JPH05155698A - 石英管付着炭素の除去方法 - Google Patents
石英管付着炭素の除去方法Info
- Publication number
- JPH05155698A JPH05155698A JP34939491A JP34939491A JPH05155698A JP H05155698 A JPH05155698 A JP H05155698A JP 34939491 A JP34939491 A JP 34939491A JP 34939491 A JP34939491 A JP 34939491A JP H05155698 A JPH05155698 A JP H05155698A
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- JP
- Japan
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- tube
- quartz
- quartz tube
- hydrofluoric acid
- carbon
- Prior art date
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- Pending
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＧａＰ多結晶合成用の石英管の付着炭素を除
去する方法を提供する。 【構成】 石英管を７００〜９００℃で空気を流しなが
ら電気炉内で加熱し、その後フッ酸で処理する。
去する方法を提供する。 【構成】 石英管を７００〜９００℃で空気を流しなが
ら電気炉内で加熱し、その後フッ酸で処理する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、横型高圧炉を用いたＧ
ａＰ多結晶の合成後に生じる石英管に付着した炭素を除
去するための石英管付着炭素の除去方法に関するもので
ある。
ａＰ多結晶の合成後に生じる石英管に付着した炭素を除
去するための石英管付着炭素の除去方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】横型高圧炉を用いたＧａＰ多結晶の製造
は、赤燐と石英内管内にＧａを入れた黒鉛ボートを設置
した石英外管を真空にして封じた封管を用いる。真空封
じされた封管を横型高圧炉内に設置し、石英内管内に設
置された黒鉛ボート部分を高周波加熱しながら移動さ
せ、Ｇａと赤燐とを合成してＧａＰ多結晶を製造する。
ＧａＰ多結晶の合成中には、黒鉛ボートが高周波加熱に
よって高温に成るため、炭素が飛散し石英内管の内壁全
体に焼付けされる。この石英内管は高価な為再使用を行
う。それには、石英内管の内壁に焼き付いた炭素を除去
しなければならない。もし、除去しないで再使用すれば
高周波加熱中に炭素がＧａＰ多結晶内に混入して品質低
下の原因となる。この為、従来はドラフト内の処理槽で
濃度２５％のフッ酸液に常温で６時間浸して炭素を除去
する方法を行っていた。しかしながら、このように濃度
２５％のフッ酸液に長時間浸し続けると石英内管の侵食
が増大して肉厚が薄くなる。そして取り扱う場合、石英
内管が破損しやすく再使用回数も４〜５回が限度となっ
ている。
は、赤燐と石英内管内にＧａを入れた黒鉛ボートを設置
した石英外管を真空にして封じた封管を用いる。真空封
じされた封管を横型高圧炉内に設置し、石英内管内に設
置された黒鉛ボート部分を高周波加熱しながら移動さ
せ、Ｇａと赤燐とを合成してＧａＰ多結晶を製造する。
ＧａＰ多結晶の合成中には、黒鉛ボートが高周波加熱に
よって高温に成るため、炭素が飛散し石英内管の内壁全
体に焼付けされる。この石英内管は高価な為再使用を行
う。それには、石英内管の内壁に焼き付いた炭素を除去
しなければならない。もし、除去しないで再使用すれば
高周波加熱中に炭素がＧａＰ多結晶内に混入して品質低
下の原因となる。この為、従来はドラフト内の処理槽で
濃度２５％のフッ酸液に常温で６時間浸して炭素を除去
する方法を行っていた。しかしながら、このように濃度
２５％のフッ酸液に長時間浸し続けると石英内管の侵食
が増大して肉厚が薄くなる。そして取り扱う場合、石英
内管が破損しやすく再使用回数も４〜５回が限度となっ
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な従来の石英管付着炭素の除去方法の欠点を解消し、石
英内管の侵食量を最少限に防ぎ再使用回数を従来以上に
延ばす事が出来る石英管付着炭素の除去方法を提供する
ことを目的とする。
な従来の石英管付着炭素の除去方法の欠点を解消し、石
英内管の侵食量を最少限に防ぎ再使用回数を従来以上に
延ばす事が出来る石英管付着炭素の除去方法を提供する
ことを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、ＧａＰ多結晶合成後の石英管を電気炉で
７００〜９００℃で空気を吹き込みながら加熱した後冷
却し、常温でフッ酸処理することを特徴とするものであ
る。
めに本発明は、ＧａＰ多結晶合成後の石英管を電気炉で
７００〜９００℃で空気を吹き込みながら加熱した後冷
却し、常温でフッ酸処理することを特徴とするものであ
る。
【０００５】
【作用】石英管付着炭素の除去に用いる電気炉は縦型、
横型管状炉いずれでもよいが取扱上、横型が好ましい。
大きさは石英管の形状及び処理量によって決定する。処
理温度は７００〜９００℃で行うのが好ましい。７００
℃未満では炭素の除去が不十分であり、９００℃を越え
る温度では石英管の劣化、変質が生じて破損、品質低下
につながり易い。処理時間は３〜６時間が好ましい。３
時間未満では炭素の除去不良が生じ、６時間を越えると
炭素の除去が終了し時間の無駄となる。電気炉に吹き込
む空気量は１０リットル／分以上であるのが好ましく、
