JPH05137925A - オイルミストトラツプ - Google Patents
オイルミストトラツプInfo
- Publication number
- JPH05137925A JPH05137925A JP29873791A JP29873791A JPH05137925A JP H05137925 A JPH05137925 A JP H05137925A JP 29873791 A JP29873791 A JP 29873791A JP 29873791 A JP29873791 A JP 29873791A JP H05137925 A JPH05137925 A JP H05137925A
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- JP
- Japan
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- oil
- oil mist
- mist trap
- wall
- water
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 油や水を効率よく回収して排気と共に排出さ
れ難くする。 【構成】 本体枠１の内方にフィルター１１を装着する
と共に、本体枠１の外側に、蓋体２の外壁２ａと対向す
る外壁１２ａを有するカバー１２を設けた。真空ポンプ
から排出された油蒸気や水蒸気をフィルター１１でろ過
して本体枠１で回収できる。フィルター１１を通過した
油蒸気や水蒸気を、排気通路４において各部材に付着，
凝縮させ、油滴や水滴として回収できる。したがって、
簡単な構造で油や水を確実に回収することができるよう
になる。
れ難くする。 【構成】 本体枠１の内方にフィルター１１を装着する
と共に、本体枠１の外側に、蓋体２の外壁２ａと対向す
る外壁１２ａを有するカバー１２を設けた。真空ポンプ
から排出された油蒸気や水蒸気をフィルター１１でろ過
して本体枠１で回収できる。フィルター１１を通過した
油蒸気や水蒸気を、排気通路４において各部材に付着，
凝縮させ、油滴や水滴として回収できる。したがって、
簡単な構造で油や水を確実に回収することができるよう
になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空ポンプから排出さ
れる排気中の油分や水分を回収するオイルミストトラッ
プに関するものである。
れる排気中の油分や水分を回収するオイルミストトラッ
プに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のオイルミストトラップと
しては図３に示すように構成されたものがある。
しては図３に示すように構成されたものがある。
【０００３】図３は従来のオイルミストトラップを示す
断面図である。同図において、１はオイルミストトラッ
プ本体としての本体枠で、この本体枠１は、上方に向け
て開口する有底筒状に形成されている。そして、この本
体枠１の底部には、真空ポンプ（図示せず）排気口に連
通される排気導入部１ａと、この本体枠１内に溜まった
油や水を排出するためのドレン口１ｂとが形成されてい
る。
断面図である。同図において、１はオイルミストトラッ
プ本体としての本体枠で、この本体枠１は、上方に向け
て開口する有底筒状に形成されている。そして、この本
体枠１の底部には、真空ポンプ（図示せず）排気口に連
通される排気導入部１ａと、この本体枠１内に溜まった
油や水を排出するためのドレン口１ｂとが形成されてい
る。
【０００４】なお、前記排気導入部１ａは、排気ポンプ
に螺着されるように外周部にねじが形成されている。
に螺着されるように外周部にねじが形成されている。
【０００５】２は前記本体枠１の上部開口部に被せられ
た蓋体で、この蓋体２も有底筒状に形成されている。そ
して、この蓋体２は、前記本体枠１とは間隔をおいて離
間するように、本体枠１に取付けボルト３によって固定
されている。
た蓋体で、この蓋体２も有底筒状に形成されている。そ
して、この蓋体２は、前記本体枠１とは間隔をおいて離
間するように、本体枠１に取付けボルト３によって固定
されている。
【０００６】すなわち、上述したように蓋体２を取付け
ることで、本体枠１の外壁１ｃと蓋体２との間に排気通
路４が形成されることになる。
ることで、本体枠１の外壁１ｃと蓋体２との間に排気通
路４が形成されることになる。
【０００７】なお、図３中符号５で示すものは真空ポン
