン型の光検出器であ
る。被測定光１００はプリズム１により複数の波長に分
光され光検出器２の各光検出素子に入射される。この結
果、各光検出素子の出力から分光された波長についての
強度信号を得ることができる。
被測定光を入射し、この光検出素子の波長感度を有する
範囲内で、入射光の全体の光量を検出して、光強度とし
て出力していた。しかし、近年のレーザ光の発達に伴
い、複数の波長の光を同時に検出する光検出器が必要と
なった。ここで、複数の波長の光を同時に検出する光検
出器の一例を図３に示す。図３において１はプリズム、
２は複数の光検出素子を並べたライン型の光検出器であ
る。被測定光１００はプリズム１により複数の波長に分
光され光検出器２の各光検出素子に入射される。この結
果、各光検出素子の出力から分光された波長についての
強度信号を得ることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図３の従来例
において、分光手段としてプリズム１や回折格子を用い
ると、光の回折による被測定光以外の光が光検出器２に
回り込む場合がある。また、図４に示すようにプリズム
１ａに光学部品の不完全性による”イ”のような欠陥が
あった場合、通常では破線“ロ”のように光検出器２の
光検出素子”ニ”に入射するはずの波長が、欠陥“イ
“によって実線“ハ”のように光検出器２の光検出素子
“ホ”に入射してしまうことになる。この結果、光強度
等の測定精度が低下してしまうことになる。従って本発
明の目的は、測定精度が高く複数の波長の光を同時に検
出することのできる光検出器を実現することにある。
において、分光手段としてプリズム１や回折格子を用い
ると、光の回折による被測定光以外の光が光検出器２に
回り込む場合がある。また、図４に示すようにプリズム
１ａに光学部品の不完全性による”イ”のような欠陥が
あった場合、通常では破線“ロ”のように光検出器２の
光検出素子”ニ”に入射するはずの波長が、欠陥“イ
“によって実線“ハ”のように光検出器２の光検出素子
“ホ”に入射してしまうことになる。この結果、光強度
等の測定精度が低下してしまうことになる。従って本発
明の目的は、測定精度が高く複数の波長の光を同時に検
出することのできる光検出器を実現することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明では、複数の波長の光を同時に検出す
る光検出器において、入力光を特定波長に対し長波長側
と短波長側とに分岐する複数の光分岐手段の組み合わさ
れて構成される分光手段と、この分光手段の複数の出力
光をそれぞれ検出する複数の光検出素子とを備えたこと
を特徴とするものである。
るために、本発明では、複数の波長の光を同時に検出す
る光検出器において、入力光を特定波長に対し長波長側
と短波長側とに分岐する複数の光分岐手段の組み合わさ
れて構成される分光手段と、この分光手段の複数の出力
光をそれぞれ検出する複数の光検出素子とを備えたこと
を特徴とするものである。
【０００５】
【作用】被測定光は特定の波長透過特性を有する光分岐
手段により特定波長から長波長側と短波長側に分割され
る。さらに分割された出力光は別の波長透過特性を有す
る光分岐手段によりさらに分割されていくことにより、
分割された各出力光はそれぞれ特定の波長間に限定され
る。
手段により特定波長から長波長側と短波長側に分割され
る。さらに分割された出力光は別の波長透過特性を有す
る光分岐手段によりさらに分割されていくことにより、
分割された各出力光はそれぞれ特定の波長間に限定され
る。
【０００６】
【実施例】以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明に係る光検出器の一実施例を示す構成ブロ
ック図である。３、４、５、６、７、８及び９は入力光
を特定波長から長波長側と短波長側とに分岐する光分岐
手段、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６及び
１７は光検出素子、１００は被測定光、１０１、１０
２、１０３、１０４、１０５、１０６、１０７、１０
８、１０９、１１０、１１１、１１２、１１３及び１１
４は光信号である。ここで、光分岐手段３、４、５、
６、７、８及び９を組み合わせることにより分光手段５
０を構成している。
図１は本発明に係る光検出器の一実施例を示す構成ブロ
ック図である。３、４、５、６、７、８及び９は入力光
を特定波長から長波長側と短波長側とに分岐する光分岐
手段、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６及び
１７は光検出素子、１００は被測定光、１０１、１０
２、１０３、１０４、１０５、１０６、１０７、１０
８、１０９、１１０、１１１、１１２、１１３及び１１
４は光信号である。ここで、光分岐手段３、４、５、
６、７、８及び９を組み合わせることにより分光手段５
