JPH0517166B2 - - Google Patents
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- JPH0517166B2 JPH0517166B2 JP61183627A JP18362786A JPH0517166B2 JP H0517166 B2 JPH0517166 B2 JP H0517166B2 JP 61183627 A JP61183627 A JP 61183627A JP 18362786 A JP18362786 A JP 18362786A JP H0517166 B2 JPH0517166 B2 JP H0517166B2
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B23/00—Noble gases; Compounds thereof
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、超電導マグネツトに使用される冷
媒の如く、極低温に冷却するための冷却媒体に最
適な加圧超流動ヘリウムの製造方法に関するもの
である。
媒の如く、極低温に冷却するための冷却媒体に最
適な加圧超流動ヘリウムの製造方法に関するもの
である。
従来の技術
従来から超電導マグネツト等の冷却媒体として
は液体ヘリウムが使用されている。通常の液体ヘ
リウムは質量数が4の4Heからなるものであり、
その4Heの状態図(相図)を第4図に示す。4He
の液相としては、液体ヘリウムIと称される液相
(以下これをHeと記す)と液体ヘリウムと称
される液相(以下これをHeと記す)との2種
の相があり、特に後者のHeは、粘性が実質的
に零であつて所謂超流動現象を示す特異な液相と
して知られており、そこでこのHeは一般に超
流動ヘリウムとも称されている。そしてこのHe
は、Heと比較して格段に熱伝導が良好であ
り、そのためHeを超電導マグネツト等の冷却
媒体として使用すれば、Heを用いた場合より
も格段に冷却効率が良好となる。そこで最近では
Heを超電導マグネツト等の冷却媒体として使
用することが検討され、一部では実用化も開始さ
れている。
は液体ヘリウムが使用されている。通常の液体ヘ
リウムは質量数が4の4Heからなるものであり、
その4Heの状態図(相図)を第4図に示す。4He
の液相としては、液体ヘリウムIと称される液相
(以下これをHeと記す)と液体ヘリウムと称
される液相(以下これをHeと記す)との2種
の相があり、特に後者のHeは、粘性が実質的
に零であつて所謂超流動現象を示す特異な液相と
して知られており、そこでこのHeは一般に超
流動ヘリウムとも称されている。そしてこのHe
は、Heと比較して格段に熱伝導が良好であ
り、そのためHeを超電導マグネツト等の冷却
媒体として使用すれば、Heを用いた場合より
も格段に冷却効率が良好となる。そこで最近では
Heを超電導マグネツト等の冷却媒体として使
用することが検討され、一部では実用化も開始さ
れている。
ところでHeのうちでも、第4図の状態図に
おけるHeと気相との気液境界線(飽和蒸気圧
線)A−B上にあるHe(一般にこれを飽和超
流動ヘリウムと称し、以下Hesと記す)は、比
較的容易に得ることができる。すなわち、状態図
上におけるHeと気相との気液境界線(飽和蒸
気圧線)B−C上の飽和蒸気圧下にあるHe
(以下これをHesと記す)を減圧すれば、飽和
蒸気圧線B−Cに沿つて温度降下し、飽和蒸気圧
下の遷移温度Tλ(≒2.172K)の点Bの越えれば
液相部分がHesとなる。具体的には、例えば
Heを収容した容器内の気相(Heガス)を真空
ポンプにより吸引して減圧するか、あるいはHe
を断熱膨張させればHesを得ることができ
る。
おけるHeと気相との気液境界線(飽和蒸気圧
線)A−B上にあるHe(一般にこれを飽和超
流動ヘリウムと称し、以下Hesと記す)は、比
較的容易に得ることができる。すなわち、状態図
上におけるHeと気相との気液境界線(飽和蒸
気圧線)B−C上の飽和蒸気圧下にあるHe
(以下これをHesと記す)を減圧すれば、飽和
蒸気圧線B−Cに沿つて温度降下し、飽和蒸気圧
下の遷移温度Tλ(≒2.172K)の点Bの越えれば
液相部分がHesとなる。具体的には、例えば
