JPH05172038A - サイクロトロン共鳴イオンエンジン - Google Patents

サイクロトロン共鳴イオンエンジン

Info

Publication number
JPH05172038A
JPH05172038A JP4048770A JP4877092A JPH05172038A JP H05172038 A JPH05172038 A JP H05172038A JP 4048770 A JP4048770 A JP 4048770A JP 4877092 A JP4877092 A JP 4877092A JP H05172038 A JPH05172038 A JP H05172038A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic field
generating
grid
ion
discharge chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4048770A
Other languages
English (en)
Inventor
Gianfranco Cirri
チリ・ジアンフランコ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
PROEL TECHNOL SpA
PUROERU TECHNOL SpA
Original Assignee
PROEL TECHNOL SpA
PUROERU TECHNOL SpA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by PROEL TECHNOL SpA, PUROERU TECHNOL SpA filed Critical PROEL TECHNOL SpA
Publication of JPH05172038A publication Critical patent/JPH05172038A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F03MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F03HPRODUCING A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F03H1/00Using plasma to produce a reactive propulsive thrust
    • F03H1/0037Electrostatic ion thrusters
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00Ion beam tubes
    • H01J27/02Ion sources; Ion guns
    • H01J27/16Ion sources; Ion guns using high-frequency excitation, e.g. microwave excitation
    • H01J27/18Ion sources; Ion guns using high-frequency excitation, e.g. microwave excitation with an applied axial magnetic field

