JPH05157605A - コリオリ質量流量計 - Google Patents
コリオリ質量流量計Info
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- JPH05157605A JPH05157605A JP32050291A JP32050291A JPH05157605A JP H05157605 A JPH05157605 A JP H05157605A JP 32050291 A JP32050291 A JP 32050291A JP 32050291 A JP32050291 A JP 32050291A JP H05157605 A JPH05157605 A JP H05157605A
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- Japan
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- vibrator
- coriolis force
- measuring
- vibration
- coriolis
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｓ／Ｎ比が向上されたコリオリ質量流量計を
実現する。 【構成】 振動する測定管内に測定流体を流し、その流
れと測定管の角振動によって生じるコリオリ力により、
測定管を変形振動させるコリオリ質量流量計において、
前記測定管に設けられコリオリ力に対して感度を有し駆
動振動に対しては感度が低く構成された付加振動子を具
備したことを特徴とするコリオリ質量流量計である。
実現する。 【構成】 振動する測定管内に測定流体を流し、その流
れと測定管の角振動によって生じるコリオリ力により、
測定管を変形振動させるコリオリ質量流量計において、
前記測定管に設けられコリオリ力に対して感度を有し駆
動振動に対しては感度が低く構成された付加振動子を具
備したことを特徴とするコリオリ質量流量計である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｓ／Ｎ比が向上された
コリオリ質量流量計に関するものである。
コリオリ質量流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１６は、従来より一般に使用されてい
る従来例の構成説明図で、コリオリ質量流量計に使用せ
る例で、例えば、米国特許４，４９１，０２５号、発明
の名称「PARALLEL PATH CORIOLIS MASS FLOW RATE METE
R 」１９８２年１１月３日出願、１９８５年１月１日特
許に示されている。図において、１は配管Ａに、両端が
取付けられたＵ字形の測定管である。２は管路Ａへの測
定管１の取付けフランジである。３はＵ字形をなす測定
管１の先端に設けられた振動子である。４，５は測定管
１の両側にそれぞれ設けられた変位検出センサである。
る従来例の構成説明図で、コリオリ質量流量計に使用せ
る例で、例えば、米国特許４，４９１，０２５号、発明
の名称「PARALLEL PATH CORIOLIS MASS FLOW RATE METE
R 」１９８２年１１月３日出願、１９８５年１月１日特
許に示されている。図において、１は配管Ａに、両端が
取付けられたＵ字形の測定管である。２は管路Ａへの測
定管１の取付けフランジである。３はＵ字形をなす測定
管１の先端に設けられた振動子である。４，５は測定管
１の両側にそれぞれ設けられた変位検出センサである。
【０００３】以上の構成において、測定管１に測定流体
が流され、振動子３が駆動される。振動子３の振動方向
の角速度『ω』、測定流体の流速『Ｖ』（以下『』で囲
まれた記号はベクトル量を表す。）とすると、 Ｆｃ＝―２ｍ『ω』×『Ｖ』 のコリオリ力が働く、コリオリ力に比例した振動の振幅
を測定すれば、質量流量が測定出来る。しかし、一般に
は、コリオリ力に比例した振動の振幅は、加振による振
動の振幅より極めて小さく、コリオリ力に比例した振動
の振幅を直接検出することが困難である。
が流され、振動子３が駆動される。振動子３の振動方向
の角速度『ω』、測定流体の流速『Ｖ』（以下『』で囲
まれた記号はベクトル量を表す。）とすると、 Ｆｃ＝―２ｍ『ω』×『Ｖ』 のコリオリ力が働く、コリオリ力に比例した振動の振幅
を測定すれば、質量流量が測定出来る。しかし、一般に
は、コリオリ力に比例した振動の振幅は、加振による振
動の振幅より極めて小さく、コリオリ力に比例した振動
の振幅を直接検出することが困難である。
【０００４】今、図１６のＺ視の方向から見ると、振動
子３の加振により、振動方向をα、βに別けて考える
と、流速『Ｖ』の向きによって、図１７、図１８に示す
如く、コリオリ力の方向が異なるので、逆相となり、測