０を構成している。
【０００７】図１に示す実施例の動作を説明する。ここ
で光分岐手段３は図２中”ニ“、光分岐手段４は図２
中”ヘ“、光分岐手段５は図２中”ロ“、光分岐手段６
は図２中”ト“、光分岐手段７は図２中”ホ“、光分岐
手段８は図２中”イ“、光分岐手段９は図２中”ハ“の
波長透過特性をそれぞれ有する。被測定光１００は光分
岐手段３により光信号１０１及び１０２の２つに分岐さ
れる。光信号１０１は透過光であるので図２よりλ4 よ
り長波長側の光に、光信号１０２は反射光なのでλ4 よ
り短波長側の光に分離される。その後、光信号１０１は
光分岐手段４により光信号１０３及び１０４の２つに分
岐される。光信号１０３は透過光であるので図２よりλ
6 より長波長側の光に、光信号１０４は反射光なのでλ
6 より短波長側の光に分離される。光信号１０３はさら
に光分岐手段６により光信号１０７及び１０８の２つに
分岐され、それぞれ光検出素子１０及び１１により検出
される。
で光分岐手段３は図２中”ニ“、光分岐手段４は図２
中”ヘ“、光分岐手段５は図２中”ロ“、光分岐手段６
は図２中”ト“、光分岐手段７は図２中”ホ“、光分岐
手段８は図２中”イ“、光分岐手段９は図２中”ハ“の
波長透過特性をそれぞれ有する。被測定光１００は光分
岐手段３により光信号１０１及び１０２の２つに分岐さ
れる。光信号１０１は透過光であるので図２よりλ4 よ
り長波長側の光に、光信号１０２は反射光なのでλ4 よ
り短波長側の光に分離される。その後、光信号１０１は
光分岐手段４により光信号１０３及び１０４の２つに分
岐される。光信号１０３は透過光であるので図２よりλ
6 より長波長側の光に、光信号１０４は反射光なのでλ
6 より短波長側の光に分離される。光信号１０３はさら
に光分岐手段６により光信号１０７及び１０８の２つに
分岐され、それぞれ光検出素子１０及び１１により検出
される。
【０００８】ここで光信号１０７は透過光であるので図
２よりλ7 より長波長側の光に、光信号１０８は反射光
なのでλ7 より短波長側の光に分離されている。この結
果、光信号１０７は光分岐手段３、４及び６を全て透過
したことになるのでλ7 より長波長側の光になってい
る。一方、光信号１０８は光分岐手段３及び４を透過
し、光分岐手段６で反射したのでλ6 からλ7 の間の波
長の光に限定される。
２よりλ7 より長波長側の光に、光信号１０８は反射光
なのでλ7 より短波長側の光に分離されている。この結
果、光信号１０７は光分岐手段３、４及び６を全て透過
したことになるのでλ7 より長波長側の光になってい
る。一方、光信号１０８は光分岐手段３及び４を透過
し、光分岐手段６で反射したのでλ6 からλ7 の間の波
長の光に限定される。
【０００９】従って、光検出素子１０ではλ7 より長波
長側の光強度、光検出素子１１ではλ6 からλ7 の間の
波長の光強度、光検出素子１２ではλ4 からλ5 の間の
波長の光強度、光検出素子１３ではλ5 からλ6 の間の
波長の光強度、光検出素子１４ではλ1 からλ2 の間の
波長の光強度、光検出素子１５ではλ1 より短波長側の
光強度、光検出素子１６ではλ2 からλ3 の間の波長の
光強度、光検出素子１７ではλ3 からλ4 の間の波長の
光強度がそれぞれ検出される。
長側の光強度、光検出素子１１ではλ6 からλ7 の間の
波長の光強度、光検出素子１２ではλ4 からλ5 の間の
波長の光強度、光検出素子１３ではλ5 からλ6 の間の
波長の光強度、光検出素子１４ではλ1 からλ2 の間の
波長の光強度、光検出素子１５ではλ1 より短波長側の
光強度、光検出素子１６ではλ2 からλ3 の間の波長の
光強度、光検出素子１７ではλ3 からλ4 の間の波長の
光強度がそれぞれ検出される。
【００１０】なお、図１の実施例では３回の光分岐によ
り、被測定光１００を８つの波長範囲に分割する場合を
示したが、一般に光分岐をｎ回行えば被測定光１００の
波長範囲を２n に分割できる。但し、光分岐手段は入射
される光信号の波長成分を分割できる波長透過特性を有
すれよく、必ずしも均等に分割する必要はない。
り、被測定光１００を８つの波長範囲に分割する場合を
示したが、一般に光分岐をｎ回行えば被測定光１００の
波長範囲を２n に分割できる。但し、光分岐手段は入射
される光信号の波長成分を分割できる波長透過特性を有
すれよく、必ずしも均等に分割する必要はない。
【００１１】また、図１の実施例では被測定光１００の
光強度は各光分岐手段における吸収による損失以外な
く、光検出素子に効率よく光を供給することができ、ミ
ラー等を介することにより光検出素子を連続的に配置す
る、例えば同一基板上に作成した光検出素子を用いるこ
ともできる。
光強度は各光分岐手段における吸収による損失以外な
く、光検出素子に効率よく光を供給することができ、ミ
ラー等を介することにより光検出素子を連続的に配置す
る、例えば同一基板上に作成した光検出素子を用いるこ