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 ガス中での放電により主プラズマを発生する手段を備
え、調節用及び範囲限定用の磁場と電磁場とを同時に用
いて放電させ、電磁場がガス中の電子のサイクロトロン
共鳴効果を利用できるような周波数をもつイオンエンジ
ンを提供することを目的としている。本イオンエンジン
は静止磁場を発生する手段(5、7)及びサイクロトロ
ン周波数の電磁場を発生し、印加する手段(9、11)を
有し、サイクロトロン共鳴効果を利用することによっ
て、耐熱性材料から成る最適化グリッド装置を用いてプ
ラズマ発生プロセス及びイオンビーム励振プロセスを改
善でき、これらのプロセスは磁場の強さに左右される動
作条件の違いを整合するように最適化される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、供給ラインからの推進
ガスをイオン化する放電室と、上記推進ガスをイオン化
するイオン化装置とを有するイオンエンジン、特に宇宙
で応用される推進用のイオン発生装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来技術】公知のイオンエンジンにおいては、イオン
ビームの取り出される主プラズマは放電室において以下
の二つの基本的な仕方で得られる。 a)電子を放出できる陰極(加熱されそして“キーパ
ー”と呼ばれる電極を備え得る熱フィラメントまたは中
空陰極)と陽極との間の連続した放電に基いたプラズマ
源を用いて、静止磁場内でイオンを加速して放電室内に
存在するガスをイオン化させること; b)無線周波数(周波数:数MHz のオーダー)の電磁場
で放電室内に存在するガスを励起させること。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以下の説明
から当業者には明らかとなるように、公知の技術に関す
る多くの利点を保持して放電室内に主プラズマを発生さ
せる異なった試みに関するものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、放電室
内に存在する荷電粒子(電子及びイオン)は磁場によっ
て調節され、範囲を決められ、また推進ガスのイオン化
は自由電子をそれらのサイクロトロン周波数で共振する
周波数の電磁場によって行われる。従って、実際には、
本発明による装置には、ガスをイオン化するため、範囲
限定及び調節用の実質的に静止磁場を発生する第1装置
及びこの第1装置によって発生された静止磁場の強さに
相応した電子のサイクロトロン共鳴周波数に近いまたは
この周波数に等しい周波数をもつ電磁場を印加する第2
装置が設けられる。本発明による装置のさらに有利な実
施例は特許請求の範囲に示される。
【0005】
【作用】イオンを発生するのにサイクロトロン共鳴を応
用することは技術分野、例えば材料のイオンエッチング
や沈積の技術分野において公知である。しかしながら、
この形式のプラズマ発生技術はイオン推進の分野、特に
宇宙での応用分野においては全く考えられてなかった。
しかしながら、驚くべきことには、サイクロトロク共鳴
発生によるイオンエンジンの構成は以下に述べるように
従来の技術に比べて多くの利点があることを見出した。
静止磁場は永久磁石及び(または)コイルによって発生
でき、そして主プラズマ発生プロセスのパラメータが考
察されるべきである。このような磁場は種々の動作条件
の下でイオンエンジンの性能を最適化するため調整可能
な強さをもつように形成され得る。一層特に、本発明に
よるイオンエンジンの特に有利な実施例によれば、磁場
は以下の成分を有することができる。 ・好ましくは永久磁石(コイルの使用を除外するもので
はないが)によって発生され、放電室に沿ったサイクロ
トロン共鳴の作用を強めるように適当な空間的分布(通
常はイオンビーム取り出し領域の方向においてイオンの
速度を高めるため一様ではない)をもちしかも同時に無
線周波数のエネルギとプラズマとの結合を最適化させる
ことができかつプラズマの範囲を制限して壁に向う損失
を制限できる一定成分、磁場のこ一定成分に励振周波
数が整合される; ・コイルによって発生された補助の調整可能名成分、こ
の調整はガスの流れ(及び従って放電室内に圧力)が変
動する時にイオン発生を最大にして種々の動作条件の下
でのガス消費量を最小にさせるのに用いられる。
【0006】
【実施例】本発明は、添付図面に概略縦断面図で示す本
発明による装置の実施例についての以下の説明から明瞭
