JPH05142777A - 感光性積層体及びその製造方法 - Google Patents
感光性積層体及びその製造方法Info
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- JPH05142777A JPH05142777A JP30608191A JP30608191A JPH05142777A JP H05142777 A JPH05142777 A JP H05142777A JP 30608191 A JP30608191 A JP 30608191A JP 30608191 A JP30608191 A JP 30608191A JP H05142777 A JPH05142777 A JP H05142777A
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
- H05K3/0079—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the method of application or removal of the mask
Abstract
(57)【要約】
【目的】 運搬あるいは保存中に感光層と支持体との間
に剥離が起こらず、優れた諸性能を有する感光性積層体
及び該積層体を感光層の特性を悪化せずに製造する方法
を提供すること。 【構成】 支持体、感光層及び場合により保護フィルム
からなり、支持体の感光層側がコロナ放電処理されてな
る感光性積層体であり、支持体の片面をコロナ放電処理
し、その処理面上に感光層を積層することによって感光
性積層体を製造する。
に剥離が起こらず、優れた諸性能を有する感光性積層体
及び該積層体を感光層の特性を悪化せずに製造する方法
を提供すること。 【構成】 支持体、感光層及び場合により保護フィルム
からなり、支持体の感光層側がコロナ放電処理されてな
る感光性積層体であり、支持体の片面をコロナ放電処理
し、その処理面上に感光層を積層することによって感光
性積層体を製造する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、印刷配線板の回路形成
用感光性積層体及びその製造方法に関し、特に薄板の連
続積層体に供する感光性エレメント及びその製造方法に
関する。
用感光性積層体及びその製造方法に関し、特に薄板の連
続積層体に供する感光性エレメント及びその製造方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】印刷配線板の製造分野において、エッチ
ング、めっき等の回路形成手法に感光性樹脂組成物及び
これを用いた感光性エレメントを使用することが知られ
ている。これら感光性エレメントとしては、支持体であ
るポリエステルフィルム上に感光層を均一な厚さに塗布
し、乾燥し、さらにその上に保護フィルムとしてポリエ
チレンフィルムを積層した３層構造を有する感光性フィ
ルムが広く使用されている。
ング、めっき等の回路形成手法に感光性樹脂組成物及び
これを用いた感光性エレメントを使用することが知られ
ている。これら感光性エレメントとしては、支持体であ
るポリエステルフィルム上に感光層を均一な厚さに塗布
し、乾燥し、さらにその上に保護フィルムとしてポリエ
チレンフィルムを積層した３層構造を有する感光性フィ
ルムが広く使用されている。
【０００３】この感光性フィルムの使用方法としては、
切断した銅張り積層板を研磨などにより表面処理し、加
熱した板とロール状に巻いた感光性フィルムの感光層側
をラミネータと称する加熱したロール間に通過させて積
層し、通過した積層体をナイフ等により切断し、露光機
によりネガフィルムを介してパターン露光し、現像して
パターンを形成する方法が知られている。このフィルム
を切断する際、切屑や感光層が露光機内に持ち込まれ、
パターン露光の際に露光を阻害することがある。このた
め、積層後に切断せずに連続体のままで露光することが
検討されている。しかしながら、一般に市販されている
感光性フィルムでは、支持体と感光層間の接着強度が弱
く、連続体の持ち運び、積み重ねの際に感光層と支持体
層との間で剥がれて空気が入り、酸素阻害によりパター
ン形成ができないという問題がある。
切断した銅張り積層板を研磨などにより表面処理し、加
熱した板とロール状に巻いた感光性フィルムの感光層側
をラミネータと称する加熱したロール間に通過させて積
層し、通過した積層体をナイフ等により切断し、露光機
によりネガフィルムを介してパターン露光し、現像して
パターンを形成する方法が知られている。このフィルム
を切断する際、切屑や感光層が露光機内に持ち込まれ、