Heを収容した容器内の気相(Heガス)を真空
ポンプにより吸引して減圧するか、あるいはHe
を断熱膨張させればHesを得ることができ
る。
しかしながらこのようにして得られるHes
は、温度が若干でも上昇すればその分ガス化が進
行してしまうから、これを実際に超伝導マグネツ
ト等の冷却媒体に使用するには安定性に欠ける問
題があり、そこで実際の冷却媒体としては、飽和
蒸気圧よりも高い圧力下(例えば大気圧下=
1atm)にあるHe、すなわち所謂加圧超流動ヘ
リウム(以下これをHepと記す)を使用する必
要がある。例えば第4図の状態図上における
1atmのD点のHepについてみれば、等圧下で
は温度が△t1だけ上昇するまではHeの状態を
維持し、さらにHeとなつてから温度が△t2上
昇するまでは液相を維持するから、ガス化までの
温度上昇に余裕(△t1+△t2)があり、したがつ
て冷却媒体として使用した場合に若干の温度上昇
があつてもガス化することなく安定して冷却する
ことができると言える。
は、温度が若干でも上昇すればその分ガス化が進
行してしまうから、これを実際に超伝導マグネツ
ト等の冷却媒体に使用するには安定性に欠ける問
題があり、そこで実際の冷却媒体としては、飽和
蒸気圧よりも高い圧力下(例えば大気圧下=
1atm)にあるHe、すなわち所謂加圧超流動ヘ
リウム(以下これをHepと記す)を使用する必
要がある。例えば第4図の状態図上における
1atmのD点のHepについてみれば、等圧下で
は温度が△t1だけ上昇するまではHeの状態を
維持し、さらにHeとなつてから温度が△t2上
昇するまでは液相を維持するから、ガス化までの
温度上昇に余裕(△t1+△t2)があり、したがつ
て冷却媒体として使用した場合に若干の温度上昇
があつてもガス化することなく安定して冷却する
ことができると言える。
上気のようなHep(加圧超流動ヘリウム)の
従来の製造方法としては次のような方法が知られ
ている。
従来の製造方法としては次のような方法が知られ
ている。
すなわち最も一般的な方法は、大気圧の如き加
圧下のHeをHesと熱交換してその圧力下で
温度降下させ、Hepを得る方法である。この方
法は、原理的には例えば第5図に示すような装置
で実施される。
圧下のHeをHesと熱交換してその圧力下で
温度降下させ、Hepを得る方法である。この方
法は、原理的には例えば第5図に示すような装置
で実施される。
第5図において、容器1の上下方向の中間には
隔壁2が設けられており、この隔壁2によつて容
器1内は上室1A、下室1Bに区分されており、
かつ隔壁2には連通孔3が形成されており、この
連通孔3は栓4によつて開閉可能とされている。
また上室1A内に先端が開口する管路5は断熱膨
張弁6を介して下室1B内の熱交換器7に連絡し
ており、この熱交換器7の先端側は真空ポンプ8
に連結されている。このような装置を用いてHe
pを製造するにあたつては、先ず前記連通孔3
を開放した状態で例えば1atmの圧力下において
容器1の上室1A、下室1B内にHeを注入す
る。そして前記1atmの圧力を保持したまま、栓
4によつて連通孔3を閉じた状態で前記真空ポン
プ8を作動させることにより、上室1A内のHe
を断熱膨張弁6に導き、そのHeを断熱自由
膨張(JT膨張)させることによりHesに変え、
そのHesを下室1B内のHe中に浸漬されて
いる熱交換器7に導いて下室1B内のHeと熱
交換させることにより、そのHeを1atmの圧力
下で温度降下させ、Hepに変化させる。したが
つて下室1BにはHepが得られることになる。
なお連通孔3は栓4によつて一応は閉じられてい
るが、実際には、下室1B内のHepの体積が減
少すれば栓4と連通孔3の内面との間の間隙を介
して上室1A内のHeが下室1B内に流入して
温度降下し、Hepに変化するから、常時補給が
なされることになる。
隔壁2が設けられており、この隔壁2によつて容
器1内は上室1A、下室1Bに区分されており、
かつ隔壁2には連通孔3が形成されており、この
連通孔3は栓4によつて開閉可能とされている。
また上室1A内に先端が開口する管路5は断熱膨
張弁6を介して下室1B内の熱交換器7に連絡し
ており、この熱交換器7の先端側は真空ポンプ8
に連結されている。このような装置を用いてHe
pを製造するにあたつては、先ず前記連通孔3