定管１が捩れながら振動する。これを変位検出センサ
４，５、例えば磁気センサで変位を検出し、変位検出セ
ンサ４，５の変位の位相差が、（コリオリ力に比例した
振動の振幅）／（加振による振動の振幅）に比例するの
で質量流量を求める事ができる。位相差は波形がゼロを
クロスする時間の差Δｔとして測定出来るので、結果と
してコリオリ力が測定出来る。
子３の加振により、振動方向をα、βに別けて考える
と、流速『Ｖ』の向きによって、図１７、図１８に示す
如く、コリオリ力の方向が異なるので、逆相となり、測
定管１が捩れながら振動する。これを変位検出センサ
４，５、例えば磁気センサで変位を検出し、変位検出セ
ンサ４，５の変位の位相差が、（コリオリ力に比例した
振動の振幅）／（加振による振動の振幅）に比例するの
で質量流量を求める事ができる。位相差は波形がゼロを
クロスする時間の差Δｔとして測定出来るので、結果と
してコリオリ力が測定出来る。
【０００５】図１９は従来より一般に使用されている他
の従来例の構成説明図である。本従来例では、更に、ノ
イズを低減し、信号を大きくとるために、測定管１を、
２管式にし、ノイズを打消すようにしたものである。
の従来例の構成説明図である。本従来例では、更に、ノ
イズを低減し、信号を大きくとるために、測定管１を、
２管式にし、ノイズを打消すようにしたものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、コリオリ力による変位は、駆動によ
る変位に比較し、約１／１０００程度と小さい。その結
果、コリオリ力による時間の差Δｔも小さくなり、分解
能が悪い。本発明は、この問題点を解決するものであ
る。本発明の目的は、コリオリ力による変位を直接検出
する事により、駆動信号に対するＳ／Ｎ比が向上された
コリオリ質量流量計を提供するにある。
な装置においては、コリオリ力による変位は、駆動によ
る変位に比較し、約１／１０００程度と小さい。その結
果、コリオリ力による時間の差Δｔも小さくなり、分解
能が悪い。本発明は、この問題点を解決するものであ
る。本発明の目的は、コリオリ力による変位を直接検出
する事により、駆動信号に対するＳ／Ｎ比が向上された
コリオリ質量流量計を提供するにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、振動する測定管内に測定流体を流し、そ
の流れと測定管の角振動によって生じるコリオリ力によ
り、測定管を変形振動させるコリオリ質量流量計におい
て、前記測定管に設けられコリオリ力に対して感度を有
し駆動振動に対しては感度が低く構成された付加振動子
を具備したことを特徴とするコリオリ質量流量計を構成
したものである。
に、本発明は、振動する測定管内に測定流体を流し、そ
の流れと測定管の角振動によって生じるコリオリ力によ
り、測定管を変形振動させるコリオリ質量流量計におい
て、前記測定管に設けられコリオリ力に対して感度を有
し駆動振動に対しては感度が低く構成された付加振動子
を具備したことを特徴とするコリオリ質量流量計を構成
したものである。
【０００８】
【作用】以上の構成において、測定管に測定流体を流
し、駆動装置で測定管を励振する。コリオリ力に対して
感度を有し、駆動振動に対しては感度が低く構成された
付加振動子が設けられているので、付加振動子の振動変
位を測定する事により、直接コリオリ力による変位を大
きく検出出来るので、Ｓ／Ｎ比が向上されたコリオリ質
量流量計が得られる。以下、実施例に基づき詳細に説明
する。
し、駆動装置で測定管を励振する。コリオリ力に対して
感度を有し、駆動振動に対しては感度が低く構成された
付加振動子が設けられているので、付加振動子の振動変
位を測定する事により、直接コリオリ力による変位を大
きく検出出来るので、Ｓ／Ｎ比が向上されたコリオリ質
量流量計が得られる。以下、実施例に基づき詳細に説明
する。
【０００９】
【実施例】図１は、本発明の一実施例の要部構成説明図
である。図において、図１６と同一記号の構成は同一機
能を表わす。以下、図１６と相違部分のみ説明する。１
１は直線状の測定管、１２はハウジングである。１３
は、測定管１１の軸に直交する方向に、測定管１１を励
振する駆動部である。駆動部１３は、ハウジング１２取
付けられたコイル１４と、測定管１１に取付けられたコ
ア１５とから構成されている。
である。図において、図１６と同一記号の構成は同一機
能を表わす。以下、図１６と相違部分のみ説明する。１
１は直線状の測定管、１２はハウジングである。１３
は、測定管１１の軸に直交する方向に、測定管１１を励
振する駆動部である。駆動部１３は、ハウジング１２取
付けられたコイル１４と、測定管１１に取付けられたコ
ア１５とから構成されている。
【実施例】１６は駆動変位検出センサで、駆動部１３の
動作をチェックする。駆動変位検出センサ１６は、磁石