パターン露光の際に露光を阻害することがある。このた
め、積層後に切断せずに連続体のままで露光することが
検討されている。しかしながら、一般に市販されている
感光性フィルムでは、支持体と感光層間の接着強度が弱
く、連続体の持ち運び、積み重ねの際に感光層と支持体
層との間で剥がれて空気が入り、酸素阻害によりパター
ン形成ができないという問題がある。
【０００４】この支持体と感光層間の接着強度を向上さ
せるためには、感光層の粘度を低下させる方法がある
が、感光性エレメントをロール状に巻いた状態で保存す
るとき、ロールの端部から感光層の樹脂が流れ出し、隣
接した感光層内がつながるエッジフュージョンという現
象が発生し、実用に供することができなくなる。また、
ポリエステルフィルム、例えば、ポリエチレンテレフタ
レートフィルムと接着強度の高い化合物を使用すること
も提案されているが、使用しうる化合物が限定され、所
望の特性を得ることができない。
せるためには、感光層の粘度を低下させる方法がある
が、感光性エレメントをロール状に巻いた状態で保存す
るとき、ロールの端部から感光層の樹脂が流れ出し、隣
接した感光層内がつながるエッジフュージョンという現
象が発生し、実用に供することができなくなる。また、
ポリエステルフィルム、例えば、ポリエチレンテレフタ
レートフィルムと接着強度の高い化合物を使用すること
も提案されているが、使用しうる化合物が限定され、所
望の特性を得ることができない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来技術の
前記問題点を解消し、積層体を連続体のまま運搬し、保
存しても、感光層と支持体との間に剥離が起こらず、優
れた諸性能を有する感光性積層体及び該積層体を感光層
の特性を悪化させずに製造する方法を提供するものであ
る。
前記問題点を解消し、積層体を連続体のまま運搬し、保
存しても、感光層と支持体との間に剥離が起こらず、優
れた諸性能を有する感光性積層体及び該積層体を感光層
の特性を悪化させずに製造する方法を提供するものであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、支持体の感光
層を設けるべき表面をコロナ放電処理することにより支
持体と感光層との接着強度を向上させることによって上
記目的を達成したものである。
層を設けるべき表面をコロナ放電処理することにより支
持体と感光層との接着強度を向上させることによって上
記目的を達成したものである。
【０００７】すなわち、本発明は、感光層及び支持体を
含み、支持体の感光層側がコロナ放電処理されてなる感
光性積層体及び支持体の片面をコロナ放電処理し、その
処理面上に感光層を積層することを特徴とする感光性積
層体の製造方法に関する。
含み、支持体の感光層側がコロナ放電処理されてなる感
光性積層体及び支持体の片面をコロナ放電処理し、その
処理面上に感光層を積層することを特徴とする感光性積
層体の製造方法に関する。
【０００８】本発明に用いる支持体の材料としては、熱
変形の防止、塗工性から融点１６０〜３５０℃のフィル
ムが好ましい。融点が、３５０℃を超えても特に利点は
ない。具体的には、支持体フィルムとしては、例えば、
テトロン（帝人株式会社製）、ルミラーフィルム（東レ
株式会社製）、ダイアホイルフィルム（ダイアホイル株
式会社製）等のポリエチレンテレフタレートフィルム、
トレファンフィルム（東レ株式会社製）等のポリプロピ
レンフィルムなどが挙げられる。
変形の防止、塗工性から融点１６０〜３５０℃のフィル
ムが好ましい。融点が、３５０℃を超えても特に利点は
ない。具体的には、支持体フィルムとしては、例えば、
テトロン（帝人株式会社製）、ルミラーフィルム（東レ
株式会社製）、ダイアホイルフィルム（ダイアホイル株
式会社製）等のポリエチレンテレフタレートフィルム、
トレファンフィルム（東レ株式会社製）等のポリプロピ
レンフィルムなどが挙げられる。
【０００９】本発明においては、上記のようなフィルム
をコロナ放電処理して支持体として用いる。このコロナ
放電の強度は、支持体とその隣接層（感光層又はその間
に設けられた空気疎外層など）との接着強度によって選
定され、１８０°ピールでの接着強度が４０〜１５０ｇ
ｆ／cmとなるように選定するのが好ましく、４０〜１０
０ｇｆ／cmとなるように選定するのがより好ましい。こ
の接着強度が４０ｇｆ／cm未満であると、接着強度が低
く、取り扱い時に剥がれる傾向があり、１５０ｇｆ／cm
を超えると、現像の際に支持体フィルムを剥離すること
が困難となる傾向がある。このようなことから、コロナ
放電の強度は、支持体フィルムの表面の表面張力（ＪＩ