に理解され得る。全体を1で示す放電室は、ガス供給ラ
イン3から推進ガスを受ける。放電室1の周りには静止
磁場を発生する符号5、7で示す装置が設けられ、この
装置は永久磁石及び(または)コイル並びに組合さった
電源装置とから成っている。図示例では、磁場を発生す
る装置は、静止磁場の一定成分を発生する永久磁石5と
可変成分を発生するコイル7とを備えている。これらの
装置の配置及び形状は、概略的に示すものと異なっても
よいことが理解されるべきである。
【0007】サイクロトロン共鳴に近い周波数での電子
の加速用電磁場は、無線周波数またはマイクロ波発生装
置9及び全体を11で示す結合装置によって得られる。一
つの可能な実施例では、結合装置11はガスの入口からイ
オンビーム取り出し領域までのプラズマの密度を増大さ
せ、またはエンジンの長手方向軸線に沿って電荷を変化
させ、放電室の種々の領域におけるプラズマと無線周波
数のエネルギとの結合を最適化させることができるよう
にしている。これは、エンジンの軸線に沿って変化され
得るパラメータをもつ結合装置を用いて電場の空間的発
生を変えることによって達成される。同様に、磁場の長
手方向分布は放電室の種々の領域内のプラズマ発生プロ
セスを最適化するようにされ得る。
【0008】放電室1の上部はグリッド装置で終端さ
れ、このグリッド装置はイオンビームをプラズマから取
り出し、そして加速させる一方、イオン化されてない推
進ガスの流れを制限して推進材自体の利用を改善させ
る。図示例では、このグリッド装置は中間加速グリッド
13を備え、この中間加速グリッド13は、加速電圧発生装
置15によって分極され、加速電圧発生装置15の負極は中
間加速グリッド13に接続されている。グリッド装置はま
た内方スクリーングリッド17及び外方減速グリッド19を
備えている。これら二つのグリッド17、19は、外部から
放電室1内に電子が入り込むのを阻止ししかも放電室1
からのイオンによって加速グリッド13が過剰にボンバー
ドされ、浸蝕されるのを阻止するように分極される。ま
た減速グリッド19は接地され、スクリーングリッド17は
放電室1の壁と同電位にあり、電源装置21の正極に接続
され、電源装置21はイオンエンジンの推進力に関連した
電力を供給する。
【0009】グリッド装置は必要ならば省略でき、その
場合には適当な磁場が放電室1内の限られた範囲に粒子
を維持し、そして運動エネルギをビームのイオンへ伝達
できる。この磁場は装置5、7またはこのために特に設
けられた他の磁石によって発生され得る。加速グリッド
13と減速グリッド19との間には、“発散装置”と呼ばれ
る第4のグリッド20が設けられ得、このグリッド20は、
電荷の交換現象で発生され、そして加速グリッド13で捕
らえられるイオン流れを減少させる働きをもち、それに
より加速グリッド13の浸蝕を減少させ、その結果、運転
寿命が伸びるという効果が得られる。グリッド20は、グ
リッ度装置の他のグリッドより負の電位にあり、そして
適当な電源装置22に接続されている。
【0010】取り出しプロセスを最適化し、かつグリッ
ドにおける電荷の衝撃による浸蝕現象を最少化するため
に、取り出し系のグリッドのうちの一つまたはそれ以上
は、タングステン、タンタル等のような耐熱性材料の線
25(図2)のマトリックスから成ることができ、線25の
交点は電気スポット溶接されている。このマトリックス
の幾何学的特性(格子の大きさ及び形状並びに線の横断
面)は、グリッドの浸蝕を減少ししかも取り出しプロセ
スを最適化するために最適化される。
【0011】エンジンはまた、放電室1に対して用いた
ガスと同じ推進ガスが供給される中性化装置23を有し、
この装置はe- 電子の放出でイオンエンジンの動作に伴
う正の電荷の流れを補償する機能をもち、エンジンの装
着される宇宙船の静電気帯電及び放電室1から取り出さ
れた正のイオンのビームによる空間電荷の結果としての
エンジン自体の動作の停止を防止する。
【0012】サイクロトロン共鳴状態は静止磁場Bのガ
ウス当たり2.9MHzの励振周波数で現れる。ガス分子をイ
オン化するのに十分なエネルギをもつ電子の描く円は、
励振電場が同じ方向をもつ領域をカバーしなければなら
ずしかもいずれの場合も放電室1の寸法より小さくなけ
ればならないので、励振周波数及び磁場の選択は、放電
室の寸法によって下方端が制限されることになる。磁場
B内でエネルギTeの電子の描く円の半径reは re=3.8 √Te/B(reはcm、Teはev、Bはガウス) で表される。励振周波数及び磁場の上限は、高強度の磁