１７とコア１８とから構成されている。１９は付加振動
子である。付加振動子１９は、図３に示す如く、付加振
動子固定部２１と、縦梁２２と横梁２３とからなるＴ形
状の梁部２４からなる。梁部２４は、この場合は、一対
取付けられているが、必ずしも一対である必要はない。
２５は圧電素子であり、付加振動子１９の振動を測定す
る。付加振動子１９は、コリオリ力に対して感度を有
し、駆動振動に対しては感度が低く構成されている。す
なわち、縦梁２２は短く、横梁２３は長く構成されてい
る。
動作をチェックする。駆動変位検出センサ１６は、磁石
１７とコア１８とから構成されている。１９は付加振動
子である。付加振動子１９は、図３に示す如く、付加振
動子固定部２１と、縦梁２２と横梁２３とからなるＴ形
状の梁部２４からなる。梁部２４は、この場合は、一対
取付けられているが、必ずしも一対である必要はない。
２５は圧電素子であり、付加振動子１９の振動を測定す
る。付加振動子１９は、コリオリ力に対して感度を有
し、駆動振動に対しては感度が低く構成されている。す
なわち、縦梁２２は短く、横梁２３は長く構成されてい
る。
【００１０】以上の構成において、測定管１１に測定流
体を流し、駆動装部１３で測定管を励振する。コリオリ
力に対して感度を有し、駆動振動に対しては感度が低く
構成された付加振動子１９が設けられているので、付加
振動子の振動変位を測定する事により、直接コリオリ力
による変位を大きく検出出来るので、Ｓ／Ｎ比が向上さ
れたコリオリ質量流量計が得られる。
体を流し、駆動装部１３で測定管を励振する。コリオリ
力に対して感度を有し、駆動振動に対しては感度が低く
構成された付加振動子１９が設けられているので、付加
振動子の振動変位を測定する事により、直接コリオリ力
による変位を大きく検出出来るので、Ｓ／Ｎ比が向上さ
れたコリオリ質量流量計が得られる。
【００１１】すなわち、図４（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）
に、測定管１１に測定流体が流れていない場合の測定管
１１の振動の状態を示す。図５（ａ）（ｂ）（ｃ）
（ｄ）に、測定管１１に測定流体が流れている場合の測
定管１１の振動の状態を示す。
に、測定管１１に測定流体が流れていない場合の測定管
１１の振動の状態を示す。図５（ａ）（ｂ）（ｃ）
（ｄ）に、測定管１１に測定流体が流れている場合の測
定管１１の振動の状態を示す。
【００１２】コリオリ力は測定管１１の中心を原点とし
て上下流で回転対称な分布をするので、図６（ａ）
（ｂ）（ｃ）（ｄ）に示す振動をする。この振動によっ
て、付加振動子１９は、回転振動する。回転振動の振幅
はコリオリ力に比例するので、振幅を測定する事によっ
て、コリオリ力が測定される。コリオリ力は測定管１１
を流れる質量流量に比例する。すなわち、付加振動子１
９の回転振幅を測定する事で質量流量が測定出来る。
て上下流で回転対称な分布をするので、図６（ａ）
（ｂ）（ｃ）（ｄ）に示す振動をする。この振動によっ
て、付加振動子１９は、回転振動する。回転振動の振幅
はコリオリ力に比例するので、振幅を測定する事によっ
て、コリオリ力が測定される。コリオリ力は測定管１１
を流れる質量流量に比例する。すなわち、付加振動子１
９の回転振幅を測定する事で質量流量が測定出来る。
【００１３】この結果、 （１）コリオリ力を高感度に検出出来る。したがって、
検出信号のＳＮ比が向上出来る。 （２）コリオリ力は駆動変位に比例する。コリオリ力の
検出が高感度で得られるので、駆動変位を従来よりも小
さくすることが出来る。したがって、振動による応力腐
蝕に基づく測定管１１の破裂の恐れが少なくなる。
検出信号のＳＮ比が向上出来る。 （２）コリオリ力は駆動変位に比例する。コリオリ力の
検出が高感度で得られるので、駆動変位を従来よりも小
さくすることが出来る。したがって、振動による応力腐
蝕に基づく測定管１１の破裂の恐れが少なくなる。
【００１４】図７は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例においては、駆動振動の平面ないで
測定管１１に直交した軸上に、板上の梁２４から付加振
動子１９が構成されたものである。図８は本発明の他の
実施例の要部構成説明図である。本実施例においては、
図３に示す付加振動子１９の方向を測定管１１と平行に
したものである。
図である。本実施例においては、駆動振動の平面ないで
測定管１１に直交した軸上に、板上の梁２４から付加振
動子１９が構成されたものである。図８は本発明の他の
実施例の要部構成説明図である。本実施例においては、
図３に示す付加振動子１９の方向を測定管１１と平行に
したものである。
【００１５】図９は本発明の他の実施例の要部構成説明
図で、図１０は図９の側面図、図１１は図９の捩じれ変
位測定装置の詳細説明図である。本実施例においては、