Ｓ−Ｋ６７６８に準拠して測定）が５０dyne／cm2 以上
となるような強度に調整することが好ましい。コロナ放
電処理した市販のフィルムとしては、帝人株式会社製の
ＶＣ−２０、東レ株式会社製のダイアロン等がある。
をコロナ放電処理して支持体として用いる。このコロナ
放電の強度は、支持体とその隣接層（感光層又はその間
に設けられた空気疎外層など）との接着強度によって選
定され、１８０°ピールでの接着強度が４０〜１５０ｇ
ｆ／cmとなるように選定するのが好ましく、４０〜１０
０ｇｆ／cmとなるように選定するのがより好ましい。こ
の接着強度が４０ｇｆ／cm未満であると、接着強度が低
く、取り扱い時に剥がれる傾向があり、１５０ｇｆ／cm
を超えると、現像の際に支持体フィルムを剥離すること
が困難となる傾向がある。このようなことから、コロナ
放電の強度は、支持体フィルムの表面の表面張力（ＪＩ
Ｓ−Ｋ６７６８に準拠して測定）が５０dyne／cm2 以上
となるような強度に調整することが好ましい。コロナ放
電処理した市販のフィルムとしては、帝人株式会社製の
ＶＣ−２０、東レ株式会社製のダイアロン等がある。
【００１０】本発明に用いる感光層には、特に制限はな
く、各種のものを用いることができるが、アルカリ水溶
液で現像可能な感光性樹脂組成物の層であることが好ま
しい。この種の感光性樹脂組成物は、例えば、（ａ）少
なくとも２個の炭素−炭素二重結合を有し、活性光の照
射によって重合体を形成しうる非ガス状エチレン性不飽
和化合物、（ｂ）光重合開始剤又は光重合開始剤系及び
（ｃ）熱可塑性有機重合体バインダーを必須成分として
含有するものである。
く、各種のものを用いることができるが、アルカリ水溶
液で現像可能な感光性樹脂組成物の層であることが好ま
しい。この種の感光性樹脂組成物は、例えば、（ａ）少
なくとも２個の炭素−炭素二重結合を有し、活性光の照
射によって重合体を形成しうる非ガス状エチレン性不飽
和化合物、（ｂ）光重合開始剤又は光重合開始剤系及び
（ｃ）熱可塑性有機重合体バインダーを必須成分として
含有するものである。
【００１１】上記（ａ）成分の非ガス状エチレン性不飽
和化合物としては、例えば、特公昭５３−３７２１４号
公報に記載されている光重合性化合物、特開昭５３−５
６０１８号公報に記載されている単量体、特公昭５９−
２３７２３号公報に記載されている光重合性ウレタン化
合物などが挙げられる。これらの不飽和化合物として
は、具体的には、トリメチロールプロパン、トリメチロ
ールエタン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリ
トール、１，６−ヘキサンジオール、プロピレングリコ
ール、テトラエチレングリコール、ジブロムネオペンチ
ルグリコール、ラウリルアルコール等の一価又は多価ア
ルコールのアクリル酸エステル又はメタクリル酸エステ
ルなどが挙げられる。また、環状脂肪族エポキシ樹脂、
エポキシ化ノボラック樹脂、ビスフェノールＡ−エピク
ロルヒドリン系エポキシ樹脂等のエポキシ基を有する化
合物とアクリル酸あるいはメタクリル酸との反応生成物
なども使用しうる。
和化合物としては、例えば、特公昭５３−３７２１４号
公報に記載されている光重合性化合物、特開昭５３−５
６０１８号公報に記載されている単量体、特公昭５９−
２３７２３号公報に記載されている光重合性ウレタン化
合物などが挙げられる。これらの不飽和化合物として
は、具体的には、トリメチロールプロパン、トリメチロ
ールエタン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリ
トール、１，６−ヘキサンジオール、プロピレングリコ
ール、テトラエチレングリコール、ジブロムネオペンチ
ルグリコール、ラウリルアルコール等の一価又は多価ア
ルコールのアクリル酸エステル又はメタクリル酸エステ
ルなどが挙げられる。また、環状脂肪族エポキシ樹脂、
エポキシ化ノボラック樹脂、ビスフェノールＡ−エピク
ロルヒドリン系エポキシ樹脂等のエポキシ基を有する化
合物とアクリル酸あるいはメタクリル酸との反応生成物
なども使用しうる。
【００１２】感光性樹脂組成物中の少なくとも２個の炭
素−炭素二重結合を有し、活性光の照射によって重合体
を形成しうる非ガス状エチレン性不飽和化合物の含有量
は、感光性樹脂組成物の粘度及び光硬化性の点から感光
性樹脂組成物中２０〜８０重量％とされることが好まし
い。
素−炭素二重結合を有し、活性光の照射によって重合体
を形成しうる非ガス状エチレン性不飽和化合物の含有量
は、感光性樹脂組成物の粘度及び光硬化性の点から感光
性樹脂組成物中２０〜８０重量％とされることが好まし
い。