ともできる。
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。プリズム及び回
折格子等を用いずに入力光を特定波長から長波長側と短
波長側とに分岐する複数の光分岐手段の組み合わせによ
り構成される分光手段を用いて光分岐の回数を増加さ
せ、波長範囲を細かく分割することによって高測定精度
で複数の波長の光を同時に検出することができる。ま
た、プリズム及び回折格子等から成る構成のように可動
部を必要としない。
本発明によれば次のような効果がある。プリズム及び回
折格子等を用いずに入力光を特定波長から長波長側と短
波長側とに分岐する複数の光分岐手段の組み合わせによ
り構成される分光手段を用いて光分岐の回数を増加さ
せ、波長範囲を細かく分割することによって高測定精度
で複数の波長の光を同時に検出することができる。ま
た、プリズム及び回折格子等から成る構成のように可動
部を必要としない。
【図１】本発明に係る光検出器の一実施例を示す構成ブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】図１で用いる各光分岐手段の波長透過特性を示
す特性曲線図である。
す特性曲線図である。
【図３】従来のプリズムを用いた光検出器の一例を示す
構成ブロック図である。
構成ブロック図である。
【図４】図３の従来例における問題点を示す構成ブロッ
ク図である。
ク図である。
１，１ａ プリズム ２ 光検出器 ３，４，５，６，７，８，９ 光分岐手段 １０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７ 光
検出素子 ５０ 分光手段 １００ 被測定光 １０１，１０２，１０３，１０４，１０５，１０６，１
０７，１０８，１０９，１１０，１１１，１１２，１１
３，１１４ 光信号
検出素子 ５０ 分光手段 １００ 被測定光 １０１，１０２，１０３，１０４，１０５，１０６，１
０７，１０８，１０９，１１０，１１１，１１２，１１
３，１１４ 光信号
Claims (1)
- 【請求項１】複数の波長の光を同時に検出する光検出器
において、 入力光を特定波長に対し長波長側と短波長側とに分岐す
る複数の光分岐手段の組み合わされて構成される分光手
段と、 この分光手段の複数の出力光をそれぞれ検出する複数の
光検出素子とを備えたことを特徴とする光検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34146491A JPH05172641A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 光検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34146491A JPH05172641A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 光検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05172641A true JPH05172641A (ja) | 1993-07-09 |
Family
ID=18346271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34146491A Pending JPH05172641A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 光検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05172641A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07198597A (ja) * | 1993-12-29 | 1995-08-01 | Kurabo Ind Ltd | 光電測定装置 |
| JPH10325755A (ja) * | 1997-01-22 | 1998-12-08 | Nippon Steel Corp | 分光分析装置および分光分析方法 |
-
1991
- 1991-12-24 JP JP34146491A patent/JPH05172641A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07198597A (ja) * | 1993-12-29 | 1995-08-01 | Kurabo Ind Ltd | 光電測定装置 |
| JPH10325755A (ja) * | 1997-01-22 | 1998-12-08 | Nippon Steel Corp | 分光分析装置および分光分析方法 |
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