駆動振動の平面に直交した軸３１と、その先端の大きな
質量３２と捩じれ変位測定装置３３から構成される捩じ
り振動子で、付加振動子１９を構成したものである。
図で、図１０は図９の側面図、図１１は図９の捩じれ変
位測定装置の詳細説明図である。本実施例においては、
駆動振動の平面に直交した軸３１と、その先端の大きな
質量３２と捩じれ変位測定装置３３から構成される捩じ
り振動子で、付加振動子１９を構成したものである。
【００１６】捩じれ変位測定装置３３は、図１１に示す
如く、圧電素子３４、結合部３５、結合捩子３６よりな
る。圧電素子３４は、結合部３５と結合捩子３６とによ
り測定管１１に固定され、ねじれが加わると、捩れに比
例した電圧を発生する。図１２は本発明の他の実施例の
要部構成説明図である。本実施例においては、圧電素子
２５として、滑りモ―ド検出タイプを使用したものであ
る。
如く、圧電素子３４、結合部３５、結合捩子３６よりな
る。圧電素子３４は、結合部３５と結合捩子３６とによ
り測定管１１に固定され、ねじれが加わると、捩れに比
例した電圧を発生する。図１２は本発明の他の実施例の
要部構成説明図である。本実施例においては、圧電素子
２５として、滑りモ―ド検出タイプを使用したものであ
る。
【００１７】図１３は本発明の他の実施例の要部構成説
明図である。本実施例においては、測定管１１としてＵ
字管を使用したものである図１４は本発明の他の実施例
の要部構成説明図である。本実施例においては、測定管
１１としてＳ字管を使用したものである図１５は本発明
の他の実施例の要部構成説明図である。本実施例におい
ては、測定管１１として平行管を使用したものであるな
お、前述の実施例においては、振動検出センサとして
は、圧電素子２５を使用したものについて説明したが、
これに限ることはなく、例えば、光センサ、動電形セン
サ、静電型センサでもよく、要するに、振動検出できる
ものであれば良い。また、駆動部１３は電磁コイルでな
く、圧電素子を利用してもよい。また、駆動変位検出セ
ンサ１６の検出は動電形センサ以外の光センサ、静電セ
ンサでもよい。また、付加振動子１９の圧電素子２５で
検出しても良い。
明図である。本実施例においては、測定管１１としてＵ
字管を使用したものである図１４は本発明の他の実施例
の要部構成説明図である。本実施例においては、測定管
１１としてＳ字管を使用したものである図１５は本発明
の他の実施例の要部構成説明図である。本実施例におい
ては、測定管１１として平行管を使用したものであるな
お、前述の実施例においては、振動検出センサとして
は、圧電素子２５を使用したものについて説明したが、
これに限ることはなく、例えば、光センサ、動電形セン
サ、静電型センサでもよく、要するに、振動検出できる
ものであれば良い。また、駆動部１３は電磁コイルでな
く、圧電素子を利用してもよい。また、駆動変位検出セ
ンサ１６の検出は動電形センサ以外の光センサ、静電セ
ンサでもよい。また、付加振動子１９の圧電素子２５で
検出しても良い。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、振動す
る測定管内に測定流体を流し、その流れと測定管の角振
動によって生じるコリオリ力により、測定管を変形振動
させるコリオリ質量流量計において、前記測定管に設け
られコリオリ力に対して感度を有し駆動振動に対しては
感度が低く構成された付加振動子を具備したことを特徴
とするコリオリ質量流量計を構成した。
る測定管内に測定流体を流し、その流れと測定管の角振
動によって生じるコリオリ力により、測定管を変形振動
させるコリオリ質量流量計において、前記測定管に設け
られコリオリ力に対して感度を有し駆動振動に対しては
感度が低く構成された付加振動子を具備したことを特徴
とするコリオリ質量流量計を構成した。
【００１９】この結果、 （１）コリオリ力を高感度に検出出来る。したがって、
検出信号のＳＮ比が向上出来る。 （２）コリオリ力は駆動変位に比例する。コリオリ力の
検出が高感度で得られるので、駆動変位を従来よりも小
さくすることが出来る。したがって、振動による応力腐
蝕に基づく管破裂の恐れが少なくなる。
検出信号のＳＮ比が向上出来る。 （２）コリオリ力は駆動変位に比例する。コリオリ力の
検出が高感度で得られるので、駆動変位を従来よりも小
さくすることが出来る。したがって、振動による応力腐
蝕に基づく管破裂の恐れが少なくなる。
【００２０】従って、本考案によれば、Ｓ／Ｎ比が向上
されたコリオリ質量流量計を実現することが出来る。
されたコリオリ質量流量計を実現することが出来る。
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１のＡ―Ａ断面図である。
【図３】図１の要部詳細説明図である。
【図４】図１の動作説明図である。