【００１３】また、本発明に用いる感光性樹脂組成物
は、（ｂ）成分として、前記の不飽和化合物の重合を開
始する活性光によって活性化しうる光重合開始剤及び／
又は光重合開始剤系を含有する。
は、（ｂ）成分として、前記の不飽和化合物の重合を開
始する活性光によって活性化しうる光重合開始剤及び／
又は光重合開始剤系を含有する。
【００１４】光重合開始剤としては、例えば、２−エチ
ルアントラキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、オ
クタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキ
ノン、２，２−ジフェニルアントラキノン等の置換又は
非置換の多核キノン類、ジアセチル、ベンジル等のジケ
トン類、ベンゾイン、ピバロイン等のα−ケタルドニル
アルコール類及びエーテル類、α−フェニルベンゾイ
ン、α，α−ジエトキシアセトフェノン、ベンゾフェ
ン、４，４’−ビスジアルキルアミノベンゾフェノン等
の芳香族ケトン類などが挙げられ、これらは単独で用い
ても組合せて用いてもよい。
ルアントラキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、オ
クタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキ
ノン、２，２−ジフェニルアントラキノン等の置換又は
非置換の多核キノン類、ジアセチル、ベンジル等のジケ
トン類、ベンゾイン、ピバロイン等のα−ケタルドニル
アルコール類及びエーテル類、α−フェニルベンゾイ
ン、α，α−ジエトキシアセトフェノン、ベンゾフェ
ン、４，４’−ビスジアルキルアミノベンゾフェノン等
の芳香族ケトン類などが挙げられ、これらは単独で用い
ても組合せて用いてもよい。
【００１５】光重合開始剤系としては、例えば、２，
４，５−トリアリールイミダゾール二量体と２−メルカ
プトベンゾキナゾール、ロイコクリスタルバイオレッ
ト、トリス（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニ
ル）メタン等との組合せなどが挙げられる。また、それ
自体では光開始性はないが、前述した物質と組み合わせ
て用いることにより全体として光開始性能のより良好な
光重合開始剤系となるような添加剤を用いることができ
る。このような添加剤としては、例えば、ベンゾフェノ
ンに対するトリエタノールアミン等の三級アミンなどが
ある。
４，５−トリアリールイミダゾール二量体と２−メルカ
プトベンゾキナゾール、ロイコクリスタルバイオレッ
ト、トリス（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニ
ル）メタン等との組合せなどが挙げられる。また、それ
自体では光開始性はないが、前述した物質と組み合わせ
て用いることにより全体として光開始性能のより良好な
光重合開始剤系となるような添加剤を用いることができ
る。このような添加剤としては、例えば、ベンゾフェノ
ンに対するトリエタノールアミン等の三級アミンなどが
ある。
【００１６】光重合開始剤又は光重合開始剤系は、感光
性樹脂組成物中に 0.0５〜２０重量％の範囲で用いられ
ることが好ましい。
性樹脂組成物中に 0.0５〜２０重量％の範囲で用いられ
ることが好ましい。
【００１７】本発明に用いる感光性樹脂組成物は、さら
に、熱可塑性有機重合体バインダーを必須成分（ｃ）と
して含有する。この熱可塑性有機重合体バインダーとし
ては、公知の熱可塑性を有する有機重合体バインダーを
使用でき、特に制限はないが、ビニル共重合によって得
られる高分子量体が好ましい。ビニル共重合に用いられ
るビニル重合性単量体としては、例えば、メタクリル酸
メチル、メタクリル酸ブチル、アクリル酸エチル、スチ
レン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、２−ヒド
ロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピル
アクリレート、アクリル酸、トリフルオロエチルメタク
リレート、テトラフルオロプロピルアクリレート、メタ
クリル酸、ｔ−ブチルアミノエチルメタクリレート、
２，３−ジブロモプロピルメタクリレート、３−クロロ
−２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、テトラヒド
ロフルフリルメタクリレート、トリブロモフェニルアク
リレート、アクリルアミド、アクリロニトリル、ブタジ
エン等が挙げられる。これらは、１種又は２種以上で用
いることができる。