を開放した状態で例えば1atmの圧力下において
容器1の上室1A、下室1B内にHeを注入す
る。そして前記1atmの圧力を保持したまま、栓
4によつて連通孔3を閉じた状態で前記真空ポン
プ8を作動させることにより、上室1A内のHe
を断熱膨張弁6に導き、そのHeを断熱自由
膨張(JT膨張)させることによりHesに変え、
そのHesを下室1B内のHe中に浸漬されて
いる熱交換器7に導いて下室1B内のHeと熱
交換させることにより、そのHeを1atmの圧力
下で温度降下させ、Hepに変化させる。したが
つて下室1BにはHepが得られることになる。
なお連通孔3は栓4によつて一応は閉じられてい
るが、実際には、下室1B内のHepの体積が減
少すれば栓4と連通孔3の内面との間の間隙を介
して上室1A内のHeが下室1B内に流入して
温度降下し、Hepに変化するから、常時補給が
なされることになる。
上記のような方法のほか、Hepを得る方法と
してはGGG(ガリウムガトリニウムガーネツト)
結晶を用いた磁気冷凍機により圧力下でHeを
温度降下させてHepを得る方法も提案されてお
り、また、そのほか、3Heを例えば4.2Kで圧縮し
て、これを断熱自由膨張させて4.2Kよりも充分
に低い温度として圧力下のHeと熱交換させ、
HeをHepに変化させる方法も提案されてい
る。
してはGGG(ガリウムガトリニウムガーネツト)
結晶を用いた磁気冷凍機により圧力下でHeを
温度降下させてHepを得る方法も提案されてお
り、また、そのほか、3Heを例えば4.2Kで圧縮し
て、これを断熱自由膨張させて4.2Kよりも充分
に低い温度として圧力下のHeと熱交換させ、
HeをHepに変化させる方法も提案されてい
る。
発明が解決すべき問題点
前述のようなHep(加圧超流動ヘリウム)を
得る方法のうち、最も一般的な圧力下のHeを
Hesと熱交換してHepを得る方法では、熱交
換器が絶対的に必要な条件である。ところがこの
場合には、熱交換器として表面積が著しく大きい
ものを使用する必要がある。すなわち、一般に伝
熱壁の境界熱抵抗はKapitzaの式で表わされるよ
うに絶対温度の3乗に反比例することが知られて
おり、したがつて絶対零度近くの極低温では境界
熱抵抗が著しく大きくなり、そのため極低温の熱
交換にあたつては、極低温流体とそれに接する熱
交換器伝熱壁との間の境界熱抵抗による温度差が
著しく大きくなつてしまうから、熱交換効率を上
げるためには熱交換器伝熱壁の表面を著しく大き
くする必要が生じる。したがつて前記のような熱
交換による熱交換器全体も大型化せざるを得ず、
またその結果装置全体も大型化せざるを得なかつ
たのである。
得る方法のうち、最も一般的な圧力下のHeを
Hesと熱交換してHepを得る方法では、熱交
換器が絶対的に必要な条件である。ところがこの
場合には、熱交換器として表面積が著しく大きい
ものを使用する必要がある。すなわち、一般に伝
熱壁の境界熱抵抗はKapitzaの式で表わされるよ
うに絶対温度の3乗に反比例することが知られて
おり、したがつて絶対零度近くの極低温では境界
熱抵抗が著しく大きくなり、そのため極低温の熱
交換にあたつては、極低温流体とそれに接する熱
交換器伝熱壁との間の境界熱抵抗による温度差が
著しく大きくなつてしまうから、熱交換効率を上
げるためには熱交換器伝熱壁の表面を著しく大き
くする必要が生じる。したがつて前記のような熱
交換による熱交換器全体も大型化せざるを得ず、
またその結果装置全体も大型化せざるを得なかつ
たのである。
一方前記の磁気冷凍機を用いた方式は、技術面
およびコスト面などから未だ実用化には至つてお
らず、また3Heを用いる方式も、3Heが天然には
存在せず、著しく高価であることから、実用化に
は至つていないのが実情である。
およびコスト面などから未だ実用化には至つてお
らず、また3Heを用いる方式も、3Heが天然には
存在せず、著しく高価であることから、実用化に
は至つていないのが実情である。
この発明は以上の事情を背景としてなされたも
ので、大型の熱交換器を用いることなく、加圧超
流動ヘリウム(Hep)を効率良く低コストで製
造し得る方法を提供することを目的とするもので
ある。
ので、大型の熱交換器を用いることなく、加圧超
流動ヘリウム(Hep)を効率良く低コストで製
造し得る方法を提供することを目的とするもので
ある。