プの排気中に混入した油蒸気や水蒸気を示す。また、前
記本体枠１や蓋体２は、それぞれ金属材によって形成さ
れている。
プの排気中に混入した油蒸気や水蒸気を示す。また、前
記本体枠１や蓋体２は、それぞれ金属材によって形成さ
れている。
【０００８】このように構成された従来のオイルミスト
トラップでは、真空ポンプから排出された油蒸気や水蒸
気は排気導入部１ａから内部に送られ、本体枠１の外壁
１ｃや蓋体２に付着する。そして、油蒸気や水蒸気はそ
こで凝縮されて油滴や水滴となって本体枠１の底部に溜
まり、ドレン口１ｂから排出されることになる。
トラップでは、真空ポンプから排出された油蒸気や水蒸
気は排気導入部１ａから内部に送られ、本体枠１の外壁
１ｃや蓋体２に付着する。そして、油蒸気や水蒸気はそ
こで凝縮されて油滴や水滴となって本体枠１の底部に溜
まり、ドレン口１ｂから排出されることになる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、従来のオイ
ルミストトラップでは、本体枠１内で凝縮しきれなかっ
た油蒸気や水蒸気が排気通路４において外壁１ｃや蓋体
２に付着して凝縮し、油滴や水滴となってオイルミスト
トラップ外へ流れ出るという問題があった。
ルミストトラップでは、本体枠１内で凝縮しきれなかっ
た油蒸気や水蒸気が排気通路４において外壁１ｃや蓋体
２に付着して凝縮し、油滴や水滴となってオイルミスト
トラップ外へ流れ出るという問題があった。
【００１０】
【課題を解決するための手段】第１の発明に係るオイル
ミストトラップは、オイルミストトラップ本体の内方
に、このオイルミストトラップ内を真空ポンプ排気口側
と排気通路側とに仕切るフィルターを装着すると共に、
このオイルミストトラップ本体の外側に、蓋体の外壁と
対向する外壁を有しかつ蓋体に被せられる有底筒状のカ
バーを設けたものである。
ミストトラップは、オイルミストトラップ本体の内方
に、このオイルミストトラップ内を真空ポンプ排気口側
と排気通路側とに仕切るフィルターを装着すると共に、
このオイルミストトラップ本体の外側に、蓋体の外壁と
対向する外壁を有しかつ蓋体に被せられる有底筒状のカ
バーを設けたものである。
【００１１】第２の発明に係るオイルミストトラップ
は、前記第１の発明のオイルミストトラップにおいて、
カバーに、冷却水が流されるパイプを外壁の外側に密着
させて取付けたものである。
は、前記第１の発明のオイルミストトラップにおいて、
カバーに、冷却水が流されるパイプを外壁の外側に密着
させて取付けたものである。
【００１２】
【作用】第１の発明に係るオイルミストトラップでは、
真空ポンプから排出された油蒸気や水蒸気はフィルター
でろ過されて油滴や水滴となりオイルミストトラップ本
体内で回収される。前記油蒸気や水蒸気のうちフィルタ
ーを通過したものは、オイルミストトラップ本体の外壁
とカバーとの間に形成された排気通路において各部材に
付着，凝縮し、油滴や水滴となって回収される。
真空ポンプから排出された油蒸気や水蒸気はフィルター
でろ過されて油滴や水滴となりオイルミストトラップ本
体内で回収される。前記油蒸気や水蒸気のうちフィルタ
ーを通過したものは、オイルミストトラップ本体の外壁
とカバーとの間に形成された排気通路において各部材に
付着，凝縮し、油滴や水滴となって回収される。
【００１３】第２の発明に係るオイルミストトラップで
は、カバーが冷却されるので、カバーに油蒸気や水蒸気
が付着したときに凝縮しやすい。
は、カバーが冷却されるので、カバーに油蒸気や水蒸気
が付着したときに凝縮しやすい。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１によって詳細
に説明する。図１は第１の発明に係るオイルミストトラ
ップの断面図である。同図において前記図３で説明した
ものと同一もしくは同等部材については、同一符号を付
し詳細な説明は省略する。
に説明する。図１は第１の発明に係るオイルミストトラ
ップの断面図である。同図において前記図３で説明した
ものと同一もしくは同等部材については、同一符号を付
し詳細な説明は省略する。
【００１５】図１において、１１はフィルターで、この
フィルター１１は全体が筒状に形成されており、下部を
本体枠１に密着させかつ上部を蓋体２に密着させるよう
にして本体枠１と蓋体２との間に介装されている。
フィルター１１は全体が筒状に形成されており、下部を
本体枠１に密着させかつ上部を蓋体２に密着させるよう