に、熱可塑性有機重合体バインダーを必須成分（ｃ）と
して含有する。この熱可塑性有機重合体バインダーとし
ては、公知の熱可塑性を有する有機重合体バインダーを
使用でき、特に制限はないが、ビニル共重合によって得
られる高分子量体が好ましい。ビニル共重合に用いられ
るビニル重合性単量体としては、例えば、メタクリル酸
メチル、メタクリル酸ブチル、アクリル酸エチル、スチ
レン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、２−ヒド
ロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピル
アクリレート、アクリル酸、トリフルオロエチルメタク
リレート、テトラフルオロプロピルアクリレート、メタ
クリル酸、ｔ−ブチルアミノエチルメタクリレート、
２，３−ジブロモプロピルメタクリレート、３−クロロ
−２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、テトラヒド
ロフルフリルメタクリレート、トリブロモフェニルアク
リレート、アクリルアミド、アクリロニトリル、ブタジ
エン等が挙げられる。これらは、１種又は２種以上で用
いることができる。
【００１８】熱可塑性有機重合体バインダーの重量平均
分子量は３００００〜５０００００の範囲であることが
好ましく、５００００〜２０００００の範囲がより好ま
しい。重量平均分子量が３００００未満では、感光性フ
ィルムとしたとき流動性が大きく、保存安定性に劣る傾
向がある。また、液状レジストとして用いるとき、ベタ
ツキやすい。他方、５０００００を超えると、他の成分
との相溶性が悪くなる傾向がある。
分子量は３００００〜５０００００の範囲であることが
好ましく、５００００〜２０００００の範囲がより好ま
しい。重量平均分子量が３００００未満では、感光性フ
ィルムとしたとき流動性が大きく、保存安定性に劣る傾
向がある。また、液状レジストとして用いるとき、ベタ
ツキやすい。他方、５０００００を超えると、他の成分
との相溶性が悪くなる傾向がある。
【００１９】感光性樹脂組成物中の熱可塑性有機重合体
バインダーの含有量は、感光性樹脂組成物の粘度及び光
硬化性の点から感光性樹脂組成物中２０〜８０重量％と
されることが好ましい。得られた感光性樹脂組成物をア
ルカリ水溶液で現像する場合には、重合体バインダーの
酸価が５０以上になるようにすることが好ましい。
バインダーの含有量は、感光性樹脂組成物の粘度及び光
硬化性の点から感光性樹脂組成物中２０〜８０重量％と
されることが好ましい。得られた感光性樹脂組成物をア
ルカリ水溶液で現像する場合には、重合体バインダーの
酸価が５０以上になるようにすることが好ましい。
【００２０】さらに、感光性樹脂組成物には密着向上
剤、熱重合防止剤、染料、顔料、可塑剤、難燃剤、微粒
状充填剤、塗工性向上剤などを混合することもでき、こ
れらの選択は、通常の感光性樹脂組成物と同様の考慮の
下に行われる。
剤、熱重合防止剤、染料、顔料、可塑剤、難燃剤、微粒
状充填剤、塗工性向上剤などを混合することもでき、こ
れらの選択は、通常の感光性樹脂組成物と同様の考慮の
下に行われる。
【００２１】感光性樹脂組成物の層である感光層の流動
性は、３００μｍ以下であることが好ましい。流動性が
小さすぎると、ラミネート性が悪化する傾向があり、大
きすぎるとエッジフュージョンが起こる傾向がある。流
動性の下限は、通常、１５０μｍである。流動性とは、
感光性樹脂組成物の層である感光層を重ねて１２mm厚と
したものを直径１５mmの円形に打ち抜いた試料を用い、
３０℃の恒温槽内に設置されたウィリアム プラストメ
ーター（上島製作所製）を使用して測定される値であ
る。試料をプラストメーターの測定台の上（３０℃雰囲
気）に１０分間放置し、次いで、荷重５kgをかけ、１０
秒後の膜厚（Ａ）と９００秒後の膜厚（Ｂ）を測定し、
（Ａ）−（Ｂ）の値（μｍ）をもって流動性とする。
性は、３００μｍ以下であることが好ましい。流動性が
小さすぎると、ラミネート性が悪化する傾向があり、大
きすぎるとエッジフュージョンが起こる傾向がある。流
動性の下限は、通常、１５０μｍである。流動性とは、
感光性樹脂組成物の層である感光層を重ねて１２mm厚と
したものを直径１５mmの円形に打ち抜いた試料を用い、
３０℃の恒温槽内に設置されたウィリアム プラストメ
ーター（上島製作所製）を使用して測定される値であ
る。試料をプラストメーターの測定台の上（３０℃雰囲
気）に１０分間放置し、次いで、荷重５kgをかけ、１０
秒後の膜厚（Ａ）と９００秒後の膜厚（Ｂ）を測定し、
（Ａ）−（Ｂ）の値（μｍ）をもって流動性とする。