問題点を解決するための手段
上記の目的を達成するべく、本発明者等は種々
検討を重ねた結果、本発明者等が既に「低温工
学」Vol.20、(1985)p35〜p41において発表して
いるようなベローズ式液体ヘリウムポンプを応用
することによつて、熱交換器を用いることなく加
圧超流動ヘリウムを効率良く製造し得ることを見
出し、この発明をなすに至つたのである。
検討を重ねた結果、本発明者等が既に「低温工
学」Vol.20、(1985)p35〜p41において発表して
いるようなベローズ式液体ヘリウムポンプを応用
することによつて、熱交換器を用いることなく加
圧超流動ヘリウムを効率良く製造し得ることを見
出し、この発明をなすに至つたのである。
すなわちこの発明の加圧超流動ヘリウムの製造
方法は、容器内に収容された飽和超流動ヘリウム
中にベローズ式ホンプを浸漬させておき、そのベ
ローズ式ポンプにより容器内の飽和超流動ヘリウ
ムを吸引して加圧することによつて、飽和超流動
ヘリウムを、その温度を実質的に維持したまま圧
力上昇させることにより加圧超流動ヘリウムとす
ることを特徴とするものである。
方法は、容器内に収容された飽和超流動ヘリウム
中にベローズ式ホンプを浸漬させておき、そのベ
ローズ式ポンプにより容器内の飽和超流動ヘリウ
ムを吸引して加圧することによつて、飽和超流動
ヘリウムを、その温度を実質的に維持したまま圧
力上昇させることにより加圧超流動ヘリウムとす
ることを特徴とするものである。
作 用
この発明では、任意の方法によつて得た飽和超
流動ヘリウム(Hes)を容器内に収容してお
き、しかもその容器内のHes中にベローズ式ポ
ンプを浸漬させておく。そしてベローズ式ポンプ
を作動させて、容器内のHesをベローズ式ポン
プ内に吸引し、その温度を維持したまま加圧して
圧力上昇させることにより、加圧流動ヘリウム
(Hep)を製造する。すなわち、第1図の4He
の状態図に示すように、例えば1.8KのHeの飽
和蒸気圧は12Torrであり、したがつてその温度
におけるHesの蒸気圧も12Torrであるから、こ
のHesを矢印で示すように等温で加圧すること
によつて例えば1atm、1.8KのHepを得ること
ができる。したがつてこの発明の方法では原理的
に熱交換は不要となるのである。すなわち、従来
の熱交換器方式では極低温の熱交換効率を高める
ために伝熱面積を大きくした大型の熱交換器を必
要としていたが、この発明では熱交換器自体が不
要となるため、装置全体の小型化を図ることが可
能となつた。
流動ヘリウム(Hes)を容器内に収容してお
き、しかもその容器内のHes中にベローズ式ポ
ンプを浸漬させておく。そしてベローズ式ポンプ
を作動させて、容器内のHesをベローズ式ポン
プ内に吸引し、その温度を維持したまま加圧して
圧力上昇させることにより、加圧流動ヘリウム
(Hep)を製造する。すなわち、第1図の4He
の状態図に示すように、例えば1.8KのHeの飽
和蒸気圧は12Torrであり、したがつてその温度
におけるHesの蒸気圧も12Torrであるから、こ
のHesを矢印で示すように等温で加圧すること
によつて例えば1atm、1.8KのHepを得ること
ができる。したがつてこの発明の方法では原理的
に熱交換は不要となるのである。すなわち、従来
の熱交換器方式では極低温の熱交換効率を高める
ために伝熱面積を大きくした大型の熱交換器を必
要としていたが、この発明では熱交換器自体が不
要となるため、装置全体の小型化を図ることが可
能となつた。
なお従来一般のピストン−シリンダ方式のポン
プではシリンダとピストンとの摩擦部分があるた
めに発熱が大きく、そのため実際上Hesの加圧
に応用すれば、発熱による温度上昇によつてHe
sがガス化するだけでHepを得ることはでき
ず、また回転式のポンプもあるが回転式ポンプで
は加圧力が小さく、圧力の低い例えば12Torr程
度のHesを1atmまで充分に加圧して、充分に
圧力の高いHepを得ることは困難であつた。こ
れに対し本発明者等が先に開発したベローズ式ポ
ンプによれば、摩擦部分が原理的に存在しないた
め発熱がなく、しかも大きな圧力上昇を得ること
ができるため、ガス化を招くことなくHesを加
圧して充分に圧力の高いHepを得ることが可能
となつたのである。そしてこの発明では、上述の
ようなベローズ式ポンプを容器内のHes内に浸