場を発生する実際の実現可能性及び(または)有利性に
よって表される。今日の技術状態では、確認された有効
範囲は10MHz −3.5 ガウス(ほぼ5cmのサイクロトロン
円の半径に相応する)と10GHz −3500ヘルツとの間にあ
る。しかしながら、この範囲の将来の拡大は技術の進歩
や特殊な寸法または性能をもつエンジンを構成する必要
性により不可能ではない。
【0013】励振電磁場の周波数及び振幅をどのように
選択するかは、放電室1の動作容積内への電磁場の入り
込み及びプラズマへのエネルギ移転の効率に影響を及ぼ
す物理的変数の空間的分布に依存し、これらの物理的変
数は中性粒子の密度(言い換えれば電気的に帯電されな
い粒子の密度)、イオンの密度及び電子の平均自由行程
から成っている。
【0014】図面は単に本発明の実際の例として設けら
れた一例を示すに過ぎず、本発明は発明の概念自体の範
囲から離れることなしに形状及び配置において変更でき
ることが理解されるべきである。
【0015】
【発明の効果】公知のイオンエンジンと比較して本発明
による装置で得られる主な利点は次の通りである。 a)連続した放電に基くプラズマ源を備えたエンジンに
比べて; a1)プラズマによって腐蝕され、その結果装置の寿命に
とって決定的な要素となる陰極及び陽極または他の加速
電極がないこと; a2)放電室内のプラズマの一様性がよく、その結果装置
の信頼性及び寿命に悪影響を及ぼすプラズマの集中が避
けられ、発散及び方向安定性に関する発生ビームの特性
がよいこと; a3)放電室内の構成要素の数が少なく、その結果設計の
簡略性及び信頼性が高いこと。 b)無線周波数で励振されるプラズマ源を備えたエンジ
ンに比べて; b1)静止磁場はプラズマの範囲を良好に決めることがで
き、壁に向う損失を制限しかつ比較的低い圧力での動作
及び電力の節約が可能となること; b2)静止磁場は動作条件に従って実時間で最適化され
得、その結果イオンエンジンの融通性をさらに高める付
加的なパラメータを構成すること。 c)今日公知の全てのイオンエンジント比べて; c1)電子のサイクロトロン共鳴を利用することによっ
て、電子のエネルギの選択的変換を可能にし、サイクロ
トロン共鳴の状態が存在しない冷状態(イオンエネルギ
が1eV以下)イオンをそのままにしておくこと; c2)上記c1)に記載したことの結果として、イオン及び
従って放電室の壁の温度を制限でき、エンジンをより簡
単かつ信頼できるように設計できること; c3)上記c1)に記載したことの結果として、エネルギ分
散の小さなイオンを得ることができ、イオンビーム収束
系の断定可能で正確な動作が可能となること; c4)上記c3)に記載したことの結果として、取り出しグ
リッドにおけるイオン衝撃の大きさ及び影響を制限する
高性能の収束系を設計でき、その結果これらのグリッド
の信頼性を高めかつ寿命を伸ばすことができること; c5)上記c3)に記載したことの結果として、放電室から
の中性粒子に対してイオンの取り出しを最適化できる高
性能の収束系を設計でき、推進ガスの消費量と推力との
比率を改善できること; c6)サイクロトロン共鳴を利用することによって、高電
子エネルギ(10KeV まで)を得ることができ、多数イオ
ン(二重電荷、三重電荷等をもつ)を高い割合で得られ
る可能性がもたらされ、その結果、推進ガスの消費量と
推力との比率を改善することができる。事実、推力Tは
イオンの電荷の平方根に比例する。多数イオンの悪影響
(放電室の壁及びグリッドの浸蝕が大きいこと)はエン
ジンを注意深く設計すること、特に取り出しレンズ系を
(グリッドの数、形状及び分極に関して)最適化するこ
とによって避けられる。 c7)サイクロトロン共鳴を利用することによって、低い
圧力(10-4トールのオーダ)でも高密度(1011〜1
12イオン/cm3 )のオーダ)のプラズマを放電室内で
得ることができ、推進ガスの消費量と推力との比率を改
善することができること。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例を示す概略縦断面図。
【図2】 グリッドの実施例を示す拡大部分詳細図。
【符号の説明】
1:放電室 3:ガス供給ライン 5:永久磁石 7:コイル 9:無線周波数またはマイクロ波発生装置 11:結合装置 13:中間加速グリッド 15:加速電圧発生装置 17:内方スクリーングリッド 19:外方減速グリッド 20:第4のグリッド 21:電源装置 22:電源装置 23:中性化装置 25:線