【００２２】コロナ放電処理された支持体フィルム上へ
の感光性樹脂組成物の層の形成は、常法により行うこと
ができる。例えば、感光性樹脂組成物をメチルエチルケ
トン、トルエン、塩化メチレン等の有機溶剤に均一に溶
解させ（但し、溶解しないものは、均一に分散させ）、
この溶液を該支持体フィルムのコロナ放電処理面上にナ
イフコート法、ロールコート法などにより塗布し、乾燥
することによって行われる。
の感光性樹脂組成物の層の形成は、常法により行うこと
ができる。例えば、感光性樹脂組成物をメチルエチルケ
トン、トルエン、塩化メチレン等の有機溶剤に均一に溶
解させ（但し、溶解しないものは、均一に分散させ）、
この溶液を該支持体フィルムのコロナ放電処理面上にナ
イフコート法、ロールコート法などにより塗布し、乾燥
することによって行われる。
【００２３】この乾燥後に塵の付着を防ぐ目的等で、感
光性樹脂組成物の層上に剥離可能な保護フィルムを積層
することが好ましい。剥離可能な保護フィルムとして
は、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフ
ィルム、テフロンフィルム、表面処理した紙などがあ
り、保護フィルムを剥離するときに感光性樹脂組成物の
層と支持体フィルムとの接着力よりも、感光性樹脂組成
物の層と保護フィルムとの接着力がより小さいものであ
ればよい。
光性樹脂組成物の層上に剥離可能な保護フィルムを積層
することが好ましい。剥離可能な保護フィルムとして
は、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフ
ィルム、テフロンフィルム、表面処理した紙などがあ
り、保護フィルムを剥離するときに感光性樹脂組成物の
層と支持体フィルムとの接着力よりも、感光性樹脂組成
物の層と保護フィルムとの接着力がより小さいものであ
ればよい。
【００２４】感光性エレメントにおける感光性樹脂組成
物の層の厚さは、膜の均一性と解像度の点から１０〜２
００μｍであることが好ましい。
物の層の厚さは、膜の均一性と解像度の点から１０〜２
００μｍであることが好ましい。
【００２５】次に、本発明の感光性積層体の使用方法に
ついて説明する。感光性積層体の基板への積層は、容易
である。すなわち、保護フィルムが無い場合にはそのま
ま、保護フィルムがある場合には、保護フィルムを剥離
して又は剥離しながら感光性積層体の感光層を基板側に
して加熱、加圧積層する。加熱、加圧積層は印刷配線板
製造業者では周知のラミネートを用いて行うことができ
る。
ついて説明する。感光性積層体の基板への積層は、容易
である。すなわち、保護フィルムが無い場合にはそのま
ま、保護フィルムがある場合には、保護フィルムを剥離
して又は剥離しながら感光性積層体の感光層を基板側に
して加熱、加圧積層する。加熱、加圧積層は印刷配線板
製造業者では周知のラミネートを用いて行うことができ
る。
【００２６】次に、基板上に感光性樹脂組成物を塗工し
た後の工程又は感光性積層体として積層した後の工程に
ついて説明する。露光及び現像処理は、常法により行う
ことができる。すなわち、高圧水銀灯、超高圧水銀灯等
の光源を用い、ネガマスクを通して像的に露光する。露
光前後の５０〜１００℃での加熱処理は、基板と感光性
樹脂層との密着性を高めるために好ましいが、加熱処理
を行わなくてもよい。また、現像は、１重量％炭酸ナト
リウム水溶液等のアルカリ水溶液を用いて行う。
た後の工程又は感光性積層体として積層した後の工程に
ついて説明する。露光及び現像処理は、常法により行う
ことができる。すなわち、高圧水銀灯、超高圧水銀灯等
の光源を用い、ネガマスクを通して像的に露光する。露
光前後の５０〜１００℃での加熱処理は、基板と感光性
樹脂層との密着性を高めるために好ましいが、加熱処理
を行わなくてもよい。また、現像は、１重量％炭酸ナト
リウム水溶液等のアルカリ水溶液を用いて行う。
【００２７】
【実施例】次に、実施例により本発明をさらに詳しく説
明するが、本発明はこれらによって制限されるものでは
ない。
明するが、本発明はこれらによって制限されるものでは
ない。
【００２８】実施例１ 下記成分； メタクリル酸／メタクリル酸メチル／アクリル酸エチルの２５／５５／ ２０（重量比）共重合体のメチルグリコール溶液（固形分４０％、重量 平均分子量１０００００） ６０重量部 ビスフェノールＡポリオキシエチレンジメタクリレート（新中村化学社 製、商品名ＢＰＥ５００） ４０重量部 Ｎ，Ｎ’−テトラエチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン 0.２重量部 ベンゾフェノン 5.０重量部 マラカイトグリーン 0.０５重量部 アセトン ３０重量部 を良く混合し、コロナ放電処理した厚さ２０μｍのポリ
エチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）
（表面ぬれ性５４dyne／cm2 以上）（帝人株式会社製
ＶＣ−２０）上に乾燥厚４０μｍで塗布し、８０℃で１
０分間乾燥した。
エチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）
（表面ぬれ性５４dyne／cm2 以上）（帝人株式会社製
ＶＣ−２０）上に乾燥厚４０μｍで塗布し、８０℃で１
０分間乾燥した。
【００２９】こうして作成した感光性エレメント（流動
性２２５μｍ）を幅２cm、長さ１０cmに切断し、銅張り
積層板にラミネートし、２３℃、相対湿度６０％の室内
に２４時間放置した。この積層体上にポリエチレンテレ
フタレートフィルムをレオメーター（ブドウ工業株式会
社製）で１８０°の角度、３０cm／分の速度で引きはが
しながら支持体フィルムと感光層の接着強度を測定した
ところ、６２．５ｇｆ／cmを示した。
性２２５μｍ）を幅２cm、長さ１０cmに切断し、銅張り
積層板にラミネートし、２３℃、相対湿度６０％の室内
に２４時間放置した。この積層体上にポリエチレンテレ
フタレートフィルムをレオメーター（ブドウ工業株式会
社製）で１８０°の角度、３０cm／分の速度で引きはが
しながら支持体フィルムと感光層の接着強度を測定した
ところ、６２．５ｇｆ／cmを示した。
【００３０】比較例１ 比較のため、コロナ放電処理を施さなかったポリエチレ
ンテレフタレートフィルム上に上記と同じ感光性樹脂組
成物を塗布乾燥した感光性エレメントでは、接着強度は
１２．５ｇｆ／cmであった。
ンテレフタレートフィルム上に上記と同じ感光性樹脂組
成物を塗布乾燥した感光性エレメントでは、接着強度は
１２．５ｇｆ／cmであった。
【００３１】さらに、コロナ放電処理した感光性エレメ
ント及びこの処理を施さなかった感光性エレメントをそ
れぞれ、２００ｍｍ×２５０ｍｍ角の銅張り積層板を１
０枚連続してラミネートし、短冊状に積み重ねたとこ
ろ、実施例１のコロナ放電処理したＰＥＴフィルムを使
用した感光性エレメントでは支持体フィルムに剥離は認
められなかったが、比較例１のコロナ放電処理しなかっ
たＰＥＴフィルムを使用した感光性エレメントでは、剥
離が認められた。
ント及びこの処理を施さなかった感光性エレメントをそ
れぞれ、２００ｍｍ×２５０ｍｍ角の銅張り積層板を１
０枚連続してラミネートし、短冊状に積み重ねたとこ
ろ、実施例１のコロナ放電処理したＰＥＴフィルムを使
用した感光性エレメントでは支持体フィルムに剥離は認
められなかったが、比較例１のコロナ放電処理しなかっ
たＰＥＴフィルムを使用した感光性エレメントでは、剥
離が認められた。
【００３２】感光性樹脂組成物層の流動性が異なるいく
つかのものについて、コロナ放電処理したＰＥＴフィル
ムを使用した感光性エレメント及びコロナ放電処理しな
かったＰＥＴフィルムを使用した感光性エレメントを用
いて同様に実験し、感光層の流動性と支持体フィルムの
剥離強度の関係を測定し、結果を実施例１及び比較例１
と合わせて図１に示した。
つかのものについて、コロナ放電処理したＰＥＴフィル
ムを使用した感光性エレメント及びコロナ放電処理しな
かったＰＥＴフィルムを使用した感光性エレメントを用
いて同様に実験し、感光層の流動性と支持体フィルムの
剥離強度の関係を測定し、結果を実施例１及び比較例１
と合わせて図１に示した。
【００３３】
【発明の効果】本発明による感光性エレメントは、感光
層と支持体フィルムの接着強度に優れ、銅張積層板等へ
の連続積層時でも支持体フィルムに剥がれ等が発生せ
ず、良好な特性を実現できるものである。
層と支持体フィルムの接着強度に優れ、銅張積層板等へ
の連続積層時でも支持体フィルムに剥がれ等が発生せ
ず、良好な特性を実現できるものである。
【図１】感光層の流動性と支持体フィルムの剥離強度の
関係を示すグラフである。
関係を示すグラフである。
Claims (5)
- 【請求項１】 感光層及び支持体を含み、支持体の感光
層側がコロナ放電処理されてなる感光性積層体。 - 【請求項２】 感光層がアルカリ水溶液で現像可能なも
のである請求項１記載の感光性積層体。 - 【請求項３】 支持体とその隣接層との接着強度が４０
〜１５０ｇｆ／cm（１８０°ピール）である請求項１又
は２記載の感光性積層体。 - 【請求項４】 請求項１、２又は３記載の感光性積層体
の感光層上に保護フィルムを積層してなる感光性積層
体。 - 【請求項５】 支持体の片面をコロナ放電処理し、その