漬させておいてそのHesを吸引して加圧するた
め、吸引・加圧時にベローズ式ポンプ内の液体
(Hes→Hep)を周囲のHesの温度に維持す
ることができ、したがつて前述のような等温加圧
によつて効率的にHepを得ることができるので
ある。
プではシリンダとピストンとの摩擦部分があるた
めに発熱が大きく、そのため実際上Hesの加圧
に応用すれば、発熱による温度上昇によつてHe
sがガス化するだけでHepを得ることはでき
ず、また回転式のポンプもあるが回転式ポンプで
は加圧力が小さく、圧力の低い例えば12Torr程
度のHesを1atmまで充分に加圧して、充分に
圧力の高いHepを得ることは困難であつた。こ
れに対し本発明者等が先に開発したベローズ式ポ
ンプによれば、摩擦部分が原理的に存在しないた
め発熱がなく、しかも大きな圧力上昇を得ること
ができるため、ガス化を招くことなくHesを加
圧して充分に圧力の高いHepを得ることが可能
となつたのである。そしてこの発明では、上述の
ようなベローズ式ポンプを容器内のHes内に浸
漬させておいてそのHesを吸引して加圧するた
め、吸引・加圧時にベローズ式ポンプ内の液体
(Hes→Hep)を周囲のHesの温度に維持す
ることができ、したがつて前述のような等温加圧
によつて効率的にHepを得ることができるので
ある。
実施例
第2図にこの発明の方法を実施する装置を原理
的に示す。
的に示す。
第2図において、容器10内にはHesが収容
されている。このHesは例えば容器10内の
Heを真空ポンプ11によつて減圧することな
どによつて得られる。容器10内のHes中には
ベローズ式ポンプ13が浸漬されており、このベ
ローズ式ポンプは容器10内のHesを取り入れ
て加圧することによりHepを作成し、吐出管1
4からそのHepを吐出させる。
されている。このHesは例えば容器10内の
Heを真空ポンプ11によつて減圧することな
どによつて得られる。容器10内のHes中には
ベローズ式ポンプ13が浸漬されており、このベ
ローズ式ポンプは容器10内のHesを取り入れ
て加圧することによりHepを作成し、吐出管1
4からそのHepを吐出させる。
前記ベローズ式ポンプ12の最も基本的な構成
例を第3図に示す。このベローズ式ポンプ13
は、内側の作動室13Aの内容積が、ステンレス
鋼等からなるベローズ13Bの伸縮により変化す
るように構成されており、かつその作動室13A
と外部との間には一方向弁からなる吸入弁13C
が設けられ、また作動室13Aと吐出管14との
間には一方向弁からなる吐出弁13Dが設けられ
ている。したがつてベローズ13Bの伸長時には
外部のHesが吸入弁13Cを介して作動室13
A内に吸入され、ベローズ13Bの縮小時には作
動室13A内のHesに圧力が加えられてHep
に変化するとともにそのHepが吐出弁13Bを
介して吐出管14へ吐出される。
例を第3図に示す。このベローズ式ポンプ13
は、内側の作動室13Aの内容積が、ステンレス
鋼等からなるベローズ13Bの伸縮により変化す
るように構成されており、かつその作動室13A
と外部との間には一方向弁からなる吸入弁13C
が設けられ、また作動室13Aと吐出管14との
間には一方向弁からなる吐出弁13Dが設けられ
ている。したがつてベローズ13Bの伸長時には
外部のHesが吸入弁13Cを介して作動室13
A内に吸入され、ベローズ13Bの縮小時には作
動室13A内のHesに圧力が加えられてHep
に変化するとともにそのHepが吐出弁13Bを
介して吐出管14へ吐出される。
発明の効果
この発明の製造方法によれば、原理的に熱交換
を行なうことなく加圧超流動ヘリウム(Hep)
を得ることができ、そのため従来の熱交換方式の
如く極低温での境界熱抵抗を考慮して充分な熱交
換効率を達成するために大表面・大型の熱交換器
を使用する必要がなくなつたから、製造装置を小
型化することが可能となるとともに、効率良く
Hepを得ることができる。
を行なうことなく加圧超流動ヘリウム(Hep)
を得ることができ、そのため従来の熱交換方式の
如く極低温での境界熱抵抗を考慮して充分な熱交
換効率を達成するために大表面・大型の熱交換器
を使用する必要がなくなつたから、製造装置を小
型化することが可能となるとともに、効率良く
Hepを得ることができる。