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】供給ラインからの推進ガスをイオン化する
    放電室と、上記推進ガスをイオン化するイオン化装置と
    を有し、イオン化装置が実質的に静止磁場を発生する第
    1装置と第1装置によって発生された磁場の強さに相応
    した電子のサイクロトロン共鳴周波数に近いまたはこの
    サイクロトロン共鳴周波数に等しい周波数をもつ電磁場
    を発生する第2装置とを備えていることを特徴とする宇
    宙船の推進力を発生するイオン推進装置。
  2. 【請求項2】電磁場が無線周波数またはマイクロ波発生
    装置及び結合装置によって放電室に加えられる請求項1
    に記載のイオン推進装置。
  3. 【請求項3】結合装置が、イオンエンジンの長手方向軸
    線に沿って可変でしかも無線周波数におけるエネルギと
    放電室の種々の領域におけるプラズマとの間の結合を最
    適化する働きをもつパラメータを備えている請求項2に
    記載のイオン推進装置。
  4. 【請求項4】静止磁場を発生する第1装置が、一定磁場
    を発生する第1要素と、可変磁場を発生する第2要素と
    を備えている請求項1、2、3のいずれか一項に記載の
    イオン推進装置。
  5. 【請求項5】静止磁場を発生する第1装置が、可変磁場
    を発生するコイルと、一定磁場を発生するコイルまたは
    永久磁石とを備えている請求項4に記載のイオン推進装
    置。
  6. 【請求項6】静止磁場が、一様でない長手方向分布をも
    ち、プラズマ発生プロセスが放電室の種々の領域におい
    て最適化される請求項1〜5のいずれか一項に記載のイ
    オン推進装置。
  7. 【請求項7】放電室からイオンを取り出すグリッド系を
    有している請求項1〜6のいずれか一項に記載のイオン
    推進装置。
  8. 【請求項8】放電室からイオンを取り出すグリッド系
    が、スクリーングリッドと、加速用グリッドと、減速用
    グリッドとを備えている請求項7に記載のイオン推進装
    置。
  9. 【請求項9】放電室からイオンを取り出すグリッド系
    が、スクリーングリッドと、加速用グリッドと、偏向用
    グリッドと、減速用グリッドとを備えている請求項7に
    記載のイオン推進装置。
  10. 【請求項10】一つまたはそれ以上の上記グリッドが、
    交点を電気スポット溶接した耐熱性材料の線のマトリッ
    クスから成る請求項7、8、9のいずれか一項に記載の
    イオン推進装置。
  11. 【請求項11】推進ガスをイオン化する放電室から発生
    されたイオンを取り出して推進力を発生し、上記イオン
    化を、静止磁場及び電子のサイクロトロン共鳴周波数に
    近いまたはこのサイクロトロン共鳴周波数に等しい周波
    数をもつ電磁場を印加することによって行なうことを特
    徴とするイオンエンジンによる推進力の発生方法。
  12. 【請求項12】磁場の強さが動作条件によって変化され
    る請求項11に記載の方法。
  13. 【請求項13】放電室が、10-4トールのオーダーの圧
    力及び1011〜1012イオン/cm3 のオーダーのプラズ
    マ密度に維持される請求項11または12に記載の方法。
  14. 【請求項14】多数イオンの発生が推進ガスの消費量と
    推進力との比を増大させる働きをする動作パラメータを
    適当に選択することによって最大にされる請求項11〜13
    のいずれか一項に記載の方法。
JP4048770A 1991-03-07 1992-03-05 サイクロトロン共鳴イオンエンジン Pending JPH05172038A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
ITFI910049A IT1246684B (it) 1991-03-07 1991-03-07 Propulsore ionico a risonanza ciclotronica.
IT91A000049 1991-03-07