【図５】図１の動作説明図である。
【図６】図１の動作説明図である。
【図７】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図８】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図９】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図１０】図９の側面図である。
【図１１】図９の要部詳細説明図である。
【図１２】本発明の他の実施例の要部構成説明図であ
る。
る。
【図１３】本発明の他の実施例の要部構成説明図であ
る。
る。
【図１４】本発明の他の実施例の要部構成説明図であ
る。
る。
【図１５】本発明の他の実施例の要部構成説明図であ
る。
る。
【図１６】従来より一般に使用されている従来例の構成
説明図である。
説明図である。
【図１７】図１６の動作説明図である。
【図１８】図１６の動作説明図である。
【図１９】従来より一般に使用されている他の従来例の
構成説明図である。
構成説明図である。
１１…測定管 １２…ハウジング １３…振動部 １４…コイル １５…コア １６…駆動変位検出センサ １７…磁石 １８…コア １９…付加振動子 ２１…付加振動子固定部 ２２…縦梁 ２３…横梁 ２４…梁 ２５…圧電素子 ３１…軸 ３２…質量 ３３…捩じれ変位測定装置 ３４…圧電素子 ３５…結合部 ３６…結合捩子
フロントページの続き (72)発明者 松永 義則 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横河 電機株式会社内 (72)発明者 黒森 健一 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横河 電機株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】振動する測定管内に測定流体を流し、その
流れと測定管の角振動によって生じるコリオリ力によ
り、測定管を変形振動させるコリオリ質量流量計におい
て、 前記測定管に設けられコリオリ力に対して感度を有し駆
動振動に対しては感度が低く構成された付加振動子を具
備したことを特徴とするコリオリ質量流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32050291A JP2951456B2 (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | コリオリ質量流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32050291A JP2951456B2 (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | コリオリ質量流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05157605A true JPH05157605A (ja) | 1993-06-25 |
| JP2951456B2 JP2951456B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=18122168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32050291A Expired - Fee Related JP2951456B2 (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | コリオリ質量流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2951456B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008268227A (ja) * | 1998-12-08 | 2008-11-06 | Emerson Electric Co | コリオリ質量流量センサ |
-
1991
- 1991-12-04 JP JP32050291A patent/JP2951456B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008268227A (ja) * | 1998-12-08 | 2008-11-06 | Emerson Electric Co | コリオリ質量流量センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2951456B2 (ja) | 1999-09-20 |
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