第1図はこの発明の方法を原理的に説明するた
めの4Heの状態図、第2図はこの発明の方法を実
施する装置の一例を原理的に示す略解図、第3図
はこの発明の方法に使用されるベローズ式ポンプ
の一例を示す略解図、第4図は従来の方法を説明
するための4Heの状態図、第5図は従来の熱交換
方式による加圧超流動ヘリウムの製造方法の一例
を実施する装置を原理的に示す略解図である。 10……容器、13……ベローズ式ポンプ、
Hes……飽和超流動ヘリウム、Hep……加圧
超流動ヘリウム。
めの4Heの状態図、第2図はこの発明の方法を実
施する装置の一例を原理的に示す略解図、第3図
はこの発明の方法に使用されるベローズ式ポンプ
の一例を示す略解図、第4図は従来の方法を説明
するための4Heの状態図、第5図は従来の熱交換
方式による加圧超流動ヘリウムの製造方法の一例
を実施する装置を原理的に示す略解図である。 10……容器、13……ベローズ式ポンプ、
Hes……飽和超流動ヘリウム、Hep……加圧
超流動ヘリウム。
Claims (1)
- 1 容器内に収容された飽和超流動ヘリウム中に
ベローズ式ホンプを浸漬させておき、そのベロー
ズ式ポンプにより容器内の飽和超流動ヘリウムを
吸引して加圧することによつて、飽和超流動ヘリ
ウムを、その温度を実質的に維持したまま圧力上
昇させることにより加圧超流動ヘリウムとするこ
とを特徴とする加圧超流動ヘリウムの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18362786A JPS6340712A (ja) | 1986-08-05 | 1986-08-05 | 加圧超流動ヘリウムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18362786A JPS6340712A (ja) | 1986-08-05 | 1986-08-05 | 加圧超流動ヘリウムの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6340712A JPS6340712A (ja) | 1988-02-22 |
JPH0517166B2 true JPH0517166B2 (ja) | 1993-03-08 |
Family
ID=16139080
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18362786A Granted JPS6340712A (ja) | 1986-08-05 | 1986-08-05 | 加圧超流動ヘリウムの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6340712A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0754048Y2 (ja) * | 1988-09-28 | 1995-12-13 | アイシン精機株式会社 | マスタシリンダ |
JP2552041Y2 (ja) * | 1990-12-25 | 1997-10-27 | 日信工業 株式会社 | 負圧ブースタ |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50119789A (ja) * | 1974-02-22 | 1975-09-19 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58158173U (ja) * | 1982-04-17 | 1983-10-21 | 日本フイ−ダ−工業株式会社 | 往復動ポンプ |
-
1986
- 1986-08-05 JP JP18362786A patent/JPS6340712A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50119789A (ja) * | 1974-02-22 | 1975-09-19 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6340712A (ja) | 1988-02-22 |
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