これよりも少ないと炭素の除去不良を生じる事がある。
一方、あまり多く吹き込んでも炭素の除去効果に変わり
はない。このようにして処理した石英管は、冷却後汚れ
を取り除くためドラフト内の処理槽で濃度１０〜２５％
のフッ酸液に常温で１０〜１５分間浸す。なお、本発明
で処理する石英管は透明、不透明のいずれでもよい。ま
た、長さや形状も電気炉内に設置できればどの様な物で
もよい。
横型管状炉いずれでもよいが取扱上、横型が好ましい。
大きさは石英管の形状及び処理量によって決定する。処
理温度は７００〜９００℃で行うのが好ましい。７００
℃未満では炭素の除去が不十分であり、９００℃を越え
る温度では石英管の劣化、変質が生じて破損、品質低下
につながり易い。処理時間は３〜６時間が好ましい。３
時間未満では炭素の除去不良が生じ、６時間を越えると
炭素の除去が終了し時間の無駄となる。電気炉に吹き込
む空気量は１０リットル／分以上であるのが好ましく、
これよりも少ないと炭素の除去不良を生じる事がある。
一方、あまり多く吹き込んでも炭素の除去効果に変わり
はない。このようにして処理した石英管は、冷却後汚れ
を取り除くためドラフト内の処理槽で濃度１０〜２５％
のフッ酸液に常温で１０〜１５分間浸す。なお、本発明
で処理する石英管は透明、不透明のいずれでもよい。ま
た、長さや形状も電気炉内に設置できればどの様な物で
もよい。
【０００６】
【実施例】ＧａＰ多結晶の合成によって内壁全体に炭素
が焼き付いた長さ７８０ｍｍ、内径５２ｍｍφ、外径５
６ｍｍφの石英内管の炭素除去処理を１０リットル／分
の空気を吹き込んだ横型の電気管状炉で８００℃に加熱
し５時間保持、冷却後ドラフト内の処理槽で濃度２５％
のフッ酸液に常温で１０分間浸した。一方ドラフト内処
理槽で濃度２５％のフッ酸液に常温で６時間浸す従来法
の除去方法を比較して行った。石英内管の侵食量、再使
用回数を比較した結果を表１に示す。
が焼き付いた長さ７８０ｍｍ、内径５２ｍｍφ、外径５
６ｍｍφの石英内管の炭素除去処理を１０リットル／分
の空気を吹き込んだ横型の電気管状炉で８００℃に加熱
し５時間保持、冷却後ドラフト内の処理槽で濃度２５％
のフッ酸液に常温で１０分間浸した。一方ドラフト内処
理槽で濃度２５％のフッ酸液に常温で６時間浸す従来法
の除去方法を比較して行った。石英内管の侵食量、再使
用回数を比較した結果を表１に示す。
【０００７】
【表１】 なお、表１において侵食量は１回の処理における石英内
管１本の侵食量であり、再使用回数はこれらの方法によ
って除去され繰り返し使用された回数である。表１に示
す結果から本発明は、従来の濃度２５％のフッ酸液に浸
して石英管付着炭素の除去をする方法のように石英内管
の侵食量を増大させる事なく再使用回数を大幅に向上さ
れることが判る。
管１本の侵食量であり、再使用回数はこれらの方法によ
って除去され繰り返し使用された回数である。表１に示
す結果から本発明は、従来の濃度２５％のフッ酸液に浸
して石英管付着炭素の除去をする方法のように石英内管
の侵食量を増大させる事なく再使用回数を大幅に向上さ
れることが判る。
【０００８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、石
英内管の侵食量が最少限に押さえられ再使用回数も大幅
に向上させることが出来る。
英内管の侵食量が最少限に押さえられ再使用回数も大幅
に向上させることが出来る。
Claims (1)
- 【請求項１】 ＧａＰ多結晶合成後の石英管を電気炉で
７００〜９００℃で空気を吹き込みながら加熱した後、
フッ酸で処理することを特徴とする石英管付着炭素の除
去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34939491A JPH05155698A (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | 石英管付着炭素の除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34939491A JPH05155698A (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | 石英管付着炭素の除去方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05155698A true JPH05155698A (ja) | 1993-06-22 |
Family
ID=18403458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34939491A Pending JPH05155698A (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | 石英管付着炭素の除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05155698A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114543527A (zh) * | 2022-01-19 | 2022-05-27 | 无锡德润堂贸易有限责任公司 | 一种石英管式炉及去除管壁内反应物的方法 |
-
1991
- 1991-12-09 JP JP34939491A patent/JPH05155698A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114543527A (zh) * | 2022-01-19 | 2022-05-27 | 无锡德润堂贸易有限责任公司 | 一种石英管式炉及去除管壁内反应物的方法 |
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