処理面上に感光層を積層することを特徴とする感光性積
層体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30608191A JPH05142777A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 感光性積層体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30608191A JPH05142777A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 感光性積層体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05142777A true JPH05142777A (ja) | 1993-06-11 |
Family
ID=17952805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30608191A Pending JPH05142777A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 感光性積層体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05142777A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0866373A1 (de) * | 1997-03-20 | 1998-09-23 | BASF Drucksysteme GmbH | Verfahren zum Herstellen eines lichtempfindlichen Aufzeichnungsmaterials |
| JP2007279207A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Fujifilm Corp | 感光性樹脂転写材料、カラーフィルターおよびその製造方法、ならびに画像表示装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4917238A (ja) * | 1972-06-05 | 1974-02-15 | ||
| JPS5492724A (en) * | 1977-12-29 | 1979-07-23 | Hoechst Ag | Photosensitive layer transfering material |
| JPS6055335A (ja) * | 1983-09-07 | 1985-03-30 | Toyobo Co Ltd | 感光性樹脂積層体の製造法 |
| JPH02308252A (ja) * | 1989-05-24 | 1990-12-21 | Dainippon Ink & Chem Inc | ポジ型画像形成材料 |
| JPH03249758A (ja) * | 1990-02-28 | 1991-11-07 | Kimoto & Co Ltd | 画像形成材料及び画像形成方法 |
-
1991
- 1991-11-21 JP JP30608191A patent/JPH05142777A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4917238A (ja) * | 1972-06-05 | 1974-02-15 | ||
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| EP0866373A1 (de) * | 1997-03-20 | 1998-09-23 | BASF Drucksysteme GmbH | Verfahren zum Herstellen eines lichtempfindlichen Aufzeichnungsmaterials |
| US6326128B1 (en) | 1997-03-20 | 2001-12-04 | Basf Drucksysteme Gmbh | Production of a photosensitive recording material |
| JP2007279207A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Fujifilm Corp | 感光性樹脂転写材料、カラーフィルターおよびその製造方法、ならびに画像表示装置 |
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