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05172038A true JPH05172038A (ja) 1993-07-09

Family

ID=11349505

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4048770A Pending JPH05172038A (ja) 1991-03-07 1992-03-05 サイクロトロン共鳴イオンエンジン

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5241244A (ja)
EP (1) EP0505327B1 (ja)
JP (1) JPH05172038A (ja)
AT (1) ATE158384T1 (ja)
DE (1) DE69222211T2 (ja)
IT (1) IT1246684B (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007524784A (ja) * 2003-03-20 2007-08-30 エルウィング エルエルシー 宇宙船のスラスタ
JP2009162178A (ja) * 2008-01-09 2009-07-23 Japan Aerospace Exploration Agency イオン噴射装置、推進装置及び人工衛星
CN115492736A (zh) * 2022-09-29 2022-12-20 哈尔滨工业大学 无磁路微波同轴谐振离子推力器及推力形成方法

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5369953A (en) * 1993-05-21 1994-12-06 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Three-grid accelerator system for an ion propulsion engine
DE69318162T2 (de) * 1993-06-21 1998-12-03 Snecma Vorrichtung zur messung der schubschwankungen eines plasmamotors mit geschlossenem elektronendrift
US5506475A (en) * 1994-03-22 1996-04-09 Martin Marietta Energy Systems, Inc. Microwave electron cyclotron electron resonance (ECR) ion source with a large, uniformly distributed, axially symmetric, ECR plasma volume
IT1269413B (it) * 1994-10-21 1997-04-01 Proel Tecnologie Spa Sorgente di plasma a radiofrequenza
RU2094896C1 (ru) * 1996-03-25 1997-10-27 Научно-производственное предприятие "Новатех" Источник быстрых нейтральных молекул
US5866871A (en) * 1997-04-28 1999-02-02 Birx; Daniel Plasma gun and methods for the use thereof
US6586757B2 (en) 1997-05-12 2003-07-01 Cymer, Inc. Plasma focus light source with active and buffer gas control
US6566667B1 (en) 1997-05-12 2003-05-20 Cymer, Inc. Plasma focus light source with improved pulse power system
US5763930A (en) * 1997-05-12 1998-06-09 Cymer, Inc. Plasma focus high energy photon source
US5977554A (en) * 1998-03-23 1999-11-02 The Penn State Research Foundation Container for transporting antiprotons
US6414331B1 (en) 1998-03-23 2002-07-02 Gerald A. Smith Container for transporting antiprotons and reaction trap
US6576916B2 (en) * 1998-03-23 2003-06-10 Penn State Research Foundation Container for transporting antiprotons and reaction trap
US6334302B1 (en) * 1999-06-28 2002-01-01 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Variable specific impulse magnetoplasma rocket engine
DE19948229C1 (de) * 1999-10-07 2001-05-03 Daimler Chrysler Ag Hochfrequenz-Ionenquelle
US7180081B2 (en) * 2000-06-09 2007-02-20 Cymer, Inc. Discharge produced plasma EUV light source
RU2206186C2 (ru) 2000-07-04 2003-06-10 Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований Способ получения коротковолнового излучения из газоразрядной плазмы и устройство для его реализации
JP3849913B2 (ja) * 2000-10-05 2006-11-22 日立オムロンターミナルソリューションズ株式会社 紙葉類取扱装置
US6804327B2 (en) * 2001-04-03 2004-10-12 Lambda Physik Ag Method and apparatus for generating high output power gas discharge based source of extreme ultraviolet radiation and/or soft x-rays
US7461502B2 (en) 2003-03-20 2008-12-09 Elwing Llc Spacecraft thruster
IL156719A0 (en) * 2003-06-30 2004-01-04 Axiomic Technologies Inc A multi-stage open ion system in various topologies
US7586097B2 (en) * 2006-01-05 2009-09-08 Virgin Islands Microsystems, Inc. Switching micro-resonant structures using at least one director
DE602004024993D1 (de) * 2004-09-22 2010-02-25 Elwing Llc Antriebssystem für Raumfahrzeuge
US7498592B2 (en) * 2006-06-28 2009-03-03 Wisconsin Alumni Research Foundation Non-ambipolar radio-frequency plasma electron source and systems and methods for generating electron beams
US8635850B1 (en) 2008-08-29 2014-01-28 U.S. Department Of Energy Ion electric propulsion unit
GB0823391D0 (en) * 2008-12-23 2009-01-28 Qinetiq Ltd Electric propulsion
FR2985292B1 (fr) 2011-12-29 2014-01-24 Onera (Off Nat Aerospatiale) Propulseur plasmique et procede de generation d'une poussee propulsive plasmique
WO2017071739A1 (en) * 2015-10-27 2017-05-04 Aernnova Plasma accelerator with modulated thrust
RU2716133C1 (ru) * 2018-12-24 2020-03-06 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") Источник быстрых нейтральных молекул