にして本体枠１と蓋体２との間に介装されている。
【００１６】すなわち、このフィルター１１を装着する
と、オイルミストトラップ内が真空ポンプ排気口側と排
気通路４側とに仕切られることになる。
と、オイルミストトラップ内が真空ポンプ排気口側と排
気通路４側とに仕切られることになる。
【００１７】１２はカバーで、このカバー１２は、金属
材によって有底筒状に形成されており、開口側を上方に
向けて本体枠１の下部に固定されている。そして、この
カバー１２は、その外壁１２ａが蓋体２の外壁２ａとは
間隔をおいて離間するように蓋体２に被せられている。
材によって有底筒状に形成されており、開口側を上方に
向けて本体枠１の下部に固定されている。そして、この
カバー１２は、その外壁１２ａが蓋体２の外壁２ａとは
間隔をおいて離間するように蓋体２に被せられている。
【００１８】このようにカバー１２を本体枠１に取付け
ることで、蓋体２の外壁２ａの内面側から表面側へ至る
屈曲された排気通路４が形成されることになる。
ることで、蓋体２の外壁２ａの内面側から表面側へ至る
屈曲された排気通路４が形成されることになる。
【００１９】また、前記カバー１２の底部には、カバー
１２内に溜まった油や水を排出するためのドレン口１２
ｂが形成されている。なお、本実施例では、本体枠１の
ドレン口１ｂはカバー１２内に開口しており、本体枠１
中に溜まった油や水もカバー１２のドレン口１２ｂから
排出されるように構成されている。
１２内に溜まった油や水を排出するためのドレン口１２
ｂが形成されている。なお、本実施例では、本体枠１の
ドレン口１ｂはカバー１２内に開口しており、本体枠１
中に溜まった油や水もカバー１２のドレン口１２ｂから
排出されるように構成されている。
【００２０】このように構成されたオイルミストトラッ
プでは、真空ポンプの排気は排気導入部１ａから内部に
送られ、本体枠１内に位置するフィルター１１を通され
る。そして、排気中の油蒸気や水蒸気は、フィルター１
１でろ過され、油滴や水滴となって本体枠１の底部に流
れてドレン口１ｂ，１２ｂを通って装置外に排出され
る。
プでは、真空ポンプの排気は排気導入部１ａから内部に
送られ、本体枠１内に位置するフィルター１１を通され
る。そして、排気中の油蒸気や水蒸気は、フィルター１
１でろ過され、油滴や水滴となって本体枠１の底部に流
れてドレン口１ｂ，１２ｂを通って装置外に排出され
る。
【００２１】真空ポンプの排気中の油蒸気や水蒸気は、
その一部が前記フィルター１１によって回収されるが、
残りはフィルター１１でろ過されずに排気通路４に流さ
れる。
その一部が前記フィルター１１によって回収されるが、
残りはフィルター１１でろ過されずに排気通路４に流さ
れる。
【００２２】フィルター１１を通過して排気通路４に送
られた排気中の油蒸気や水蒸気は、本体枠１の外壁１
ｃ，蓋体２の外壁２ａおよびカバー１２の外壁１２ａに
付着し、そこで凝縮して油滴や水滴となる。そして、カ
バー１２の底部に流れてドレン口１２ｂを通って装置外
に排出される。
られた排気中の油蒸気や水蒸気は、本体枠１の外壁１
ｃ，蓋体２の外壁２ａおよびカバー１２の外壁１２ａに
付着し、そこで凝縮して油滴や水滴となる。そして、カ
バー１２の底部に流れてドレン口１２ｂを通って装置外
に排出される。
【００２３】したがって、第１の発明に係るオイルミス
トトラップにおいては、真空ポンプから排出された油蒸
気や水蒸気はフィルター１１ろ過されて油滴や水滴とな
り本体枠１１内で回収される。前記油蒸気や水蒸気のう
ちフィルター１１を通過したものは、本体枠１の外壁１
ｃとカバー１２の外壁１２ａとの間に形成された排気通
路４において各部材に付着，凝縮し、油滴や水滴となっ
て回収されることになる。
トトラップにおいては、真空ポンプから排出された油蒸
気や水蒸気はフィルター１１ろ過されて油滴や水滴とな
り本体枠１１内で回収される。前記油蒸気や水蒸気のう
ちフィルター１１を通過したものは、本体枠１の外壁１
ｃとカバー１２の外壁１２ａとの間に形成された排気通
路４において各部材に付着，凝縮し、油滴や水滴となっ
て回収されることになる。
【００２４】次に、第２の発明に係るオイルミストトラ
ップを図２によって詳細に説明する。
ップを図２によって詳細に説明する。
【００２５】図２は第２の発明に係るオイルミストトラ
ップの断面図で、同図において前記図１で説明したもの
と同一もしくは同等部材については、同一符号を付し詳
細な説明は省略する。