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5779621A (en) * 1980-11-05 1982-05-18 Mitsubishi Electric Corp Plasma processing device
US4684848A (en) * 1983-09-26 1987-08-04 Kaufman & Robinson, Inc. Broad-beam electron source
JPS6276137A (ja) * 1985-09-30 1987-04-08 Hitachi Ltd イオン源
JPH0654644B2 (ja) * 1985-10-04 1994-07-20 株式会社日立製作所 イオン源
JPH0610348B2 (ja) * 1986-07-28 1994-02-09 三菱電機株式会社 イオン注入装置
US4825646A (en) * 1987-04-23 1989-05-02 Hughes Aircraft Company Spacecraft with modulated thrust electrostatic ion thruster and associated method
US4778561A (en) * 1987-10-30 1988-10-18 Veeco Instruments, Inc. Electron cyclotron resonance plasma source
US4937456A (en) * 1988-10-17 1990-06-26 The Boeing Company Dielectric coated ion thruster
US4927293A (en) * 1989-02-21 1990-05-22 Campbell Randy P Method and apparatus for remediating contaminated soil
US5081398A (en) * 1989-10-20 1992-01-14 Board Of Trustees Operating Michigan State University Resonant radio frequency wave coupler apparatus using higher modes

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007524784A (ja) * 2003-03-20 2007-08-30 エルウィング エルエルシー 宇宙船のスラスタ
JP2009162178A (ja) * 2008-01-09 2009-07-23 Japan Aerospace Exploration Agency イオン噴射装置、推進装置及び人工衛星
CN115492736A (zh) * 2022-09-29 2022-12-20 哈尔滨工业大学 无磁路微波同轴谐振离子推力器及推力形成方法
CN115492736B (zh) * 2022-09-29 2024-05-14 哈尔滨工业大学 无磁路微波同轴谐振离子推力器及推力形成方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP0505327A1 (en) 1992-09-23
EP0505327B1 (en) 1997-09-17
ITFI910049A1 (it) 1992-09-07
DE69222211D1 (de) 1997-10-23
DE69222211T2 (de) 1998-03-12
IT1246684B (it) 1994-11-24
ATE158384T1 (de) 1997-10-15
ITFI910049A0 (it) 1991-03-07
US5241244A (en) 1993-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH05172038A (ja) サイクロトロン共鳴イオンエンジン
JP2648235B2 (ja) イオン銃
US4684848A (en) Broad-beam electron source
US5022977A (en) Ion generation apparatus and thin film forming apparatus and ion source utilizing the ion generation apparatus
Jepsen Magnetically Confined Cold‐Cathode Gas Discharges at Low Pressures
JP4630439B2 (ja) 高周波イオン源及び高周波イオン源の作動方法
US20080093506A1 (en) Spacecraft Thruster
US5592055A (en) Radio-frequency plasma source
US4800281A (en) Compact penning-discharge plasma source
US20130067883A1 (en) Spacecraft thruster
US11781536B2 (en) Ignition process for narrow channel hall thruster
Septier Production of ion beams of high intensity
US5899666A (en) Ion drag vacuum pump
US4277939A (en) Ion beam profile control apparatus and method
US4466242A (en) Ring-cusp ion thruster with shell anode
US20200072200A1 (en) High-efficiency ion discharge method and apparatus
US4749910A (en) Electron beam-excited ion beam source
US3308621A (en) Oscillating-electron ion engine
JPH09106778A (ja) 粒子線照射装置
US5434469A (en) Ion generator with ionization chamber constructed from or coated with material with a high coefficient of secondary emission
JPH07161323A (ja) イオン源
JPH07169425A (ja) イオン源
JP3504290B2 (ja) 低エネルギー中性粒子線発生方法及び装置
JPH10275566A (ja) イオン源
CN216391496U (zh) 等离子体生成装置及离子源