ップの断面図で、同図において前記図１で説明したもの
と同一もしくは同等部材については、同一符号を付し詳
細な説明は省略する。
【００２６】図２において、１３はカバー１２を冷却す
るための冷却パイプである。この冷却パイプ１３は、冷
却水供給装置（図示せず）に接続されて冷却水が供給さ
れるように構成されており、カバー１２の外壁１２ａに
密着した状態で取付けられている。
るための冷却パイプである。この冷却パイプ１３は、冷
却水供給装置（図示せず）に接続されて冷却水が供給さ
れるように構成されており、カバー１２の外壁１２ａに
密着した状態で取付けられている。
【００２７】このように冷却パイプ１３を備えると、カ
バー１２が冷却されるので、カバー１２に油蒸気や水蒸
気が付着したときに凝縮しやすくなる。
バー１２が冷却されるので、カバー１２に油蒸気や水蒸
気が付着したときに凝縮しやすくなる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように第１の発明に係るオ
イルミストトラップは、オイルミストトラップ本体の内
方に、このオイルミストトラップ内を真空ポンプ排気口
側と排気通路側とに仕切るフィルターを装着すると共
に、このオイルミストトラップ本体の外側に、蓋体の外
壁と対向する外壁を有しかつ蓋体に被せられる有底筒状
のカバーを設けたため、真空ポンプから排出された油蒸
気や水蒸気はフィルターでろ過されて油滴や水滴となり
オイルミストトラップ本体内で回収される。前記油蒸気
や水蒸気のうちフィルターを通過したものは、オイルミ
ストトラップ本体の外壁とカバーとの間に形成された排
気通路において各部材に付着，凝縮し、油滴や水滴とな
って回収される。
イルミストトラップは、オイルミストトラップ本体の内
方に、このオイルミストトラップ内を真空ポンプ排気口
側と排気通路側とに仕切るフィルターを装着すると共
に、このオイルミストトラップ本体の外側に、蓋体の外
壁と対向する外壁を有しかつ蓋体に被せられる有底筒状
のカバーを設けたため、真空ポンプから排出された油蒸
気や水蒸気はフィルターでろ過されて油滴や水滴となり
オイルミストトラップ本体内で回収される。前記油蒸気
や水蒸気のうちフィルターを通過したものは、オイルミ
ストトラップ本体の外壁とカバーとの間に形成された排
気通路において各部材に付着，凝縮し、油滴や水滴とな
って回収される。
【００２９】したがって、簡単な構造で油や水を確実に
回収することができるようになり、オイルミストトラッ
プ外に油や水が流れ出すのを防ぐことができる。
回収することができるようになり、オイルミストトラッ
プ外に油や水が流れ出すのを防ぐことができる。
【００３０】また、第２の発明に係るオイルミストトラ
ップは、前記第１の発明のオイルミストトラップにおい
て、カバーに、冷却水が流されるパイプを外壁の外側に
密着させて取付けたため、カバーが冷却されるので、カ
バーに油蒸気や水蒸気が付着したときに凝縮しやすい。
ップは、前記第１の発明のオイルミストトラップにおい
て、カバーに、冷却水が流されるパイプを外壁の外側に
密着させて取付けたため、カバーが冷却されるので、カ
バーに油蒸気や水蒸気が付着したときに凝縮しやすい。
【００３１】したがって、カバーに触れた油蒸気や水蒸
気が速やかに凝縮されるから、油や水の回収効率をより
一層高めることができる。
気が速やかに凝縮されるから、油や水の回収効率をより
一層高めることができる。
【図１】第１の発明に係るオイルミストトラップの断面
図である。
図である。
【図２】第２の発明に係るオイルミストトラップの断面
図である。
図である。
【図３】従来のオイルミストトラップを示す断面図であ
る。
る。
１ 本体枠 １ｃ 外壁 ２ 蓋体 ２ａ 外壁 ４ 排気通路 １１ フィルター １２ カバー １２ａ 外壁 １３ 冷却パイプ
Claims (2)
- 【請求項１】 有底筒状に形成され真空ポンプ排気口に
連通されたオイルミストトラップ本体と、このオイルミ
ストトラップ本体の開口部に被せられてオイルミストト
ラップ本体の外壁との間に排気通路を形成する有底筒状
の蓋体とを備えたオイルミストトラップにおいて、前記
オイルミストトラップ本体の内方に、このオイルミスト
トラップ内を真空ポンプ排気口側と前記排気通路側とに
仕切るフィルターを装着すると共に、このオイルミスト
トラップ本体の外側に、前記蓋体の外壁と対向する外壁
を有しかつ蓋体に被せられる有底筒状のカバーを設けた
ことを特徴とするオイルミストトラップ。 - 【請求項２】 請求項１記載のオイルミストトラップに
おいて、カバーに、冷却水が流されるパイプを外壁の外
側に密着させて取付けたことを特徴とするオイルミスト
トラップ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29873791A JPH05137925A (ja) | 1991-11-14 | 1991-11-14 | オイルミストトラツプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29873791A JPH05137925A (ja) | 1991-11-14 | 1991-11-14 | オイルミストトラツプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05137925A true JPH05137925A (ja) | 1993-06-01 |
Family
ID=17863607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29873791A Pending JPH05137925A (ja) | 1991-11-14 | 1991-11-14 | オイルミストトラツプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05137925A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012206064A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Ulvac Techno Ltd | オイルミストトラップ及びオイルミストトラップ用容器 |
| JP2013116449A (ja) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | Ulvac Japan Ltd | ミストトラップ装置 |
| CN108223052A (zh) * | 2016-12-09 | 2018-06-29 | 株式会社Roki | 油分离器 |
| CN110393981A (zh) * | 2019-08-15 | 2019-11-01 | 李志雷 | 一种环保建筑油烟处理装置 |
| CN114146505A (zh) * | 2021-11-29 | 2022-03-08 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 过滤装置和半导体工艺设备 |
-
1991
- 1991-11-14 JP JP29873791A patent/JPH05137925A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012206064A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Ulvac Techno Ltd | オイルミストトラップ及びオイルミストトラップ用容器 |
| JP2013116449A (ja) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | Ulvac Japan Ltd | ミストトラップ装置 |
| CN108223052A (zh) * | 2016-12-09 | 2018-06-29 | 株式会社Roki | 油分离器 |
| CN110393981A (zh) * | 2019-08-15 | 2019-11-01 | 李志雷 | 一种环保建筑油烟处理装置 |
| CN110393981B (zh) * | 2019-08-15 | 2020-11-17 | 新昌县哈坎机械配件厂 | 一种环保建筑油烟处理装置 |
| CN114146505A (zh) * | 2021-11-29 | 2022-03-08 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 过滤装置和半导体工艺设备 |
| CN114146505B (zh) * | 2021-11-29 | 2023-08-18 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 过滤装置和半导体工艺设备 |
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